JP6786297B2 - 検査装置、検査装置の制御方法、およびプログラム - Google Patents

Description

本発明は、光を被検体上で走査して該被検体のデータを得る検査装置、該検査装置の制御方法、およびプログラムに関する。

現在、検査装置の一つとして、被検眼の画像等のデータを得るために、共焦点レーザー走査検眼鏡（ＳＬＯ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｌａｓｅｒ Ｏｐｈｔｈａｌｍｏｓｃｏｐｅ）が適用されている。このＳＬＯに代表される眼科撮影装置（検査装置の一態様）では、２種類のスキャナからなる走査光学系を用いて照明光を被検眼上で２次元走査することで画像を取得している。この時、２次元走査の主走査方向にはレゾナントスキャナ（共振型スキャナ）を、副走査方向にはガルバノスキャナを用いることが一般的である。

近年このようなＳＬＯ装置に代表される眼科撮影装置では、被検眼の診断を良好に行うために、データの取得から画像生成に至る動作に関して、高フレームレート化および高リフレッシュレート化が求められている。また、同時に、実際に眼底の詳細を検査する際に用いる、高解像度且つ歪の少ない画像の提供も求められている。

特許文献１に開示する構成では、レゾナントスキャナとガルバノスキャナとによる構成において、レゾナントスキャナを往復走査することによって画像生成における高解像度化を達成している。また、後述する眼底上でのデータ取得位置と表示画面上の対応画素とのずれに関しては、副走査線上の２つのデータから、該２つのデータ取得位置の中間であって対応するデータが存在しない画素のデータを計算によって求めている。これによりデータ取得位置と対応画素とのずれを考慮する必要を無くし、歪のない画像を提供している。

ここで、往復走査とは、主走査方向で照明光の走査を行う場合、走査時の往路と復路の両方で情報の取得を行うことをいう。また、高フレームレート化は、表示画面に表示される画像一枚をデータより生成する際の単位時間当たりのフレーム数で表されるフレームレートの高速化をいう。高リフレッシュレート化は、例えば動画として連続的に表示画面に表示されている画像を、第一の画像から次のタイミングの第二の画像に置き換える際の置き換え速度であるリフレッシュレートの高速化をいう。

特開２０１４−６８７０３号公報

被検眼は、固視微動と称される運動を繰り返している。このため、画像取得時において、被検眼の固視微動を検出し、この固視微動に応じて照明光の走査位置を補正する眼底追尾（眼底トラッキング）を行う必要がある。その際、固視微動に素早く反応するためにも高フレームレート化および高リフレッシュレート化による眼底追尾の応答性向上は重要である。また、実際の検査において、ちらつきの少ない視認性のよい動画像の提供も求められており、この観点からも、画像生成のためのデータ取得、および画像の生成における更なる高フレームレート化および高リフレッシュレート化が望まれる。

ここで、レゾナントスキャナとガルバノスキャナとを用いた走査系よりデータ取得を試みる場合、照明光の往復走査と飛び越し走査とを同時に行うことで、高解像度化と併せて高フレームレート化を達成することも可能である。なお、飛び越し走査とは、データ取得範囲を複数の行に分け、例えば奇数行からなるフィールドからのデータ取得と、偶数行からなるフィールドからのデータ取得とを交互に行う、照明光の走査様式をいう。

特許文献１に開示される構成ではこの飛び越し走査については言及されておらず、従って飛び越し走査により得たデータから画像を生成する際の留意点についても示唆されていない。また、上述したデータ取得位置と対応画素とのずれへの対処として特許文献１に開示される技術の場合、データを算出する画素の配置を中心として副走査方向で等距離にある２つのデータ取得位置のデータを用いている。このため、その際にこれら２つのデータ間の距離が大きくなった場合には、求めた画素のデータが実際を反映できずに、所謂ボケた画像が生成される可能性も考えられる。

本発明は以上の状況に鑑みて、照明光を走査して画像歪を低減した被検体の画像を生成する際に、高フレームレート化を進めた検査装置を提供する。

上記課題を解決するために本発明の一実施態様による検査装置は
照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、
前記被検体において前記主走査方向とは交差する副走査方向で前記照明光を等速で走査する第二の走査部材と、
前記第一の走査部材と前記第二の走査部材とにより、前記被検体におけるデータ取得範囲において前記照明光を第一フィールドで２次元走査させ、前記データ取得範囲において前記第一フィールドとは異なる第二フィールドで前記照明光を２次元走査させる走査制御手段と、
前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの各々において、前記照明光の前記被検体からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を設定する取得位置設定手段と、
前記副走査方向に等間隔に配置された新たな位置のデータを生成するために、前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの前記データ取得位置のうち、前記新たな位置に近い順の少なくとも二つのデータ取得位置にて取得された前記データを選択する選択手段と、
前記選択されたデータより生成された前記新たな位置のデータを用いて前記被検体の画像を生成する画像生成手段と、を有し、
前記第一の走査部材は、前記照明光を反射するミラーと、前記ミラーにより前記照明光を反射して前記データ取得範囲で走査する際に、走査速度に加減速を生じさせるように前記ミラーを駆動する部材とからなることを特徴とする。

本発明によれば、照明光を走査して画像歪を低減した被検体の画像を生成する際に、高フレームレート化を進めた検査装置を提供できる。

本発明の実施例１に係るＳＬＯ装置の構成を示す概略図である。 本発明の実施例１に係る画像取得の流れを示したフローチャートである。 図１に示す構成における補正用フォトダイオード上の照明光の走査を説明する図である。 図１に示す構成におけるレゾナントスキャナの主走査方向の走査位置と時間との関係を示す図と、補正用フォトダイオードが出力する信号を示す図である。 奇数フィールドの走査軌跡とサンプリングポイントとを例示する図である。 奇数フィールドおよび偶数フィールドの各々の走査軌跡およびサンプリングポイントと、副走査方向の画像歪の補正のための所望のサンプリングポイントとの位置関係示す図である。 本発明の実施例２に係る動画の画像取得の流れを示したフローチャートである。

上述したように、レゾナントスキャナを用いた走査光学系では、往復走査により情報取得を行うことで高解像度化が進められる。これに対し、高フレームレート化は、照明光の飛び越し走査を行い、奇数フィールドおよび偶数フィールドの各々で画像を取得することで達成することができる。以下に述べる実施例では、この飛び越し走査と往復走査とを併せて行うことにより、高フレームレート化に併せて高解像度化を達成し、歪の少ない高精細な画像を提供する。

