JP6773726B2 - 磁界センサー - Google Patents
磁界センサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP6773726B2 JP6773726B2 JP2018127431A JP2018127431A JP6773726B2 JP 6773726 B2 JP6773726 B2 JP 6773726B2 JP 2018127431 A JP2018127431 A JP 2018127431A JP 2018127431 A JP2018127431 A JP 2018127431A JP 6773726 B2 JP6773726 B2 JP 6773726B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- current
- reluctance
- bias
- reluctance element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/16—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/091—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0017—Means for compensating offset magnetic fields or the magnetic flux to be measured; Means for generating calibration magnetic fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
- G01R15/205—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using magneto-resistance devices, e.g. field plates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0023—Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
- G01R33/0029—Treating the measured signals, e.g. removing offset or noise
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0023—Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
- G01R33/0035—Calibration of single magnetic sensors, e.g. integrated calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/007—Environmental aspects, e.g. temperature variations, radiation, stray fields
- G01R33/0082—Compensation, e.g. compensating for temperature changes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/096—Magnetoresistive devices anisotropic magnetoresistance sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
本出願は、2017年7月5日出願の「磁界センサー(MAGNETIC FIELD SENSOR)」と題された米国仮出願第62/528,872号の優先権を主張し、同出願の全体があらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
Output angle=0.5arctan2(Vout_bridge1, Vout_bridge2) 式1
12 第1の磁気抵抗器
14 第2の磁気抵抗器
16 第3の磁気抵抗器
18 第4の磁気抵抗器
20 第1の基準ノード
22 第2の基準ノード
30 第1の出力ノード
32 第2の出力ノード
300 磁界センサー
312 第1の磁気抵抗要素
314 第2の磁気抵抗要素
316 第3の磁気抵抗要素
318 第4の磁気抵抗要素
332 バイアス用導体
342 補償導体
Claims (19)
- 磁界センサーであって、
ハーフブリッジとして配置された第1の磁気抵抗要素および第2の磁気抵抗要素と、
前記第1の磁気抵抗要素および前記第2の磁気抵抗要素に隣接する2つ以上の導体であって、前記2つ以上の導体は、バイアス電流および補償電流を搬送するように構成され、それにより、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第1の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに同じ方向に流れ、一方、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第2の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに反対方向に流れる、2つ以上の導体と、を備え、
前記2つ以上の導体は、前記バイアス電流を搬送するように構成された第1の導体と、前記補償電流を搬送するように構成された第2の導体と、を備える、
磁界センサー。 - 前記磁界センサーは、磁界を感知するように構成される、請求項1に記載の磁界センサー。
- 前記磁界センサーは、差動磁界を感知するように構成される、請求項1に記載の磁界センサー。
- 前記第1の磁気抵抗要素および前記第2の磁気抵抗要素は、磁気抵抗層に含まれ、前記第1の導体および前記第2の導体は、前記磁気抵抗層の対向する側部に配置される、請求項1に記載の磁界センサー。
- 前記第1の磁気抵抗要素は、前記磁界センサーの2つの側部に一対の離間したサブ磁気抵抗要素を含む、請求項1に記載の磁界センサー。
- 第2のハーフブリッジとして配置された第3の磁気抵抗要素および第4の磁気抵抗効果素子と、
第2のハーフブリッジ補償電流を搬送するように構成された第2のハーフブリッジ補償導体と、をさらに備える、請求項1に記載の磁界センサー。 - 第3のハーフブリッジとして配置された第5の磁気抵抗要素および第6の磁気抵抗要素をさらに備える、請求項6に記載の磁界センサー。
- 前記磁界センサーは、前記第3のハーフブリッジが較正されている間に、前記ハーフブリッジおよび前記第2のハーフブリッジからの出力で磁界を感知するように配置される、請求項7に記載の磁界センサー。
- 磁界センサーであって、
ハーフブリッジとして配置された第1の磁気抵抗要素および第2の磁気抵抗要素と、
