JP6755200B2

JP6755200B2 - Product roll manufacturing method and product roll manufacturing equipment

Info

Publication number: JP6755200B2
Application number: JP2017014425A
Authority: JP
Inventors: 弘毅早川; 祐介田口; 協司村上
Original assignee: Kaneka Corp
Current assignee: Kaneka Corp
Priority date: 2017-01-30
Filing date: 2017-01-30
Publication date: 2020-09-16
Anticipated expiration: 2037-01-30
Also published as: JP2018123350A

Description

本発明は、長尺のフィルムに真空プロセス処理を施して製造される製品ロールの製造方法および当該製品ロールを製造するための製造装置に関する。 The present invention relates to a method for producing a product roll produced by subjecting a long film to a vacuum process process, and a production apparatus for producing the product roll.

原料ロールから長尺のフィルムを繰り出し、走行するフィルムに対して所定の真空プロセス処理を行い、その後、当該フィルムを巻き取って製品ロールとする、ロールトゥロール型真空装置が、広く使用されている。ロールトゥロール型真空装置では、真空プロセス処理が行われる空間のみならず、原料ロール及び製品ロールが設置される各空間も所定の減圧雰囲気に維持される。減圧雰囲気下では、大気圧下では発生しない問題が発生することがある。 A roll-to-roll type vacuum apparatus is widely used in which a long film is unwound from a raw material roll, a predetermined vacuum process process is performed on the running film, and then the film is wound into a product roll. .. In the roll-to-roll type vacuum apparatus, not only the space where the vacuum process processing is performed but also each space where the raw material roll and the product roll are installed is maintained in a predetermined depressurized atmosphere. In a decompressed atmosphere, problems that do not occur under atmospheric pressure may occur.

例えば、大気圧下で原料ロールをロールトゥロール型真空装置に設置した後、原料ロールを含む空間を減圧すると、減圧過程で、原料ロールに巻かれたフィルムに微小なシワやキズが発生することがある。このようなシワやキズは、真空プロセス処理を経て得られる製品フィルムの外観品質を低下させる。外観品質に対する要求特性は近年厳しさを増しており、高い外観品質を有する製品フィルムが強く求められている。 For example, when the raw material roll is installed in a roll-to-roll type vacuum device under atmospheric pressure and then the space containing the raw material roll is depressurized, minute wrinkles and scratches are generated on the film wound on the raw material roll during the depressurization process. There is. Such wrinkles and scratches deteriorate the appearance quality of the product film obtained through the vacuum process treatment. The required characteristics for appearance quality have become stricter in recent years, and there is a strong demand for product films having high appearance quality.

特許文献１には、真空容器内で、長尺のフィルムが巻かれた原料ロールに導電性ブラシや導電性ロールなどを直接接触させながらフィルムを原料ロールから繰り出す装置が記載されている。この装置は、原料ロールを直接除電することにより、フィルムが原料ロールから繰り出される際に発生する剥離帯電によるフィルム切れや穴あきを防止するものである。従って、原料ロールを含む空間を減圧する過程でフィルムに発生する微小なシワやキズを防止することはできない。 Patent Document 1 describes an apparatus in which a film is unwound from a raw material roll while a conductive brush, a conductive roll, or the like is in direct contact with a raw material roll on which a long film is wound in a vacuum container. This device directly eliminates static electricity from the raw material roll to prevent film breakage and perforation due to peeling electrification that occurs when the film is unwound from the raw material roll. Therefore, it is not possible to prevent minute wrinkles and scratches generated on the film in the process of reducing the pressure in the space containing the raw material roll.

特開平１１−２０００４４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-200044

本発明の目的は、原料ロールを含む空間を大気圧から減圧する過程でフィルムに発生する微小なシワやキズを防止することにより、真空プロセス処理を施して得られる製品フィルムの外観品質を向上させることにある。 An object of the present invention is to improve the appearance quality of a product film obtained by performing a vacuum process process by preventing minute wrinkles and scratches generated on the film in the process of depressurizing the space containing the raw material roll from atmospheric pressure. There is.

本発明の製品ロールの製造方法は、長尺のフィルムがロール状に巻回された原料ロールから前記フィルムを繰り出し、前記フィルムに対して所定の真空プロセス処理を行い、前記真空プロセス処理がされた前記フィルムをロール状に巻き取って製品ロールを得る製品ロールの製造方法であって、前記原料ロールに巻回された前記フィルムの先端部を、前記真空プロセス処理を行う処理室から導出したリードフィルムの末端部に接続し、且つ、前記フィルムの幅方向に延びた押圧部材を前記原料ロールの外周面に押し当てた状態で、前記原料ロールの周囲を大気圧雰囲気から所定の減圧雰囲気に減圧する工程と、前記減圧雰囲気下で前記押圧部材を前記原料ロールから離間させる工程と、前記減圧雰囲気下で前記フィルムを前記原料ロールから繰り出して前記フィルムに対して前記真空プロセス処理を開始する工程とを順に行うことを特徴とする。 In the method for producing a product roll of the present invention, the film is unwound from a raw material roll in which a long film is wound in a roll shape, the film is subjected to a predetermined vacuum process process, and the vacuum process process is performed. A method for manufacturing a product roll in which the film is wound into a roll to obtain a product roll, and a lead film obtained by deriving the tip of the film wound around the raw material roll from a processing chamber for performing the vacuum process process. The pressure around the raw material roll is reduced from the atmospheric pressure atmosphere to a predetermined reduced pressure atmosphere in a state where the pressing member connected to the end portion of the raw material roll and extending in the width direction of the film is pressed against the outer peripheral surface of the raw material roll. A step of separating the pressing member from the raw material roll under the reduced pressure atmosphere, and a step of feeding the film out of the raw material roll under the reduced pressure atmosphere and starting the vacuum process process on the film. It is characterized by performing in order.

本発明の製品ロールの製造装置は、長尺のフィルムがロール状に巻回された原料ロールから前記フィルムを繰り出し、前記フィルムに対して所定の真空プロセス処理を行い、前記真空プロセス処理がされた前記フィルムをロール状に巻き取って製品ロールを得るために使用される製品ロールの製造装置であって、前記真空プロセス処理が行われる処理室と、前記原料ロールが設置される原料ロール室と、前記原料ロール室を所定の減圧雰囲気に減圧する減圧装置と、前記原料ロール室内に設置された前記原料ロールの外周面に対して接離可能な、前記フィルムの幅方向に延びた押圧部材とを備え、前記原料ロールに巻回された前記フィルムの先端部が、前記処理室から導出されたリードフィルムの末端部に接続され、且つ、前記押圧部材が前記原料ロールの外周面に押し当てられた状態で、前記減圧装置が前記原料ロール室を大気圧雰囲気から所定の減圧雰囲気に減圧し、次いで、前記減圧雰囲気下で前記押圧部材を前記原料ロールから離間させ、次いで、前記減圧雰囲気下で前記フィルムを前記原料ロールから繰り出して前記フィルムに対して前記真空プロセス処理を開始するように構成されたことを特徴とする。 In the product roll manufacturing apparatus of the present invention, the film is unwound from a raw material roll in which a long film is wound in a roll shape, the film is subjected to a predetermined vacuum process process, and the vacuum process process is performed. A product roll manufacturing apparatus used to wind the film into a roll to obtain a product roll, the processing chamber in which the vacuum process processing is performed, the raw material roll chamber in which the raw material roll is installed, and the raw material roll chamber. A decompression device that decompresses the raw material roll chamber to a predetermined depressurizing atmosphere, and a pressing member that is installed in the raw material roll chamber and can be brought into contact with and detached from the outer peripheral surface of the raw material roll and that extends in the width direction of the film. The tip of the film wound around the raw material roll is connected to the end of the lead film led out from the processing chamber, and the pressing member is pressed against the outer peripheral surface of the raw material roll. In this state, the depressurizing device decompresses the raw material roll chamber from the atmospheric pressure atmosphere to a predetermined depressurized atmosphere, then separates the pressing member from the raw material roll under the depressurized atmosphere, and then the depressurizing atmosphere. It is characterized in that the film is unwound from the raw material roll and the vacuum process process is started on the film.

本発明によれば、原料ロールを含む空間を大気圧から減圧する過程でフィルムに微小なシワやキズが発生するのを防止することができるので、製品ロールに巻回された製品フィルムの外観品質を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to prevent fine wrinkles and scratches from being generated on the film in the process of depressurizing the space including the raw material roll from the atmospheric pressure, so that the appearance quality of the product film wound on the product roll can be prevented. Can be improved.

