JP6779576B2 - 粘着テープ、被加工物の加工方法、及び粘着テープ貼着装置 - Google Patents

Description

本発明は、板状の被加工物に貼られる粘着テープ、この粘着テープを用いる被加工物の加工方法、及び粘着テープを被加工物に貼るための粘着テープ貼着装置に関する。

半導体ウェーハをはじめとする板状の被加工物を加工する際には、例えば、被加工物よりも径の大きい粘着テープを被加工物に貼り、また、この粘着テープの外周部に環状のフレームを固定して、フレームユニットを形成する。フレームユニットを形成することで、搬送、加工時の衝撃等から被加工物を保護し、更に、加工後の被加工物の取り扱い易さを高められる。

フレームユニットは、例えば、被加工物よりも低い位置までフレームが引き落とされた状態でチャックテーブルに保持される（例えば、特許文献１、及び特許文献２参照）。このように、被加工物よりも低い位置でフレームを保持すれば、加工に使用される切削ブレードや研削ホイール等の工具とフレームとの干渉を防いで、被加工物を効率良く加工できる。

粘着テープは、通常、ポリオレフィン（ＰＯ）やポリ塩化ビニール（ＰＶＣ）等の材料を用いて形成されており、ある程度の伸長性を有している。一方で、加工時に被加工物の温度が高くなるような場合には、耐熱性の高いポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の材料を用いて形成された粘着テープが用いられることもある。

実開平５−７４１４号公報 特開２００９−１４１２３１号公報

しかしながら、上述のような耐熱性の高い粘着テープは伸長性に劣るので、この粘着テープが用いられたフレームユニットでは、被加工物よりも低い位置までフレームを引き落とすことができない。そのため、例えば、切削ブレードを用いて被加工物を切削する際には、フレームと切削ブレードとの干渉を避けるような動作が必要になり、加工の効率が落ちていた。また、研削ホイールを用いて被加工物を研削する際には、そもそも、フレームと研削ホイールとの干渉が避けられない。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物よりも低い位置までフレームを引き落として保持できる新たな粘着テープ、この粘着テープを用いる被加工物の加工方法、及び粘着テープを被加工物に貼るための粘着テープ貼着装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、板状の被加工物に貼着される中央部と、環状のフレームに貼着される外周部と、該中央部と、該外周部と、の間に配置され、該中央部に比べて伸長性の高い環状の伸長部と、を備え、被加工物を保持する保持面と、該保持面より低い位置において該フレームを保持するためのフレーム保持部と、を備えるチャックテーブルで、被加工物と、該フレームと、を保持する際に用いられる粘着テープが提供される。

本発明の一態様において、該中央部の大きさは、該保持面の大きさ以下であることが好ましい。

また、本発明の一態様において、該外周部と、該中央部と、該伸長部と、は、いずれも、基材層と、接着層と、を有し、該中央部の該基材層は、ポリエチレンテレフタレートを用いて形成されており、該伸長部の該基材層は、ポリオレフィン又はポリ塩化ビニールを用いて形成されていることが好ましい。

本発明の別の一態様によれば、該粘着テープの該中央部を被加工物に貼着し、該外周部を該フレームに貼着してフレームユニットを形成するフレームユニット形成ステップと、被加工物を保持する該保持面と、該保持面より低い位置において該フレームを保持するための該フレーム保持部と、を備えるチャックテーブルで、該フレームユニットを保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの被加工物を加工する加工ステップと、を備える被加工物の加工方法が提供される。

また、本発明の別の一態様によれば、環状のフレームと、該フレームの開口内に配置される板状の被加工物と、に粘着テープを貼着してフレームユニットを形成する粘着テープ貼着装置であって、該フレームの該開口内に被加工物が配置された状態で、被加工物と、該フレームと、を支持する支持台と、被加工物に貼着される円形の第１粘着テープを支持する第１テープ支持部と、該被加工物に対して該第１粘着テープを押し付ける第１ローラと、該第１粘着テープの外周縁と、該フレームと、に貼着され、該第１粘着テープに比べて伸長性が高い環状の第２粘着テープを支持する第２テープ支持部と、該フレームに対して該第２粘着テープを押し付ける第２ローラと、該被加工物と、第１粘着テープと、が対面する第１対面位置と、該フレームと、該第２粘着テープと、が対面する第２対面位置と、の間で、該支持台と、該第１テープ支持部と、該第２テープ支持部と、を相対的に移動させる移動ユニットと、を備える粘着テープ貼着装置が提供される。

