JP6790373B2 - Printing equipment, printing tools and printing methods - Google Patents
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Description
本発明は、印刷装置、印刷用工具および印刷方法に関する。 The present invention relates to a printing apparatus, a printing tool and a printing method.
金属粒子と溶剤からなる金属ペーストを基板上に印刷塗布して焼結することにより導電パターンを形成する技術が知られている。
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開2008−923号公報
[特許文献2]特表平10−512507号公報
[特許文献3]特開2000−189875号公報
[特許文献4]特開2007−44892号公報
A technique for forming a conductive pattern by printing and coating a metal paste composed of metal particles and a solvent on a substrate and sintering it is known.
[Prior art literature]
[Patent Document]
[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-923 [Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-521507 [Patent Document 3] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-189875 [Patent Document 4] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-44892
燒結金属を含むペースト材料は通常の半田よりも高価であるので、スクリーンマスクのうち導電パターンを形成する孔部以外に塗布されるペースト材料を極力抑制したいという要請がある。 Since the paste material containing the boiled metal is more expensive than ordinary solder, there is a demand to suppress the paste material applied to the screen mask other than the holes forming the conductive pattern as much as possible.
本発明の第1の態様における印刷装置は、基板に重ねられたスクリーンマスクの孔部にペースト材料を吐出する吐出ノズルを有し、吐出ノズルをスクリーンマスクの表面において相対的に移動させることにより基板の表面に導電パターンを印刷する印刷装置である。吐出ノズルは、前方部材と、後方部材とを有してよい。前方部材は、スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置してよい。後方部材は、移動方向に対して後側に位置してよい。前方部材の吐出開口をなす先端は、後方部材の吐出開口をなす先端よりも、スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置してよい。 The printing apparatus according to the first aspect of the present invention has a discharge nozzle for discharging a paste material into a hole of a screen mask superimposed on the substrate, and the discharge nozzle is relatively moved on the surface of the screen mask to cause the substrate. It is a printing device that prints a conductive pattern on the surface of. The discharge nozzle may have a front member and a rear member. The front member may be located on the surface of the screen mask in front of the direction of movement. The rear member may be located on the rear side with respect to the moving direction. The tip forming the discharge opening of the front member may be located above the tip forming the discharge opening of the rear member in the direction away from the surface of the screen mask.
吐出ノズルは、後方部材をスクリーンマスクの表面に接触させた場合に、前方部材がスクリーンマスクの表面から0.1mm以上1mm以下の間隙を有してよい。 The discharge nozzle may have a gap of 0.1 mm or more and 1 mm or less from the surface of the screen mask when the rear member is brought into contact with the surface of the screen mask.
吐出ノズルは、前方部材と後方部材との間に側方部材を有してよい。前方部材の吐出開口をなす先端は、側方部材の吐出開口をなす先端よりも、スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置してよい。 The discharge nozzle may have a side member between the front member and the rear member. The tip forming the discharge opening of the front member may be located above the tip forming the discharge opening of the side member in the direction away from the surface of the screen mask.
移動方向に直交する長さである吐出開口の幅は、導電パターンの線幅に対応する孔部の幅よりも大きくしてもよい。吐出ノズルは、前方部材を後方部材方向に対して接近および離間させる駆動機構を有するように構成してもよい。 The width of the discharge opening, which is a length orthogonal to the moving direction, may be larger than the width of the hole corresponding to the line width of the conductive pattern. The discharge nozzle may be configured to have a drive mechanism that brings the front member closer to and further from the rear member.
本発明の第2の態様における印刷用工具は、ペースト材料を供給して基板の表面に導電パターンを印刷する印刷装置に用いられる印刷用工具である。印刷用工具は、スクリーンマスクと、吐出ノズルとを含んでよい。スクリーンマスクは、基板に重ねて設置され、導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有してよい。吐出ノズルにおいて、スクリーンマスクの表面においてペースト材料を孔部に吐出するように移動される移動方向に対して後方に位置する後方部材の吐出開口をなす先端が、移動方向に対して前方に位置する前方部材の吐出開口をなす先端よりも突出してよい。 The printing tool according to the second aspect of the present invention is a printing tool used in a printing apparatus that supplies a paste material and prints a conductive pattern on the surface of a substrate. The printing tool may include a screen mask and a discharge nozzle. The screen mask may be placed on top of the substrate and have holes corresponding to at least a portion of the conductive pattern. In the discharge nozzle, the tip forming the discharge opening of the rear member located rearward with respect to the moving direction moved so as to discharge the paste material into the hole on the surface of the screen mask is located forward with respect to the moving direction. It may protrude from the tip forming the discharge opening of the front member.