ここで、例えば眼底における照明光の飛び越し走査とは、走査領域を主走査方向（横方向）と副走査方向（縦方向）とでます目状に定義した場合、１行目、３行目、５行目…と、主走査方向で一行おきに照明光を走査することをいう。奇数フィールドはこの１、３、５…行の走査を行うフィールドをいい、偶数フィールドは２、４、６…行の走査を行うフィールドをいう。両フィールドより得られたデータを合せることにより、走査領域の全てのデータが得られる。奇数フィールドにおける往復走査の場合、１、５、９…行目が照明光による往路の走査に対応し、３、７、１１…行目が照明光による復路の走査に対応する。なお、ここでは、説明の都合上、奇数フィールドにおける各行と偶数フィールドにおける各行とは、副走査方向において同じ幅を有することとしている。しかし、偶数フィールドは奇数フィールドに対して副走査方向に任意の距離ずらして設定されていればよい。換言すれば、奇数フィールドを第一フィールド、偶数フィールドを第二フィールドとし、更なる例えば第三フィールドを設定する等、フィールドを更に設定してもよい。即ち、奇数フィールドでの照明光の走査の終了後、次のフィールドでの照明光の走査を行うために照明光の照射位置（走査開始位置）を副走査方向にずらすが、該ずらし量は奇数フィールド一行分のずらし量である必要はない。

一フレームの画像は、これら奇数フィールドおよび偶数フィールド各々より得たデータを合成し、得られたデータから生成している。このように、以下の実施例では、照明光の飛び越し走査により眼底上の異なる二つのフィールドからデータを得て画像の生成と更新とを行う。また、照明光の走査における往路と復路との両方からデータを得ることも併せることにより、高フレームレート化を達成する。より詳細には、特許文献１では往復走査によってデータ取得範囲の全ての行のデータを得ていたが、本実施例では奇数フレームの往復走査と偶数フレームの往復走査とを行うことにより全ての行のデータを得ることとしている。

以下、本発明を実施するための例示的な実施例を、図面を参照して詳細に説明する。ただし、以下の実施例で説明する形状、或いは構成要素の相対的な位置等は任意であり、本発明が適用される装置の構成又は様々な条件に応じて変更できる。また、図面において、同一であるか又は機能的に類似している要素を示すために図面間で同じ参照符号を用いる。

（実施例１）
図１は本発明の実施例１に係るＳＬＯ装置の構成の概略図である。なお本発明の適用対象はＳＬＯ装置に限られない。例えば、ＯＣＴ装置やＡＯ−ＳＬＯ装置など被検眼で照明光（測定光）を走査する、特にレゾナントスキャナにより走査する形式の眼科撮影装置等の検査装置に適用できる。

図１に示すＳＬＯ装置は、データ取得部１００、システム部１０１、および表示部１０２を有する。データ取得部１００は、照明光を被検眼（本実施例では眼底Ｅｒ）上で走査することにより、輝度情報等の眼底Ｅｒに関するデータを取得する。システム部１０１は、データ取得部１００を制御し、該データ取得部１００より得たデータに基づいてＳＬＯ画像を生成する。表示部１０２は、システム部１０１によって生成されたＳＬＯ画像を表示する。なお、本実施例では各部が独立して配置される構成を例示しているが、システム部１０１と表示部１０２とを一体化する等、配置条件等に応じて各部を適宜一体化してもよい。また、ＯＣＴ装置等、他の装置と全体的に或いは部分的に組み合わせてもよい。

まず、データ取得部１００の構成について説明する。被検眼に対向する光路Ｌ１上には、対物レンズ１、ガルバノスキャナ２、レゾナントスキャナ３、レンズ４および５、ミラー６、およびＳＬＯ光源８が順次配置されている。ミラー６の反射光軸上には、フォトダイオード７が配置されている。これら光学要素は、眼底Ｅｒに対するＳＬＯ光学系を構成している。

レンズ４は、ＳＬＯ光学系の焦点合わせのために、図中矢印にて示される光軸方向に対して、不図示のモータによって駆動される。ＳＬＯ光源８は、７８０ｎｍ付近の波長の光を照明光として射出する。フォトダイオード７は、照明光により照明された眼底Ｅｒからの戻り光を検出する。ミラー６は、穴あきミラーや、中空のミラーに金属等が蒸着されたプリズムからなり、ＳＬＯ光源８より射出された照明光と、眼底Ｅｒからの戻り光とを分離する。

ＳＬＯ光源８から発せられた照明光は、ミラー６を通過し、レンズ５および４を通り、レゾナントスキャナ３およびガルバノスキャナ２によって眼底Ｅｒ上で走査される。眼底Ｅｒからの戻り光は、照明光と同じ経路を戻った後にミラー６によって反射され、フォトダイオード７へと導かれる。

ガルバノスキャナ２およびレゾナントスキャナ３は、ＳＬＯ光源８から発せられた照明光を眼底Ｅｒ上で走査する走査光学系を構成する。レゾナントスキャナ３は眼底Ｅｒ上で照明光を主走査方向（Ｘ方向）に、ガルバノスキャナ２は眼底Ｅｒ上で照明光を副走査方向（Ｙ方向）に其々走査する。レゾナントスキャナ３は、共振周波数で高速に振動するミラーにより照明光を偏向させることで、照明光を眼底Ｅｒ上において主走査方向にライン状に走査することができる。ガルバノスキャナ２は、等速直線運動で動作して、レゾナントスキャナ３によって主走査方向に偏向させた光を、更に副走査方向に偏向させる。このようなレゾナントスキャナ３およびガルバノスキャナ２によって、照明光を眼底Ｅｒ上で２次元に走査することができる。

なお、レゾナントスキャナ３は、照明光を反射するミラーと、該ミラーを軸中心に振動させる部材とから一般的に構成される。該部材は、該ミラーにより照明光を反射して眼底Ｅｒ上で走査する際に、走査速度に加減速を生じさせて該ミラーを駆動する。当該レゾナントスキャナ３は、環境変動などの影響によりその共振周波数（振動の周期）や振幅といった走査状態が変化することが知られている。本実施例では、補正用フォトダイオード９が、レゾナントスキャナ３の走査状態を検知するために配置されている。該補正用フォトダイオード９は、レゾナントスキャナ３およびガルバノスキャナ２により照明光を眼底Ｅｒ上で２次元に走査する際にＸＹの座標面で定義される走査範囲とは重ならない位置に配置されている。補正用フォトダイオード９を用いたレゾナントスキャナ３の走査状態の検知の詳細については、画像取得のフローを説明する際に後述する。