本発明の一態様に係る粘着テープは、板状の被加工物に貼着される中央部と、環状のフレームに貼着される外周部との間に配置され、中央部に比べて伸長性の高い環状の伸長部を備えている。そのため、この粘着テープの伸長部を伸長させることで、被加工物よりも低い位置までフレームを引き落として保持できる。また、この粘着テープを用いる加工方法によれば、加工に使用される工具とフレームとの干渉を避けて、被加工物を効率良く適切に加工できる。

更に、本発明の一態様に係る粘着テープ貼着装置は、支持台に支持される被加工物と第１テープ支持部に支持される円形の第１粘着テープとが対面する第１対面位置と、支持台に支持されるフレームと第２テープ支持部に支持される環状の第２粘着テープとが対面する第２位置と、の間で支持台と第１テープ支持部と第２テープ支持部とを相対的に移動させる移動ユニットを備えている。そのため、上述した粘着テープを含むフレームユニットを簡単に形成できる。

図１（Ａ）は、粘着テープの構成例及び使用態様を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、粘着テープの構成例及び使用態様を模式的に示す断面図である。 粘着テープ貼着装置の構成例を模式的に示す平面図である。 図３（Ａ）は、フレームユニット形成ステップで環状の第２粘着テープが貼られる様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図３（Ｂ）は、フレームユニット形成ステップで円形の第１粘着テープが貼られる様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図３（Ｃ）は、フレームユニットが完成した状態を模式的に示す一部断面側面図である。 図４（Ａ）は、保持ステップを模式的に示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、フレームユニットがチャックテーブルに保持された状態を模式的に示す斜視図である。 加工ステップを模式的に示す一部断面側面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１（Ａ）は、本実施形態に係る粘着テープ１の構成例及び使用態様を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、粘着テープ１の構成例及び使用態様を模式的に示す断面図である。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る粘着テープ１は、例えば、その中央部１ａを板状の被加工物１１に貼って（貼着して）用いられる。

被加工物１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）や炭化珪素（ＳｉＣ）、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）等の材料でなる円盤状のウェーハであり、その表面１１ａ側は、格子状に配列された加工予定ライン（ストリート）１３で複数の領域に区画されている。各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等のデバイス１５が形成されている。

なお、本実施形態では、シリコンや炭化珪素、サファイア等の材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１として用いることもできる。同様に、デバイス１５の種類、数量、大きさ、配置等にも制限はない。

このように構成される被加工物１１の裏面１１ｂ側に、粘着テープ１の中央部１ａが貼られる。一方で、粘着テープ１の外周部１ｂは、被加工物１１を囲むように配置された環状のフレーム１７に貼られる。すなわち、フレーム１７の開口１７ａ内に被加工物１１を配置した状態で、被加工物１１及びフレーム１７に粘着テープ１が貼られ、この粘着テープ１を介して被加工物１１とフレーム１７とが一体になったフレームユニット２１が形成される。

粘着テープ１は、例えば、円形の第１粘着テープ３と、第１粘着テープ３の外周縁に内周縁が貼られた環状の第２粘着テープ５とで構成されている。第１粘着テープ３及び第２粘着テープ５は、ともに、フィルム状の基材層と、接着力を示す接着層とを有している。第１粘着テープ３の接着層は、第１粘着テープ３の表面３ａ側に設けられている。第２粘着テープ５の接着層は、第２粘着テープ５の表面５ａ側に設けられている。

