JP6795233B1 - 電磁弁 - Google Patents
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Abstract
Description
が知られている。例えば、特許文献1には、可動鉄心の動作及び弁体の駆動によって生じ
るソレノイド部の振動を検出する振動センサを備える電磁弁において、ソレノイド部が動
作したときに振動センサにより検出されたソレノイド部の振動に応じて電磁弁の異常診断
を行うことが開示されている。
るためには、異常が発生した際にその異常を把握する事後保全のみならず、異常の兆候を
把握する予兆保全を実現することが望まれている。しかし、特許文献1に開示された電磁
弁は、上述したように、ソレノイド部が動作することで生じる振動を振動センサにより検
出するものである。そのため、当該電磁弁では、異常診断を行う条件として、ソレノイド
部を動作させることが要求されることから、ソレノイド部の動作が行われない状況(電磁
弁が適用されるシステムの要求でソレノイド部を動作できない状況も含む。)では、異常
診断を行うことができない。さらに、当該電磁弁では、ソレノイド部の動作が行われない
状況が継続する場合に、ソレノイド部に生じる経時的な変化を監視することができず、ま
た、予兆保全を実現することも困難であった。
に関わることなくソレノイド部を監視することを可能とし、また、事後保全及び予兆保全
を実現することを可能とする電磁弁及び流体圧駆動弁を提供することを目的とする。
駆動流体が流れる流路を切り替えるスプール部と、
通電状態に応じて前記スプール部を変位させるソレノイド部と、
前記ソレノイド部に近接して配置される基板と、
前記基板に載置されて、前記ソレノイド部が発生する磁気の強さを計測する磁気センサ
とを備える。
上記電磁弁と、
主弁と、
前記主弁に連結された弁軸を前記駆動流体の流体圧に応じて駆動させることで前記主弁
の開閉操作を行う駆動装置とを備え、
前記電磁弁は、
前記駆動装置に対して前記駆動流体の給排を制御する機能を有する。
近接して配置されるとともに、磁気センサが、当該基板に載置されて、当該ソレノイド部
が発生する磁気の強さを計測する。
センサにより計測されるべき磁気の強さは、例えば、ソレノイド部の仕様(ソレノイドコ
イルの巻数、寸法)、コイル電流の設定電流値、ソレノイド部及び磁気センサの位置関係
等に応じて事前に計算可能な値(設計磁気強度(所定の幅を有する値でもよい。))であ
る。そのため、磁気センサが、例えば、通電状態とされたソレノイド部が発生する磁気の
強さ(計測磁気強度)を所定のサンプリング周期で計測し、その計測磁気強度と、上記の
設計磁気強度とを比較することにより、電磁弁の異常や異常の兆候を検出することが可能
となる。
イド部に対する通電状態及び非通電状態の切替前後で磁気センサにより計測されるべき磁
気の強さとしては、非通電状態から通電状態に切り替えられるときは、ゼロから設計磁気
強度に上昇し、通電状態から非通電状態に切り替えられるときは、設計磁気強度からゼロ
に下降することが想定される。そのため、磁界センサが、ソレノイド部の通電状態及び非
通電状態の切替前後において、ソレノイド部が発生する磁気の強さ(計測磁気強度)を計
測し、その計測磁気強度が、上記の想定に従って変化(上昇又は下降)しているか否かを
確認することにより、電磁弁の異常を検出することが可能となる。
の動作の有無に関わることなくソレノイド部を監視することができ、また、事後保全及び
予兆保全を実現することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る流体圧駆動弁10の一例を示す断面図である。
た弁軸13を駆動流体の流体圧に応じて駆動させることで主弁11の開閉操作を行う駆動
装置12と、駆動装置12に対して駆動流体の給排を制御する機能を有する電磁弁1とを
備える。
100に設置され、プラント設備に異常が発生したような緊急停止時に、配管100の流
れを遮断するための緊急遮断弁として用いられる。なお、流体圧駆動弁10の設置場所や
用途は、上記の例に限られない。
が供給されるものであり、空気供給源14からの空気Aは、第1の空気配管140を介し
て電磁弁1に供給され、さらに、第2の空気配管141を介して駆動装置12に供給され
る。また、流体圧駆動弁10には、外部装置15及び電磁弁1の間で各種のデータを送受