システム部１０１は、データ取得部１００を制御する制御部１０とＳＬＯ画像を生成する画像生成部１１から構成されている。制御部１０は、ガルバノスキャナ２、レゾナントスキャナ３、レンズ４、フォトダイオード７、ＳＬＯ光源８、および補正用フォトダイオード９を制御する。画像生成部１１は、フォトダイオード７から取得されたデータに基づいて、ＳＬＯ画像を生成する。表示部１０２は、画像生成部１１で生成されたＳＬＯ画像を表示する。

次に、上述したデータ取得部１００、システム部１０１、および表示部１０２から構成されるＳＬＯ装置における画像取得の際に実行される工程の流れを、図２のフローチャートを用いて説明する。また、個々のステップにおける詳細については、図３〜図６を参照して適宜説明する。当該フローチャートは本実施例１に係る検査装置の制御方法の一態様を構成し、該フローチャートの各ステップは該制御方法の各工程を構成する。

ステップＳ２０１では、レゾナントスキャナ３により照明光を補正用フォトダイオード９上で走査する。具体的には、制御部１０が、レゾナントスキャナ３の駆動を開始させると共に、ガルバノスキャナ２を補正用フォトダイオード９に対応する副走査方向の所定の角度に位置させる。その後、制御部１０は、ＳＬＯ光源８を点灯させる。以上の操作により、ＳＬＯ光源８からの照明光は、図３に示すような走査軌跡１３で、補正用フォトダイオード９上で主走査方向に複数回往復走査される。

なお、図３は、補正用フォトダイオード９上での照明光の走査を説明する図であって、併せて補正用フォトダイオード９と、眼底Ｅｒにおけるデータの取得範囲の、該補正用フォトダイオード９を含んで光軸に垂直な面上での対応面との関係を示している。即ち、図に示す取得範囲１２は、照明光で眼底Ｅｒを２次元走査する時のＸＹ面上のデータの取得範囲に対応する。補正用フォトダイオード９は、ステップＳ２０１において実行される１次元走査の際の走査軌跡１３と眼底Ｅｒの２次元走査の際のデータ取得範囲である取得範囲１２とが重ならない位置に配置される。

走査軌跡１３上での照明光の走査時、レゾナントスキャナ３による照明光の主走査方向の走査位置と時間との関係は図４（ａ）に示すような正弦波動作となる。ステップＳ２０１では、照明光を補正用フォトダイオード９上で複数回往復走査するが、図４（ａ）はその複数回の往復走査のうちの一部分を示している。図４（ａ）中の縦軸における点ｐは、主走査方向における補正用フォトダイオード９の位置を示している。同図によれば、補正用フォトダイオード９は、タイミングｔ１、ｔ２、およびｔ１’でＳＬＯ光源８からの照明光を受光する。図４（ｂ）は、補正用フォトダイオード９が該照明光を受光した際に出力する信号を示している。

次にステップＳ２０２にて、ステップＳ２０１において補正用フォトダイオード９が出力する信号のタイミングｔ１、ｔ２、およびｔ１’を使って、制御部１０がレゾナントスキャナ３の動作を推定する。推定では次の式（１）が用いられる。

ここでＰｘはレゾナントスキャナ３の主走査方向の走査位置、Ａはレゾナントスキャナ３の振幅、ｔは時間を示す。更に、Ｔはレゾナントスキャナ３の振動周期を示し、Ｔ＝ｔ１‘−t１で表わされる。また、Ｂは、レゾナントスキャナ３が１周期毎に出力する同期信号のタイミングｔ０とレゾナントスキャナ３の往路と復路の切り替わりのタイミングとの差分を示す。正弦波動作の山と谷とにおいて、レゾナントスキャナ３の往路と復路とが切り替わっている。

以上の式（１）における（ｔ、Ｐｘ）に対して（ｔ１、ｐ）および（ｔ２、ｐ）を代入した２本の方程式を解くことによって、上述した定数ＡおよびＢを求めることができる。従って、式（１）によってレゾナントスキャナ３の動作を推定することができる。以上に述べた、補正用フォトダイオード９、および該補正用フォトダイオード９からの出力に基づいてレゾナントスキャナ３の振動の周期の検出を行う制御部１０の対応するモジュールは、本実施例での周期検出手段を構成する。また、同様にこれら構成は、レゾナントスキャナ３の振動の振幅を検出する際には、本実施例での振幅検出手段を構成する。

次に、ステップＳ２０３にて、制御部１０が以降のステップＳ２０４および２０５で実行する奇数フィールドおよび偶数フィールドにおけるデータのサンプリングタイミングを決定する。その際、上述したステップＳ２０２で求めたレゾナントスキャナ３の動作の推定結果が使われる。例えば、不図示の主走査方向ｐｘ１の地点におけるＳＬＯ画像（データ）を取得する際のサンプリングタイミングは、式（１）にＰｘ＝ｐｘ１を代入してｔに対して解くことで得られる。１フレームのＳＬＯ画像において主走査方向でデータを取得したい全ての位置に対して上述の計算を其々行うことによって、全てのデータ取得のためのサンプリングタイミングを得ることが可能となる。本実施例では、奇数フィールドと偶数フィールドとにおけるデータ取得位置が、副走査方向において直線上に並ぶようにサンプリングタイミング（データ取得のタイミング）が決定される。また、眼底上でのこのデータ取得位置として、推定されたレゾナントスキャナ３の動作に基づいて、後述する図６に示される交差位置が求められる。

次に、ステップＳ２０４にて、制御部１０は眼底Ｅｒに対し飛び越し走査における奇数フィールドの走査を行う。上述したように、ステップＳ２０１からステップＳ２０３では、ガルバノスキャナ２を補正用フォトダイオード９に対応する副走査方向の所定の角度に位置させていた。ステップＳ２０４では、ガルバノスキャナ２を副走査方向に等速直線運動させることで、レゾナントスキャナ３とガルバノスキャナ２による照明光の２次元走査が行われる。

図５は、ステップＳ２０４で行われる、奇数フィールドにおける照明光の走査における走査軌跡とそのサンプリングポイントとを例示したものである。同図において、走査軌跡は実線で描かれており、サンプリングポイントは黒丸で示されている。同図中、サンプリングポイントＯ１１の左からＯ１７の右にかけては右向きの矢印に示される走査軌跡を示す。また、サンプリングポイントＯ３７の右からＯ３１の左にかけては左向きの矢印に示される走査軌跡を示す。図中の矢印の向きを見るとレゾナントスキャナ３の往路と復路が、走査軌跡の右端と左端とにおいて切り替わっていることが分かる。なお、図中の黒丸で示される点は、眼底Ｅｒにおけるデータの取得領域における奇数フィールドのサンプリングポイントを示す。同図において、上述したように、往復走査にて黒丸が往路と復路の両方に存在するように、レゾナントスキャナ３の往路と復路の両方よりデータの取得がされている。なお、図中の一点鎖線Ｍ１は、レゾナントスキャナ３による照明光の主走査範囲における主走査方向の中心を示している。