本発明の第3の態様における印刷方法は、互いに対向する第1部材と第2部材を有し、第1部材の先端と第1部材の先端よりも突出する第2部材の先端とによって吐出開口が形成されている吐出ノズルを用いて、ペースト材料を供給して基板の表面に導電パターンを印刷する印刷方法である。印刷方法は、載置工程と、吐出工程とを有してよい。載置工程においては、導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有するスクリーンマスクを基板に載置してよい。吐出工程においては、スクリーンマスクの表面上における移動方向に対して第1部材の先端が前側、第2部材の先端が後側となるように吐出ノズルを移動して、ペースト材料を孔部に吐出してよい。 The printing method according to the third aspect of the present invention has a first member and a second member facing each other, and a discharge opening is provided by a tip of the first member and a tip of a second member protruding from the tip of the first member. This is a printing method in which a paste material is supplied and a conductive pattern is printed on the surface of a substrate by using a discharge nozzle in which the above is formed. The printing method may include a mounting step and a ejection step. In the mounting step, a screen mask having holes corresponding to at least a part of the conductive pattern may be mounted on the substrate. In the discharge step, the discharge nozzle is moved so that the tip of the first member is on the front side and the tip of the second member is on the rear side with respect to the moving direction on the surface of the screen mask, and the paste material is discharged into the hole. You can do it.
吐出工程においては、ペースト材料が流通する吐出ノズルの内管の伸延方向が移動方向の側に傾斜するように吐出ノズルを設置してよい。 In the discharge step, the discharge nozzle may be installed so that the extension direction of the inner pipe of the discharge nozzle through which the paste material flows is inclined to the moving direction side.
吐出工程においては、スクリーンマスクの表面に対して、第1部材の先端を、第2部材の先端よりも0.1mm以上1mm以下の範囲で離間させてよい。吐出工程においては、一度の掃引により導電パターンの線幅に対応する孔部の幅を埋めるようにペースト材料を吐出してよい。 In the discharge step, the tip of the first member may be separated from the surface of the screen mask within a range of 0.1 mm or more and 1 mm or less from the tip of the second member. In the discharge step, the paste material may be discharged so as to fill the width of the hole corresponding to the line width of the conductive pattern by one sweep.
吐出ノズルは、第1部材を第2部材方向に対して接近および離間させる駆動機構を有してよい。吐出工程においては、駆動機構を駆動させることにより、ペースト材料の吐出量を調整してよい。 The discharge nozzle may have a drive mechanism that brings the first member closer to and further from the second member. In the discharge step, the discharge amount of the paste material may be adjusted by driving the drive mechanism.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The outline of the above invention does not list all the necessary features of the present invention. Sub-combinations of these feature groups can also be inventions.
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the inventions claimed in the claims. Also, not all combinations of features described in the embodiments are essential to the means of solving the invention.