図１は、製品ロールを製造するための、本発明の一実施形態にかかる製造装置の概略構成を示した断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention for manufacturing a product roll. 図２Ａは、本発明の一実施形態にかかる製造装置において、原料ロールの交換の一工程を示した断面図である。図２Ｂは、本発明の一実施形態にかかる製造装置において、原料ロールの交換の次の一工程を示した断面図である。FIG. 2A is a cross-sectional view showing one step of exchanging raw material rolls in the manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 2B is a cross-sectional view showing the next step of exchanging the raw material roll in the manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図３Ａ〜図３Ｄは、従来のロールトゥロール型真空装置において、大気圧から減圧する過程で、原料ロールに巻回されたフィルムに微小なシワやキズが発生する理由を説明する部分拡大断面図である。3A to 3D are partially enlarged cross-sectional views illustrating the reason why minute wrinkles and scratches are generated on the film wound around the raw material roll in the process of depressurizing from atmospheric pressure in the conventional roll-to-roll type vacuum apparatus. Is. 図４Ａ〜図４Ｄは、本発明の一実施形態において、押圧部材の作用を説明する部分拡大断面図である。4A-4D are partially enlarged cross-sectional views illustrating the action of the pressing member in one embodiment of the present invention. 図５Ａは、本発明の一実施形態において、押圧面が凸曲面である押圧部材が原料ロールに押し当てられている状態を示した部分拡大断面図である。図５Ｂは、本発明の別の実施形態において、押圧面が凹曲面である押圧部材が原料ロールに押し当てられている状態を示した部分拡大断面図である。FIG. 5A is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which a pressing member whose pressing surface is a convex curved surface is pressed against a raw material roll in one embodiment of the present invention. FIG. 5B is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which a pressing member whose pressing surface is a concave curved surface is pressed against a raw material roll in another embodiment of the present invention.

以下に、本発明を好適な実施形態を示しながら詳細に説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されないことはいうまでもない。以下の説明において参照する各図は、本発明の一実施形態を簡略化して示したものである。従って、本発明の範囲内において、以下の各図に示された各部材もしくは構成を変更もしくは省略してもよく、また、任意の部材もしくは構成を追加してもよい。図面では、各部材の寸法は実際の寸法が正確に反映されていない。各図において、同一又は対応する部材には同一の符号が付されている。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to suitable embodiments. However, it goes without saying that the present invention is not limited to the following embodiments. Each figure referred to in the following description is a simplified representation of one embodiment of the present invention. Therefore, within the scope of the present invention, each member or configuration shown in each of the following figures may be changed or omitted, or any member or configuration may be added. In the drawings, the dimensions of each member do not accurately reflect the actual dimensions. In each figure, the same or corresponding members are designated by the same reference numerals.

図１は、ロール製品を製造するための、本発明の一実施形態に係る製造装置１の概略構成を示した断面図である。装置１は、ロールトゥロール型真空装置であり、筐体１０内に、長尺のフィルム４１がロール状に巻回された原料ロール４０が設置される原料ロール室１１、原料ロール４０から繰り出されたフィルム４１に対して所定の真空プロセス処理が行われる処理室１２、フィルム４１が製品ロール５０にロール状に巻き取られる製品ロール室１３をこの順に備える。原料ロール室１１と処理室１２とは第１隔壁１５で隔てられ、処理室１２と製品ロール室１３とは第２隔壁１６で隔てられている。隔壁１５，１６に、開閉可能なロードロック１７，１８がそれぞれ設けられている。原料ロール室１１及び製品ロール室１３には、各室を筐体１１の外界に開放するための第１扉２１及び第２扉２２、フィルム４１を搬送するためのガイドロール２３，２４がそれぞれ設けられている。原料ロール室１１には、原料ロール４０に対して接離可能な押圧部材３０が設けられている。押圧部材３０は、フィルム４１の幅方向に沿って延びている。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention for manufacturing a roll product. The device 1 is a roll-to-roll type vacuum device, and is fed out from a raw material roll chamber 11 and a raw material roll 40 in which a raw material roll 40 in which a long film 41 is wound in a roll shape is installed in a housing 10. A processing chamber 12 in which a predetermined vacuum process process is performed on the film 41 and a product roll chamber 13 in which the film 41 is wound around the product roll 50 in a roll shape are provided in this order. The raw material roll chamber 11 and the processing chamber 12 are separated by a first partition wall 15, and the processing chamber 12 and the product roll chamber 13 are separated by a second partition wall 16. The partition walls 15 and 16 are provided with load locks 17 and 18, which can be opened and closed, respectively. The raw material roll chamber 11 and the product roll chamber 13 are provided with a first door 21 and a second door 22 for opening each chamber to the outside world of the housing 11, and guide rolls 23 and 24 for transporting the film 41, respectively. Has been done. The raw material roll chamber 11 is provided with a pressing member 30 that can be brought into contact with and separated from the raw material roll 40. The pressing member 30 extends along the width direction of the film 41.

処理室１２で行われる真空プロセス処理は、大気圧以下の減圧雰囲気でフィルム４１に対して行われる処理であれば特に限定されない。例えば、フィルムを真空に暴露することで行う脱水プロセス、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、化学気相成長などの薄膜形成プロセス、コロナ処理やプラズマ等の表面処理プロセス、などが挙げられる。これらのうち、薄膜形成プロセス又は表面処理プロセスが好ましく、特に薄膜形成プロセスが好ましい。 The vacuum process process performed in the processing chamber 12 is not particularly limited as long as it is a process performed on the film 41 in a reduced pressure atmosphere of atmospheric pressure or lower. Examples thereof include a dehydration process performed by exposing a film to vacuum, a thin film forming process such as vapor deposition, sputtering, ion plating, and chemical vapor deposition, and a surface treatment process such as corona treatment and plasma. Of these, a thin film forming process or a surface treatment process is preferable, and a thin film forming process is particularly preferable.

各室１１，１２，１３内は、減圧装置（図示せず）を用いて、大気圧以下の減圧雰囲気に減圧される。減圧装置は、特に限定されず、ロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ、ダイアフラムポンプ、拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、イオンポンプ、などの任意の減圧装置を使用できる。室１１，１２，１３を共通する減圧装置で減圧してもよく、あるいは、室１１，１２，１３のそれぞれを別個の減圧装置で独立して減圧してもよい。各室１１，１２，１３の真空の程度は、行われる真空プロセス処理に応じて任意に設定しうるが、一般的には１×１０^-5Ｐａ〜１×１０^-2Ｐａが好ましい。 The inside of each chamber 11, 12, and 13 is decompressed to a decompression atmosphere below atmospheric pressure using a decompression device (not shown). The decompression device is not particularly limited, and any decompression device such as a rotary pump, a mechanical booster pump, a diaphragm pump, a diffusion pump, a turbo molecular pump, a cryopump, or an ion pump can be used. The chambers 11, 12 and 13 may be decompressed by a common decompression device, or the chambers 11, 12 and 13 may be decompressed independently by a separate decompression device. The degree of vacuum in each of the chambers 11, 12, and 13 can be arbitrarily set according to the vacuum process process to be performed, but in general, 1 × 10 ^-5 Pa to 1 × 10 ⁻² Pa is preferable.

フィルム４１の材料としては、ロールトゥロール型真空装置において真空プロセス処理に耐えられる任意の材料を使用することができる。具体的には、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフテレート（ＰＢＴ）、または、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、セルロース系樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ビニル樹脂等の樹脂材料、十分に薄膜化されたガラスや金属箔等の無機材料、布、不織布、紙、繊維強化プラスチック、など特に制限無く使用できる。フィルム４１は、空気が実質的に通過しないことが好ましく、この観点から樹脂材料が好ましい。フィルム４１は、湾曲変形が比較的容易な柔軟性を有することが好ましく、この観点から、フィルム４１の厚さは、制限はないが７０μｍ以下が好ましい。フィルム４１の厚さの下限は、制限はないが、１０μｍ以上が好ましい。フィルム４１が薄すぎると、フィルム強度が低下するので、ロールトゥロールにて真空プロセス処理に耐えられなくなる。 As the material of the film 41, any material that can withstand the vacuum process processing in the roll-to-roll type vacuum apparatus can be used. Specifically, for example, polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), or polyethylene naphthalate (PEN), cycloolefin resins, polycarbonate resins, acrylic resins, cellulose resins, Resin materials such as polyimide resin, phenol resin and vinyl resin, inorganic materials such as sufficiently thinned glass and metal foil, cloth, non-woven fabric, paper, fiber-reinforced plastic and the like can be used without particular limitation. It is preferable that the film 41 does not allow air to pass through substantially, and from this viewpoint, a resin material is preferable. The film 41 preferably has flexibility that is relatively easy to be curved and deformed, and from this viewpoint, the thickness of the film 41 is preferably 70 μm or less, although there is no limitation. The lower limit of the thickness of the film 41 is not limited, but is preferably 10 μm or more. If the film 41 is too thin, the film strength will be reduced, and the roll-to-roll film will not be able to withstand the vacuum process process.

