JP6747727B1 - 気化器 - Google Patents
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Abstract
Description
この気化器は、両ヒータブロックと両ヒータ以外はコンタミネーション防止のため、石英ガラス製である。そして上記両ヒータブロックは、伝熱性の良いアルミニウム製である。
気化器Aは、
液体原料Lを霧化して吹き出すアトマイザ7と、
一端に前記アトマイザ7の噴霧口73が接続され、他端に気化ガスG2の出口である出口ノズル11を有する中空の気化器本体Ahと、
前記気化器本体Ah内に収納された加熱部Akとで構成され、
前記加熱部Akは、
前記気化器本体Ahの内径より小さい外径を有し、挿入端である先端頭部2aが閉塞された耐熱ガラス製のインナーチューブ2と、
前記インナーチューブ2に挿入されたインナーヒータブロック3と、
前記インナーヒータブロック3に埋設されたインナーヒータ9とで構成され、
前記出口ノズル11は、気化器本体Ahの内周面とインナーチューブ2の外周面の間に形成された気化用隙間Rに連通するように設置され、
前記インナーヒータブロック3は、前記インナーヒータブロック3の中心軸CLに沿って複数個に分割された分割体31〜3nと、弾発材8とで構成され、
前記弾発材8は、前記分割体31〜3nの間に配設され、前記分割体31〜3nを離間方向に押圧付勢して前記分割体31〜3nの外周面を前記インナーチューブ2の内周面に押圧させるように働き、
前記インナーヒータ91〜9nは、前記分割体31〜3nのそれぞれに埋設されていることを特徴とする。
上記気化器本体Ahは、中空円筒状のアウターチューブ1、分割されたアウターヒータブロック5、アウターヒータ4及び出口ノズル11とで構成されている。更に、気化器本体Ahには後述するように必要に応じて温度センサ12が設置される。
上記加熱部Akは、インナーチューブ2、インナーヒータブロック3、インナーヒータ9並びに温度センサ10とで構成される。
気化器Aが適用される液体原料Lは気化して使用されるもの(半導体製造に供される例えば各種の液体原料)であればどのようなものでもよいが、ここでは過酸化水素水とする。気化器Aが、過酸化水素水の気化用で、且つ、半導体製造装置のように極めて高純度な過酸化水素含有水蒸気ガス(気化ガスG2)が必要な場合、高温環境において、過酸化水素含有水蒸気ガス(気化ガスG2)に侵されないようなガラス(例えば「石英ガラス」)で、過酸化水素含有水蒸気ガス(気化ガスG2)に接触する部分、ここではアトマイザ7、アウターチューブ1、インナーチューブ2及び出口ノズル11が作られる。
そうでない分野では、パイレックス(登録商標)ガラスのような耐熱性ガラスの使用も可能である。
図2及び図3では、アウターヒータブロック5が左右に2分割されており、アウターヒータ4もこれに合わせて左右に2分割されてアウターヒータブロック5の分割体51・52に収納されている。アウターヒータ4の分割体を符号41・42で表す。
なお、これらアウターヒータブロック5の分割体51・52の外周に、締付力を有する固定バンド80が数箇所にわたって嵌められており、該分割体の内周面全面をアウターチューブ1の外周面に押圧してこれに接触させるようになっている。
このようにしてアウターヒータブロック5の内周面全面が耐熱性ガラス(例えば、石英ガラス)製のアウターチューブ1の外周面に接触するように取り付けられている。
温度センサ12は、アウターヒータブロック5の分割体51・52にのそれぞれ設置してもよい。
なお、液体原料導入管7bは、後述する液体流量制御器Eに接続されている。
このインナーヒータブロック3は、その軸方向(中心軸CL)に沿って複数個に分割されている。図2は2分割の例であり、図3は3分割の例である。各分割体31〜3nは均等に分割され、図2の場合は断面が半円、図3の場合は扇形である。なお、分割数は限定されない。2分割の場合、分割体を31・32で示し、3分割の場合は31〜33で示す。n分割の場合は図示しないが、31〜3n(nは2以上の整数)となる。インナーヒータブロック3の分割体31〜3nの材質は、本実施例ではアルミニウムとしているが、これは、密度が小さいこと、熱伝導率が高いこと、安価であること、機械加工がしやすいこと、ある程度耐食性があることなどの利点が多いことによる。勿論、アルミニウム以外の材料も使用可能である。銅、真鍮、鉄、ステンレス鋼など、熱伝導率が高い金属が使用できる。この点は上記アウターヒータブロック5にも適用される。