図1は、本実施形態に係る印刷装置100の構成を示す模式図である。印刷装置100は、主に、基台110、ステージ120、支柱130、推進ガイド140、ホルダ150、チャック160、吐出ノズル200、シリンダ300を備える。基台110は、ステージ120を移動可能に支持する。ステージ120は、鉛直方向であるz軸に直交するx軸方向とy軸方向へ並進移動、およびz軸周りに回転移動する。
FIG. 1 is a schematic view showing the configuration of the
基台110は、ステージ120を移動させるアクチュエータを備え、基台110とステージ120の間には、それぞれの移動を実現するガイド機構が設けられている。支柱130は、ステージ120の移動を妨げない位置に配置され、基台110をz軸方向へ移動可能に支える機構を有する。推進ガイド140は、支柱130の上部に設けられており、ホルダ150をx軸方向へ移動させるためのアクチュエータと移動機構を備える。なお、以降の説明においては、図示するように、鉛直方向をz軸方向、ホルダ150が移動する方向をx軸方向、z軸およびx軸に直交する方向をy軸方向とし、それぞれ矢印で示す方向を正の方向と定める。この定義に従い、必要に応じて以降の図中にも座標系を示す。
The
ホルダ150は、装着されたシリンダ300をz軸方向に沿うように固定する。シリンダ300は、金属粒子と溶剤からなるペースト材料を貯蔵する貯蔵空間を内部に有する。吐出ノズル200は、シリンダ300のうちステージ120に対向する一端側に着脱可能に装着される。吐出ノズル200は、シリンダ300に貯蔵されたペースト材料を、ステージ120側へ向けて吐出する。
The
スクリーンマスク510は、基板500に転写する導電パターンに対応するパターン孔511を有する。スクリーンマスク510は、基板500に位置合わせされて載置され、基板500と重ね合わされた状態でステージ120に設置されて、チャック160により固定される。ステージ120およびホルダ150の移動に同期して吐出ノズル200からペースト材料が吐出されることにより、パターン孔511にペーストが埋められて基板500上に導電パターンが形成される。基板500はその後加熱され、導電パターンは基板500上に安定的に固定される。なお、基板500上に形成される導電パターンは、一枚のスクリーンマスク510で一度に形成されなくても良く、スクリーンマスク510を交換しつつ、複数回に分けて形成してもよい。このとき、それぞれのスクリーンマスク510に適した吐出ノズル200をシリンダ300に装着してもよい。
The
基板500上に導電パターンを形成する一連の動作は、制御部700によって実行される。制御部700には、主に、ノズルユニット710、位置センサ720、駆動ユニット730、取得部740が接続されている。
A series of operations for forming the conductive pattern on the
ノズルユニット710は、シリンダ300および吐出ノズル200に設置され、ペースト材料を吐出/停止するスイッチング機構、シリンダ300に貯蔵されたペースト材料の容量を検出する容量センサ等を含む。制御部700は、例えば、ノズルユニット710へ制御信号を送ることにより、吐出ノズル200からペースト材料を吐出するタイミングを制御する。
The
位置センサ720は、ステージ120と吐出ノズル200の吐出開口の相対的な位置関係を検出するためのセンサである。具体的には、基台110に対するステージ120の移動量、推進ガイド140に対するホルダ150の移動量を、例えばレーザ距離計やロータリエンコーダの出力から算出する。あるいは、シリンダ300の先端部に例えばCCD撮像センサから成る画像センサを備え、その取得画像から直接的にスクリーンマスク510に対する吐出ノズル200の吐出開口の相対位置を算出してもよい。これらの位置情報は、制御部700からの要求に応じて、制御部700へ送信される。
The
駆動ユニット730は、上述のアクチュエータとこれを駆動するための駆動回路を含み、吐出ノズル200の吐出開口を、スクリーンマスク510の特定位置に移動させるためのユニットである。駆動ユニット730は、制御部700から制御信号を受け、アクチュエータを駆動制御する。
The
取得部740は、スクリーンマスク510に設けられたパターン孔511に対応する導電パターン情報を外部機器から取得するインターフェースである。例えばCAD装置から導電パターンのCADファイルを取得する。制御部700は、取得部740で取得された導電パターン情報に基づいて、ペースト材料の塗出制御を行う。
The
なお、上記の印刷装置100の構成は一例であって、吐出ノズル200からスクリーンマスク510にペースト材料を吐出して導電パターンを形成する印刷装置であれば、他にも様々な構成を採用し得る。例えば、吐出ノズル200の吐出開口の向きを変えられるようにホルダ150にシリンダ300を回転させる機構を設けてもよい。更にホルダ150をy方向にも並進移動できるように構成すれば、ステージ120の移動機構を排除して、固定ステージにすることもできる。
The configuration of the
次に、本実施形態に係る吐出ノズル200について詳細に説明する。図2は、吐出ノズル200の構造と機能を説明するための説明図である。図2(a)は、吐出ノズル200をy軸負側から観察した側面図であり、内部構造の一部を点線で示すと共に、スクリーンマスク510と基板500の一部を断面で示している。図2(b)は、吐出ノズル200をx軸正側から観察した正面図であり、図2(a)と同様に、内部構造の一部を点線で示すと共に、スクリーンマスク510と基板500の一部を断面で示している。
Next, the
吐出ノズル200は、大きく分類すると、シリンダ300と接続される接続バー210と、吐出開口を有する吐出ヘッド220とからなる。接続バー210は、円柱形状をなし、吐出ヘッド220は、箱形形状をなし、吐出ノズル200は、全体としてちりとり型の形状をなす。
The
接続バー210は、その内部に、シリンダ300から供給されたペースト材料を吐出ヘッド220へ流通させる接続管211を有する。接続バー210は、吐出ヘッド220と接続されていない側の先端部がシリンダ300に設けられた装着口301に挿入され、装着ネジ302で締着されることにより、シリンダ300に固定される。接続バー210がシリンダ300に固定されると、接続管211がシリンダ300の貯蔵空間と接続される。