信するための通信ケーブル150と、外部電源16から電磁弁1に電力を供給するための
電力ケーブル160とが接続される。なお、駆動流体は、上記の空気Aに限られず、他の
気体でもよいし、液体(例えば、油)でもよい。
ドサーバを含む。)、保守点検者が使用する診断用コンピュータ、又は、USBメモリや
外付けHDD等の外部記憶部で構成されている。なお、外部装置15及び電磁弁1の間の
通信は無線通信でもよい。
。したがって、定常運転時は、空気供給源14から電磁弁1を介して駆動装置12に空気
A(給気)を供給することで、主弁11が全開操作され、緊急停止時や試験運転時は、駆
動装置12から電磁弁1を介して空気A(排気)を排出することで、主弁11が全閉操作
される。なお、流体圧駆動弁10は、エアーレスオープン方式を採用したものでもよく、
その場合には、駆動装置12に空気Aを供給することで全開操作され、駆動装置12から
空気Aを排出することで主弁11を全閉操作されてもよい。
構成例として、配管100の途中に配置される弁箱110と、弁箱110内に回転可能に
設けられたボール状の弁体111とを備え、弁体111の上部には、弁軸13の第1の端
部130Aが連結されている。弁軸13が0度から90度に回転駆動されることに応じて
弁箱110内で弁体111が回転し、主弁11の全開状態(図1に示す状態)と全閉状態
が切り替えられる。なお、主弁11として用いられる弁は、ボールバルブに限られず、例
えば、バタフライバルブ等の他の形式でもよい。
のエアシリンダ機構として構成されている。駆動装置12は、その構成例として、円筒状
のシリンダ120と、シリンダ内に往復直線移動可能に設けられ、ピストンロッド121
を介して連結された一対のピストン122A、122Bと、第1のピストン122A側に
設けられたコイルばね123と、第2のピストン122B側に形成された空気給排口12
4と、シリンダ120を径方向に沿って貫通するように配置された弁軸13とピストンロ
ッド121とが直交する部分に設けられた伝達機構125とを備える。なお、駆動装置1
2は、単作動式に限られず、例えば、複作動式等の他の形式で構成されていてもよい。
る。第2のピストン122Bは、空気給排口124から供給された空気A(給気)により
コイルばね123の付勢力に抗して主弁11を開く方向に押圧される。伝達機構125は
、例えば、ラックアンドピニオン機構、リンク機構、カム機構等で構成されており、ピス
トンロッド121の往復直線運動を回転運動に変換して弁軸13に伝達する。
ようにして配置される。弁軸13の第1の端部130Aは、主弁11に連結されるととも
に、弁軸13の第2の端部130Bは、電磁弁1により軸支される。なお、弁軸13は、
複数のシャフトが、例えば、カップリング等により連結されたものでもよい。
ジションでノーマルクローズタイプ(通電時「開」、非通電時「閉」)の三方電磁弁とし
て構成されている。電磁弁1は、屋内型又は防爆型の電磁弁1のハウジングとして機能す
る収容部6の内部に、空気Aが流れる流路を切り替えるスプール部2と、通電状態(通電
時又は非通電時)に応じてスプール部2を変位させるソレノイド部3とを備える。なお、
電磁弁1は、2ポジションでノーマルクローズタイプの三方電磁弁に限られず、3ポジシ
ョンでもよく、ノーマルオープンタイプでもよく、四方電磁弁等でもよく、任意の組み合
わせに基づく各種の形成で構成されていてもよい。また、本実施形態では、電磁弁1は、
流体圧駆動弁10におけるパイロットバルブとして用いられるものであるが、電磁弁1の
用途はこれに限られない。
ト20と、駆動装置12に第2の空気配管141を介して接続される出力ポート21と、
駆動装置12からの排気を排出する排気ポート22とを備える。
に、スプール部2を変位させ、非通電時に、出力ポート21と排気ポート22との間を連
通するように、スプール部2を変位させる。
)が、第1の空気配管140、入力ポート20、出力ポート21及び第2の空気配管14
1の順に流れて、空気給排口124に供給されることで、第2のピストン122Bが押圧
されてコイルばね123が圧縮する。そして、コイルばね123の圧縮に応じてピストン
ロッド121が移動した分だけピストンロッド121及び伝達機構125を介して弁軸1
3が回転駆動されると、弁箱110内で弁体111が回転し、主弁11が全開状態に操作
される。
空気給排口124から第2の空気配管141、出力ポート21及び排気ポート22の順に
