JP6742061B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを集束して試料に照射する対物レンズと、前記荷電粒子ビームを偏向する視野移動用偏向器と、前記試料を載置するためのステージを備えた荷電粒子線装置において、
測定対象となる試料上に、前記荷電粒子ビームが集束するように前記対物レンズのレンズ条件を制御し、当該レンズ条件を維持しつつ、前記視野移動用偏向器によって視野を移動して、特定方向に配列された複数の参照パターンのそれぞれについて画像を取得、或いは特定方向に伸びる参照パターンの各位置にて、複数の画像を取得し、当該取得された複数の画像を用いて、前記視野移動用偏向器に供給する信号を調整する制御装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記参照パターンは、前記ステージ上に配置され、前記制御装置は、前記測定対象となる試料に対し、焦点調整を行った後、前記参照パターンに前記視野が位置付けられるように、前記ステージを移動させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記対物レンズは電磁レンズであって、当該電磁レンズとは異なる静電レンズを備え、前記制御装置は、前記参照パターン上におけるフォーカス調整を前記静電レンズで行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記取得した複数枚の参照パターンの画像から、電磁レンズの磁場による荷電粒子ビームの回転角度を算出することを特徴する荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記回転角度における許容値を、測定対象となる試料における複数の測定点の相対的な位置関係、または前記複数の測定点の計測を行う順番、またはイメージシフトによる視野移動を行った際に発生する前記対物レンズの軸外収差量から算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記荷電粒子ビームを集束するための静電レンズと、測定対象となる試料の表面電位を計測する表面電位測定器とを備え、前記制御装置は、前記表面電位測定器により測定した電位、前記静電レンズに印加する電圧、及び前記参照パターンについて取得した複数の画像から得られる回転角情報から得られる情報に基づいて、前記視野移動用偏向器を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記測定対象となる試料上において取得した画像と設計データのパターンマッチングを行い、前記パターンマッチングの結果に基づいて、前記参照パターンへの視野移動を行うことを特徴する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、設定した時間ごとに、パターンマッチングを実行し、当該パターンマッチングの結果に基づいて、前記参照パターンへの視野移動を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
二次電子偏向用偏向器と、当該二次電子偏向用偏向器によって偏向された二次電子を検出する二次電子検出器を備え、前記制御装置は、前記レンズ条件を維持しつつ取得した複数枚の参照パターンの画像から得られる情報に基づいて、前記二次電子偏向用偏向器の偏向条件を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9において、
前記二次電子偏向用偏向器はウィーンフィルタであることを特徴とする荷電粒子線装置。
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