The
吐出ヘッド220は、その内部に、接続バー210から供給されたペースト材料を基板500側へ向けて吐出させるための内管221を有する。内管221は、詳しくは後述するが、吐出ヘッド220を構成する各部材に囲まれた空間として形成されている。ペースト材料が吐出ヘッド220から外部へ吐出される吐出開口は、略矩形をなす。内管221は、ペースト材料が略矩形の吐出開口から均一に吐出されるように、接続管211と接続される導入部分から吐出開口へ向かってy軸方向に徐々に広がりを持つ空間として形成されている。
The
吐出ヘッド220は、接続バー210に対して傾斜して形成されている。具体的には、吐出ノズル200がシリンダ300に装着されたときに、内管221の伸延方向とスクリーンマスク510の表面のなす角θが90度または鋭角となるように、吐出ヘッド220が傾斜されている。また、具体的には後述するが、本実施形態において吐出ノズル200はx軸正方向へ向かって移動されるときにペースト材料を吐出するように制御されるので、吐出ノズル200は、この移動方向に対して内管221の伸延方向が鋭角となるように、シリンダ300に装着される。
The
吐出開口から吐出されたペースト材料は、スクリーンマスク510のパターン孔511に流し込まれ、ペースト400として基板500上に導電パターンを形成する。導電パターンの最小線幅は、デザインルールごとにそれぞれ予め規定されている。導電パターンの最小線幅に対応するパターン孔511の孔幅Pは、いずれのデザインルールが採用されたかにより、そのデザインルールに従って決定されている。そこで、それぞれの孔幅Pに対応するように、吐出開口形状の異なる複数の吐出ノズル200が用意される。
The paste material discharged from the discharge opening is poured into the
本実施形態においては、パターン孔511の孔幅がPであれば、Pよりも大きい開口幅Wを有する吐出ノズル200を選択して装着する。すなわち、移動方向に直交する長さである吐出開口の開口幅Wは、導電パターンの線幅に対応するパターン孔511の孔幅Pよりも大きい。このようなスクリーンマスク510と吐出ノズル200の組み合わせにより、一度の掃引移動により一定幅のラインパターンを形成できるので、ペーストの境界面における接合不良を抑制することができる。
In the present embodiment, if the hole width of the
図3は、吐出ヘッド220の構造を示す分解斜視図である。吐出ヘッド220は、主に、前方部材222、後方部材223、枠部材224から構成される。前方部材222は、移動方向に対して前側に位置する略板状部材である。後方部材223は、移動方向に対して後側に位置する、略板状部材である。図示するように、それぞれ、吐出開口側に向かって先端側が若干徐々に板薄になるように形成されている。
FIG. 3 is an exploded perspective view showing the structure of the
枠部材224は、主に、側板224a、天板224b、隔壁板224cから構成される。側板224aは、前方部材222と後方部材223のそれぞれの両側面(xz平面と平行な面)に密着する。天板224bは、前方部材222と後方部材223のそれぞれの上面に密着する。隔壁板224cは、前方部材222と後方部材223が互いに一定の距離を置いて対向するように、それぞれの対向面の一部に密着する。換言すると、隔壁板224cは、前方部材222と後方部材223に挟み込まれる。
The
前方部材222と後方部材223が枠部材224に組み込まれて一体化されると、内部には主に前方部材222、後方部材223、側板224a、隔壁板224cに囲まれた空間が形成され、当該空間が上述の内管221として機能する。このとき、前方部材222、後方部材223、側板224aのそれぞれの先端は、吐出開口を形成する。
When the
前方部材222の吐出開口をなす先端は、後方部材223の吐出開口をなす先端よりも、スクリーンマスク510の表面から離れる方向である上側(z軸正側)に位置するように配置される。換言すると、前方部材222の先端と前方部材222の先端よりも突出する後方部材223の先端とによって吐出開口が形成されており、前方部材222が前側、後方部材223が後側となるように、制御部700は、吐出ノズル200を移動して、ペースト材料をスクリーンマスク510のパターン孔511に吐出する制御を実行する。
The tip forming the discharge opening of the
ここで、前方部材222の先端と後方部材223の先端の、スクリーンマスク510の表面に対する離間量C(z軸方向の距離)は、0.1mm以上1mm以下であることが好ましい。換言すると、後方部材223の先端をスクリーンマスク510の表面に接触させた場合に、前方部材222の先端がスクリーンマスクの表面から0.1mm以上1mm以下の間隙を有することが好ましい。このように間隙を設定することにより、間隙を設定しない場合に比較して、ペースト材料が吐出ヘッド220の後方側へ回り込むことを抑制することができ、ひいては、廃棄するペースト材料を少なくすることができる。なお、ペースト材料をより前側に寄せるべく、前方部材222の先端は、側方部材としての側板224aの先端よりも、スクリーンマスク510の表面から離れる方向である上側(z軸正側)に位置するように配置されることが好ましい。
Here, the separation amount C (distance in the z-axis direction) between the tip of the
このように、ペースト材料の無駄を抑制するために、本実施形態においては、吐出ノズル200がペースト材料を吐出するときには、移動方向に対して前方部材222が前方となるように吐出ノズル200を移動させる。具体的には、制御部700は、推進ガイド140がホルダ150をx軸正方向へ移動させるときに、またはステージ120をx軸負方向へ移動させるときに、ペースト材料を吐出させる。
As described above, in order to suppress waste of the paste material, in the present embodiment, when the