流れて、外気に排出されることで、第2のピストン122Bの押圧力が低下し、コイルば
ね123が圧縮状態から復元する。そして、コイルばね123の復元に応じてピストンロ
ッド121が移動した分だけ伝達機構125を介して弁軸13が回転駆動されると、弁箱
110内で弁体111が回転し、主弁11が全閉状態に操作される。
図2は、本発明の実施形態に係る電磁弁1の一例を示す断面図である。
取得する複数のセンサ4と、複数のセンサ4のうち少なくとも1つが載置された基板5と
、これらスプール部2、ソレノイド部3、複数のセンサ4及び基板5を収容する収容部6
とを備える。
れるとともに、ソレノイド部3、複数のセンサ4及び基板5を収容する第2の収容部61
と、通信ケーブル150及び電力ケーブル160が接続されるターミナルボックス62と
を備える。なお、第1の収容部60及び第2の収容部61は、例えば、アルミニウム等の
金属材料で製作されている。
れぞれ機能する開口部(不図示)を有する。
610b)が開放された円筒状のハウジング610と、ハウジング610の内部に配置さ
れるボディー611と、第1のハウジング端部610aに固定されたソレノイド部3を外
気から覆うソレノイドカバー612と、第2のハウジング端部610bに固定されたター
ミナルボックス62を外気から覆うターミナルボックスカバー613とを備える。
る軸挿入口610cと、その上部に形成されてボディー611が挿入されるボディー挿入
口610dと、第2のハウジング端部610b側に形成されて通信ケーブル150及び電
力ケーブル160が挿入されるケーブル挿入口610eとを有する。
入力側流路26から分岐して入力側流路26と第1の圧力センサ40との間を連通する第
1の流路63と、出力側流路27から分岐して出力側流路27と第2の圧力センサ41と
の間を連通する第2の流路64と、スプール部2とソレノイド部3とを連動させるための
空気Aが流れるスプール流路65が形成されている。
ールホール23と、スプールホール23内に移動可能に配置されたスプールバルブ24と
、スプールバルブ24を付勢するスプールスプリング25と、入力ポート20とスプール
ホール23との間を連通する入力側流路26と、出力ポート21とスプールホール23と
の連通する出力側流路27と、排気ポート22とスプールホール23との間を連通する排
気流路28とを備える。
レノイドコイル31と、ソレノイドコイル31内に移動可能に配置された可動鉄芯32と
、ソレノイドコイル31内に固定状態で配置された固定鉄芯33と、可動鉄芯32を付勢
するソレノイドスプリング34とを備える。
て、コイル電流がソレノイドコイル31に流れることによりソレノイドコイル31が電磁
力を発生し、当該電磁力により可動鉄芯32がソレノイドスプリング34の付勢力に抗し
て固定鉄芯33に吸引されることで、スプール流路65を流れる空気Aの流通状態が切り
替えられる。そして、スプール部2において、スプール流路65を流れる空気Aの流通状
態が切り替えられたことにより、スプールバルブ24がスプールスプリング25の付勢力
に抗して移動されることで、入力ポート20と排気ポート22との間を連通する状態から
、入力ポート20と出力ポート21との間を連通する状態に切り替えられる。
うように配置された第1の基板50と、ターミナルボックス62に近接して配置された第
2の基板51と、ソレノイド部3に近接して配置された第3の基板52とを備える。
ディー611、ソレノイド部3及び第3の基板52が配置される。第1の基板面500A
側と反対側の第2の基板面500B側には、第2の基板51及びターミナルボックス62
が配置される。
を流れる空気Aの流体圧を計測する第1の圧力センサ40と、出力側流路27及び第2の
流路64を流れる空気Aの流体圧を計測する第2の圧力センサ41と、弁軸13が回転駆
動するときの回転角度を計測し、当該回転角度に応じて主弁11の弁開度情報を取得する
主弁開度センサ42とを含む。これにより、1つの基板(第1の基板50)に、第1の圧
力センサ40、第2の圧力センサ41及び主弁開度センサ42が集約されるので、電磁弁
1及び流体圧駆動弁10が正常に動作したか否かを適切に診断するために必要となる監視
機能を簡易な構成で実現することができる。
端部130Bに取り付けられた永久磁石131が発生する磁気の強さを計測し、当該磁気
の強さに応じて主弁11の弁開度情報を取得する。