前記第1の磁気抵抗要素および前記第2の磁気抵抗要素に隣接する2つ以上の導体であって、前記2つ以上の導体は、バイアス電流および補償電流を搬送するように構成され、それにより、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第1の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに同じ方向に流れ、一方、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第2の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに反対方向に流れる、2つ以上の導体と、を備え、
前記2つ以上の導体は、
前記バイアス電流および前記補償電流の第1の組み合わせを含む第1の組み合わされた電流を搬送するように構成され、そこで前記バイアス電流および前記補償電流は同じ方向に流れる、第1の導体と、
前記バイアス電流および前記補償電流の第2の組み合わせを含む第2の組み合わされた電流を搬送するように構成され、そこで前記バイアス電流および前記補償電流は反対方向に流れる、第2の導体と、を備える、
磁界センサー。 - 前記2つ以上の導体は、前記バイアス電流および前記補償電流の両方が前記第1の磁気抵抗要素の長手方向に沿って流れるように配置される、請求項1に記載の磁界センサー。
- 第3の磁気抵抗要素および第4の磁気抵抗要素をさらに備え、前記第1の磁気抵抗要素、前記第2の磁気抵抗要素、前記第3の磁気抵抗要素、および前記第4の磁気抵抗要素は、フルブリッジとして配置される、請求項1に記載の磁界センサー。
- 前記第1の磁気抵抗要素は、異方性磁気抵抗要素である、請求項1に記載の磁界センサー。
- 磁界感知システムであって、
磁界センサーであって、
ハーフブリッジとして配置された第1の磁気抵抗要素および第2の磁気抵抗要素と、
2つ以上の導体であって、バイアス電流および補償電流を搬送するように構成され、それにより、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第1の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに同じ方向に流れ、一方、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第2の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに反対方向に流れる、2つ以上の導体と、を備える、磁界センサーと、
前記バイアス電流が動作中に極性を反転するように、前記バイアス電流を生成するように構成されたバイアス電流生成回路と、
を備え、
前記2つ以上の導体は、前記バイアス電流を搬送するように構成された第1の導体と、前記補償電流を搬送するように構成された第2の導体と、を備える、
磁界感知システム。 - 前記バイアス電流が極性を反転する時間に対応する時間に前記補償電流の極性も反転される、請求項13に記載の磁界感知システム。
- 磁界感知システムであって、
磁界センサーであって、
ハーフブリッジとして配置された第1の磁気抵抗要素および第2の磁気抵抗要素と、
2つ以上の導体であって、バイアス電流および補償電流を搬送するように構成され、それにより、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第1の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに同じ方向に流れ、一方、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第2の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに反対方向に流れる、2つ以上の導体と、を備える、磁界センサーと、
前記バイアス電流が動作中に極性を反転するように、前記バイアス電流を生成するように構成されたバイアス電流生成回路と、
を備え、
前記磁界感知システムは、前記バイアス電流と前記補償電流とを組み合わせて、組み合わされた電流を生成し、かつ前記組み合わされた電流を前記磁界センサーに提供するように構成され、
前記2つ以上の導体は、
前記バイアス電流および前記補償電流の第1の組み合わせを含む第1の組み合わされた電流を搬送するように構成され、そこで前記バイアス電流および前記補償電流は同じ方向に流れる、第1の導体と、
前記バイアス電流および前記補償電流の第2の組み合わせを含む第2の組み合わされた電流を搬送するように構成され、そこで前記バイアス電流および前記補償電流は反対方向に流れる、第2の導体と、を備える、
磁界感知システム。 - 前記第1の磁気抵抗要素は、前記磁界センサーの2つの側部に一対の離間したサブ磁気抵抗要素を含む、請求項13に記載の磁界感知システム。
- 磁界を検出する方法であって、
第1の磁気抵抗要素が、第2の磁気抵抗要素に対して反対の磁界感度を有するように、1つ以上のバイアス電流でハーフブリッジの前記第1の磁気抵抗要素および前記第2の磁気抵抗要素をバイアスすることと、
線形化のための前記ハーフブリッジの磁界補償を行うために補償電流を印加することと、
前記バイアスおよび前記印加に関連付けて、前記ハーフブリッジを使用して磁界を検出することと、を含み、
前記第1の磁気抵抗要素および前記第2の磁気抵抗要素は、2つ以上の導体に隣接していて、前記2つ以上の導体は、バイアス電流および補償電流を搬送するように構成され、それにより、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第1の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに同じ方向に流れ、一方、前記バイアス電流と前記補償電流とは、前記第2の磁気抵抗要素に隣接する区間で、互いに反対方向に流れ、
前記2つ以上の導体は、前記バイアス電流を搬送するように構成された第1の導体と、前記補償電流を搬送するように構成された第2の導体と、を備える、
方法。 - 第3の磁気抵抗要素が、第4の磁気抵抗要素に対して反対の磁界感度を有するように、第2のハーフブリッジの前記第3の磁気抵抗要素および前記第4の磁気抵抗要素をバイアスすることをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記補償電流を印加することにより、前記ハーフブリッジの出力のオフセットをほぼゼロにする、請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762528872P | 2017-07-05 | 2017-07-05 | |
US62/528,872 | 2017-07-05 | ||
US15/801,831 US10739165B2 (en) | 2017-07-05 | 2017-11-02 | Magnetic field sensor |
US15/801,831 | 2017-11-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019020399A JP2019020399A (ja) | 2019-02-07 |
JP6773726B2 true JP6773726B2 (ja) | 2020-10-21 |
Family