次に、吐出ヘッド220の変形例について説明する。例えば、前方部材222の先端側を後方部材223方向に対して接近および離間できるように、前方部材222と枠部材224の間にヒンジ機構を設け、駆動力を与える駆動機構を設ければ、吐出開口を閉じたり、開口面積を可変にしたり制御できる。吐出開口を閉じれば、ペースト材料の吐出を停止させることができ、開口面積を変更すれば、吐出量を調整することができる。駆動機構としては、例えば、圧電素子を貼着してその変形により前方部材222を変位させる機構を採用し得る。駆動機構は、その他にも前方部材222を形状記憶合金で形成するなど、種々の機構を採用し得る。
Next, a modification of the
図4は、他の実施例における吐出ヘッド820の構造を示す斜視図である。吐出ヘッド820は、主に、前方部材822、後方部材823、枠部材824から構成される。図3で説明した吐出ヘッド220とは、前方部材822が3分割され、それぞれが駆動される点で異なる。前方部材822は、y軸方向に3つのフラップ(第1フラップ822a、第2フラップ822b、第3フラップ822c)に分割されている。そして、それぞれの先端側が、後方部材823方向に対して接近および離間できるように構成されている。制御部700は、それぞれに設けられた駆動機構を制御することにより、吐出開口を部分的に閉じたり、それぞれに対応する開口部からの吐出量を調整したりすることができる。図4においては、第2フラップ822bは閉じるが、第1フラップ822aおよび第3フラップ822cは閉じない状態を示す。なお、本例においても、内管211は、第1フラップ822aから第3フラップ822cまでy軸方向において共通してよい。
FIG. 4 is a perspective view showing the structure of the
次に印刷装置100を用いて、基板500上に導電パターンを印刷する印刷方法の手順について説明する。図5は、印刷方法の手順を示すフロー図である。
Next, the procedure of the printing method for printing the conductive pattern on the
使用者は、ステップS101において、基板500にスクリーンマスク510を位置合わせして載置し、その状態を保って、ステップS102でステージ120に載せ、チャック160で固定する。
In step S101, the user aligns and mounts the
使用者は、ステップS103で、ステージ120に載せたスクリーンマスク510のパターン孔511の最小線幅に最適な吐出ノズル200を選択し、ホルダ150に固定されたシリンダ300に、当該吐出ノズル200を装着する。使用者が印刷装置100に印刷開始の指示を与えると、制御部700は、ステップS104からの工程を実行する。
In step S103, the user selects the
制御部700は、ステップS104で、取得部740を介してスクリーンマスク510に対応する導電パターンデータを取得する。そして、吐出ノズル200がx軸正方向に移動する場合にペースト材料を吐出すればパターン孔511を埋められるように、ステージ120とホルダ150の移動計画を策定する。
In step S104, the
移動計画の策定が完了したら、制御部700は、ステップS105で、吐出開口がスクリーンマスク510上の初期位置に到達するように、ステージ120とホルダ150を駆動する。そして、ステップS106へ進み、移動計画に従ってペースト材料の吐出、および、ステージ120とホルダ150の移動を同期させつつ、導電パターンを形成する制御を実行する。制御部700による策定計画に沿った制御が完了すると、基板500上に導電パターンが印刷され、一連の手順が終了する。
After the movement plan has been formulated, the
以上、本実施形態における印刷装置100を説明したように、吐出ノズル200は、シリンダ300に装着されて、全体として印刷装置を形成する。また、別の観点からは、着脱可能な吐出ノズル200は、スクリーンマスク510の孔幅Pに合わせて選択され得るので、これら組み合わされた吐出ノズル200とスクリーンマスク510は、印刷装置100に利用される印刷用工具とも言える。
As described above, as described above, the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 Although the present invention has been described above using the embodiments, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or improvements can be made to the above embodiments. It is clear from the description of the claims that such modified or improved forms may also be included in the technical scope of the present invention.
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of operations, procedures, steps, steps, etc. in the devices, systems, programs, and methods shown in the claims, specification, and drawings is particularly "before" and "prior to". It should be noted that it can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Even if the scope of claims, the specification, and the operation flow in the drawings are explained using "first," "next," etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It's not a thing.
