JP6791595B2 - 薄膜製造装置 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態1である薄膜製造装置の概略構成を模式的に示す説明図である。図2は図1で示す原料ミスト噴出用ノズル60(成膜ノズル)の断面構造を示す説明図である。図1及び図2にそれぞれXYZ直交座標系を示す。
図3は実施の形態2の薄膜製造装置で用いられるミスト発生器100の構成を示す説明図である。図3にXYZ直交座標系を示す。なお、実施の形態2の薄膜製造装置の概略構成は、実施の形態1の図1で示した概略構成と同様であり、実施の形態2の薄膜製造装置に用いる成膜ノズルとして、図2で示した実施の形態1の原料ミスト噴出用ノズル60をそのまま用いている。
2 超音波発振器
3 内部空洞構造体
3H ミスト化空間
4 ガス供給部
7 原料ミスト
8 原料溶液収容容器
9 キャリアガス
11 ミスト供給通路
12 凝集原料回収通路
15 原料溶液
40 基板フィルム
41 主ローラ
42 副ローラ
60,70 原料ミスト噴出用ノズル
61,71 原料ミスト供給口
62 凝集原料排出管
63 凝集原料排出通路
64 底面部
65 ノズル本体
69 原料ミスト噴出口
100 ミスト発生器
Claims (3)
- 長尺の基材に原料ミストを噴出して、前記基材上に薄膜を形成する薄膜製造装置であって、
前記基材を搬送するローラと、
ミスト化空間において原料溶液をミスト化して前記原料ミストを発生し、キャリアガスによって前記原料ミストを噴出するミスト発生器と、
前記ローラの直下に配置され、前記ミスト発生器から噴出される前記原料ミストを原料ミスト供給口から供給し、前記ローラに巻回された前記基材に向けて、原料ミスト噴出口から上方に前記原料ミストを噴出する成膜ノズルとを備え、
前記成膜ノズルは、薄膜の成膜時において、前記ローラから前記原料ミスト噴出口を介して、前記原料ミストが逆流することによって内部で凝集する凝集原料が発生する際、該凝集原料を外部へ排出する排出機構を有することを特徴とする、
薄膜製造装置。 - 請求項1記載の薄膜製造装置であって、
前記成膜ノズルは、前記原料ミスト供給口及び前記原料ミスト噴出口が設けられ内部に空洞部を有するノズル本体を含み、前記原料ミスト供給口は前記原料ミスト噴出口より下方に配置され、
前記ノズル本体は、前記原料ミスト供給口を中心部に有する底面部を含み、前記底面部は前記原料ミスト供給口から端部にかけて下方に傾く傾斜面形状を呈し、
前記排出機構は、
前記傾斜面形状を呈する前記底面部と、
前記底面部の端部に接続され、前記底面部の中心部から端部に向けて前記底面部の前記傾斜面形状を移動して端部に達した前記凝集原料を外部に排出する排出管をさらに含む、
薄膜製造装置。 - 請求項2記載の薄膜製造装置であって、
前記ミスト発生器は、
前記ミスト化空間から外部に繋がり、前記原料ミストを外部に噴出するためのミスト供給通路と、
前記ミスト供給通路と別途設けられ、外部から前記ミスト化空間に繋がり、前記凝集原料を回収するための凝集原料回収通路とを有し、
前記排出管は、前記底面部の端部から外部に繋がり、前記凝集原料を外部に排出する凝集原料排出通路を有し、
前記凝集原料回収通路と前記凝集原料排出通路とが互いに連通して接続されることを特徴とする、
薄膜製造装置。
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JP2019072700A JP2019072700A (ja) | 2019-05-16 |
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ID=66542951
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JP2017202449A Active JP6791595B2 (ja) | 2017-10-19 | 2017-10-19 | 薄膜製造装置 |
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2017
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