れた第1の基板50の第1の基板面500Aのうち弁軸13の軸周りの外周に対向する位
置に載置される。これにより、収容部6内において、配置スペースを無駄にすることなく
、第1の基板50に載置された主弁開度センサ42と、弁軸13の第2の端部130Bと
を近接して配置することが可能となり、弁開度情報を正確に取得することができる。
力センサ41よりも軸挿入口610c寄りに載置される。これにより、第1の圧力センサ
40に連通する第1の流路63と、第2の圧力センサ41に連通する第2の流路64とが
、主弁開度センサ42及び弁軸13の第2の端部130Bから離間した位置に配置される
ので、第1の流路63及び第2の流路64の形状や配置を簡素化することができる。
さを計測する磁気センサ46を含む。磁気センサ46は、電磁弁1が外部電源16から電
力の供給を受けている場合において、ソレノイド部3が通電状態とされて、コイル電流が
ソレノイドコイル31に流れることにより発生する磁気の強さを計測する。
気センサ46により計測されるべき磁気の強さは、例えば、ソレノイド部3の仕様(ソレ
ノイドコイル31の巻数、寸法)、コイル電流の設定電流値、ソレノイド部3及び磁気セ
ンサ46の位置関係等に応じて事前に計算可能な値(設計磁気強度(所定の幅を有する値
でもよい。))である。そのため、磁気センサ46が、通電状態とされたソレノイド部3
が発生する磁気の強さ(計測磁気強度)を所定のサンプリング周期で計測し、その計測磁
気強度と、上記の設計磁気強度とを比較することにより、電磁弁の異常や異常の兆候を検
出することが可能となる。
ノイド部3に対する通電状態及び非通電状態の切替前後で磁気センサ46により計測され
るべき磁気の強さとしては、非通電状態から通電状態に切り替えられるときは、ゼロから
設計磁気強度に上昇し、通電状態から非通電状態に切り替えられるときは、設計磁気強度
からゼロに下降することが想定される。そのため、磁界センサが、ソレノイド部3の通電
状態及び非通電状態の切替前後において、ソレノイド部3が発生する磁気の強さ(計測磁
気強度)を計測し、その計測磁気強度が、上記の想定に従って変化(上昇又は下降)して
いるか否かを確認することにより、電磁弁の異常を検出することが可能となる。
とも可能である。そのため、電磁弁1の異常を検出する際、計測磁気強度を判定基準とす
るのではなく、計測磁気強度から求められたコイル電流の電流値を判定基準として、例え
ば、コイル電流の設定電流値と比較するようにしてもよい。
のであるが、「近接」とは、磁気センサ46によりソレノイド部3(特にソレノイドコイ
ル31)が発生する磁気の強さを計測可能な範囲内に、第3の基板52とソレノイド部3
とが配置されている状態をいう。したがって、第3の基板52とソレノイドケース30と
は、両者が接触するようにして配置されていてもよいし、また、所定の間隔を空けて配置
されていてもよく、例えば、スペーサ等を介してソレノイドケース30に取り付けられて
いてもよいし、第2の収容部61の内壁面に取り付けられていてもよい。
6の内側に配置される。本実施形態では、第2の収容部61を構成するハウジング610
及びソレノイドカバー612により形成される空間内に、ソレノイド部3を収容するとと
もに、ソレノイドケース30の外側に配置される。これにより、第3の基板52及び磁気
センサ46は、外気に曝されない状態で保護されるとともに、ソレノイドコイル31が発
生する磁気を確実に計測することができる。
は、ソレノイドコイル31の径方向外側に配置される。また、磁気センサ46は、ソレノ
イドコイル31の軸方向に対して、ソレノイドケース30の両端部内側(図2の矢印Y1
)に配置されるのが好ましく、さらにソレノイドコイル31の両端部内側(図2の矢印Y
2)に配置されるのがより好ましい。なお、第3の基板52に載置される磁気センサ46
の数は、1つに限られず、複数でもよい。また、第3の基板52とは別の基板にさらに磁
気センサ46が載置されて、当該別の基板が、第3の基板52とは別の位置に配置される
とともに、ソレノイド部3に近接して配置されるようにしてもよい。
発明の実施形態に係る基板5に対する複数のセンサ4の載置例を示す模式図である。なお
、図4は、各センサ4が基板5に載置された位置を厳密に示すものではなく、各センサ4
が、第1乃至第3の基板50〜52のいずれの基板に載置されているかの載置状態を示す
ものである。