100 印刷装置、110 基台、120 ステージ、130 支柱、140 推進ガイド、150 ホルダ、160 チャック、200 吐出ノズル、210 接続バー、211 接続管、220 吐出ヘッド、221 内管、222 前方部材、223 後方部材、224 枠部材、224a 側板、224b 天板、224c 隔壁板、300 シリンダ、301 装着口、302 装着ネジ、400 ペースト、500 基板、510 スクリーンマスク、511 パターン孔、700 制御部、710 ノズルユニット、720 位置センサ、730 駆動ユニット、740 取得部、820 吐出ヘッド、822 前方部材、822a 第1フラップ、822b 第2フラップ、822c 第3フラップ、823 後方部材、824 枠部材 100 printing equipment, 110 base, 120 stage, 130 columns, 140 propulsion guide, 150 holder, 160 chuck, 200 discharge nozzle, 210 connection bar, 211 connection pipe, 220 discharge head, 221 inner pipe, 222 front member, 223 rear Member, 224 frame member, 224a side plate, 224b top plate, 224c partition plate, 300 cylinder, 301 mounting port, 302 mounting screw, 400 paste, 500 board, 510 screen mask, 511 pattern hole, 700 control unit, 710 nozzle unit, 720 position sensor, 730 drive unit, 740 acquisition unit, 820 discharge head, 822 front member, 822a first flap, 822b second flap, 822c third flap, 823 rear member, 824 frame member
Claims (13)
前記吐出ノズルは、
前記スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置する前方部材と、
前記移動方向に対して後側に位置する後方部材と、
前記前方部材と前記後方部材との間に位置する側方部材と
前記前方部材、前記後方部材および前記側方部材によって囲まれる内管とを有し、
前記前方部材の吐出開口をなす先端は、前記後方部材の前記吐出開口をなす先端よりも、前記スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置し、
前記内管は、
前記ペースト材料が導入される導入部分を有し、
前記導入部分から前記吐出開口に向かって前記スクリーンマスクの表面上における前記移動方向と直交する方向に徐々に広がりを持つ印刷装置。 Printing in which a discharge nozzle for discharging a paste material is provided in a hole of a screen mask superimposed on a substrate, and a conductive pattern is printed on the surface of the substrate by moving the discharge nozzle relatively on the surface of the screen mask. It ’s a device,
The discharge nozzle
A front member located on the front side of the surface of the screen mask with respect to the moving direction,
A rear member located on the rear side with respect to the moving direction,
It has a side member located between the front member and the rear member, and an inner pipe surrounded by the front member, the rear member, and the side member.
The tip of the front member forming the discharge opening is located above the tip of the rear member forming the discharge opening in a direction away from the surface of the screen mask.
The inner tube
It has an introduction portion into which the paste material is introduced
A printing device that gradually spreads from the introduction portion toward the ejection opening in a direction orthogonal to the moving direction on the surface of the screen mask.
前記吐出ノズルは、
前記スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置する前方部材と、
前記移動方向に対して後側に位置する後方部材と、
前記前方部材と前記後方部材との間に側方部材と
を有し、
前記前方部材の吐出開口をなす先端は、前記後方部材の前記吐出開口をなす先端よりも、前記スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置し、
前記前方部材の前記吐出開口をなす先端は、前記側方部材の前記吐出開口をなす先端よりも、前記スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置する印刷装置。 A discharge nozzle for discharging the paste material is provided in the hole of the screen mask overlapped on the substrate, and the paste material is discharged while the discharge nozzle is relatively moved on the surface of the screen mask to discharge the paste material on the surface of the substrate. A printing device that prints conductive patterns on a paste
The discharge nozzle
A front member located on the front side of the surface of the screen mask with respect to the moving direction,
A rear member located on the rear side with respect to the moving direction,
It has a side member and a side member between the front member and the rear member.
The tip of the front member forming the discharge opening is located above the tip of the rear member forming the discharge opening in a direction away from the surface of the screen mask.
A printing device located above the tip of the front member having the discharge opening, which is away from the surface of the screen mask, with respect to the tip of the side member having the discharge opening .
前記吐出ノズルは、
前記スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置する前方部材と、
前記移動方向に対して後側に位置する後方部材と
を有し、
前記前方部材の吐出開口をなす先端は、前記後方部材の前記吐出開口をなす先端よりも、前記スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置し、
前記移動方向に直交する長さである前記吐出開口の幅は、前記導電パターンの線幅に対応する前記孔部の幅よりも大きい印刷装置。 A discharge nozzle for discharging the paste material is provided in the hole of the screen mask overlapped on the substrate, and the paste material is discharged while the discharge nozzle is relatively moved on the surface of the screen mask to discharge the paste material on the surface of the substrate. A printing device that prints conductive patterns on a paste
The discharge nozzle
A front member located on the front side of the surface of the screen mask with respect to the moving direction,
With the rear member located on the rear side with respect to the moving direction
Have,
The tip of the front member forming the discharge opening is located above the tip of the rear member forming the discharge opening in a direction away from the surface of the screen mask.
A printing apparatus in which the width of the ejection opening, which is a length orthogonal to the moving direction, is larger than the width of the hole corresponding to the line width of the conductive pattern .