そして、横断面扇形の分割体31〜33の対向面31m〜33mの間には隙間Cが設けられ、且つ上記対向面31m〜33mには互いに対向する位置にバネ収納穴35が設けられている。このバネ収納穴35はインナーヒータブロック3の先端部分と基端部分に対として設けられ、3つの隙間Cにおいて1対ずつ3セットが設けられている。
なお、弾発材8の弾性力は、インナーチューブ2が破損しない程度の強度を選択する。そして、伝熱効率を高めるために、分割体31〜33の対向面31m〜33m間の隙間Cに、伝熱性の良好な伝熱ペーストを充填塗布することも可能である。
なお、従来では低熱膨張率のインナーチューブ2の内径に対してインナーヒータブロック3の外径を、インナーヒータブロック3の熱膨張を考慮した外径としていたため、両者の間には大きな空隙が発生し、大量の接着用の伝熱ペーストの使用を余儀なくされたが、本発明では、インナーヒータブロック3の分割体31〜33の外周面全面がインナーチューブ2の内周面に押圧して接触することになり、原則的には伝熱ペーストを使用する必要がなくなった。ただし、インナーヒータブロック3の分割体31〜33は金属材料の機械加工品であるため、その外形形状は正確に仕上がるが、インナーチューブ2は耐熱ガラス(石英ガラス)であるため、その加工精度は機械加工に劣る。それ故、熱によって該伝熱ペーストが変質しても全体の熱伝導性を損なわない程度の極少量の伝熱ペーストの使用は容認される。
耐熱ガラスで構成されたインナーチューブ2内では、昇温と共にインナーヒータブロック3の分割体31〜33が次第に熱膨張する。一方、インナーチューブ2は殆ど熱膨張せず内径がほぼ一定に保たれている。分割体31〜33の外周面はインナーチューブ2の内周面に押圧されており、熱膨張した分割体31〜33は対向面31m〜33m間の隙間Cを狭くする方向に膨張して弾発材8を押し縮める。なお、弾発材8の弾性力は、既述のようにインナーチューブ2を破損しない範囲の十分に弱いものが選定される。
そして加熱されたアウターヒータブロック5及びインナーヒータブロック3がアウターチューブ1及びインナーチューブ2を所定温度まで加熱すると、液体原料L(本実施例では過酸化水素水)がアトマイザ7の副供給孔7dに供給され、同時に主供給孔7cに霧化ガスG1が圧入される。これによって噴霧口73から液体原料Lが霧状流体Kとなって霧化空間M内に吹き込まれる。
なお、上記気化器Aのアトマイザ7、アウターチューブ1及びインナーチューブ2が「石英ガラス」で形成されている場合には、液体原料Lが過酸化水素水であったとしても、侵されないので、シリコン基板の表面酸化に適用することが出来る。
Claims (2)
- 液体原料を霧化して吹き出すアトマイザと、一端に前記アトマイザの噴霧口が接続され、他端に気化ガスの出口である出口ノズルを有する中空の気化器本体と、前記気化器本体内に収納された加熱部とで構成された気化器において、
前記加熱部は、前記気化器本体の内径より小さい外径を有し、挿入端である先端頭部が閉塞された耐熱ガラス製のインナーチューブと、前記インナーチューブに挿入されたインナーヒータブロックと、前記インナーヒータブロックに埋設されたインナーヒータとで構成され、
前記出口ノズルは、気化器本体の内周面とインナーチューブの外周面の間に形成された気化用隙間に連通するように設置され、
前記インナーヒータブロックは、前記インナーヒータブロックの中心軸に沿って複数個に分割された分割体と、弾発材とで構成され、
前記弾発材は、前記分割体の間に配設され、前記分割体を離間方向に押圧付勢して前記分割体の外周面を前記インナーチューブの内周面に押圧させるように働き、
前記インナーヒータは、前記分割体のそれぞれに埋設されていることを特徴とする気化器。 - 耐熱ガラスは、石英ガラスであることを特徴とする請求項1に記載の気化器。
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