取得された奇数フィールド全てのサンプリングポイントは、主走査方向に等間隔でサンプリングされている。これは、ステップＳ２０３で所望のサンプリングポイントが得られるようなサンプリングタイミングを計算し、当該計算に基づくサンプリングが行われることによる。しかし、副走査方向におけるサンプリングポイントの間隔は、等間隔に配置されていない。これは時間に応じてレゾナントスキャナ３の動作が図４に示した正弦波状で変化していることが影響している。

続くステップＳ２０５にて、制御部１０は眼底Ｅｒに対し飛び越し走査における偶数フィールドの走査を行う。この時、制御部１０は、奇数フィールドと偶数フィールドの走査位置が重複しないように、奇数フィールドに対し偶数フィールドの走査位置を副走査方向に所定量ずらす。なお、本実施例における所定量は、表示部１０２に表示される画像における副走査方向の画素列の間隔と対応し、主走査範囲の中央の副走査線上において交互に並ぶ奇数フィールドおよび偶数フィールドのサンプリングポイントの間隔と、略等しい。

図６はステップＳ２０４およびステップＳ２０５で走査された奇数フィールドおよび偶数フィールドの走査軌跡およびサンプリングポイントを示している。図６上で奇数フィールドの走査軌跡は実線で示されており、ステップＳ２０４で行われた照明光の走査軌跡を示している。これに対し、偶数フィールドの走査軌跡は破線で示されており、ステップＳ２０５で行われた照明光の走査軌跡を示している。また、奇数フィールドおよび偶数フィールドの各々でのサンプリングポイントは、其々黒丸および白丸で示されている。具体的には、同図中、黒丸Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３、Ｐ３３、Ｐ３２、Ｐ３１、Ｐ５１、Ｐ５２、…が奇数フィールドのサンプリングポイントを示している。また、白丸Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ２３、Ｐ４３、Ｐ４２、Ｐ４１、…が偶数フィールドのサンプリングポイントを示している。

ここで、図６に示される主走査方向の中心に位置する一点鎖線Ｍ１上のサンプリングポイントに着目すると、奇数フィールドのサンプリングポイントと偶数フィールドのサンプリングポイントとの副走査方向の間隔が、等間隔になっている。具体的には、黒丸Ｐ１１、白丸Ｐ２１、黒丸３１、白丸Ｐ４１および黒丸Ｐ５１のサンプリングポイントの間隔は、全て等しい距離になっている。このようにオフセットさせる所定量を適切な値にすることによって、眼底上のサンプリングポイントと該サンプリングポイントと対応する表示画面中の画素をずれなく対応させることができる。この結果、主走査方向の中心において、副走査方向で画像が歪まないようにすることができる。

しかし、主走査方向の中心から離れた一点鎖線Ｍ２およびＭ３に着目すると、副走査方向のサンプリングポイントの間隔は等間隔ではないことがわかる。具体的には、黒丸Ｐ１２、白丸Ｐ２２、黒丸Ｐ３２、白丸Ｐ４２および黒丸Ｐ５２のサンプリングポイントの間隔は等間隔ではなく、サンプリングポイントにより異なっている。サンプリングポイントが副走査方向に等間隔ではないということは、ＳＬＯ画像が副走査方向で歪むということを意味する。また、同図によれば、主走査方向の中心から離れるにつれて副走査方向でのサンプリング間隔は等間隔からはずれていき、副走査方向の画像歪も大きくなることが想定される。なお、ここで等間隔ではないとはサンプリングポイント間の間隔が複数（本実施例では３）種類となることをいい、等間隔でなくなっていくとはこの複数種類の間隔の相違がより大きくなっていくことをいう。

ステップＳ２０６にて、画像生成部１１は上述したステップＳ２０４およびステップＳ２０５で発生するこの副走査方向の歪を補正して１フレームの画像の生成を行う。本実施例では、上述したように副走査方向の歪は一点鎖線Ｍ１上に発生しておらず、一点鎖線Ｍ２およびＭ３上に発生している。従って、本ステップＳ２０６で行われる副走査方向の歪の補正は、一点鎖線Ｍ２およびＭ３上にてサンプリングされたデータに対して実行される。なお、サンプリングされたデータは対応する画素における輝度値等の画素値としてＳＬＯ画像の生成に用いられる。また補正においても当該データは画素値として求められる。よって、以降の説明において、補正されて得られるデータを画素値として述べる。

ここで、上述したように、一点鎖線Ｍ１上の各サンプリングポイントに関しては、表示画面の画素と位置的にずれることなく対応してデータを得ることができている。この一点鎖線Ｍ１上の各サンプリングポイントを通り一点鎖線Ｍ１と直交する点線と、一点鎖線Ｍ２およびＭ３と各々交差する位置を、図６に併せて示している。これら交差位置に関しては、全て表示画面において位置的に対応する画素が存在する。従って、副走査方法の歪の補正は、実際に取得されたサンプリングポイントのデータから副走査方向に等間隔に配置されたこれら交差位置での画素値を推定することにより行われる。本実施例では、一点鎖線Ｍ２上の場合、実際に取得された黒丸Ｐ１２、白丸Ｐ２２、黒丸Ｐ３２、白丸Ｐ４２および黒丸Ｐ５２のサンプリングポイントのデータから、交差位置Ｐ１２’、Ｐ２２’、Ｐ３２’、Ｐ４２’およびＰ５２’での各々の画素値を推定する。なお、これら交差位置は、画像歪を補正するためのデータを生成する新たな位置として、画像生成部１１によってあらかじめ設定されていることが好ましい。

以下、具体的に、一点鎖線Ｍ２上の交差位置Ｐ２２’の画素値を推定する場合を例として説明する。画素値の推定は、式（２）に示す１次式を使って行われる。式（２）においてＰｙはサンプリングポイントの副走査方向の座標位置（一点鎖線Ｍ２上の座標位置）、ＥはＰｙにおける画素値、ＣとＤは係数を示している。

この式（２）に実際に取得されたサンプリングデータの中から、交差位置Ｐ２２’に対して近い側から順に２点のサンプリングポイントのデータを選択し代入する。なお、この時、これら２点のサンプリングポイントを、時系列において連続してデータ取得が行われた奇数フィールドおよび偶数フィールドより、フィールドを問わずに選ぶ。

