JP6794045B2 - 電磁平衡式重量センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態の一例の電磁平衡式重量センサの正面図である。図2(A)は、図1の電磁平衡式重量センサの斜視図であり、図2(B)は、同電磁平衡式重量センサの変位検出部及びその近傍部分の拡大斜視図であり、図2(C)は、同電磁平衡式重量センサの変位検出部及びその近傍部分を上方から視た模式平面図である。
1A 変位増幅機構
1L てこ機構
1B アーム部
2 変位検出部
3,3A 電磁力発生装置
4 ストッパ機構
4a ストッパ部材
5 制御器
11 固定部
12 可動部
13,14 ビーム部
15,17 連結部
16 第1てこ部
18 第2てこ部
19 アーム部構成部材
19v アーム本体部
19h アーム先端部
19a 光通過穴
19b 貫通穴
21a 発光素子
22a,22b 受光素子
23 発光側光ファイバ
24,25 受光側光ファイバ
31 磁気回路
37 コイル
Claims (3)
- ロバーバル機構の変位を検出する変位検出部と、
静磁場を発生する磁気回路中に前記ロバーバル機構の変位に連動して変位するコイルを設けてなり、前記変位検出部で検出される変位が0に近づくように前記コイルに電流が流される電磁力発生装置と、
を備え、
前記変位検出部は、
前記ロバーバル機構の変位に連動して変位する光通過路と、
発光素子と、
前記発光素子から出射されて前記光通過路を通過した光が入射される受光素子と、
一端が前記発光素子に接続され、前記発光素子から出射される光を伝搬して他端から前記光通過路へ出射する発光側光ファイバ、および、一端が前記受光素子に接続され、前記発光素子から出射され前記光通過路を通過した光を他端から入射して伝搬し、前記受光素子へ入射させる受光側光ファイバのいずれか一方または両方と、
前記受光素子に入射する光量に基づいて前記ロバーバル機構の変位を求める変位算出部とを有しており、
前記ロバーバル機構の内側に設けられ、前記ロバーバル機構の上下方向の変位を増幅するてこ機構と、
前記ロバーバル機構の内側に設けられ、前記てこ機構に接続されて下方向へ延びるアーム本体部、及び前記アーム本体部の下端部から水平方向に延びるアーム先端部を有するアーム部と、
をさらに備え、
前記電磁力発生装置は、前記ロバーバル機構の内側にかつ前記てこ機構の下方に配置され、
前記アーム先端部は、前記電磁力発生装置の下方に配置され、かつ前記光通過路が設けられた、
電磁平衡式重量センサ。 - 前記光通過路は、前記アーム先端部に前記アーム先端部が変位する方向と交わる方向に貫通して設けられた貫通穴であり、
前記受光側光ファイバ及び前記受光素子がそれぞれ2つずつ対応して設けられ、
2つの前記受光側光ファイバは、前記アーム先端部が変位する方向に並んで互いに隣接配置され、
前記変位算出部は、2つの前記受光素子に入射する光量の差に基づいて前記アーム先端部に現れる変位を求めるよう構成された、
請求項1に記載の電磁平衡式重量センサ。 - 前記変位検出部で検出される変位が0または略0となるときの前記コイルに流れる電流値に基づいて前記ロバーバル機構に負荷される荷重の大きさを算出する荷重算出部と、
前記ロバーバル機構の周囲温度または前記ロバーバル機構自体の温度を測定する温度センサとをさらに備え、
前記荷重算出部は、
前記温度センサによる測定温度に基づいて、前記荷重の大きさを補正するよう構成された、
請求項1または2に記載の電磁平衡式重量センサ。
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