第１粘着テープ３の基材層は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用いて形成されており、伸長性（又は伸縮性）は高くないが、耐熱性に優れている。一方、第２粘着テープ５の基材層は、例えば、ポリオレフィン（ＰＯ）又はポリ塩化ビニール（ＰＶＣ）を用いて形成されており、第１粘着テープ３の基材層と比べて耐熱性に劣るが、伸長性は高い。

第１粘着テープ３及び第２粘着テープ５の接着層は、例えば、熱や光（代表的には、紫外線）等の刺激によって硬化する樹脂を用いて形成される。ただし、第１粘着テープ３及び第２粘着テープ５の材料に特段の制限はない。少なくとも、第１粘着テープ３に比べて第２粘着テープ５の伸長性が高くなるように材料が選択されれば良い。同様に、第１粘着テープ３及び第２粘着テープ５の厚さ等の条件も、この伸張性の関係を満たす範囲で任意に設定できる。

被加工物１１に貼られる粘着テープ１の中央部１ａは、主に、第１粘着テープ３でなる円形の領域である。上述のように、第１粘着テープ３には、耐熱性に優れる基材層が用いられているので、この中央部１ａを被加工物１１に貼ることで、加工時に被加工物１１の温度が高くなるような場合でも、被加工物１１を適切に保持できる。また、第１粘着テープ３の基材層に弾性率の高いポリエチレンテレフタレートを用いる場合には、加工時に粘着テープ１が変形し難くなるので、被加工物１１の撓み等を抑制して良好に加工できるようになる。

一方で、フレーム１７に貼られる粘着テープ１の外周部１ｂは、第２粘着テープ５の外周側に位置する環状の領域である。また、第２粘着テープ５（外周部１ｂ）の内周側に位置する環状の領域は、中央部１ａに比べて伸長性の高い伸長部１ｃであり、例えば、被加工物１１よりも低い位置までフレーム１７を引き落としてフレームユニット２１を保持する際に伸長される。

次に、上述した粘着テープ１を被加工物１１と環状のフレーム１７とに貼って、フレームユニット２１を形成する際に用いられる粘着テープ貼着装置について説明する。図２は、粘着テープ貼着装置２の構成例を模式的に示す平面図である。図２に示すように、本実施形態の粘着テープ貼着装置２は、被加工物１１とフレーム１７とを支持するための支持台４を備えている。この支持台４には、支持台４を移動させるボールねじ式の移動ユニット６（図３（Ａ）等参照）が連結されている。

支持台４は、平面視で円形の被加工物支持領域４ａ（図３（Ａ）等参照）と、被加工物支持領域４ａを囲む平面視で環状のフレーム支持領域４ｂ（図３（Ａ）等参照）と、をその上面側に有している。被加工物１１とフレーム１７とに対して粘着テープ１を貼る際には、被加工物支持領域４ａによって被加工物１１が支持され、フレーム支持領域４ｂによってフレーム１７が支持される。

被加工物支持領域４ａとフレーム支持領域４ｂとの間には、第１粘着テープ３の外周縁と第２粘着テープ５の内周縁とを貼り合わせる際に、これらを支持するためのテープ支持領域４ｃが形成されている。テープ支持領域４ｃは、被加工物支持領域４ａ及びフレーム支持領域４ｂより高い位置に設けられており、被加工物１１に貼られる第１粘着テープ３の外周縁と、フレーム１７に貼られる第２粘着テープ５の内周縁とを適切な高さで支持する。

なお、このテープ支持領域４ｃに対して第１粘着テープ３や第２粘着テープ５が接着し難くなるように、テープ支持領域４ｃ（上面）をフッ素樹脂等で処理しておくと良い。これにより、第１粘着テープ３と第２粘着テープ５とを貼り合わせるために上方から圧力を掛けた場合等でも、第１粘着テープ３や第２粘着テープ５をテープ支持領域４ｃから簡単に剥がせるようになる。

支持台４の上方には、帯状の第１保持シート７を支持するための円柱状の第１繰り出しローラ（第１テープ支持部）８が配置されている。第１繰り出しローラ８は、例えば、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって所定の回転軸の周りに回転する。