前記吐出ノズルは、
前記スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置する前方部材と、
前記移動方向に対して後側に位置する後方部材と、
前記前方部材を前記後方部材方向に対して接近および離間させる駆動機構と
を有し、
前記前方部材の吐出開口をなす先端は、前記後方部材の前記吐出開口をなす先端よりも、前記スクリーンマスクの表面から離れる方向である上側に位置し、
前記吐出ノズルは、前記スクリーンマスクの表面上における前記移動方向と直交する方向に複数のフラップに分割されていて、
前記複数のフラップは、前記複数のフラップを前記後方部材に対して接近および離間させる前記駆動機構をそれぞれ有する印刷装置。 A discharge nozzle for discharging the paste material is provided in the hole of the screen mask overlapped on the substrate, and the paste material is discharged while the discharge nozzle is relatively moved on the surface of the screen mask to discharge the paste material on the surface of the substrate. A printing device that prints conductive patterns on a paste
The discharge nozzle
A front member located on the front side of the surface of the screen mask with respect to the moving direction,
A rear member located on the rear side with respect to the moving direction,
With a drive mechanism that brings the front member closer to and away from the direction of the rear member
Have,
The tip of the front member forming the discharge opening is located above the tip of the rear member forming the discharge opening in a direction away from the surface of the screen mask.
The discharge nozzle is divided into a plurality of flaps on the surface of the screen mask in a direction orthogonal to the moving direction.
The plurality of flaps are printing devices each having the driving mechanism for bringing the plurality of flaps closer to and further from the rear member .
前記基板に重ねて設置され、前記導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有するスクリーンマスクと、
前記スクリーンマスクの表面において前記ペースト材料を前記孔部に吐出するように移動される移動方向に対して後方に位置する後方部材の吐出開口をなす先端が、前記移動方向に対して前方に位置する前方部材の前記吐出開口をなす先端よりも突出する吐出ノズルと
を含み、
前記吐出ノズルは、
前記スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置する前方部材と、
前記移動方向に対して後側に位置する後方部材と、
前記前方部材と前記後方部材との間に位置する側方部材と
前記前方部材、前記後方部材および前記側方部材によって囲まれる内管と
を有し、
前記内管は、
前記ペースト材料が導入される導入部分を有し、
前記導入部分から前記吐出開口に向かって前記スクリーンマスクの表面上における前記移動方向と直交する方向に徐々に広がりを持つ印刷用工具。 A printing tool used in a printing device that supplies a paste material and prints a conductive pattern on the surface of a substrate.
A screen mask that is placed on the substrate and has holes corresponding to at least a part of the conductive pattern.
On the surface of the screen mask, the tip forming the discharge opening of the rear member located rearward with respect to the moving direction moved so as to discharge the paste material into the hole is located forward with respect to the moving direction. Including a discharge nozzle protruding from the tip of the front member forming the discharge opening.
The discharge nozzle
A front member located on the front side of the surface of the screen mask with respect to the moving direction,
A rear member located on the rear side with respect to the moving direction,
It has a side member located between the front member and the rear member, and an inner pipe surrounded by the front member, the rear member, and the side member.
The inner tube
It has an introduction portion into which the paste material is introduced
A printing tool that gradually spreads from the introduction portion toward the discharge opening in a direction orthogonal to the moving direction on the surface of the screen mask.
前記導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有するスクリーンマスクを前記基板に載置する載置工程と、
前記スクリーンマスクの表面上における移動方向に対して前記第1部材の先端が前側、前記第2部材の先端が後側となるように前記吐出ノズルを移動して、前記ペースト材料を前記孔部に吐出する吐出工程と
を有し、
前記吐出ノズルは、
前記スクリーンマスクの表面において移動される移動方向に対して前側に位置する前方部材と、
前記移動方向に対して後側に位置する後方部材と、
前記前方部材と前記後方部材との間に位置する側方部材と
前記前方部材、前記後方部材および前記側方部材によって囲まれる内管と
を有し、
前記内管は、
前記ペースト材料が導入される導入部分を有し、
前記導入部分から前記吐出開口に向かって前記スクリーンマスクの表面上における前記移動方向と直交する方向に徐々に広がりを持つ印刷方法。 A discharge nozzle having a first member and a second member facing each other and having a discharge opening formed by the tip of the first member and the tip of the second member protruding from the tip of the first member is used. This is a printing method in which a paste material is supplied and a conductive pattern is printed on the surface of a substrate.
A mounting step of mounting a screen mask having holes corresponding to at least a part of the conductive pattern on the substrate, and
The discharge nozzle is moved so that the tip of the first member is on the front side and the tip of the second member is on the rear side with respect to the moving direction on the surface of the screen mask, and the paste material is placed in the hole. It has a discharge process and discharge
The discharge nozzle
A front member located on the front side of the surface of the screen mask with respect to the moving direction,
A rear member located on the rear side with respect to the moving direction,
It has a side member located between the front member and the rear member, and an inner pipe surrounded by the front member, the rear member, and the side member.
The inner tube
It has an introduction portion into which the paste material is introduced
A printing method in which a printing method gradually spreads from the introduction portion toward the ejection opening in a direction orthogonal to the moving direction on the surface of the screen mask.