画素値或いはデータを推定する図６に白三角で示す交差位置と、図６に黒丸および白丸で示されているあらかじめ設定されている、同じ副走査線上の複数のサンプリングポイント全ての各々との距離が、求められる。また、これら複数の距離を比較して最も短い距離となるサンプリングポイントと次に短い距離となるサンプリングポイントとのデータを、歪補正に用いるデータとして選択する。なお、ここで述べる実施例では、距離の短い側から２つのサンプリングポイントのデータを用いることとしているが、３つ以上のデータを用いてもよい。ただし、オフセット量の値によっては、２つ目或いは３つ目のデータが交差位置に対して歪補正に用いるには距離的に離れすぎていることも考えられる。この場合、距離の閾値を設けて、画素値或いはデータを推定する交差位置から当該閾値以内の距離のサンプリングポイントのデータを選択することとしてもよい。

上述したように、２点のサンプリングポイントがどちらも奇数フィールドにあれば、２点ともに奇数フィールドから選べばよい。また、これら２点のサンプリングポイントが奇数フィールドおよび偶数フィールドの両フィールドに其々あれば、其々両フィールドから選べばよい。通常、飛び越し走査におけるデータの補正は、フィールド毎に行われ、補正に用いるデータの候補はそのフィールド内より選択される。これに対して、本実施例では、一枚の画像を生成するために設定された時系列的に連続する複数（本実施例では２つ）のフィールドの各々で得られた各データの全てについて、画素値推定に用いるデータ候補とすることとしている。

具体的に、交差位置Ｐ２２’を例とした場合、該交差位置Ｐ２２’に近い側から２点のサンプリングポイントは黒丸Ｐ１２と白丸Ｐ２２になる。従って、黒丸Ｐ１２と白丸Ｐ２２の副走査方向の座標位置および画素値を其々（Ｐｙ１２、Ｅ１２）および（Ｐｙ２２、Ｅ２２）とし、式（２）の（Ｐｙ、Ｅ）に代入する。得られた２つの方程式から、定数ＣおよびＤを求めることができる。なお、ここで実際に取得されたサンプリングポイントの座標位置は、制御部１０にて計算される。制御部１０は、ステップＳ２０２で推定されたレゾナントスキャナ３の動作、ステップＳ２０３で求められたサンプリングタイミング、およびガルバノスキャナ２の速度の関係に基づいて、該座標位置を計算する。

次に、求められた定数ＣおよびＤを使い、式（２）のＰｙに所望のサンプリングポイントである交差位置Ｐ２２’の副走査方向の座標位置Ｐｙ２２’を代入すると所望のサンプリングポイントの画素値Ｅ２２’を推定することができる。このように、所望するサンプリングポイントに最も近いサンプリングポイントのデータを両フィールド問わずに選択することができることから、上述した表示画面中の画素値の推定の精度を高くすることができる。

これに対し、上述したように、一般的な副走査方向の画像歪の補正は、フィールド毎に行われる。このため、補正されたデータを得るためには、そのフィールドにおいて該データを生成する位置に対して、そのフィールドを構成するサンプリングポイントの中から一番近い２点を選択せざるを得ない。従って、上述した本実施例の場合と比較して遠い点を選択せざるを得ない場合も起こる。例えば、図６で示した奇数フィールド中で交差位置Ｐ２２’の画素値を推定する場合には黒丸Ｐ１２と黒丸Ｐ３２の奇数フィールドの２点のサンプリングポイントのデータが選択される。その結果、画素値の推定の精度が低くなり、画像の歪やぼけを生じさせる原因となる。

なお、上述した例では、サンプリングポイントである黒丸Ｐ１２および白丸Ｐ２２の組み合わせを選択した。しかし、サンプリングポイントである白丸Ｐ２２および黒丸Ｐ３２の組み合せを選択した場合であっても、交差位置Ｐ２２’からこれら２点までの距離の和は、黒丸Ｐ１２と白丸Ｐ２２の組み合わせの場合の距離の和と等しいか或いは近い値となる。或いは交差位置Ｐ２２’から黒丸Ｐ１２までの距離と、黒丸Ｐ３２までの距離とは等しいか或いは近い値となる。従って、これらサンプリングポイントを選んだ場合であっても、同等に程度良く画素値を推定できるという効果を得ることができる。

以上に述べた交差位置Ｐ２２’の画素値の推定の方法を、他の所望の交差位置の全てについても適用し、各々の交差位置での画素値を推定する。例えば、交差位置Ｐ２３’の画素値は、サンプリングポイントである黒丸Ｐ１３および黒丸Ｐ３３のデータを用いて推定される。交差位置Ｐ３２’の画素値は、サンプリングポイントである黒丸Ｐ３２および白丸Ｐ４２のデータ或いは白丸Ｐ２２および黒丸Ｐ３２のデータを用いて推定される。即ち、奇数フィールドおよび偶数フィールドの両フィールドから、１フレームの画像における全ての交差位置での画素値を生成する。なお、本実施例では一点鎖線Ｍ１上の交差位置の画素値は推定する必要がないが、偶数フィールドを生成する際のオフセット量によっては、これら一点鎖線Ｍ１上に関しても、同様の処理が必要となる。

次に、ステップＳ２０７にて、制御部１０はステップＳ２０６で推定された画素値から生成された画像の表示を表示部１０２にて行う。なお、本実施例では、奇数フィールドおよび偶数フィールドのサンプリングポイントから生成されるフレームを交差位置からなるフレームに置き換え且つ該交差位置の画素値を推定された画素値することを歪の補正と称している。本実施例では、ステップＳ２０６にて画像生成部１１によるＳＬＯ画像の副走査方向の歪の補正が行われた結果、奇数フィールドおよび偶数フィールドの両フィールドの全データ使って１フレームの画像の歪が補正されることとなる。従って、ステップＳ２０７で生成され、表示部１０２に表示される画像は、１フィールド単位ではなく１フレーム単位となる。

以上説明したように、本実施例では、レゾナントスキャナ３とガルバノスキャナ２とからなる走査光学系を用い、照明光の往復走査かつ飛び越し走査による２つのフィールドよりデータを得て副走査方向において歪のない画像を生成している。具体的には、画素値を得るべき所望のサンプリングポイント（本実施例では交差位置と称した）に近い側の複数の位置のサンプリングポイントのデータを奇数フィールドと偶数フィールドとを問わずに使用して、所望のサンプリングポイントの画素値を推定している。この推定された画素値を用いて画像生成をすることにより、副走査方向の歪を高精度に補正した１フレームの画像を提供することができる。