第１保持シート７の一方の面には、第１粘着テープ３の裏面側が密着、保持される。また、第１保持シート７は、第１粘着テープ３の裏面側に密着する一方の面が外側を向くように（すなわち、第１粘着テープ３の表面３ａが外側を向くように）円筒状の芯（不図示）に巻回されている。

この芯の内側の空間に第１繰り出しローラ８を挿入することで、第１保持シート７は第１繰り出しローラ８に支持される。より具体的には、第１保持シート７は、水平方向に繰り出された状態で第１粘着テープ３の表面３ａが下方を向くように、第１繰り出しローラ８に支持される。

第１繰り出しローラ８から水平方向に離れた位置には、第１繰り出しローラ８から繰り出される第１保持シート７を巻き取るための第１巻き取りローラ（第１テープ支持部）１０が配置されている。第１巻き取りローラ１０は、例えば、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって所定の回転軸の周りに回転する。

なお、第１巻き取りローラ１０は、その回転軸が第１繰り出しローラ８の回転軸に対して概ね平行になるように配置される。また、第１繰り出しローラ８と第１巻き取りローラ１０とは、間に支持台４が通る程度に離して配置される。ただし、第１繰り出しローラ８や第１巻き取りローラ１０の配置は、必ずしもこの態様でなくて良い。被加工物１１等に第１粘着テープ３を貼る際には、第１保持シート７を繰り出して、第１繰り出しローラ８と第１巻き取りローラ１０との間で第１粘着テープ３を支持することになる。

第１繰り出しローラ８と第１巻き取りローラ１０との間には、下方に配置される被加工物１１等に対して第１粘着テープ３を押し付けるための第１押圧ローラ１２が配置されている。第１押圧ローラ１２は、例えば、第１保持シート７の繰り出される繰り出し方向に沿って移動できるように構成され、第１繰り出しローラ８から繰り出される第１保持シート７の上方から下方の被加工物１１等に第１粘着テープ３を押し付ける。

第１繰り出しローラ８に隣接する位置には、帯状の第２保持シート９を支持するための円柱状の第２繰り出しローラ（第２テープ支持部）１４が配置されている。第２繰り出しローラ１４は、例えば、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって所定の回転軸の周りに回転する。

第２保持シート９の一方の面には、第２粘着テープ５の裏面側が密着、保持される。また、第２保持シート９は、第２粘着テープ５の裏面側に密着する一方の面が外側を向くように（すなわち、第２粘着テープ５の表面５ａが外側を向くように）円筒状の芯（不図示）に巻回されている。

この芯の内側の空間に第２繰り出しローラ１４を挿入することで、第２保持シート９は第２繰り出しローラ１４に支持される。より具体的には、第２保持シート９は、水平方向に繰り出された状態で第２粘着テープ５の表面５ａが下方を向くように、第２繰り出しローラ１４に支持される。

第２繰り出しローラ１４から水平方向に離れ、且つ第１巻き取りローラ１０に隣接する位置には、第２繰り出しローラ１４から繰り出される第２保持シート９を巻き取るための第２巻き取りローラ（第２テープ支持部）１６が配置されている。第２巻き取りローラ１６は、例えば、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって所定の回転軸の周りに回転する。

なお、第２巻き取りローラ１６は、その回転軸が第２繰り出しローラ１４の回転軸に対して概ね平行になるように配置される。また、第２繰り出しローラ１４と第２巻き取りローラ１６とは、間に支持台４が通る程度に離して配置される。ただし、第２巻き取りローラ１４や第２巻き取りローラ１６の配置は、必ずしもこの態様でなくて良い。フレーム１７等に第２粘着テープ５を貼る際には、第２保持シート９を繰り出して、第２繰り出しローラ１４と第２巻き取りローラ１６との間で第２粘着テープ５を支持することになる。