ID=64666450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018127431A Active JP6773726B2 (ja) | 2017-07-05 | 2018-07-04 | 磁界センサー |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10739165B2 (ja) |
JP (1) | JP6773726B2 (ja) |
CN (1) | CN109212439B (ja) |
DE (1) | DE102018115530A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018100689B4 (de) * | 2018-01-12 | 2022-08-25 | Sensitec Gmbh | Mehrphasen-Strommessvorrichtung und Verfahren zur Mehrphasenstrommessung |
JP6965815B2 (ja) * | 2018-04-12 | 2021-11-10 | 愛知製鋼株式会社 | マーカ検出システム、及びマーカ検出システムの運用方法 |
CN109814047B (zh) * | 2019-01-16 | 2024-05-17 | 北京麦格智能科技有限公司 | 一种低1/f噪声的TMR传感器 |
JP7293698B2 (ja) | 2019-02-07 | 2023-06-20 | 株式会社リコー | 光学システム、撮像システム及び撮像装置 |
US11243275B2 (en) * | 2019-03-18 | 2022-02-08 | Isentek Inc. | Magnetic field sensing device |
CN111198342B (zh) * | 2020-01-10 | 2021-07-06 | 江苏多维科技有限公司 | 一种谐波增宽线性范围的磁电阻传感器 |
CN113764381A (zh) * | 2020-06-01 | 2021-12-07 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法和使用半导体结构检测偏移量的方法 |
US11761985B2 (en) | 2021-02-09 | 2023-09-19 | Analog Devices International Unlimited Company | Calibration using flipped sensor for highly dynamic system |
DE102021208173A1 (de) * | 2021-07-29 | 2023-02-02 | Aug. Winkhaus Gmbh & Co. Kg | Überwachungseinrichtung zur Überwachung der Position eines Gebäudeelementes und Verfahren zur Überwachung der Position eines Gebäudeelementes |
CN115267623B (zh) * | 2022-09-23 | 2023-10-20 | 微传智能科技(常州)有限公司 | 一种磁阻磁开关传感器 |
CN117405958B (zh) * | 2023-12-14 | 2024-02-13 | 江苏多维科技有限公司 | 电流传感器 |
Family Cites Families (76)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2037474B (en) | 1978-12-11 | 1983-08-24 | Racal Recorders Ltd | Magneting recording and reproduction |
US5243403A (en) | 1991-09-30 | 1993-09-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Three-axis fiber optic vector magnetometer |
US5351005A (en) | 1992-12-31 | 1994-09-27 | Honeywell Inc. | Resetting closed-loop magnetoresistive magnetic sensor |
DE4300605C2 (de) | 1993-01-13 | 1994-12-15 | Lust Electronic Systeme Gmbh | Sensorchip |
DE4319146C2 (de) * | 1993-06-09 | 1999-02-04 | Inst Mikrostrukturtechnologie | Magnetfeldsensor, aufgebaut aus einer Ummagnetisierungsleitung und einem oder mehreren magnetoresistiven Widerständen |
DE4436876A1 (de) | 1994-10-15 | 1996-04-18 | Lust Antriebstechnik Gmbh | Sensorchip |
DE4438715C1 (de) | 1994-10-29 | 1996-05-30 | Inst Mikrostrukturtechnologie | Magnetfeldsensorchip |
DE19648879C2 (de) | 1996-11-26 | 2000-04-13 | Inst Mikrostrukturtechnologie | Magnetfeldsensor mit parallelen magnetoresistiven Schichtstreifen |
DE19722834B4 (de) | 1997-05-30 | 2014-03-27 | Sensitec Gmbh | Magnetoresistives Gradiometer in Form einer Wheatstone-Brücke zur Messung von Magnetfeldgradienten sowie dessen Verwendung |
US6064202A (en) | 1997-09-09 | 2000-05-16 | Physical Electronics Laboratory | Spinning current method of reducing the offset voltage of a hall device |
DE19834153A1 (de) * | 1998-07-29 | 2000-02-10 | Lust Antriebstechnik Gmbh | Verfahren zur Auswertung von Signalen magnetoresistiver Sensoren |
DE19839450B4 (de) | 1998-08-29 | 2004-03-11 | Institut für Mikrostrukturtechnologie und Optoelektronik (IMO) e.V. | Magnetoresistiver Sensorchip mit mindestens zwei als Halb- oder Vollbrücke ausgebildeten Meßelementen |