原料ロール４０は、樹脂又は紙等からなる円筒形状のコア４２に、一定幅を有する長尺のフィルム４１がロール状に巻回されたものである。製品ロール５０は、樹脂又は紙等からなる円筒形状のコア５２に、真空プロセス処理がされたフィルム（製品フィルム）４１をロール状に巻き取ったものである。 The raw material roll 40 is a roll of a long film 41 having a constant width wound around a cylindrical core 42 made of resin, paper, or the like. The product roll 50 is a roll of a vacuum process-treated film (product film) 41 wound around a cylindrical core 52 made of resin, paper, or the like.

ロードロック１７，１８は、制限はないが、開状態ではロードロック１７，１８をフィルム４１が通過することができ、且つ、閉状態ではロードロック１７，１８がフィルム４１を挟んだ状態で気密に閉じることができるように構成されていることが好ましい。ロードロック１７，１８は、その具体的な構成に制限はないが、隔壁１５，１６に設けられた開口を開閉するように往復移動する可動部材を備えていてもよい。可動部材は、フィルム４１に対して一方の側のみに設けられていてもよく、あるいは、両側に設けられていてもよい。また、ロードロック１７，１８が開状態のときに、フィルム４１がロードロック１７，１８に接触することなく、ロードロック１７，１８を通って走行することが望まれるため、一対の可動部材が、フィルムを挟んで両側に、互いに接離することができるように設けられていることが好ましい。 The load locks 17 and 18 are not limited, but the film 41 can pass through the load locks 17 and 18 in the open state, and the load locks 17 and 18 are airtight with the film 41 sandwiched in the closed state. It is preferably configured so that it can be closed. The load locks 17 and 18 are not limited in their specific configuration, but may include movable members that reciprocate to open and close the openings provided in the partition walls 15 and 16. The movable member may be provided on only one side of the film 41, or may be provided on both sides. Further, when the load locks 17 and 18 are in the open state, it is desired that the film 41 travels through the load locks 17 and 18 without contacting the load locks 17 and 18, so that the pair of movable members can be moved. It is preferable that the film is provided on both sides of the film so that they can be brought into contact with each other.

ガイドロール２３，２４の数や配置は、図１に限定されない。図１では原料ロール室１１及び製品ロール室１３に各１本のガイドロールが設けられているが、原料ロール室１１及び製品ロール室１３の一方又は両方に、複数本のガイドロールが設けられていてもよく、あるいは、ガイドロールが省略されてもよい。ガイドロールは、図１のようにフィルム４１に対して下側に配置されている必要はなく、上側に配置されていてもよい。あるいは、２本のガイドロールを上下に接触させ、その間をフィルム４１が通過してもよい。処理室１２に、１本又は複数本のガイドロールが設けられていてもよい。 The number and arrangement of the guide rolls 23 and 24 are not limited to FIG. In FIG. 1, one guide roll is provided in each of the raw material roll chamber 11 and the product roll chamber 13, but a plurality of guide rolls are provided in one or both of the raw material roll chamber 11 and the product roll chamber 13. Alternatively, the guide roll may be omitted. The guide roll does not have to be arranged on the lower side with respect to the film 41 as shown in FIG. 1, and may be arranged on the upper side. Alternatively, the two guide rolls may be brought into contact with each other up and down, and the film 41 may pass between them. The processing chamber 12 may be provided with one or a plurality of guide rolls.

ガイドロールは走行するフィルム４１からのトラクションを受けて回転するいわゆるフリーロール（従動ロール）でも良いし、駆動機構によって回転駆動されるいわゆる駆動ロールでも良い。ガイドロールはフィルム４１を所定位置に維持しながら搬送する機能以外に、フィルム４１の荷重（または張力）、温度、電気特性などの情報を検出するセンサーとしての機能を有していても良く、この場合、得られた情報を装置１の任意の機構の制御に使用しても良い。例えば、フィルム４１がガイドロールに加える荷重を検出し、この情報を原料ロール４０や製品ロール５０を回転駆動する駆動系にフィードバックして、当該荷重が所定範囲に維持されるようにロール４０，５０の回転速度を制御してもよい。あるいは、ガイドロールを介して得られるフィルム４１に関する情報を、フィルム４１に対する加熱、冷電圧印加、形状の付与などに利用しても良い。 The guide roll may be a so-called free roll (driven roll) that rotates by receiving traction from the traveling film 41, or a so-called drive roll that is rotationally driven by a drive mechanism. In addition to the function of transporting the film 41 while maintaining it in a predetermined position, the guide roll may have a function as a sensor for detecting information such as the load (or tension), temperature, and electrical characteristics of the film 41. In this case, the obtained information may be used to control an arbitrary mechanism of the device 1. For example, the load applied to the guide roll by the film 41 is detected, and this information is fed back to the drive system for rotationally driving the raw material roll 40 and the product roll 50 so that the load is maintained within a predetermined range. You may control the rotation speed of. Alternatively, the information about the film 41 obtained via the guide roll may be used for heating the film 41, applying a cold voltage, imparting a shape, and the like.

ガイドロールの形状は、制限はなく、フィルム４１の安定的な搬送等の観点から適切に選択することができる。例えば、ガイドロールは、外径が回転中心軸方向に一定である円筒ロールや、回転中心軸方向の中央部で外径が大きなクラウンロール、回転中心軸方向の両端部で外径が大きなコンケイブロール、外周面に溝が設けられたマイクログルーブロール、回転中心軸が略円弧状に湾曲したエキスパンダーロールなどのいずれであってもよい。 The shape of the guide roll is not limited and can be appropriately selected from the viewpoint of stable transportation of the film 41 and the like. For example, guide rolls include a cylindrical roll whose outer diameter is constant in the direction of the center axis of rotation, a crown roll having a large outer diameter at the center of the center axis of rotation, and a concave roll having a large outer diameter at both ends in the direction of the center axis of rotation. , A microgroove roll having a groove on the outer peripheral surface, an expander roll having a rotation center axis curved in a substantially arc shape, or the like may be used.

装置１を用いてフィルム４１に真空プロセス処理を施す場合、扉２１，２２を閉じ且つロードロック１７，１８を開いて、各室１１，１２，１３を所定の真空度に維持する。フィルム４１を、原料ロール４０から繰り出し、ロードロック１７、処理室１２、ロードロック１８を順に通過させて、製品ロール５０としてロール状に巻き取る。処理室１２において、連続的に走行するフィルム４１に対して所定の真空プロセス処理を施す。図１において、矢印Ｒ１，Ｒ２はロール４０，５０の回転方向を示し、矢印Ａはフィルム４１の走行方向を示す。 When the film 41 is subjected to a vacuum process process using the apparatus 1, the doors 21 and 22 are closed and the load locks 17 and 18 are opened to maintain the chambers 11, 12 and 13 at a predetermined degree of vacuum. The film 41 is unwound from the raw material roll 40, passes through the load lock 17, the processing chamber 12, and the load lock 18 in this order, and is wound into a roll as a product roll 50. In the processing chamber 12, a predetermined vacuum process process is applied to the continuously running film 41. In FIG. 1, arrows R1 and R2 indicate the rotation directions of the rolls 40 and 50, and arrow A indicates the traveling direction of the film 41.

ロードロック１７，１８を閉じれば、処理室１２を所定の減圧雰囲気に維持したままで、扉２１，２２を開いて原料ロール室１１及び製品ロール室１３を大気開放することができる。これにより、処理室１２を真空に保ったままで、第１扉２１を介して原料ロール室１１内の原料ロール４０を交換したり、第２扉２２を介して製品ロール室１３から製品ロール５０を取り出したりすることができる。このため、処理室１２を大気開放することなく、複数の原料ロール４０を順次交換することにより、真空プロセス処理がされたフィルムがロール状に巻回された複数の製品ロール５０を製造することができる。 When the load locks 17 and 18 are closed, the doors 21 and 22 can be opened to open the raw material roll chamber 11 and the product roll chamber 13 to the atmosphere while maintaining the processing chamber 12 in a predetermined depressurized atmosphere. As a result, while the processing chamber 12 is kept in a vacuum, the raw material roll 40 in the raw material roll chamber 11 can be replaced through the first door 21, or the product roll 50 can be moved from the product roll chamber 13 through the second door 22. It can be taken out. Therefore, by sequentially exchanging a plurality of raw material rolls 40 without opening the processing chamber 12 to the atmosphere, it is possible to manufacture a plurality of product rolls 50 in which the vacuum process processed film is wound into a roll shape. it can.

原料ロール４０の交換手順を図２Ａ及び図２Ｂを用いて説明する。図２Ａ及び図２Ｂでは、原料ロール４０及びフィルム４１に関して、交換前（すなわち「旧」）のものと交換後（すなわち「新」）のものとを区別するために、それぞれの符号に添え字「ａ」、「ｂ」を付してある。 The procedure for replacing the raw material roll 40 will be described with reference to FIGS. 2A and 2B. In FIGS. 2A and 2B, with respect to the raw material roll 40 and the film 41, in order to distinguish between the one before replacement (that is, “old”) and the one after replacement (that is, “new”), a subscript “” is added to each code. "A" and "b" are attached.