第２繰り出しローラ１４と第２巻き取りローラ１６との間には、下方に配置されるフレーム１７等に対して第２粘着テープ５を押し付けるための第２押圧ローラ１８が配置されている。第２押圧ローラ１８は、例えば、第２保持シート９の繰り出される繰り出し方向に沿って移動できるように構成され、第２繰り出しローラ１４から繰り出される第２保持シート９の上方から下方のフレーム１７等に第２粘着テープ５を押し付ける。

上述した移動ユニット６は、第１繰り出しローラ８と第１巻き取りローラ１０との間の第１対面位置と、第２繰り出しローラ１４と第２巻き取りローラ１６との間の第２対面位置との間で支持台４を移動させる。これにより、第１対面位置において、被加工物１１と第１粘着テープ３とを対面させ、第２対面位置において、フレーム１７と第２粘着テープ５とを対面させることができる。

次に、上述した粘着テープ１を用いる被加工物の加工方法について説明する。本実施形態に係る被加工物の加工方法では、まず、上述した粘着テープ１の中央部１ａを被加工物１１に貼り、外周部１ｂをフレーム１７に貼ってフレームユニット２１を形成するフレームユニット形成ステップを行う。

図３（Ａ）は、フレームユニット形成ステップで環状の第２粘着テープ５が貼られる様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図３（Ｂ）は、フレームユニット形成ステップで円形の第１粘着テープ３が貼られる様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図３（Ｃ）は、フレームユニット２１が完成した状態を模式的に示す一部断面側面図である。

このフレームユニット形成ステップは、上述した粘着テープ貼着装置２を用いて行われる。まず、支持台４の被加工物支持領域４ａに被加工物１１を載せ、支持台４のフレーム支持領域４ｂにフレーム１７を載せて、例えば、支持台４の位置を第２対面位置に合わせる。なお、本実施形態では、裏面１１ｂが上方を向くように被加工物１１を被加工物支持領域４ａに載せる。これにより、被加工物１１の裏面１１ｂ側に粘着テープ１を貼ることができるようになる。

また、第２繰り出しローラ１４から第２保持シート９を繰り出して、第２保持シート９に保持される第２粘着テープ５の位置を、第２繰り出しローラ１４と第２巻き取りローラ１６との間の位置に合わせる。具体的には、支持台４に支持されたフレーム１７と第２粘着テープ５の外周縁（粘着テープ１の外周部１ｂに相当）とが平面視で重なるように、第２粘着テープ５の位置を合わせる。

これにより、支持台４に支持されたフレーム１７の上面と、第２粘着テープ５の表面５ａとが対面する。この状態で、図３（Ａ）に示すように、第２押圧ローラ１８を繰り出し方向に沿って移動させれば、第２粘着テープ５を下方に押し付けてフレーム１７に貼ることができる。

第２粘着テープ５をフレーム１７に貼った後には、支持台４を第１対面位置に移動させる。また、第１繰り出しローラ８から第１保持シート７を繰り出して、第１保持シート７に保持される第１粘着テープ３の位置を、第１繰り出しローラ８と第１巻き取りローラ１０との間の位置に合わせる。

具体的には、支持台４に支持された被加工物１１と第１粘着テープ３の中央部（粘着テープ１の中央部１ａに相当）とが平面視で重なり、フレーム１７に貼られた第２粘着テープ５の内周縁と第１粘着テープ３の外周縁とが平面視で重なるように、第１粘着テープ３の位置を合わせる。

これにより、支持台４に支持された被加工物１１の裏面１１ｂと、第２粘着テープ５の表面５ａとが対面する。この状態で、図３（Ｂ）に示すように、第１押圧ローラ１２を繰り出し方向に沿って移動させれば、第１粘着テープ３を下方に押し付けて被加工物１１の裏面１１ｂと第２粘着テープ５の内周縁とに貼ることができる。

これにより、図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図３（Ｃ）に示すようなフレームユニット２１が完成する。このフレームユニット２１では、粘着テープ１の中央部１ａに比べて伸長部１ｃの伸長性が高くなっているので、伸長部１ｃを伸長させることで、被加工物１１よりも低い位置までフレーム１７を引き落としてフレームユニット２１を保持できる。