センサ4の他に、電磁弁1を制御する制御部7と、外部装置15と通信する機能を有する
通信部(外部送信部)8と、外部電源16に接続される電源回路部9とを備える。
40、第2の圧力センサ41、主弁開度センサ42及び磁気センサ46の他に、ソレノイ
ド部3に対する供給電圧を計測する電圧センサ43と、ソレノイド部3における通電時の
電流値及び非通電時の抵抗値を計測する電流・抵抗センサ44と、収容部6の内部温度を
計測する温度センサ45とを備える。
レノイド部3の稼働時間としてソレノイド部に対する通電時間の合計及び現在の通電連働
時間の少なくとも一方を計測する稼働時間計47と、電磁弁1、駆動装置12及び主弁1
1それぞれの作動回数を計数する作動カウンタ48とを備える。
するとともに、電磁弁1の各部を制御するマイクロコントローラ70と、ソレノイド部3
の通電状態を制御し、試験運転時における主弁11の開閉操作を行うバルブテストスイッ
チ71とを備える。
不図示)と、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等により構
成される内部記憶部702とを備える。
一時記憶データ、及び、電磁弁1の動作を制御する電磁弁制御プログラム等が記憶されて
いる。
プログラムを実行することにより、複数のセンサ4により電磁弁1の各部の状態を監視す
る監視処理を実行する監視処理部700と、磁気センサ46により計測された磁気の強さ
に基づいて、ソレノイド部3に異常が発生しているか否かを判定する異常判定部701と
して機能する。
数のセンサ4のうち少なくとも1つのセンサ4(以下、「第1の監視対象センサ4A」と
いう。)を用いて電磁弁1の状態を監視する「第1の監視処理」を実行する。また、監視
処理部700は、主弁11の開閉操作が行われる非定常運転中に、複数のセンサ4のうち
少なくとも1つのセンサ(以下、「第2の監視対象センサ4B」という。)を用いて電磁
弁1の状態を監視する「第2の監視処理」を実行する。なお、第1の監視対象センサ4A
は、例えば、複数のセンサ4の全て(第1の圧力センサ40、第2の圧力センサ41、主
弁開度センサ42、電圧センサ43、電流・抵抗センサ44、温度センサ45、磁気セン
サ46、稼働時間計47、及び、作動カウンタ48)であるが、これらの例に限られない
。また、第2の監視対象センサ4Bは、例えば、第2の圧力センサ41及び主弁開度セン
サ42であるが、これらの例に限られない。
間隔)で第1の監視対象センサ4Aにより取得された電磁弁1の状態を第1の取得データ
として取得し、当該第1の取得データについて、取得する毎に通信部8を介して外部装置
15に順次送信する。
て、第1のサンプリング周期よりも短い第2のサンプリング周期(例えば、10msec
間隔)で第2の監視対象センサ4Bにより取得された電磁弁1の状態を第2の取得データ
としてそれぞれ取得する。そして、監視処理部700は、操作期間内にそれぞれ取得した
第2の取得データと当該第2の取得データのそれぞれを取得した取得時刻とを紐付けて構
成する取得データ群を一時記憶データとして内部記憶部702に記憶する。そして、内部
記憶部702に記憶された取得データ群は、所定のタイミングで外部装置15に送信され
る。
対して、複数の異常判定処理を実行することで、ソレノイド部3に異常が発生しているか
否かを判定する。
とされたときの計測磁気強度と設計磁気強度とを比較し、両者の差が所定の閾値よりも大
きいか否かを判定することにより、異常の発生の有無を判定する。また、異常判定部70
1は、第2の異常判定処理として、ソレノイド部3の通電状態及び非通電状態の切替前後
において、計測磁気強度が、通電状態及び非通電状態に応じて変化(上昇又は下降)して
いるか否かを判定することにより、異常の発生の有無を判定する。なお、異常判定部70
1は、磁気センサ46からのデータを用いて上記の異常判定処理を実行してもよいし、内
部記憶部702に記憶された一時記憶データを用いて上記の異常判定処理を実行してもよ
い。
ローラ70からの指令を受けて、試験運転として、電磁弁1のフルストロークテスト(以
下、「FST」という。)又はパーシャルストロークテスト(以下、「PST」という。
)を実行する。
駆動弁10の異常を診断するものである。PSTは、主弁11を全開状態から所定の開度
まで部分的に閉じて全開状態に戻すことで、主弁11を全閉状態に操作することなく(す