図２Ａに、原料ロールの交換の一工程を示す。扉２１（図１参照）が開かれて、原料ロール室１１は大気開放されている。フィルムが繰り出されたために小径化した原料ロール（旧原料ロール）４０ａを、扉２１を介して原料ロール室１１から取り出し、この代わりに、新しい原料ロール（新原料ロール）４０ｂを、扉２１を介して原料ロール室１１に設置する。旧原料ロール４０ａから繰り出されたフィルム４１ａが、閉じられたロードロック１７に挟まれた状態で、処理室１２から原料ロール室１１に導出されている。図示が省略されているが、フィルム４１ａは、処理室１２を通って製品ロール室１３（図１参照）にまでのびている。このフィルム４１ａは、新原料ロール４０ｂのフィルム４１ｂを処理室１２を通って製品ロール室１３にまで案内する（一般に「フィルム通し」と呼ばれる）ためのリードフィルムとして機能する。 FIG. 2A shows one step of replacing the raw material roll. The door 21 (see FIG. 1) is opened, and the raw material roll chamber 11 is open to the atmosphere. The raw material roll (old raw material roll) 40a whose diameter has been reduced due to the film being fed out is taken out from the raw material roll chamber 11 through the door 21, and instead, a new raw material roll (new raw material roll) 40b is taken out through the door 21. It is installed in the raw material roll chamber 11. The film 41a unwound from the old raw material roll 40a is led out from the processing chamber 12 to the raw material roll chamber 11 in a state of being sandwiched between the closed load locks 17. Although not shown, the film 41a extends through the processing chamber 12 to the product roll chamber 13 (see FIG. 1). The film 41a functions as a lead film for guiding the film 41b of the new raw material roll 40b through the processing chamber 12 to the product roll chamber 13 (generally referred to as “film threading”).

図２Ｂに示すように、新原料ロール４０ｂを、原料ロール室１１の所定位置に設置する。新原料ロール４０ｂに巻回されたフィルム４１ｂの先端部を、リードフィルム４１ａの末端部に接続する。リードフィルム４１ａとフィルム４１ｂとが接続された接続部４３でのリードフィルム４１ａとフィルム４１ｂとの接続方法は、制限はないが、減圧雰囲気やフィルム走行時の張力等によって分離せず、また、可能な限りフィルム４１ｂにシワやたるみが発生しにくい方法が好ましい。接続部４３において、リードフィルム４１ａとフィルム４１ｂとを重ね合わせてもよいし、両フィルム４１ａ，４１ｂを重ね合わせることなく、突き合わせて、これらを別部材で連結してもよい。接続方法としては、例えば、リードフィルム４１ａとフィルム４１ｂとを、両面粘着テープ、粘着剤、接着剤などを両者間に挟んで重ね合わせる方法、片面のみに粘着層が設けられた片面粘着テープをリードフィルム４１ａとフィルム４１ｂとに架け渡すように貼付する方法、クリップなどでフィルム４１ａ，４１ｂを挟む方法、フィルム４１ａ，４１ｂに針や糸などを貫通させる方法など、いずれであってもよい。図２Ｂでは、接続部４３は新原料ロール４０ｂから離れた位置にあるが、本発明はこれに限定されない。例えば、リードフィルム４１ａの末端部を新原料ロール４０ｂの外周面上に重ね合わせることにより、新原料ロール４０ｂ上でフィルム４１ｂとリードフィルム４１ａとを接続してもよい。この場合、接続部４３は、新原料ロール４０ｂ上に位置することになる。 As shown in FIG. 2B, the new raw material roll 40b is installed at a predetermined position in the raw material roll chamber 11. The tip of the film 41b wound around the new raw material roll 40b is connected to the end of the lead film 41a. The method of connecting the lead film 41a and the film 41b at the connecting portion 43 in which the lead film 41a and the film 41b are connected is not limited, but is not separated due to a reduced pressure atmosphere, tension during film running, or the like, and is possible. As much as possible, a method in which wrinkles and sagging are less likely to occur in the film 41b is preferable. In the connecting portion 43, the lead film 41a and the film 41b may be overlapped with each other, or the two films 41a and 41b may be butted against each other without being overlapped with each other and connected by another member. As a connection method, for example, a method of superimposing a lead film 41a and a film 41b with a double-sided adhesive tape, an adhesive, an adhesive or the like sandwiched between them, or a single-sided adhesive tape having an adhesive layer provided on only one side is lead. Any method may be used, such as a method of sticking the film 41a and the film 41b so as to bridge each other, a method of sandwiching the films 41a and 41b with a clip or the like, and a method of penetrating the films 41a and 41b with a needle or a thread. In FIG. 2B, the connecting portion 43 is located away from the new raw material roll 40b, but the present invention is not limited to this. For example, the film 41b and the lead film 41a may be connected on the new raw material roll 40b by superimposing the end portion of the lead film 41a on the outer peripheral surface of the new raw material roll 40b. In this case, the connecting portion 43 will be located on the new raw material roll 40b.

次いで、新原料ロール４０ｂの外周面に押圧部材３０を押し当てる。この状態で、扉２１を閉じ、原料ロール室１１内を所定の減圧雰囲気に減圧する。その後、押圧部材３０を新原料ロール４０ｂから離間させる。ロードロック１７を開いて、フィルム４１ｂを走行させ、フィルム４１ｂに真空プロセス処理を施す。 Next, the pressing member 30 is pressed against the outer peripheral surface of the new raw material roll 40b. In this state, the door 21 is closed and the inside of the raw material roll chamber 11 is depressurized to a predetermined decompression atmosphere. After that, the pressing member 30 is separated from the new raw material roll 40b. The load lock 17 is opened, the film 41b is run, and the film 41b is subjected to a vacuum process process.

このように、大気圧下で原料ロール４０ｂに巻回されたフィルム４１ｂの先端部をリードフィルム４１ａの末端部に接続し、且つ、押圧部材３０を原料ロール４０ｂに押し当てた状態で、原料ロール室１１を大気圧雰囲気から所定の減圧雰囲気に減圧し、次いで、減圧雰囲気下で押圧部材３０を原料ロール４０ｂから離間させ、その後、原料ロール４０ｂからフィルム４１ｂを繰り出してフィルム４１ｂに対して真空プロセス処理を開始する。これにより、原料ロール室１１を大気圧から減圧する過程でフィルム４１ｂに発生する微小なシワやキズを低減することができる。これについて以下に説明する。 In this way, with the tip of the film 41b wound around the raw material roll 40b under atmospheric pressure connected to the end of the lead film 41a and the pressing member 30 pressed against the raw material roll 40b, the raw material roll The chamber 11 is depressurized from the atmospheric pressure atmosphere to a predetermined depressurized atmosphere, then the pressing member 30 is separated from the raw material roll 40b under the depressurized atmosphere, and then the film 41b is unwound from the raw material roll 40b to perform a vacuum process on the film 41b. Start processing. As a result, it is possible to reduce minute wrinkles and scratches generated on the film 41b in the process of depressurizing the raw material roll chamber 11 from the atmospheric pressure. This will be described below.

押圧部材３０に相当する部材を備えない従来のロールトゥロール型真空装置では、上述したように、原料ロール室を減圧する過程で原料ロールに巻かれたフィルムに微小なシワやキズが発生することがある。本発明者らは、微小なシワやキズが発生する原因は、原料ロールに巻回されたフィルムをリードフィルムに接続することによって原料ロールのフィルム間に入り込んだ空気が、その後の減圧過程で原料ロール内を巻き芯側に向かって移動するためであることを見出した。これを以下に説明する。 In the conventional roll-to-roll type vacuum apparatus which does not have a member corresponding to the pressing member 30, as described above, minute wrinkles and scratches are generated on the film wound on the raw material roll in the process of depressurizing the raw material roll chamber. There is. The present inventors have found that the cause of minute wrinkles and scratches is that the air that has entered between the films of the raw material roll by connecting the film wound around the raw material roll to the lead film is the raw material in the subsequent decompression process. It was found that this is because it moves in the roll toward the winding core side. This will be described below.