フレームユニット形成ステップの後には、このフレームニット２１を切削装置（加工装置）のチャックテーブルで保持する保持ステップを行う。図４（Ａ）は、保持ステップを模式的に示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、フレームユニット２１がチャックテーブルに保持された状態を模式的に示す斜視図である。保持ステップは、例えば、図４（Ａ）等に示す切削装置（加工装置）２２を用いて行われる。

切削装置２２は、フレームユニット２１を保持するためのチャックテーブル２４を備えている。チャックテーブル２４は、ステンレス等の金属でなる基台２６を含む。基台２６は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、基台２６の下方には、加工送り機構（不図示）が設けられており、チャックテーブル２４は、この加工送り機構によって加工送り方向（第１水平方向）に移動する。

基台２６の上面側には、例えば、平面視で円形の凹部２６ａ（図５参照）が形成されている。凹部２６ａには、多孔質材でなる円盤状の保持板２８が嵌め込まれている。保持板２８は、基台２６の内部に形成された吸引路２６ｂ（図５参照）等を介して、吸引源（不図示）に接続されている。この保持板２８の上面（保持面）２８ａには、被加工物１１に貼られた粘着テープ１の中央部１ａが接触する。

よって、この上面２８ａに吸引源の負圧を作用させることで、被加工物１１は、粘着テープ１を介して保持板２８に吸引、保持される。基台２６及び保持板２８の周囲には、環状のフレーム１７を固定するための複数のクランプ（フレーム保持部）３０が設けられている。クランプ３０は、例えば、昇降機構等を介して基台２６等に連結されており、被加工物１１の加工時には、保持板２８の上面２８ａより低い位置までフレーム１７を移動させる。

保持ステップでは、まず、図４（Ａ）に示すように、被加工物１１の裏面１１ｂ側に貼られた粘着テープ１の中央部１ａを保持板２８の上面２８ａに接触させて、吸引源の負圧を作用させる。併せて、クランプ３０でフレーム１７を固定する。これにより、図４（Ｂ）に示すように、被加工物１１は、表面１１ａ側が上方に露出した状態でチャックテーブル２４に保持される。

保持ステップの後には、チャックテーブル２４に保持されたフレームユニット２１内の被加工物１１を切削（加工）する加工ステップを行う。図５は、加工ステップを模式的に示す一部断面側面図である。加工ステップは、引き続き切削装置２２を用いて行われる。図５に示すように、切削装置２２は、チャックテーブル２４の上方に配置された切削ユニット（加工ユニット）３２を更に備えている。

切削ユニット３２は、加工送り方向に対して概ね垂直な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。スピンドルの一端側には、結合材に砥粒が分散されてなる環状の切削ブレード３４が装着されている。スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、スピンドルの一端側に装着された切削ブレード３４は、この回転駆動源から伝わる力によって回転する。

また、スピンドルは、移動機構（不図示）に支持されている。切削ブレード３４は、この移動機構によって、加工送り方向に垂直な割り出し送り方向（第２水平方向）、及び鉛直方向に移動する。切削ブレード３４の近傍には、切削ブレード３４や被加工物１１に対して純水等の切削液を供給ためのノズル（不図示）が配置されている。

切削ステップでは、まず、図５に示すように、クランプ３０を下方に移動させて、フレーム１７を引き落とす。本実施形態では、中央部１ａに比べて伸長性の高い伸長部１ｃを備えた粘着テープ１を用いているので、中央部１ａ（第１粘着テープ３）の伸長性が低くても、被加工物１１より低い位置までフレーム１７を引き落とせる。これにより、被加工物１１を切削する際に切削ブレード３４とフレーム１７とが干渉することはないので、干渉を防ぐための特殊な動作を行う必要もなくなる。