DE19843348A1 (de) | 1998-09-22 | 2000-03-23 | Bosch Gmbh Robert | Magnetoresistives Sensorelement, insbesondere Winkelsensorelement |
JP3321768B2 (ja) | 1999-07-23 | 2002-09-09 | ティーディーケイ株式会社 | トンネル磁気抵抗効果素子 |
DE19943128A1 (de) | 1999-09-09 | 2001-04-12 | Fraunhofer Ges Forschung | Hall-Sensoranordnung zur Offset-kompensierten Magnetfeldmessung |
DE19947761A1 (de) | 1999-10-02 | 2001-04-12 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Feststellung einer Richtung eines äußeren magnetischen Feldes |
DE19954360C2 (de) | 1999-11-11 | 2001-09-20 | Fraunhofer Ges Forschung | Hall-Element |
US6738284B2 (en) | 2001-03-23 | 2004-05-18 | Integrated Magnetoelectronics Corporation | Transpinnor-based sample-and-hold circuit and applications |
JP4006674B2 (ja) | 2001-05-22 | 2007-11-14 | 日立金属株式会社 | 方位計 |
EP1467218A2 (en) | 2001-06-29 | 2004-10-13 | TPL, Inc. | Ultra sensitive magnetic field sensors |
JP3835354B2 (ja) | 2001-10-29 | 2006-10-18 | ヤマハ株式会社 | 磁気センサ |
US6984978B2 (en) | 2002-02-11 | 2006-01-10 | Honeywell International Inc. | Magnetic field sensor |
DE10243645B4 (de) | 2002-09-19 | 2014-10-30 | Ssg Semiconductor Systems Gmbh | Messvorrichtung |
JP2005136134A (ja) | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 研磨用組成物 |
DE602004024716D1 (de) | 2004-01-07 | 2010-01-28 | Nxp Bv | Amr-sensorelement für winkelmessungen |
EP1720027B1 (en) | 2004-02-19 | 2010-11-17 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic field detector and current detection device, position detection device and rotation detection device using the magnetic field detector |
JP4433820B2 (ja) | 2004-02-20 | 2010-03-17 | Tdk株式会社 | 磁気検出素子およびその形成方法ならびに磁気センサ、電流計 |
DE102004056384A1 (de) | 2004-07-01 | 2006-02-02 | Sensitec Gmbh | Verfahren zur Offseteliminierung aus Signalen magnetoresistiver Sensoren |
EP1617472A1 (en) | 2004-07-16 | 2006-01-18 | Axalto SA | An active protection device for protecting a circuit against mechanical and electromagnetic attack |
EP1637898A1 (en) | 2004-09-16 | 2006-03-22 | Liaisons Electroniques-Mecaniques Lem S.A. | Continuously calibrated magnetic field sensor |
CN1753359B (zh) | 2004-09-24 | 2011-01-19 | 华为技术有限公司 | 实现传输SyncML同步数据的方法 |
DE102005009923B4 (de) | 2005-03-04 | 2016-11-24 | Sensitec Gmbh | Magnetoresistiver Sensor zur Bestimmung einer Position des Sensors |
DE102005037036B4 (de) | 2005-08-06 | 2007-07-12 | Sensitec Gmbh | Magnetoresistiver Sensor mit Offsetkorrektur und dafür geeignetes Verfahren |
CN101568847B (zh) | 2006-11-27 | 2012-02-01 | Nxp股份有限公司 | 磁场传感器电路 |
JP4458103B2 (ja) | 2007-02-27 | 2010-04-28 | Tdk株式会社 | 磁気センサ、磁気方位センサ、磁界検出方法および磁気方位検出方法 |
WO2008114615A1 (ja) | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置 |
TWI393867B (zh) | 2007-04-20 | 2013-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | 磁性式旋轉角檢測器 |
DE102007041230B3 (de) | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Kalibrierbarer mehrdimensionaler magnetischer Punktsensor sowie entsprechendes Verfahren und Computerprogramm dafür |
US20090115405A1 (en) | 2007-11-01 | 2009-05-07 | Magic Technologies, Inc. | Magnetic field angular sensor with a full angle detection |
DE102007062633B4 (de) | 2007-12-22 | 2010-04-15 | Sensitec Gmbh | Anordnung zum potentialfreien Messen von Strömen |