図３Ａは、従来のロールトゥロール型真空装置において、大気圧下で、原料ロール４０に巻回されたフィルム４１の先端部をリードフィルムの末端部（図示せず）に接続した直後の状態を示した断面図である。フィルム４１とリードフィルムとをシワや弛みなく接続することは、現実には困難である。このため、両者の接続部から原料ロール４０に向かってフィルム４１にシワや弛みが発生する。シワや弛みは、原料ロール４０に巻回された最外層のフィルムを、当該フィルムに対して内側に隣接するフィルムから半径方向の外向きに局所的に浮き上がるように変形させる。このようにしてできたフィルムの変形部４５内の空間は空気で満たされる。なお、図３Ａは、図面を簡単化するために、フィルム４１の各層は、厚みを有しない１本の曲線で示されている。半径方向に隣り合うフィルム４１は、実際には、変形部４５を除いて実質的に互いに密着しているが、図３Ａでは離間して示してある。フィルム４１の層数は実際のものに比べて少ない。後述する図３Ｂ、図４Ａ、図４Ｂも同様である。 FIG. 3A shows a state immediately after connecting the tip end portion of the film 41 wound around the raw material roll 40 to the end portion (not shown) of the lead film in the conventional roll-to-roll type vacuum apparatus under atmospheric pressure. It is the cross-sectional view shown. It is actually difficult to connect the film 41 and the lead film without wrinkles or slack. Therefore, wrinkles and slack are generated in the film 41 from the connecting portion between the two toward the raw material roll 40. The wrinkles and slacks deform the outermost film wound around the raw material roll 40 so as to be locally lifted outward in the radial direction from the film adjacent to the inner side of the film. The space inside the deformed portion 45 of the film thus formed is filled with air. In FIG. 3A, for simplification of the drawing, each layer of the film 41 is shown by a single curve having no thickness. The films 41 adjacent to each other in the radial direction are actually substantially in close contact with each other except for the deformed portion 45, but are shown apart in FIG. 3A. The number of layers of the film 41 is smaller than that of the actual film 41. The same applies to FIGS. 3B, 4A, and 4B described later.

図３Ａの状態で、原料ロール４０が設置された原料ロール室は減圧される。原料ロール４０は一般に大気圧下でフィルム４１が巻回されて製造されるので、半径方向に隣り合うフィルム４１間にはわずかな空気が存在している。減圧過程で、フィルム４１間の空気が、フィルム４１の幅方向の両端から原料ロール４０外に漏れ出る。これにともない、変形部４５内の空気が、図３Ｂ、図３Ｃのようにフィルム４１の長手方向に沿って巻き芯（すなわちコア４２）に向かって徐々に移動する。空気の移動は、フィルム４１が局所的に変形した変形部の移動をともなう。本明細書では、この現象を「変形の伝播」と称する。空気は、フィルム４１の長手方向に沿って移動しながら、その一部はフィルム４１の幅方向の両端から原料ロール４０外に漏れ出る。このため、通常は、変形の伝播は、巻き芯までは達しない。図３Ｄは、原料ロール室が所定の減圧雰囲気に到達したときの原料ロール４０を示す。変形の伝播は、原料ロール４０の外周面から半径方向に限られた厚さの領域４６で起こる。半径方向に隣り合うフィルム４１は、変形の伝播（すなわち、空気の進入）によって、一旦離間し、その後密着するが、離間前の状態に比べて相対的に位置ズレして密着してしまうことがある。このため、変形の伝播が発生した領域４６では、フィルム４１のいわゆる「巻ずれ」が起こり、フィルム４１に微小なシワが発生し易い。同時に、フィルム４１にキズが生じることもある。その後の真空プロセス処理の開始によってフィルム４１が原料ロール４０から繰り出されると、フィルム４１に加えられる張力等によってシワが延ばされることによってシワの近傍でフィルム４１が位置ズレし、このときフィルム４１にキズが生じることがある。このようにして領域４６を構成するフィルム４１に微小なシワやキズが生じる結果、このフィルム４１に真空プロセス処理を施して得られる製品フィルムの外観品質が低下するのである。 In the state of FIG. 3A, the pressure in the raw material roll chamber in which the raw material roll 40 is installed is reduced. Since the raw material roll 40 is generally manufactured by winding the film 41 under atmospheric pressure, a small amount of air is present between the films 41 adjacent to each other in the radial direction. In the depressurizing process, air between the films 41 leaks out of the raw material roll 40 from both ends in the width direction of the film 41. Along with this, the air in the deformed portion 45 gradually moves toward the winding core (that is, the core 42) along the longitudinal direction of the film 41 as shown in FIGS. 3B and 3C. The movement of air is accompanied by the movement of the deformed portion in which the film 41 is locally deformed. In the present specification, this phenomenon is referred to as "propagation of deformation". While the air moves along the longitudinal direction of the film 41, a part of the air leaks out of the raw material roll 40 from both ends in the width direction of the film 41. For this reason, the propagation of deformation usually does not reach the winding core. FIG. 3D shows the raw material roll 40 when the raw material roll chamber reaches a predetermined depressurized atmosphere. Deformation propagation occurs in a region 46 having a thickness limited in the radial direction from the outer peripheral surface of the raw material roll 40. The films 41 adjacent to each other in the radial direction are separated once due to the propagation of deformation (that is, the ingress of air) and then adhere to each other, but the films 41 may be relatively displaced and adhere to each other as compared with the state before the separation. is there. Therefore, in the region 46 where the deformation propagates, so-called “winding deviation” of the film 41 occurs, and minute wrinkles are likely to occur on the film 41. At the same time, the film 41 may be scratched. When the film 41 is unwound from the raw material roll 40 by the start of the subsequent vacuum process processing, the film 41 is displaced in the vicinity of the wrinkles due to the wrinkles being stretched by the tension applied to the film 41, and at this time, the film 41 is scratched. May occur. As a result of fine wrinkles and scratches on the film 41 forming the region 46 in this way, the appearance quality of the product film obtained by subjecting the film 41 to the vacuum process treatment is deteriorated.

装置１は、原料ロール４０の外周面に押圧部材３０を押し当てることにより、フィルム４の変形の伝播を阻止する。以下に、押圧部材３０の作用を説明する。 The device 1 prevents the propagation of the deformation of the film 4 by pressing the pressing member 30 against the outer peripheral surface of the raw material roll 40. The action of the pressing member 30 will be described below.

図４Ａは、装置１において、大気圧下で、原料ロール４０に巻回されたフィルム４１の先端部をリードフィルムの末端部（図示せず）に接続した直後の状態を示した断面図である。図３Ａと同様に、フィルム４１とリードフィルムとを接続したことに起因して、原料ロール４０に巻回された最外層のフィルムが、当該フィルムに対して内側に隣接するフィルムから半径方向の外向きに局所的に浮き上がり、変形部４５が形成されている。押圧部材３０が、原料ロール４０の外周面を押圧している。 FIG. 4A is a cross-sectional view showing a state immediately after the tip end portion of the film 41 wound around the raw material roll 40 is connected to the end portion (not shown) of the lead film in the apparatus 1 under atmospheric pressure. .. Similar to FIG. 3A, due to the connection between the film 41 and the lead film, the outermost film wound around the raw material roll 40 is radially outside the film adjacent to the inner side of the film. It floats locally in the direction and the deformed portion 45 is formed. The pressing member 30 presses the outer peripheral surface of the raw material roll 40.

図４Ａの状態で、原料ロール４０が設置された原料ロール室１１は減圧される。図３Ｂと同様に、変形部４５内の空気は、フィルム４１の長手方向に沿って巻き芯（すなわちコア４２）に向かって徐々に移動する（図４Ｂ参照）。すなわち、変形の伝播が起こる。 In the state of FIG. 4A, the pressure in the raw material roll chamber 11 in which the raw material roll 40 is installed is reduced. Similar to FIG. 3B, the air in the deformed portion 45 gradually moves toward the winding core (that is, the core 42) along the longitudinal direction of the film 41 (see FIG. 4B). That is, deformation propagation occurs.

ところが、図４Ｃに示すように、押圧部材３０の位置で、空気の移動は停止する。押圧部材３０が、半径方向に隣り合うフィルムの離間を阻止するからである。この状態で、原料ロール室１１は所定の減圧雰囲気まで減圧される。変形部内の空気はフィルム４１の幅方向の両端から原料ロール４０外に漏れ出る。 However, as shown in FIG. 4C, the movement of air stops at the position of the pressing member 30. This is because the pressing member 30 prevents the films adjacent to each other in the radial direction from being separated. In this state, the raw material roll chamber 11 is depressurized to a predetermined depressurized atmosphere. The air in the deformed portion leaks out of the raw material roll 40 from both ends in the width direction of the film 41.

その後、図４Ｄに示すように、押圧部材３０を原料ロール４０から離間させる。そして、原料ロール４０ｂからフィルム４１ｂを繰り出してフィルム４１ｂに真空プロセス処理を開始する。 After that, as shown in FIG. 4D, the pressing member 30 is separated from the raw material roll 40. Then, the film 41b is unwound from the raw material roll 40b, and the film 41b is subjected to a vacuum process process.

以上のように、装置１では、押圧部材３０を原料ロール４０の外周面に押し当てた状態で原料ロール室１１を大気圧雰囲気から所定の減圧雰囲気まで減圧するので、押圧部材３０を用いない場合に減圧過程で起こる変形の伝播（図３Ａ〜図３Ｄ参照）を実質的に阻止することができる。このため、フィルム４１の巻ずれは起こらず、原料ロール４０に巻回されたフィルム４１に微小なシワやキズが発生するのを防止することができる。その結果、フィルム４１に真空プロセス処理を施して得られる製品フィルムの外観品質を向上させることができるのである。 As described above, in the device 1, the raw material roll chamber 11 is depressurized from the atmospheric pressure atmosphere to a predetermined depressurized atmosphere while the pressing member 30 is pressed against the outer peripheral surface of the raw material roll 40. Therefore, when the pressing member 30 is not used. In addition, the propagation of deformation that occurs during the depressurization process (see FIGS. 3A to 3D) can be substantially prevented. Therefore, the unwinding of the film 41 does not occur, and it is possible to prevent the film 41 wound around the raw material roll 40 from having fine wrinkles and scratches. As a result, the appearance quality of the product film obtained by subjecting the film 41 to the vacuum process treatment can be improved.