次に、チャックテーブル２４を回転させて、対象となる加工予定ライン１３の伸長する方向を切削装置２の加工送り方向に合わせる。また、チャックテーブル２４及び切削ユニット３２を相対的に移動させて、対象となる加工予定ライン１３の延長線上に切削ブレード３４の位置を合わせる。そして、例えば、切削ブレード３４の下端を被加工物１１の裏面１１ｂより低い位置まで移動させる。

その後、切削ブレード３４を回転させながら加工送り方向にチャックテーブル２４を移動させる。併せて、ノズルから、切削ブレード３４や被加工物１１に対して切削液を供給する。これにより、対象の加工予定ライン１３に沿って切削ブレード３４を切り込ませ、被加工物１１を厚み方向に切断できる。上述の手順を繰り返し、例えば、全ての加工予定ライン１３に沿って被加工物１１が切断されると、加工ステップは終了する。

以上のように、本実施形態に係る粘着テープ１は、板状の被加工物１１に貼られる中央部１ａと、環状のフレーム１７に貼られる外周部１ｂとの間に配置され、中央部１ａに比べて伸長性の高い環状の伸長部１ｃを備えている。そのため、この粘着テープ１の伸長部１ｃを伸長させることで、被加工物１１よりも低い位置までフレーム１７を引き落として保持できる。また、この粘着テープ１を用いる加工方法によれば、加工に使用される切削ブレード３４等の工具とフレーム１７との干渉を避けて、被加工物１１を効率良く適切に加工できる。

更に、本実施形態に係る粘着テープ貼着装置２は、支持台４に支持される被加工物１１と、第１繰り出しローラ（第１テープ支持部）８及び第１巻き取りローラ（第１テープ支持部）１０に支持される円形の第１粘着テープ３とが対面する第１対面位置と、支持台４に支持されるフレーム１７と、第２繰り出しローラ（第２テープ支持部）１４及び第２巻き取りローラ（第２テープ支持部）１６に支持される環状の第２粘着テープ５とが対面する第２位置と、の間で支持台４を移動させる移動ユニット６を備えている。そのため、上述した粘着テープ１を含むフレームユニット２１を簡単に形成できる。

なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態の粘着テープ貼着装置２では、ボールねじ式の移動ユニット６によって第１対面位置と第２対面位置との間で支持台４を移動させているが、移動ユニット６の構成等に特段の制限はない。

移動ユニット６は、少なくとも、第１対面位置と第２対面位置との間で、支持台４、第１繰り出しローラ（第１テープ支持部）８、第１巻き取りローラ（第１テープ支持部）１０、第２繰り出しローラ（第２テープ支持部）１４、第２巻き取りローラ（第２テープ支持部）１６等を相対的に移動できれば良い。

また、上記実施形態では、切削装置２２を用いて被加工物１１を切削する場合について説明しているが、例えば、研削装置（加工装置）を用いて被加工物１１を研削する場合や、研磨装置（加工装置）を用いて被加工物１１を研磨する場合等にも、上述の粘着テープ１は有用である。また、上記実施形態では、粘着テープ１を被加工物１１の裏面１１ｂ側に貼っているが、被加工物１１の表面１１ａ側に粘着テープ１を貼ることもできる。

また、上記実施形態では、第２粘着テープ５をフレーム１７に貼った後に、第１粘着テープ３を被加工物１１に貼っているが、第１粘着テープ３を被加工物１１に貼った後に、第２粘着テープ５をフレーム１７に貼っても良い。なお、第２粘着テープ５をフレーム１７に貼った後に、第１粘着テープ３を被加工物１１に貼る場合には、第１粘着テープ３の表面３ａ側に第２粘着テープ５（裏面側）が密着することになる。一方で、第１粘着テープ３を被加工物１１に貼った後に、第２粘着テープ５をフレーム１７に貼る場合には、第２粘着テープ５の表面５ａ側に第１粘着テープ３（裏面側）が密着することになる。

また、上記実施形態では、第１粘着テープ３の裏面側を第１保持シート７の一方の面に密着させ、第２粘着テープ５の裏面側を第２保持シート９の一方の面に密着させているが、第１粘着テープ３の表面３ａ側を第１保持シート７に密着させ、第２粘着テープ５の表面５ａ側を第２保持シート９に密着させても良い。