JP5170679B2 (ja) | 2008-01-29 | 2013-03-27 | 日立金属株式会社 | 磁気センサおよび回転角度検出装置 |
US8269491B2 (en) | 2008-02-27 | 2012-09-18 | Allegro Microsystems, Inc. | DC offset removal for a magnetic field sensor |
JP2009250931A (ja) | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Rohm Co Ltd | 磁気センサおよびその動作方法、および磁気センサシステム |
WO2010009761A1 (en) | 2008-07-22 | 2010-01-28 | Abb Research Ltd | Magnetoresistive sensor arrangement for current measurement |
EP2149797B1 (de) | 2008-08-01 | 2012-05-02 | Micronas GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Winkels, unter dem ein Magnetfeld in einer Ebene relativ zu einer Bezugsachse angeordnet ist |
JP5299675B2 (ja) | 2008-11-27 | 2013-09-25 | Tdk株式会社 | 信号伝送装置 |
US7977941B2 (en) | 2009-02-25 | 2011-07-12 | Everspin Technologies, Inc. | Magnetic field sensing device |
KR20100104396A (ko) | 2009-03-17 | 2010-09-29 | 엘지이노텍 주식회사 | 자기저항센서를 이용한 검체의 신호검출 시스템 및 이를 이용한 검출방법 |
US8058864B2 (en) | 2009-04-17 | 2011-11-15 | Allegro Microsystems, Inc. | Circuits and methods for providing a magnetic field sensor with an adaptable threshold |
ATE545871T1 (de) | 2009-06-17 | 2012-03-15 | Nxp Bv | Magnetfeldsensor |
EP2446287B1 (en) | 2009-07-22 | 2013-10-02 | Allegro Microsystems, LLC | Circuits and methods for generating a diagnostic mode of operation in a magnetic field sensor |
EP2330432B1 (en) | 2009-11-19 | 2013-01-09 | Nxp B.V. | Magnetic field sensor |
EP2360455B1 (en) | 2010-02-04 | 2012-12-26 | Nxp B.V. | Magnetic field angular sensor and sensing method |
JP5645228B2 (ja) | 2010-03-12 | 2014-12-24 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 電流測定装置 |
JP5012939B2 (ja) | 2010-03-18 | 2012-08-29 | Tdk株式会社 | 電流センサ |
WO2011136054A1 (ja) | 2010-04-26 | 2011-11-03 | Tdk株式会社 | 位置検出装置 |
US8812079B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-08-19 | Biosense Webster (Israel), Ltd. | Compensation for magnetic disturbance due to fluoroscope |
EP2671091B1 (en) | 2011-02-03 | 2014-12-24 | Sensitec GmbH | Magnetic field sensing device |
US8664941B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-03-04 | Nxp B.V. | Magnetic sensor with low electric offset |
US8947082B2 (en) | 2011-10-21 | 2015-02-03 | University College Cork, National University Of Ireland | Dual-axis anisotropic magnetoresistive sensors |
JP5802565B2 (ja) | 2012-01-18 | 2015-10-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
CN102565727B (zh) | 2012-02-20 | 2016-01-20 | 江苏多维科技有限公司 | 用于测量磁场的磁电阻传感器 |
WO2013129276A1 (ja) | 2012-03-02 | 2013-09-06 | Tdk株式会社 | 磁気センサ素子 |
WO2014059110A1 (en) | 2012-10-12 | 2014-04-17 | Memsic, Inc. | Monolithic three-axis magnetic field sensor |
US9310446B2 (en) | 2012-10-18 | 2016-04-12 | Analog Devices, Inc. | Magnetic field direction detector |
WO2014148437A1 (ja) | 2013-03-18 | 2014-09-25 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ |
CN103267955B (zh) | 2013-05-28 | 2016-07-27 | 江苏多维科技有限公司 | 单芯片桥式磁场传感器 |
US9377327B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-06-28 | Analog Devices Global | Magnetic field direction sensor |
DE102013107821A1 (de) | 2013-07-22 | 2015-01-22 | Sensitec Gmbh | Mehrkomponenten-Magnetfeldsensor |
US9519034B2 (en) | 2014-05-15 | 2016-12-13 | Everspin Technologies, Inc. | Bipolar chopping for 1/F noise and offset reduction in magnetic field sensors |