押圧部材３０は、変形の伝播を阻止する観点から、フィルム４１を、その全幅にわたって略均一に押圧することが好ましい。このため、押圧部材３０は、フィルム４１の幅と同じか、またはこれより大きな有効長さを有していることが好ましい。 From the viewpoint of preventing the propagation of deformation, the pressing member 30 preferably presses the film 41 substantially uniformly over its entire width. Therefore, it is preferable that the pressing member 30 has an effective length equal to or larger than the width of the film 41.

原料ロール４０の中心軸に沿って見たとき、押圧部材３０の原料ロール４０に押し当てられる面（押圧面）は、図５Ａに示すように原料ロール４０に対して凸曲面３１であってもよく、図５Ｂに示すように原料ロール４０に対して凹曲面３２であってもよく、あるいは、平坦面（図示せず）であってもよい。 When viewed along the central axis of the raw material roll 40, the surface (pressing surface) of the pressing member 30 pressed against the raw material roll 40 may be a convex curved surface 31 with respect to the raw material roll 40 as shown in FIG. 5A. Often, as shown in FIG. 5B, the raw material roll 40 may have a concave curved surface 32 or a flat surface (not shown).

凸曲面３１を有する押圧部材３０は、図５Ａに示すように円筒面形状の外周面を有する円筒ロールであってもよい。更に、この押圧部材３０は、自由に回転可能であってもよい。この構成は、押圧部材３０を原料ロール４０に押し当てた状態で原料ロール４０が意図せずに回転したとき、押圧部材３０が原料ロール４０に従動回転するので、フィルム４１にシワやキズが発生するのを防止するのに有利である。 The pressing member 30 having the convex curved surface 31 may be a cylindrical roll having a cylindrical outer peripheral surface as shown in FIG. 5A. Further, the pressing member 30 may be freely rotatable. In this configuration, when the raw material roll 40 is unintentionally rotated while the pressing member 30 is pressed against the raw material roll 40, the pressing member 30 is driven to rotate the raw material roll 40, so that the film 41 is wrinkled or scratched. It is advantageous to prevent it from happening.

凹曲面３２を有する押圧部材３０（図５Ｂ参照）は、凹曲面３２を比較的広い面積で原料ロール４０の外周面に接触させることができる。これは、変形の伝播を阻止するのに有利である。また、原料ロール４０に対する凹曲面３２の押圧力を低くすることができるので、押圧部材３０を原料ロール４０に押し当てることによってフィルム４１に生じるキズを少なくするのに有利である。凹曲面３２は、原料ロール４０の外周面を広い面積で均一に押圧することができるように、原料ロール４０の外周面とほぼ同じ曲率半径の円弧状断面を有していることが好ましい。 The pressing member 30 having the concave curved surface 32 (see FIG. 5B) can bring the concave curved surface 32 into contact with the outer peripheral surface of the raw material roll 40 over a relatively large area. This is advantageous in blocking the propagation of deformation. Further, since the pressing force of the concave curved surface 32 against the raw material roll 40 can be reduced, it is advantageous to reduce the scratches generated on the film 41 by pressing the pressing member 30 against the raw material roll 40. The concave curved surface 32 preferably has an arcuate cross section having substantially the same radius of curvature as the outer peripheral surface of the raw material roll 40 so that the outer peripheral surface of the raw material roll 40 can be uniformly pressed over a wide area.

接続部４３から巻き芯に向かって伝播するフィルム４１の変形を阻止する観点から、押圧部材３０が原料ロール４０を押圧する位置は、接続部４３（図２Ｂ参照）より原料ロール４０の巻き芯側であることが好ましい。換言すれば、押圧部材３０は、接続部４３やリードフィルム４１ａではなく、原料ロール４０に巻回されたフィルム４１を押圧することが好ましい。 From the viewpoint of preventing deformation of the film 41 propagating from the connecting portion 43 toward the winding core, the position where the pressing member 30 presses the raw material roll 40 is located on the winding core side of the raw material roll 40 from the connecting portion 43 (see FIG. 2B). Is preferable. In other words, it is preferable that the pressing member 30 presses the film 41 wound around the raw material roll 40 instead of the connecting portion 43 and the lead film 41a.

押圧部材３０が原料ロール４０に押し当てられたときにフィルム４１が傷付けられないように、押圧部材３０の原料ロール４０に接触する部分は変形可能な柔軟性を有することが好ましい。このような観点から、当該部分の材料は、フッ素ゴム、ニトリルゴム、シリコーンゴム、ＥＰＤＭ、ブチルゴム、ウレタンゴム、アクリルゴム、スチレン系エラストマーなどのゴム状物質、発泡ウレタン、発泡ポリスチレン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレンなどの発泡樹脂、などが好ましい。 It is preferable that the portion of the pressing member 30 in contact with the raw material roll 40 has deformable flexibility so that the film 41 is not damaged when the pressing member 30 is pressed against the raw material roll 40. From this point of view, the material of the relevant part is a rubbery substance such as fluororubber, nitrile rubber, silicone rubber, EPDM, butyl rubber, urethane rubber, acrylic rubber, styrene elastomer, urethane foam, polystyrene foam, polyethylene foam, foam. Foamed resin such as polypropylene is preferable.

押圧部材３０の原料ロール４０に対する押圧力は、制限されないが、一般に０．００１〜１ＭＰａ程度である。押圧力が大きすぎると、押圧部材３０が、原料ロール４０に巻回されたフィルム４１を不可逆的に変形させてしまったり、フィルム４１にシワやキズを生じさせたりする可能性が高くなる。また、押圧力が小さすぎると、変形の伝播を阻止する効果が低下するので、フィルム４１に微小なシワやキズが発生しやすくなる。 The pressing force of the pressing member 30 against the raw material roll 40 is not limited, but is generally about 0.001 to 1 MPa. If the pressing force is too large, there is a high possibility that the pressing member 30 will irreversibly deform the film 41 wound around the raw material roll 40, or cause wrinkles or scratches on the film 41. Further, if the pressing force is too small, the effect of preventing the propagation of deformation is reduced, so that minute wrinkles and scratches are likely to occur on the film 41.

押圧部材３０の原料ロール４０への押し当ては、原料ロール室１１を減圧する前、すなわち、大気圧雰囲気下で行われればよく、原料ロール４０に巻回されたフィルム４１とリードフィルム４１ａとを接続する前であるか後であるかは問わない。 The pressing of the pressing member 30 against the raw material roll 40 may be performed before the raw material roll chamber 11 is depressurized, that is, in an atmospheric pressure atmosphere, and the film 41 wound around the raw material roll 40 and the lead film 41a are pressed against each other. It doesn't matter before or after the connection.

押圧部材３０を原料ロール４０に押し当てた状態でフィルム４１とリードフィルム４１ａとを接続する場合には、変形部４５は、押圧部材３０が原料ロール４０を押圧する地点よりも接続部４３側の限られた領域のみに形成される。これは、フィルム４１に発生する微小なシワやキズを低減するのに有利である。 When the film 41 and the lead film 41a are connected with the pressing member 30 pressed against the raw material roll 40, the deformed portion 45 is closer to the connecting portion 43 than the point where the pressing member 30 presses the raw material roll 40. It is formed only in a limited area. This is advantageous for reducing minute wrinkles and scratches generated on the film 41.

フィルム４１とリードフィルム４１ａとを接続した後に押圧部材３０を原料ロール４０に押し当てる場合には、接続作業時に押圧部材３０が原料ロール４０から離間しているので、押圧部材３０が接続作業の邪魔にならない。 When the pressing member 30 is pressed against the raw material roll 40 after connecting the film 41 and the lead film 41a, the pressing member 30 is separated from the raw material roll 40 during the connecting operation, so that the pressing member 30 interferes with the connecting operation. do not become.

押圧部材３０は、フィルム４１に対して真空プロセス処理を開始する前に、原料ロール４０から離間される。 The pressing member 30 is separated from the raw material roll 40 before starting the vacuum process process on the film 41.