第１粘着テープ３の表面３ａ側を第１保持シート７に密着させた場合には、例えば、第１保持シート７を折り返すように移動させながら第１粘着テープ３を剥離させることで、表面３ａ側の接着層を容易に表出させることができる。これにより、第１粘着テープ３を被加工物１１に貼ることができるようになる。第２粘着テープ５についても同様である。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 粘着テープ
１ａ 中央部
１ｂ 外周部
１ｃ 伸長部
３ 第１粘着テープ
３ａ 表面
５ 第２粘着テープ
５ａ 表面
７ 第１保持シート
９ 第２保持シート
１１ 被加工物
１１ａ 表面
１１ｂ 裏面
１３ 加工予定ライン（ストリート）
１５ デバイス
１７ フレーム
１７ａ 開口
２１ フレームユニット
２ 粘着テープ貼着装置
４ 支持台
４ａ 被加工物支持領域
４ｂ フレーム支持領域
４ｃ テープ支持領域
６ 移動ユニット
８ 第１繰り出しローラ（第１テープ支持部）
１０ 第１巻き取りローラ（第１テープ支持部）
１２ 第１押圧ローラ
１４ 第２繰り出しローラ（第２テープ支持部）
１６ 第２巻き取りローラ（第２テープ支持部）
１８ 第２押圧ローラ
２２ 切削装置（加工装置）
２４ チャックテーブル
２６ 基台
２６ａ 凹部
２６ｂ 吸引路
２８ 保持板
２８ａ 上面（保持面）
３０ クランプ
３２ 切削ユニット（加工ユニット）
３４ 切削ブレード

Claims (5)

1. 板状の被加工物に貼着される中央部と、
   環状のフレームに貼着される外周部と、
   該中央部と、該外周部と、の間に配置され、該中央部に比べて伸長性の高い環状の伸長部と、を備え、
   被加工物を保持する保持面と、該保持面より低い位置において該フレームを保持するためのフレーム保持部と、を備えるチャックテーブルで、被加工物と、該フレームと、を保持する際に用いられることを特徴とする粘着テープ。
2. 該中央部の大きさは、該保持面の大きさ以下であることを特徴とする請求項１に記載の粘着テープ。
3. 該外周部と、該中央部と、該伸長部と、は、いずれも、基材層と、接着層と、を有し、
   該中央部の該基材層は、ポリエチレンテレフタレートを用いて形成されており、
   該伸長部の該基材層は、ポリオレフィン又はポリ塩化ビニールを用いて形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の粘着テープ。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の該粘着テープの該中央部を被加工物に貼着し、該外周部を該フレームに貼着してフレームユニットを形成するフレームユニット形成ステップと、
   被加工物を保持する該保持面と、該保持面より低い位置において該フレームを保持するための該フレーム保持部と、を備えるチャックテーブルで、該フレームユニットを保持する保持ステップと、
   該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの被加工物を加工する加工ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。
5. 環状のフレームと、該フレームの開口内に配置される板状の被加工物と、に粘着テープを貼着してフレームユニットを形成する粘着テープ貼着装置であって、
   該フレームの該開口内に被加工物が配置された状態で、被加工物と、該フレームと、を支持する支持台と、
   被加工物に貼着される円形の第１粘着テープを支持する第１テープ支持部と、
   該被加工物に対して該第１粘着テープを押し付ける第１ローラと、
   該第１粘着テープの外周縁と、該フレームと、に貼着され、該第１粘着テープに比べて伸長性が高い環状の第２粘着テープを支持する第２テープ支持部と、
   該フレームに対して該第２粘着テープを押し付ける第２ローラと、
   該被加工物と、第１粘着テープと、が対面する第１対面位置と、該フレームと、該第２粘着テープと、が対面する第２対面位置と、の間で、該支持台と、該第１テープ支持部と、該第２テープ支持部と、を相対的に移動させる移動ユニットと、を備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置。