例えば特許文献１では、レゾナントスキャナを用いて照明光を往復走査したことによって生じる画像の副走査方向の歪への対処を目的としている。しかし、開示される構成は、照明光が往復走査でかつ順次走査の場合に１フレームを得る毎に歪を補正している。このため、仮に往復走査かつ飛び越し走査を行う本実施例に開示されている手法を適用すると、歪補正の処理は１フィールド毎に実行されることになる。上述したように、特許文献１に開示される手法では、所望のサンプリング位置から副走査方向に等距離にあるサンプリングポイントのデータを用いて、該所望のサンプリングポイントの画素値を推定している。また、推定された画素値から構成されるフィールドから歪補正された画像を得ている。このため、用いるデータのサンプリングポイントが所望のサンプリングポイントから離れた場合も含まれており、この場合、歪補正後の画像が副走査方向でボケてしまう。ここで、例えば、奇数フィールドおよび偶数フィールドの各々のフィールドにおいてこの処理を行った後に、本実施例の如く、これらフィールドから新たに１フレームの画像を生成する場合を考える。この場合、ボケた部分が重ね合せられたような状態となるため、このボケは更に大きくなってしまう。上述したように、奇数フィールドと偶数フィールドのデータを適宜選択して画素値を求め、両フィールドから１フレームの画像生成を行うことにより、このような画像ボケを回避することができる。

なお上述した実施例１では、画素値を推定する際に、式（２）に示すように１次式を使ったが、３次式、５次式などのＮ次の式を用いることとしてもよい。その際、副走査方向に等間隔に配置された所望のサンプリングポイントに対して、該所望のサンプリングポイントに近い順にＮ＋１のサンプリングポイントを奇数フィールドおよび偶数フィールドを問わずに選ぶことで同等の効果を得ることができる。

また、本実施例では、奇数フィールドからのデータ取得を行った後、偶数フィールドからのデータ取得を行い、これら２つのフィールドのデータを用いて歪を補正した画像を生成している。しかしデータの取得順はこれに限定されず、入れ替えてもよい。即ち、時系列的に連続して取得された異なるフィールドのデータを用いて１フレームの画像を生成することとすれば、同様の効果が得られる。更に、本実施例では、偶数フィールドは奇数フィールドを図６上で紙面下側にオフセットさせることで生成している。しかし、紙面上側にオフセットさせて偶数フィールドを生成しても同様の効果を得ることができる。また、フィールドの数は奇数偶数により規定される２つに限定されず、更なるフィールドを有してもよい。以上より、本実施例の奇数フィールドは第一フィールド、偶数フィールドは第一フィールドとは異なる第二フィールドに対応する。

（実施例２）
上述した実施例１では、１フレームの静止画像を生成する場合について述べている。これに対して、以下に述べる実施例２は、動画像を生成する場合を対象とする。なお、本実施例２に係るＳＬＯ装置の構成は図１に示した実施例１の構成と同一の構成である。よって、以下に述べる実施例２は、実施例１と異なる処理の流れを示したフローチャートである図７を参照して説明する。また、図７中のフローチャートにおいて、実施例１において実行される処理と同一の処理を行うステップについては同一番号が付与されている。

実施例１では奇数フィールドおよび偶数フィールドを使い、副走査方向の歪が補正された１フレームの画像を生成するところまでを説明した。実施例２では、それを動画として連続的に生成し、表示することを目的とする。具体的には、図７に示すフローチャートにおいて、まず、制御部１０は、ステップＳ２０１からステップＳ２１２までの動作を一巡する。その後、以降ステップＳ２０８からステップＳ２１２までの奇数フィールドからのデータ取得、偶数フィールドからのデータ取得、および画像生成の制御部１０等による動作を繰り返している。なお、図７のフローチャートにおいて、Ｎはその繰り返し回数を示す。本実施例２で説明する動画は、眼科撮影装置では主に被検眼と装置との位置合わせの際に用いられる。

以下、各ステップで行われる動作の詳細について述べる。まず、制御部１０によりＳＬＯ動画像の生成の処理が開始されるとフローはステップＳ２０１に進む。実施例１と同様に、ステップＳ２０１およびステップＳ２０２にて、補正用フォトダイオード９上の照明光の走査によって得られたデータを用いて、制御部１０はレゾナントスキャナ３の動作を推定する。

続くステップＳ２０３にて、制御部１０がステップＳ２０４およびステップＳ２０５で行われる奇数フィールドおよび偶数フィールドでのサンプリングタイミングを決定する。サンプリングタイミングが決定されると、制御部１０により、実際にＳＬＯ動画を表示するための処理であるステップＳ２０８以降の動作にフローは進む。ＳＬＯの動画表示のために、ステップＳ２０４にて、奇数フィールドでのＮ回目の照明光の走査と該奇数フィールドからのデータの取得とが制御部１０によって行われる。続くステップＳ２０９にて、ステップＳ２０４で行われた奇数フィールドの照明光の走査およびデータ取得が２回目以上であるか否かの判定が、制御部１０によって行われる。

ステップＳ２０９においてＮが１であり１回目のデータ取得が行われたと制御部１０によって判定されると、フローはステップＳ２０５、ステップＳ２０６およびステップＳ２０７へと順次進む。その結果、１回目の奇数フィールドから得られたデータおよび１回目の偶数フィールドから得られたデータを用いて、画像生成部１１による副走査方向の歪が補正された１フレームの画像の生成、および表示部１０２によるその表示が行われる。これら各ステップで実行される動作は、実施例１で示した内容と同じである。

一方、ステップＳ２０９においてＮが２以上であり、奇数フィールドの照明光の走査およびデータ取得が２回目以降であると判定された場合、制御部１０によりフローはステップＳ２１０に進む。ステップＳ２１０にて、Ｎ回目の奇数フィールドから得たデータとＮ−１回目の偶数フィールドから得たデータとにより、画像生成部１１は、副走査方向の歪の補正を行った画像を生成する。本実施例では、奇数フィールドおよび偶数フィールドのデータが其々取得されていれば、副走査方向の歪を補正することができる。従って、一番最近に取得されたＮ回目の奇数フィールドのデータと、その１つ直前に取得されたＮ−１回目の偶数フィールドのデータとを使って副走査方向の歪を補正した画像の生成を行う。歪を補正した画像生成の詳細については実施例１の場合と同じであるのでここでの説明は省略する。