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。但し、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

［実施例１］
幅１ｍ、厚さ５０μｍの光学グレードＰＥＴフィルムの片面に厚さ５μｍのハードコート層が形成された光学用途フィルム３０００ｍを張力１００Ｎでロール状に巻き取って原料ロールとした。減圧による巻きずれの有無やその程度を評価するため、原料ロールに巻回されたフィルムの側面に、半径方向に沿って油性ペンでラインを引いた。リードフィルムとして、幅１ｍ、厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムをロール状に巻き取ってリードフィルムロールとした。 [Example 1]
An optical grade film 3000 m having a hard coat layer having a thickness of 5 μm formed on one side of an optical grade PET film having a width of 1 m and a thickness of 50 μm was wound into a roll with a tension of 100 N to obtain a raw material roll. In order to evaluate the presence or absence of unwinding due to decompression and the degree of unwinding, a line was drawn along the radial direction on the side surface of the film wound on the raw material roll with an oil-based pen. As the lead film, a PET film having a width of 1 m and a thickness of 50 μm was wound into a roll to form a lead film roll.

図１と同じ構成を有するロールトゥロール型スパッタ装置の原料ロール室１１に、上記のリードフィルムロールを設置した。リードフィルムを繰り出して、原料ロール室１１から、ロードロック１７、処理室１２、ロードロック１８、製品ロール室１３に順に通し、扉２１，２２を閉じて、全室１１，１２，１３を１×１０^-3Ｐａ以下になるよう減圧した。 The lead film roll was installed in the raw material roll chamber 11 of the roll-to-roll type sputtering apparatus having the same configuration as that of FIG. The lead film is fed out and passed from the raw material roll chamber 11 through the load lock 17, the processing chamber 12, the load lock 18, and the product roll chamber 13 in this order, the doors 21 and 22 are closed, and all the chambers 11, 12, and 13 are 1 ×. The pressure was reduced to 10 ^-3 Pa or less.

次いで、ロードロック１７を閉じ、続いて扉２１を開いて、原料ロール室１１を大気開放した。リードフィルムロールとロードロック１７との間の位置でリードフィルムを切断し、リードフィルムロールを原料ロール室１１から取り出した。代わりに、上記の原料ロールを原料ロール室１１に設置した。原料ロールに巻回されたフィルムの先端部とリードフィルムの末端部とを、両面粘着テープを介して重ね合わせて接続した。原料ロールに巻回されたフィルムの繰り出し境界４４（図１参照）の位置に、油性ペンでマーキングを行った。「繰り出し境界」とは、原料ロールに巻回されたフィルムが、繰り出されることによって原料ロールから離間し始める位置を意味する。 Next, the load lock 17 was closed, and then the door 21 was opened to open the raw material roll chamber 11 to the atmosphere. The lead film was cut at a position between the lead film roll and the load lock 17, and the lead film roll was taken out from the raw material roll chamber 11. Instead, the raw material roll was installed in the raw material roll chamber 11. The tip of the film wound around the raw material roll and the end of the lead film were overlapped and connected via a double-sided adhesive tape. The position of the feeding boundary 44 (see FIG. 1) of the film wound around the raw material roll was marked with an oil-based pen. The "feeding boundary" means a position where the film wound around the raw material roll begins to separate from the raw material roll by being fed.

続いて、原料ロールを巻き取り方向（図１の矢印Ｒ１とは逆方向）に駆動してフィルムに１００Ｎの張力を印加した。この状態で、押圧部材３０を原料ロールに押し当てた。押圧部材３０は、フッ素ゴムで被覆された、長さ１ｍの円筒ロールである。押圧部材３０は円筒ロールであるので、押圧部材３０の原料ロールに押し当てられる面は凸曲面（図５Ａ参照）である。０．０１Ｍｐａの圧縮空気を導入したエアシリンダーを用いて、押圧部材３０を、原料ロールに向かって半径方向に沿って押し当てた。押し当てる位置は、リードフィルムとの接続部よりも原料ロールの巻き芯側である。 Subsequently, the raw material roll was driven in the winding direction (opposite direction to the arrow R1 in FIG. 1) to apply a tension of 100 N to the film. In this state, the pressing member 30 was pressed against the raw material roll. The pressing member 30 is a cylindrical roll having a length of 1 m and coated with fluororubber. Since the pressing member 30 is a cylindrical roll, the surface of the pressing member 30 pressed against the raw material roll is a convex curved surface (see FIG. 5A). The pressing member 30 was pressed along the radial direction toward the raw material roll by using an air cylinder introduced with 0.01 Mpa of compressed air. The pressing position is closer to the core of the raw material roll than the connection with the lead film.

この状態で原料ロール室１１の扉２１を閉め、原料ロール室１１の減圧を開始した。原料ロール室１１の圧力が１×１０^-3Ｐａに達したときに押圧部材３０を原料ロールから離間させ、のぞき窓から原料ロールに巻回されたフィルムの側面に引いたラインを観察した。ラインのずれから、フィルムの巻ずれ領域（図３Ｄの領域４６）の厚さ（巻ずれ領域厚さ）は、原料ロールの外周面から半径方向に１ｍｍ以下であり、フィルムの長さに換算（巻ずれフィルム長さ）すると５０ｍ以下であった。 In this state, the door 21 of the raw material roll chamber 11 was closed, and the pressure reduction of the raw material roll chamber 11 was started. When the pressure in the raw material roll chamber 11 reached 1 × 10 ^-3 Pa, the pressing member 30 was separated from the raw material roll, and a line drawn from the peephole to the side surface of the film wound around the raw material roll was observed. The thickness (roll misalignment region thickness) of the film unwinding region (region 46 in FIG. 3D) is 1 mm or less in the radial direction from the outer peripheral surface of the raw material roll due to the line deviation, and is converted into the film length ( The unwinding film length) was 50 m or less.

続いて、原料ロールからフィルムを１００ｍ繰り出し、製品ロールに巻き取った。製品ロールから、上記のマーキングから２０ｍのフィルムを採取した。 Subsequently, the film was unwound 100 m from the raw material roll and wound on the product roll. From the product roll, a 20 m film was taken from the above markings.

最後に、採取したフィルムの外観品質を評価した。具体的には、暗室にてＬＥＤライトを使用して長さ２００μｍ以上のキズの個数を、採取した長さ２０ｍのフィルムの全領域について調査した。結果、長さ２００μｍ以上のキズは、長さ２０ｍのフィルムに全く検出されなかった。 Finally, the appearance quality of the collected film was evaluated. Specifically, the number of scratches having a length of 200 μm or more was investigated using an LED light in a dark room over the entire area of the collected film having a length of 20 m. As a result, no scratches having a length of 200 μm or more were detected on the film having a length of 20 m.

［実施例２］
押圧部材を、長さ１ｍの発泡ウレタン製パッドに変更する以外は実施例１と同様の実験を行った。押圧部材の原料ロールに押し当てられる面は、原料ロールの外周面と同じ曲率半径の凹曲面（図５Ｂ参照）とした。 [Example 2]
The same experiment as in Example 1 was performed except that the pressing member was changed to a urethane foam pad having a length of 1 m. The surface of the pressing member pressed against the raw material roll is a concave curved surface having the same radius of curvature as the outer peripheral surface of the raw material roll (see FIG. 5B).

結果、原料ロール室１１を減圧後の原料ロールの巻きずれ領域厚さは半径方向に１ｍｍ以下であり、フィルムの長さに換算した巻ずれフィルム長さは５０ｍ以下であった。また、製品ロールから採取した長さ２０ｍのフィルムに長さ２００μｍ以上のキズは全く検出されなかった。 As a result, the thickness of the unrolled region of the raw material roll after depressurizing the raw material roll chamber 11 was 1 mm or less in the radial direction, and the unwound film length converted into the film length was 50 m or less. In addition, no scratches having a length of 200 μm or more were detected on the film having a length of 20 m collected from the product roll.

［比較例１］
押圧部材を用いない以外は実施例１と同様の実験を行った。 [Comparative Example 1]
The same experiment as in Example 1 was performed except that the pressing member was not used.

結果、原料ロール室１１を減圧後の原料ロールの巻きずれ領域厚さは半径方向に３０ｍｍであり、フィルムの長さに換算した巻ずれフィルム長さは約１０００ｍであった。また、製品ロールから採取した長さ２０ｍのフィルムに長さ２００μｍ以上のキズが、１ｍあたり１５個検出された。 As a result, the thickness of the unrolled region of the raw material roll after depressurizing the raw material roll chamber 11 was 30 mm in the radial direction, and the unwound film length converted to the film length was about 1000 m. In addition, 15 scratches having a length of 200 μm or more were detected per 1 m on the film having a length of 20 m collected from the product roll.

［比較例２］
実施例１において、押圧部材を原料ロールに押し当てた後、離間させることなく、フィルムを原料ロールから繰り出し、製品ロールに巻き取る以外は実施例１と同様の実験を行った。円筒ロール状の押圧部材は、原料ロールの回転に追従して回転した。 [Comparative Example 2]
In Example 1, the same experiment as in Example 1 was carried out except that after pressing the pressing member against the raw material roll, the film was unwound from the raw material roll and wound around the product roll without being separated. The cylindrical roll-shaped pressing member rotated following the rotation of the raw material roll.