なわち、プラント設備を停止することなく)、流体圧駆動弁10の異常を診断するもので
ある。
そのため、主弁11が操作されたときに各センサ4により取得された電磁弁1の状態に基
づいて、当該操作が所定の設定時間内に完了したか否かを判定することにより、流体圧駆
動弁10の異常を診断することが可能である。また、主弁11が操作されたときに各セン
サ4により取得された電磁弁1の状態の時系列変化を解析する(例えば、正常時の時系列
変化と比較する)ことにより、流体圧駆動弁10の異常を診断することが可能である。
行頻度(例えば、1年に1回)による実行時期や特定の指定日時が到来したり、外部装置
15(例えば、プラント管理用のコンピュータ)からの実行命令を受け付けたり、電磁弁
1に設けられた試験実行ボタン(不図示)が管理者により操作されたりした場合に、試験
運転条件を満たすものとして、試験運転が実行されるようにすればよい。
外部装置15との間でデータの送受信を行う通信モデム80と、制御電流(4〜20mA
のアナログ信号)を入出力するループ電流制御器81とを備える。通信モデム80が、送
信対象のデータを周波数信号に変換すると、ループ電流制御器81は、当該周波数信号を
制御電流に重畳した重畳信号を外部装置15に送信する。ループ電流制御器81が、外部
装置15から重畳信号を受信し、当該重畳信号から周波数信号を分離すると、通信モデム
80は、当該周波数信号を受信対象のデータに変換する。
発生する逆電圧から制御部7を保護する逆電圧保護回路90と、外部電源16から電力ケ
ーブル160を介して供給された電力を所定の電圧及び電流に変換し、電磁弁1の各部(
ソレノイド部3、センサ4、基板5、制御部7及び通信部8等)に供給する内部電源回路
91とを備える。
、主弁開度センサ42、電圧センサ43、電流・抵抗センサ44、温度センサ45、稼働
時間計47、作動カウンタ48、制御部7、通信モデム80及び逆電圧保護回路90が載
置される。第2の基板51は、ループ電流制御器81及び内部電源回路91が載置される
。第3の基板52は、磁気センサ46が載置される。
作履歴に関する情報を取得するセンサをさらに備えていてもよいし、これらのセンサ40
〜48の一部が省略されていてもよい。また、複数のセンサ4が各基板50〜52に載置
される際の各センサ40〜48の載置状態は、図4に示す例に限られず、適宜変更しても
よい。さらに、収容部6に収容される基板5の枚数や、収容部6に対する各基板50〜5
2の配置についても適宜変更してもよい。
に設けられたものに限られず、特定のセンサが他のセンサの機能を兼ねることで、当該他
のセンサが個別に設けられていなくてもよい。例えば、磁気センサ46が、ソレノイド部
3が発生する磁気の強さを計測するとともに、当該磁気の強さに基づいてソレノイド部3
における通電時の電流値を求めることで、電流・抵抗センサ44が個別に設けられていな
くてもよい。また、マイクロコントローラ70が、センサの機能を内蔵したり、センサの
機能の一部を実現したりしてもよく、例えば、マイクロコントローラ70が、稼働時間計
47及び作動カウンタ48を内蔵することで、稼働時間計47及び作動カウンタ48が個
別に設けられていなくてもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるもの
ではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
明したが、弁軸13を往復直線駆動させるようにしてもよい。この場合、弁軸13を往復
直線駆動させることに応じて開閉操作が行われる主弁11として、例えば、ゲートバルブ
やグローブバルブ等の形式を用いるようにしてもよい。
線駆動される弁軸の端部が挿入される軸挿入口を有するとともに、当該弁軸が往復直線駆
動されることに連動して回転軸を回転駆動させる駆動力伝達機構(例えば、ラックアンド
ピニオン機構、リンク機構、カム機構等)を収容する。そして、第1の基板50の基板面
が当該回転軸に沿うように配置されており、主弁開度センサ42が、第1の基板50の基
板面のうち当該回転軸の軸周りの外周に対向する位置に載置されて、主弁11の弁開度を
求めるべく、当該回転軸の回転角度を計測するようにすればよい。
は、駆動力伝達機構により回転駆動される回転軸の端部が軸挿入口から挿入されるととも
に、第1の基板50の基板面が軸挿入口から挿入された回転軸に沿うように配置されてお