次に、ステップＳ２１１にて、ステップＳ２１０で副走査方向の歪が補正された１フレームの画像が、制御部１０によって表示部１０２により表示される。更に、次のステップＳ２０５にて、Ｎ回目の偶数フィールドでの照明光の走査とデータ取得とが行われる。これにより、続くステップＳ２０６にて、一番最近に取得されたＮ回目の奇数フィールドとＮ回目の偶数フィールドのデータがそろうことから、これらデータを用いた歪の補正が画像生成部１１により行われる。続くステップＳ２０７にて、ステップＳ２０６で副走査方向の歪が補正された１フレームの画像が、表示部１０２に表示される。

以降、ステップＳ２１２にてＳＬＯの動画生成が終了するまで、制御部１０等によってステップＳ２０８からステップＳ２１２までの処理が繰り返される。その結果、副走査方向の歪が補正された動画を、表示部１０２に表示をすることできる。以上に述べた動作に従って得られた画像を連続的に表示することにより、副走査方向で歪の抑制された動画像を高フレームレートで提供することが可能となる。

なお、上述した実施例では、レゾナントスキャナ３とガルバノスキャナ２とを照明光走査に用いるＳＬＯ装置を例として述べている。当該例では、レゾナントスキャナ３は、照明光を被検眼における主走査方向で往復走査する第一の走査部材を構成する。また、ガルバノスキャナ２は、被検眼において主走査方向とは交差する副走査方向で照明光を等速で走査する第二の走査部材を構成している。主走査方向と副走査方向とは実施例のように直交することが好ましいが、一定の角度により交差するように設定されていればそれでもよい。制御部１０は、走査制御手段として上述した両スキャナにより、照明光を被検眼におけるデータ取得範囲における奇数フィールドで２次元走査させ、且つデータ取得範囲における該奇数フィールドとは異なる偶数フィールドで２次元走査させる。フォトダイオード７および該フォトダイオードに上述したタイミングにて輝度等のデータを取得させる制御部１０のモジュールはデータ取得手段を構成する。また、制御部１０は更に、奇数フィールドおよび偶数フィールドの各々において、照明光の被検眼からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を定める取得位置設定手段を構成する。

また、画像生成部１１は、予め所望のサンプリングポイントとなるデータ生成位置を設定する生成位置設定手段を構成する。より詳細には、該画像生成部１１は、主走査方向において第一の間隔で配置され且つ副走査方向に第二の間隔で配置される、画像生成のための複数のデータ生成位置を設定する。上述した実施例では、第一の所定間隔がステップＳ２０３により決定されたサンプリングポイントの間隔と一致しているが、等間隔に設定されていればこれに限られない。また、データ生成位置における第二の間隔は、副走査方向に等間隔となるように設定される。画像生成部１１は更に、時系列的に連続する奇数フィールドおよび偶数フィールドにおいて設定されたデータ取得位置の、データ生成位置に近い順の少なくとも二つの位置で取得されたデータを選択する選択手段を構成する。画像生成部１１は、この選択されたデータによりデータ生成位置のデータを生成し、画像生成手段として、生成されたデータに基づいて被検体の画像を生成する。

制御部１０は、上述したように、ガルバノスキャナ２による照明光の等速直線走査時の走査速度と周期検出手段の出力に基づいて、オフセット量としての所定量を求める。更に、該制御部１０は、周期検出手段の出力と振幅検出手段の出力に基づいて、奇数フィールドおよび偶数フィールドから取得するデータが副走査方向に直線上に並ぶようにデータを取得するタイミングを定める。

なお上述した実施例では主走査方向にレゾナントスキャナを用いる例を示したが、照明光走査時に加減速が発生するガルバノスキャナ、音響光学素子（Ａｃｏｕｓｔｏ−Ｏｐｔｉｃ Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）やＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）スキャナを主走査方向に用いた場合でも本発明は適用できる。

また、上述した実施例では主走査方向で加減速が生じる走査手段により照明光の走査が行われ、副走査方向が等速直線運動を行う走査手段により照明光の走査が行われていた。 しかし、これら走査手段を入れ替え、主走査方向が等速直線運動での走査、副走査方向が加減速を生じさせる走査となる構成でも同様の効果を得ることができる。なお、この場合、図２に示したフローチャートを参照すると、ステップＳ２０４および２０５により副走査方向においてデータが等間隔に取得されることとなる。従って、ステップＳ２０６（およびステップＳ２１０）において主走査方向に歪を補正することとなる。

更に、本実施例では、副走査方向の画像歪を効果的に且つ軽い計算負荷によって抑制するために、データ生成位置と主走査方向上の同一位置で副走査方向に位置するデータ取得位置のデータを選択することとしている。しかし、主走査方向等、方向性を問わずに単に距離が近い方から少なくとも２つのサンプリングポイントのデータを、時系列的に連続してデータ取得した２つのフィールドから選択することとしてもよい。例えば図６においては、サンプリングポイントの主走査方向の距離に対して副走査方向の距離が短く例示されており、近い距離のサンプリングポイントは同一一点鎖線上の点に限定される。しかし、一点鎖線Ｍ１とＭ２との距離が実際にはもっと近い場合、例えば交差位置Ｐ２２’のデータを求めるために選択する候補を黒丸Ｐ１２、Ｐ１３、Ｐ３３、およびＰ３２のデータとし、これらから選択することとしてもよい。

（その他の実施例）
なお、上述した実施例では、本発明をＳＬＯ装置に用いた場合について述べているが、本発明の適用対象となる眼科装置はこれに限られない。上述したように、ＡＯ−ＳＬＯ装置や、ＯＣＴ（光干渉断層画像撮像）装置等、照明光（測定光）を被検眼で走査してデータを取得して画像生成を行う種々の眼科撮影装置においても用いることが可能である。

また、上述した実施例では、被検体が眼の場合について述べているが、眼以外の皮膚や臓器等の被検体に本発明を適用することも可能である。この場合、本発明は眼科撮影装置以外の、例えば内視鏡等の医療機器としての態様を有する。従って、本発明は眼科撮影装置に例示される検査装置として把握され、被検眼は被検体の一態様として把握されることが好ましい。

また、本発明は、以下のように装置を構成することによっても達成できる。即ち、上述した実施例の機能を実現するソフトウェアのプログラムコード（コンピュータプログラム）を記録した記録媒体（又は記憶媒体）をシステム或いは装置に供給することとしてもよい。また、該記録媒体の態様だけでなく、コンピュータの読み取り可能な記録媒体としてもよい。そして、そのシステム或いは装置のコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に格納されたプログラムコードを読み出し実行する。この場合、該記録媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した実施例の機能を実現することになり、そのプログラムコードを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。また、該実施例は、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

