JP6795915B2 - アノードに給電可能な給電体及びめっき装置 - Google Patents
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Description
に示すように通電が安定しない状態が生じることが分かってきた。
部40は、基板ホルダ18を垂直姿勢で保持し搬送する。基板ホルダを収納するストッカは、複数の基板ホルダ18を垂直状態で収納することができる。
ナット9により導電性ブラケット2が固定されており、導電性ブラケット2の先端部に接点部3が設けられている。そして、接点部3がめっき槽に取り付けられている接点部(図示せず)と接触することにより、接点部に給電されるようになっている。
126eは、アノード5の方へ曲げられている。枝部122hのくり貫き箇所128hは、四角形を構成する4辺162a,162b,162c,162dのうち、3辺162a,162c,162dにおいて、切断されている。辺162bは、切断されておらず、枝部122hに接続している。切断された板バネ130hは、アノード5の方へ曲げられている。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
[形態1]
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第1の力を加えることが可能な力付加部材とを有することを特徴とする給電体。[形態2]
前記力付加部材は、前記領域の外周方向における前記本体部の2つの端部のうちの少なくとも1つに配置される端部部材を有し、前記端部部材は、前記2つの端部を互いに接近させるように前記2つの端部に第2の力を加えることが可能であり、前記2つの端部に前記第2の力を加えることにより、前記本体部に前記第1の力を加えることが可能であることを特徴とする形態1記載の給電体。
[形態3]
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも2つの部分を連結する連結部材を有し、前記連結部材は、前記領域の外部に前記領域を横断する方向に配置され、かつ、前記少なく
とも2つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも2つの部分に前記第1の力を加えることが可能であることを特徴とする形態1または2記載の給電体。
[形態4]
前記アノードの外周に配置可能な導電体を有し、
前記本体部は、前記導電体の外周に配置可能であることを特徴とする、形態1ないし3のいずれか1項に記載の給電体。
[形態5]
前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さいことを特徴とする、形態1ないし4のいずれか1項に記載の給電体。
[形態6]
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第1の力を加えることが可能な力付加部材とを有し、
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも2つの部分を連結する連結部材を有し、前記連結部材は、前記領域の外部に前記領域を横断する方向に配置され、かつ、前記少なくとも2つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも2つの部分に前記第1の力を加えることが可能であることを特徴とする給電体。
[形態7]
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な導電体と、
前記導電体の外周に配置可能な本体部とを有することを特徴とする給電体。
[形態8]
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部を有し、
前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さいことを特徴とする給電体。
[形態9]
前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に力を加えることが可能な力付加部材を有することを特徴とする形態7または8に記載の給電体。
[形態10]
前記アノードは、溶解アノードであることを特徴とする、形態1ないし9のいずれか1項に記載の給電体。
[形態11]
めっき液を収容可能なめっき槽と、
前記アノードが配置可能な、形態1ないし10のいずれか1項に記載の給電体と、
前記基板を保持可能な基板ホルダと、
前記給電体及び前記基板との間で通電可能なめっき電源と、を備え、前記基板ホルダを前記めっき液に浸漬させて、前記基板をめっき可能なめっき装置。
2…導電性ブラケット
3…接点部
5…アノード
6…ボルト
7…ダブルナット
18…基板ホルダ
1a…端部
1b…端部
88…ワッシャ
90…連結部材
120…中央部
126…板バネ
156…アノードホルダ
Claims (6)
- 基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周の実質的に全周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第1の力を加えることが可能なバネとを有し、
前記バネは、前記領域の外周方向における前記本体部の2つの端部のうちの少なくとも1つに配置され、
前記2つの端部は、前記領域から離れる方向に延在し、
前記バネは、前記2つの端部を互いに接近させるように前記2つの端部に第2の力を加えることが可能であり、前記2つの端部に前記第2の力を加えることにより、前記本体部に前記第1の力を加えることが可能であることを特徴とする給電体。 - 前記アノードの外周の全周に配置可能な導電体を有し、
前記本体部は、前記導電体の外周の実質的に全周に配置可能であり、
前記導電体の材料は、イオン化傾向が前記アノードの材料より小さい材料、もしくは不動態膜を形成してめっき液中で溶解しない材料であることを特徴とする、請求項1記載の給電体。 - 前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さく、前記本体部の前記厚さ方向の中心は、前記アノードの前記厚さ方向の中心より前記アノードの裏面側に配置されることを特徴とする、請求項1または2記載の給電体。
- 基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第1の力を加えることが可能な力付加部材とを有し、
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも2つの部分を連結する連結部材を有し、
前記連結部材は、前記領域の外部に、かつ前記アノードの裏面を横断して配置可能であり、
前記連結部材は、バネとして作用可能であり、かつ、前記少なくとも2つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも2つの部分に前記第1の力を加えることが可能であることを特徴とする給電体。 - 前記アノードは、溶解アノードであることを特徴とする、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の給電体。
- めっき液を収容可能なめっき槽と、
前記アノードが配置可能な、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の給電体と、
前記基板を保持可能な基板ホルダと、
前記給電体及び前記基板との間で通電可能なめっき電源と、を備え、前記基板ホルダを前記めっき液に浸漬させて、前記基板をめっき可能なめっき装置。
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