JP6570634B2 (ja) | 2014-11-24 | 2019-09-04 | ゼンジテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングSensitec GmbH | 少なくとも2つのブリッジを有する磁気抵抗ホイートストンブリッジ及び角度センサ |
JP6520075B2 (ja) * | 2014-11-25 | 2019-05-29 | 日立金属株式会社 | 電流検出装置 |
JP6422391B2 (ja) | 2015-04-24 | 2018-11-14 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、磁気センサの製造方法および磁気センサの設計方法 |
US9632150B2 (en) | 2015-04-27 | 2017-04-25 | Everspin Technologies, Inc. | Magnetic field sensor with increased field range |
GB201519905D0 (en) | 2015-11-11 | 2015-12-23 | Analog Devices Global | A thin film resistive device for use in an integrated circuit, an integrated cicruit including a thin film resistive device |
US11187763B2 (en) | 2016-03-23 | 2021-11-30 | Analog Devices International Unlimited Company | Offset compensation for magnetic field detector |
-
2017
- 2017-11-02 US US15/801,831 patent/US10739165B2/en active Active
-
2018
- 2018-06-27 DE DE102018115530.1A patent/DE102018115530A1/de active Pending
- 2018-07-04 JP JP2018127431A patent/JP6773726B2/ja active Active
- 2018-07-05 CN CN201810726983.5A patent/CN109212439B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190011287A1 (en) | 2019-01-10 |
CN109212439A (zh) | 2019-01-15 |
JP2019020399A (ja) | 2019-02-07 |
DE102018115530A1 (de) | 2019-01-10 |
US10739165B2 (en) | 2020-08-11 |
CN109212439B (zh) | 2021-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6773726B2 (ja) | 磁界センサー | |
US12025683B2 (en) | Length detector with magnetoresitive elements | |
EP2801834B1 (en) | Current sensor | |
JP5752322B2 (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
US7619407B2 (en) | Gear tooth sensor with single magnetoresistive bridge | |
EP2442117B1 (en) | Magnetic balance current sensor | |
US9588134B2 (en) | Increased dynamic range sensor | |
US20180274896A1 (en) | Angle sensor and angle sensor system | |
US9310446B2 (en) | Magnetic field direction detector | |
US11313923B2 (en) | Method for measuring a magnetic field using a magnetic field sensor device having a second magnetic field sensor between parts of a first magnetic field sensor | |
EP3764115B1 (en) | Magnetic field sensor with magnetoresistance elements arranged in a bridge and having a common reference direction and opposite bias directions | |
US20210011097A1 (en) | Magnetic field sensor with stray field immunity and large air gap performance | |
WO2008044162A2 (en) | Magnetic sensor device with pairs of detection units | |
US20220308131A1 (en) | Electrical offset compensating in a bridge using more than four magnetoresistance elements | |
Malinowski et al. | Angular magnetic field sensor for automotive applications based on magnetic tunnel junctions using a current loop layout configuration | |
US11609283B2 (en) | Electrical offset compensating in a magnetoresistance bridge | |
EP3761043B1 (en) | Magnetic current sensor comprising a magnetoresistive differential full bridge | |
Wang et al. | Research on characteristics of a high sensitivity magnetic sensor | |
Daga | Added value of spintronics for sensing solutions |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6773726 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |