JP6770030B2 - 安全弁 - Google Patents
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Description
13 吸引フランジ
15 ポンプシステム
17 閉鎖要素
19 磁気的装置
21 伝達装置
23 弁ヘッド
25 フラットシール
27 弁座
29 弁ハウジング
30 閉鎖要素の移動方向
30−1 弁ヘッドの中心軸
31 電気コイル
33−1 第一のアクチュエーター
33−2 第二のアクチュエーター
35 永久磁石
36 制御装置
37 レバー機構
40 第一の関節部
41 第一のアーム
42 第二の関節部
43 第二のアーム
44 第三の関節部
45 第三のアーム
46 第四の関節部
47 第四のアーム
48 第五の関節部
49 第五のアーム
50 第六の関節部
51 第六のアーム
53 作用角度
54 第一のアームの長手方向軸
55 アクチュエーターストローク
57 弁ストローク
Claims (9)
- 制御可能な弁(11)、特に高真空安全弁であって、
移動方向(30)において閉鎖位置と開放位置の間を移動可能な閉鎖要素(17)を有し、
休止位置とアクティブ位置の間を移動可能な少なくとも一つのアクチュエーター(33−1,33−2)を有する磁気的装置(19)を有し、
伝達装置(21)を有し、アクチュエーター(33−1,33−2)が休止位置に存在するとき、閉鎖要素(17)が閉鎖位置に位置取り、そしてアクチュエーター(33−1,33−2)がアクティブ位置に存在するとき、閉鎖要素(17)が開放位置に位置取るよう、前記伝達装置を介して磁気的装置(19)が閉鎖要素(17)と接続されており、磁気的装置(19)が、第一及び第二のアクチュエーター(33−1,33−2)を有し、これらが互いに対向配置されており、そして反対の方向へと移動可能であり、そして、伝達装置(21)が、レバー機構(37)を有し、このレバー機構が第一及び第二のアクチュエーター(33−1,33−2)と閉鎖要素(17)の間に接続されていることを特徴とする弁(11)。 - 前記アクチュエーター(33−1,33−2)、又は各アクチュエーター(33−1,33−2)に磁気的装置(19)の一つの電気コイル(31)が割り当てられており、これによってアクチュエーター(33−1,33−2)が休止位置からアクティブ位置へと移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の弁(11)。
- 前記アクチュエーター(33−1,33−2)、又は各アクチュエーター(33−1,33−2)に磁気的装置(19)の一つの永久磁石(35)が割り当てられており、これによってアクチュエーター(33−1,33−2)が、閉鎖要素(17)を解放位置に保持するためにアクティブ位置に固定可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の弁(11)。
- 閉鎖要素(17)に閉鎖位置の方向へとプリストレスを掛けるリセット装置が設けられていることを特徴とする請求項1から3の少なくとも一項に記載の弁(11)。
- レバー機構(37)が第一のアーム(41)、第二のアーム(43)、第三のアーム(45)、第四のアーム(47)を有し、第一のアームが第一のアクチュエーター(33−1)と接続されており、第二のアームが第一のアーム(41)を閉鎖要素(17)と接続し、第三のアームが第二のアクチュエーター(33−2)と接続されており、第四のアームが第三のアーム(45)を閉鎖要素(17)と接続することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の弁(11)。
- 閉鎖要素(17)の移動方向と第一のアーム(41)の間の作用角度(53)が70度から90度の間の領域にあり、及び/又は、
閉鎖要素(17)の移動方向と第三のアーム(45)の間の作用角度(53)が、70度から90度の間の領域にあることを特徴とする請求項5に記載の弁(11)。 - 閉鎖要素(17)の移動方向と第一のアーム(41)の間の作用角度(53)と閉鎖要素(17)の移動方向と第三のアーム(45)の間の作用角度(53)が同じ大きさであることを特徴とする請求項5または6に記載の弁(11)。
- 閉鎖要素(17)の閉鎖位置及び開放位置によって定義される弁ストローク(57)が、アクチュエーター(33−1,33−2)の休止位置及びアクティブ位置によって定義されるアクチュエーターストローク(55)よりも大きいことを特徴とする請求項1から7の少なくとも一項に記載の弁(11)。
- アクチュエーターストローク(55)が、1mmから2mmの間の領域にあり、そして弁ストローク(57)が2mmから4mmの間の領域にあることを特徴とする請求項8に記載の弁(11)。
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