結果、原料ロール室１１を減圧後の原料ロールの巻きずれ領域厚さは半径方向に１ｍｍ以下であり、フィルムの長さに換算した巻ずれフィルム長さは５０ｍ以下であった。また、製品ロールから採取した長さ２０ｍのフィルムに長さ２００μｍ以上のキズが、１ｍあたり１０個検出された。 As a result, the thickness of the unrolled region of the raw material roll after depressurizing the raw material roll chamber 11 was 1 mm or less in the radial direction, and the unwound film length converted into the film length was 50 m or less. In addition, 10 scratches having a length of 200 μm or more were detected per 1 m on the film having a length of 20 m collected from the product roll.

実施例１，２及び比較例１，２を表１にまとめて示す。 Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 are summarized in Table 1.

実施例１，２と比較例１の比較から、原料ロールの減圧時に押圧部材を押し当てることは製品ロールに巻回されたフィルムのキズを低減させ外観品質の向上に効果があることが分かる。 From the comparison between Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, it can be seen that pressing the pressing member when the pressure of the raw material roll is reduced is effective in reducing scratches on the film wound around the product roll and improving the appearance quality.

また、実施例１と比較例２の比較から、押圧部材を原料ロールに押し当てたままフィルムを繰り出すことは、減圧によるフィルムの巻きずれを低減することができるものの、キズの発生を十分に抑えられないことが分かる。キズの発生の程度はフィルムの材料等にも依存するが、上記の実施例のようにキズが比較的発生し易いフィルムを用いた場合には、押圧部材を押し当てながらフィルムを繰り出すとフィルムにキズを発生させてしまう。上述した特許文献１には原料ロールに導電性ロールを接触させながら真空中でフィルムを繰り出すことが記載されているが、この方法は、フィルムにキズを発生させてしまい、外観品質を低下させると推測される。 Further, from the comparison between Example 1 and Comparative Example 2, it is possible to reduce the unwinding of the film due to the reduced pressure by feeding out the film while pressing the pressing member against the raw material roll, but the occurrence of scratches is sufficiently suppressed. I know I can't. The degree of scratches depends on the material of the film, etc., but when a film that is relatively susceptible to scratches is used as in the above embodiment, the film can be drawn out while pressing the pressing member. It will cause scratches. The above-mentioned Patent Document 1 describes that the film is unwound in a vacuum while bringing the conductive roll into contact with the raw material roll. However, this method causes scratches on the film and deteriorates the appearance quality. Guess.

１製品ロールの製造装置
１０筐体
１１原料ロール室
１２処理室
１３製品ロール室
１７，１８ロードロック
３０押圧部材
３１凸曲面
３２凹曲面
４０原料ロール
４１フィルム
４１ａリードフィルム
４３接続部
４５変形部
５０製品ロール 1 Product roll manufacturing equipment 10 Housing 11 Raw material roll chamber 12 Processing chamber 13 Product roll chamber 17, 18 Load lock 30 Pressing member 31 Convex curved surface 32 Concave curved surface 40 Raw material roll 41 Film 41a Lead film 43 Connection part 45 Deformation part 50 Product roll

Claims

長尺のフィルムがロール状に巻回された原料ロールから前記フィルムを繰り出し、前記フィルムに対して所定の真空プロセス処理を行い、前記真空プロセス処理がされた前記フィルムをロール状に巻き取って製品ロールを得る製品ロールの製造方法であって、
前記原料ロールに巻回された前記フィルムの先端部を、前記真空プロセス処理を行う処理室から導出したリードフィルムの末端部に接続し、且つ、前記フィルムの幅方向に延びた押圧部材を前記原料ロールの外周面に押し当てた状態で、前記原料ロールの周囲を大気圧雰囲気から所定の減圧雰囲気に減圧する工程と、
前記減圧雰囲気下で前記押圧部材を前記原料ロールから離間させる工程と、
前記減圧雰囲気下で前記フィルムを前記原料ロールから繰り出して前記フィルムに対して前記真空プロセス処理を開始する工程と
を順に行うことを特徴とする製品ロールの製造方法。 The film is unwound from a raw material roll in which a long film is wound in a roll shape, a predetermined vacuum process treatment is performed on the film, and the vacuum process processed film is wound into a roll shape to produce a product. A product roll manufacturing method for obtaining rolls.
The tip of the film wound around the raw material roll is connected to the end of the lead film led out from the processing chamber where the vacuum process process is performed, and a pressing member extending in the width direction of the film is used as the raw material. A step of depressurizing the circumference of the raw material roll from an atmospheric pressure atmosphere to a predetermined depressurized atmosphere while being pressed against the outer peripheral surface of the roll.
A step of separating the pressing member from the raw material roll under the reduced pressure atmosphere,
A method for producing a product roll, which comprises sequentially performing a step of feeding out the film from the raw material roll under the reduced pressure atmosphere and initiating the vacuum process process on the film.

前記押圧部材を前記原料ロールに押し当てる位置は、前記フィルムの前記先端部と前記リードフィルムの前記末端部とが接続された接続部よりも前記原料ロールの巻き芯側である請求項１に記載の製品ロールの製造方法。 The position for pressing the pressing member against the raw material roll is the winding core side of the raw material roll with respect to the connecting portion where the tip end portion of the film and the end portion of the lead film are connected. How to make product rolls.

前記原料ロールの中心軸に沿って見たとき、前記原料ロールの外周面に押し当てられる前記押圧部材の面は、前記原料ロールに対して凸曲面又は凹曲面である請求項１又は２に記載の製品ロールの製造方法。 The first or second claim, wherein the surface of the pressing member pressed against the outer peripheral surface of the raw material roll when viewed along the central axis of the raw material roll is a convex curved surface or a concave curved surface with respect to the raw material roll. How to make product rolls.

長尺のフィルムがロール状に巻回された原料ロールから前記フィルムを繰り出し、前記フィルムに対して所定の真空プロセス処理を行い、前記真空プロセス処理がされた前記フィルムをロール状に巻き取って製品ロールを得るために使用される製品ロールの製造装置であって、
前記真空プロセス処理が行われる処理室と、
前記原料ロールが設置される原料ロール室と、
前記原料ロール室を所定の減圧雰囲気に減圧する減圧装置と、
前記原料ロール室内に設置された前記原料ロールの外周面に対して接離可能な、前記フィルムの幅方向に延びた押圧部材とを備え、
前記原料ロールに巻回された前記フィルムの先端部が、前記処理室から導出されたリードフィルムの末端部に接続され、且つ、前記押圧部材が前記原料ロールの外周面に押し当てられた状態で、前記減圧装置が前記原料ロール室を大気圧雰囲気から所定の減圧雰囲気に減圧し、
次いで、前記減圧雰囲気下で前記押圧部材を前記原料ロールから離間させ、
次いで、前記減圧雰囲気下で前記フィルムを前記原料ロールから繰り出して前記フィルムに対して前記真空プロセス処理を開始するように構成されたことを特徴とする製品ロールの製造装置。 The film is unwound from a raw material roll in which a long film is wound in a roll shape, a predetermined vacuum process treatment is performed on the film, and the vacuum process processed film is wound into a roll shape to produce a product. A product roll manufacturing device used to obtain rolls.
The processing room where the vacuum process processing is performed and
The raw material roll room in which the raw material roll is installed and
A decompression device that decompresses the raw material roll chamber to a predetermined decompression atmosphere,
A pressing member extending in the width direction of the film, which can be brought into contact with and separated from the outer peripheral surface of the raw material roll installed in the raw material roll chamber, is provided.
A state in which the tip end portion of the film wound around the raw material roll is connected to the end portion of the lead film led out from the processing chamber, and the pressing member is pressed against the outer peripheral surface of the raw material roll. The decompression device decompresses the raw material roll chamber from the atmospheric pressure atmosphere to a predetermined decompression atmosphere.
Next, the pressing member is separated from the raw material roll under the reduced pressure atmosphere.
Next, an apparatus for producing a product roll, characterized in that the film is unwound from the raw material roll under the reduced pressure atmosphere and the vacuum process process is started on the film.

前記押圧部材が前記原料ロールに押し当てられる位置は、前記フィルムの前記先端部と前記リードフィルムの前記末端部とが接続された接続部よりも前記原料ロールの巻き芯側である請求項４に記載の製品ロールの製造装置。 According to claim 4, the position where the pressing member is pressed against the raw material roll is closer to the winding core side of the raw material roll than the connecting portion where the tip end portion of the film and the end portion of the lead film are connected. The manufacturing equipment for the described product rolls.

前記原料ロールの中心軸に沿って見たとき、前記原料ロールの外周面に押し当てられる前記押圧部材の面は、前記原料ロールに対して凸曲面又は凹曲面である請求項４又は５に記載の製品ロールの製造装置。 The fourth or fifth aspect of claim 4 or 5, wherein the surface of the pressing member pressed against the outer peripheral surface of the raw material roll when viewed along the central axis of the raw material roll is a convex curved surface or a concave curved surface with respect to the raw material roll. Product roll manufacturing equipment.