１００：データ取得部
１０１：システム部
１０２：表示部
Ｅｒ：眼底
２：ガルバノスキャナ
３：レゾナントスキャナ
７：フォトダイオード
８：ＳＬＯ光源
９：補正用フォトダイオード
１０：制御部
１１：画像生成部

Claims (11)

1. 照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、
   前記被検体において前記主走査方向とは交差する副走査方向で前記照明光を等速で走査する第二の走査部材と、
   前記第一の走査部材と前記第二の走査部材とにより、前記被検体におけるデータ取得範囲において前記照明光を第一フィールドで２次元走査させ、前記データ取得範囲において前記第一フィールドとは異なる第二フィールドで前記照明光を２次元走査させる走査制御手段と、
   前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの各々において、前記照明光の前記被検体からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を設定する取得位置設定手段と、
   前記副走査方向に等間隔に配置された新たな位置のデータを生成するために、前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの前記データ取得位置のうち、前記新たな位置に近い順の少なくとも二つのデータ取得位置にて取得された前記データを選択する選択手段と、
   前記選択されたデータより生成された前記新たな位置のデータを用いて前記被検体の画像を生成する画像生成手段と、を有し、
   前記第一の走査部材は、前記照明光を反射するミラーと、前記ミラーにより前記照明光を反射して前記データ取得範囲で走査する際に、走査速度に加減速を生じさせるように前記ミラーを駆動する部材とからなることを特徴とする検査装置。
2. 前記選択手段は、前記新たな位置と前記主走査方向における同一の位置で前記副走査方向に並ぶ前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの前記データ取得位置の、前記新たな位置に近い順の少なくとも二つの前記データ取得位置で取得されたデータを選択することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、
   前記被検体において前記主走査方向とは交差する副走査方向で前記照明光を等速で走査する第二の走査部材と、
   前記第一の走査部材と前記第二の走査部材とにより、前記被検体におけるデータ取得範囲において前記照明光を第一フィールドで２次元走査させ、前記データ取得範囲において前記第一フィールドとは異なる第二フィールドで前記照明光を２次元走査させる走査制御手段と、
   前記主走査方向において第一の間隔で配置され且つ前記副走査方向に第二の間隔で配置される、画像生成のための複数のデータ生成位置を設定する生成位置設定手段と、
   前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの各々において、前記照明光の前記被検体からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を設定する取得位置設定手段と、
   前記第一フィールドおよび前記第二フィールドにおいて設定された前記データ取得位置のうち、前記設定されたデータ生成位置に近い順の少なくとも二つの前記データ取得位置で取得されたデータを選択する選択手段と、
   前記選択されたデータにより生成された前記データ生成位置のデータを用いて前記被検体の画像を生成する画像生成手段と、を有し、
   前記第一の走査部材は、前記照明光を反射するミラーと、前記ミラーにより前記照明光を反射して前記データ取得範囲で走査する際に、走査速度に加減速を生じさせるように前記ミラーを駆動する部材とからなることを特徴とする検査装置。
4. 前記第一の間隔は前記取得位置設定手段により設定された前記主走査方向における前記データ取得位置の間隔であることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
5. 前記選択手段は、前記データ生成位置と前記主走査方向における同一の位置で前記副走査方向に並ぶ前記データ取得位置のうち、前記設定されたデータ生成位置に近い順の少なくとも二つの前記データ取得位置で取得されたデータを選択することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
6. 前記選択手段が選択する前記データは、時系列的に連続してデータが取得された前記第一フィールドおよび前記第二フィールドにおけるデータであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の検査装置。
7. 前記第一の走査部材の振動の振幅および周期を検出する検出手段を有し、
   前記検出手段の出力に基づいて、前記取得位置設定手段は前記第一フィールドおよび前記第二フィールドにおいて前記副走査方向に延びる直線上に並ぶように前記データ取得位置を設定することを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の検査装置。
8. 前記第一の走査部材はレゾナントスキャナであることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載の検査装置。
9. 照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、
   前記被検体において前記主走査方向とは交差する副走査方向で前記照明光を等速で走査する第二の走査部材と、
   前記第一の走査部材と前記第二の走査部材とにより、前記被検体におけるデータ取得範囲において前記照明光を第一フィールドで２次元走査させ、前記データ取得範囲において前記第一フィールドとは異なる第二フィールドで前記照明光を２次元走査させる走査制御手段と、を有し、
   前記第一の走査部材は、前記照明光を反射するミラーと、前記ミラーにより前記照明光を反射して前記データ取得範囲で走査する際に、走査速度に加減速を生じさせるように前記ミラーを駆動する部材とからなる検査装置の制御方法であって、
   前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの各々において、前記照明光の前記被検体からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を設定する工程と、
   前記副走査方向に等間隔に配置された新たな位置のデータを生成するために、前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの前記データ取得位置のうち、前記新たな位置に近い順の少なくとも二つのデータ取得位置にて取得された前記データを選択する工程と、
   前記選択されたデータより生成された前記新たな位置のデータを用いて前記被検体の画像を生成する工程と、を含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
10. 照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、
    前記被検体において前記主走査方向とは交差する副走査方向で前記照明光を等速で走査する第二の走査部材と、
    前記第一の走査部材と前記第二の走査部材とにより、前記被検体におけるデータ取得範囲において前記照明光を第一フィールドで２次元走査させ、前記データ取得範囲において前記第一フィールドとは異なる第二フィールドで前記照明光を２次元走査させる走査制御手段と、を有し、
    前記第一の走査部材は、前記照明光を反射するミラーと、前記ミラーにより前記照明光を反射して前記データ取得範囲で走査する際に、走査速度に加減速を生じさせるように前記ミラーを駆動する部材とからなる検査装置の制御方法であって、
    前記主走査方向において第一の間隔で配置され且つ前記副走査方向に第二の間隔で配置される、画像生成のための複数のデータ生成位置を設定する工程と、
    前記第一フィールドおよび前記第二フィールドの各々において、前記照明光の前記被検体からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を設定する工程と、
    前記第一フィールドおよび前記第二フィールドにおいて設定された前記データ取得位置のうち、前記設定されたデータ生成位置に近い順の少なくとも二つの前記データ取得位置で取得されたデータを選択する工程と、
    前記選択されたデータにより生成された前記データ生成位置のデータを用いて前記被検体の画像を生成する工程と、を含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
11. 請求項９又は１０に記載の検査装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。

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