り、主弁開度センサ42が、主弁11の弁開度を求めるべく、弁軸13の回転角度に代え
て、当該回転軸の回転角度を計測するようにすればよい。
板52が、ソレノイド部3に近接して配置されるとともに、磁気センサ46が、当該第3
の基板52に載置されて、当該ソレノイド部3が発生する磁気の強さを計測する。
ノイド部3が発生する磁気の強さを計測することにより、電磁弁1及び流体圧駆動弁10
の事後保全及び予兆保全を実現することができる。
4…センサ、4A…第1の監視対象センサ、4B…第2の監視対象センサ、
5…基板、6…収容部、7…制御部、8…通信部、9…電源回路部、
10…流体圧駆動弁、11…主弁、12…駆動装置、13…弁軸、
14…空気供給源、15…外部装置、16…外部電源、
20…入力ポート、21…出力ポート、22…排気ポート、
23…スプールホール、24…スプールバルブ、25…スプールスプリング、
26…入力側流路、27…出力側流路、28…排気流路、
30…ソレノイドケース、31…ソレノイドコイル、
32…可動鉄芯、33…固定鉄芯、34…ソレノイドスプリング、
40…第1の圧力センサ、41…第2の圧力センサ、
42…主弁開度センサ、43…電圧センサ、44…電流・抵抗センサ、
45…温度センサ、46…磁気センサ、47…稼働時間計、48…作動カウンタ、
50…第1の基板、51…第2の基板、52…第3の基板(基板)、
60…第1の収容部、61…第2の収容部、62…ターミナルボックス、
63…第1の流路、64…第2の流路、65…スプール流路、
70…マイクロコントローラ、71…バルブテストスイッチ、
80…通信モデム、81…ループ電流制御器、
90…逆電圧保護回路、91…内部電源回路、
100…配管、110…弁箱、111…弁体、
120…シリンダ、121…ピストンロッド、
122A…第1のピストン、122B…第2のピストン、
123…コイルばね、124…空気給排口、125…伝達機構、
130A…第1の端部、130B…第2の端部、
140…第1の空気配管、141…第2の空気配管、
150…通信ケーブル、160…電力ケーブル、
500A…第1の基板面、500B…第2の基板面、
610…ハウジング、610a…第1のハウジング端部、
610b…第2のハウジング端部、610c…軸挿入口、610d…ボディー挿入口、
610e…ケーブル挿入口、611…ボディー、
612…ソレノイドカバー、613…ターミナルボックスカバー、
700…監視処理部、701…異常判定部、702…内部記憶部、A…空気
Claims (4)
- 電磁弁であって、
駆動流体が流れる流路を切り替えるスプール部と、
通電状態に応じて前記スプール部を変位させるソレノイド部と、
前記ソレノイド部に近接して配置される基板と、
前記基板に載置されて、前記ソレノイド部が発生する磁気の強さを計測する磁気センサとを備え、
前記ソレノイド部は、
前記通電状態に応じて前記磁気を発生するソレノイドコイルと、
前記ソレノイドコイルを収容するソレノイドケースとを備え、
前記基板は、
前記ソレノイドケースの外側に配置され、
前記磁気センサは、
前記ソレノイドコイルの径方向外側に配置されるとともに、前記ソレノイドコイルの軸方向に対して前記ソレノイドコイルの両端部内側に配置される、
ことを特徴とする電磁弁。 - 前記スプール部、前記ソレノイド部、前記基板及び前記磁気センサを収容する収容部をさらに備え、
前記基板は、
前記ソレノイドケースの外側であって、前記収容部の内側に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の電磁弁。 - 前記磁気センサにより計測された前記磁気の強さに基づいて、前記ソレノイド部に異常が発生しているか否かを判定する異常判定部をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電磁弁。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電磁弁と、
主弁と、
前記主弁に連結された弁軸を前記駆動流体の流体圧に応じて駆動させることで前記主弁の開閉操作を行う駆動装置とを備え、
前記電磁弁は、
前記駆動装置に対して前記駆動流体の給排を制御する機能を有する、
ことを特徴とする流体圧駆動弁。
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