前記導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有するスクリーンマスクを前記基板に載置する載置工程と、
前記スクリーンマスクの表面上における移動方向に対して前記第1部材の先端が前側、前記第2部材の先端が後側となるように前記吐出ノズルを移動して、前記ペースト材料を前記孔部に吐出する吐出工程とを有し、
前記ペースト材料が流通する前記吐出ノズルの内管の伸延方向が前記移動方向の側に傾斜するように前記吐出ノズルを設置して前記吐出工程を行う印刷方法。 A discharge nozzle having a first member and a second member facing each other and having a discharge opening formed by the tip of the first member and the tip of the second member protruding from the tip of the first member is used. This is a printing method in which a paste material is supplied while the discharge nozzle is relatively moved to print a conductive pattern on the surface of a substrate.
A mounting step of mounting a screen mask having holes corresponding to at least a part of the conductive pattern on the substrate, and
The discharge nozzle is moved so that the tip of the first member is on the front side and the tip of the second member is on the rear side with respect to the moving direction on the surface of the screen mask, and the paste material is placed in the hole. It has a discharge process and discharge
A printing method in which the discharge nozzle is installed so that the extension direction of the inner pipe of the discharge nozzle through which the paste material flows is inclined toward the moving direction, and the discharge step is performed .
前記導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有するスクリーンマスクを前記基板に載置する載置工程と、
前記スクリーンマスクの表面上における移動方向に対して前記第1部材の先端が前側、前記第2部材の先端が後側となるように前記吐出ノズルを移動して、前記ペースト材料を前記孔部に吐出する吐出工程とを有し、
前記吐出工程は、一度の掃引により前記導電パターンの線幅に対応する前記孔部の幅を埋めるように前記ペースト材料を吐出する印刷方法。 A discharge nozzle having a first member and a second member facing each other and having a discharge opening formed by the tip of the first member and the tip of the second member protruding from the tip of the first member is used. This is a printing method in which a paste material is supplied while the discharge nozzle is relatively moved to print a conductive pattern on the surface of a substrate.
A mounting step of mounting a screen mask having holes corresponding to at least a part of the conductive pattern on the substrate, and
The discharge nozzle is moved so that the tip of the first member is on the front side and the tip of the second member is on the rear side with respect to the moving direction on the surface of the screen mask, and the paste material is placed in the hole. It has a discharge process and discharge
The ejection step is a printing method in which the paste material is ejected so as to fill the width of the hole corresponding to the line width of the conductive pattern by one sweep .
前記吐出工程は、前記駆動機構を駆動させることにより、前記ペースト材料の吐出量を調整する請求項8から11のいずれか1項に記載の印刷方法。 The discharge nozzle has a drive mechanism for bringing the first member closer to and further from the direction of the second member.
The printing method according to any one of claims 8 to 11 , wherein the discharge step adjusts the discharge amount of the paste material by driving the drive mechanism.
前記導電パターンの少なくとも一部に対応する孔部を有するスクリーンマスクを前記基板に載置する載置工程と、
前記スクリーンマスクの表面上における移動方向に対して前記第1部材の先端が前側、前記第2部材の先端が後側となるように前記吐出ノズルを移動して、前記ペースト材料を前記孔部に吐出する吐出工程とを有し、
前記吐出ノズルは、前記第1部材を前記第2部材方向に対して接近および離間させる駆動機構を有し、
前記吐出工程は、前記駆動機構を駆動させることにより、前記ペースト材料の吐出量を調整し、
前記第1部材は、前記スクリーンマスクの表面上における前記移動方向と直交する方向に複数のフラップに分割されていて、
前記複数のフラップは、前記複数のフラップを前記第2部材に対して接近および離間させる前記駆動機構をそれぞれ有する印刷方法。 A discharge nozzle having a first member and a second member facing each other and having a discharge opening formed by the tip of the first member and the tip of the second member protruding from the tip of the first member is used. This is a printing method in which a paste material is supplied while the discharge nozzle is relatively moved to print a conductive pattern on the surface of a substrate.
A mounting step of mounting a screen mask having holes corresponding to at least a part of the conductive pattern on the substrate, and
The discharge nozzle is moved so that the tip of the first member is on the front side and the tip of the second member is on the rear side with respect to the moving direction on the surface of the screen mask, and the paste material is placed in the hole. It has a discharge process and discharge
The discharge nozzle has a drive mechanism for bringing the first member closer to and further from the direction of the second member.
In the discharge step, the discharge amount of the paste material is adjusted by driving the drive mechanism.
The first member is divided into a plurality of flaps in a direction orthogonal to the moving direction on the surface of the screen mask.
A printing method in which the plurality of flaps each have a drive mechanism for bringing the plurality of flaps closer to and further from the second member .
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