JP6742047B1 - マニピュレータ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態であるマニピュレータの断面図であり、図2は、その平面図である。
マニピュレータ100は、XYステージ10と、球面軸受20と、自在継手としての球ジョイント30と、規制部材40と、連結部50と、固定部60と、操作レバー70と、治具取付板80とを備える。治具取付板80には、例えば、半導体チップの電気的特性を測定するプローブや、半導体チップをピックアップするピンセット等の治具が取り付けられる。
球面軸受20は、球面内輪部21と、球面内輪部21を保持するホルダ22とを備える。球面内輪部21は、太鼓状の部材であり、球面に成形された側面と、平坦面に成形された上面、及び下面を有している。球面内輪部21には、上面、及び下面に開口し且つ球面内輪部21の中心P(球面の中心)を通る孔21aが形成されている。孔21aには、操作レバー70の軸体75が挿通される。ホルダ22の内面は、球面内輪部21と同一径又は僅かに小さな径の球面に成形されており、球面内輪部21が摺動する。軸体75は、球面内輪部21に対して軸方向に摺動可能であると共に、球面内輪部21の中心Pを通る基準軸(本実施形態においてはZ軸)に対して許容傾斜角度αだけ傾動可能である。この許容傾斜角度αは、軸体75の径φやホルダ22の幅Dにより制限される。
球ジョイント30は、球状部31と、球座部32とから構成される自在継手である。球状部31は、強磁性体、例えば鉄で形成されており、球座部32は、磁化された強磁性体、例えばフェライト磁石で形成されている。球座部32の端部(図4では上端部)には、球状部31と同一半径の球面32aが形成されている。これにより、球状部31は、その中心Qを基準に回動する。なお、球状部31と球座部32とは、磁気吸着により連結する。また、球状部31は、ネジ部31aを備えている。なお、ネジ部31aの中心軸と球座部32の基準軸(本実施形態においてはZ軸)とが成す角度βは、最大で180°以上である。ネジ部31aは、軸体75のねじ穴75c(図1)に螺合する。これにより、軸体75は、球状部31の中心Qを支点として全方向に傾動する。
粗動状態(図5)とは、球座部32が図1の状態からΔd1だけ−Z方向に移動した位置で規制部材40に固定された状態である。一方、微動状態(図6)とは、球座部32が図1の状態からΔd2だけ+Z方向に移動した位置で規制部材40に固定された状態である。
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような種々の変形が可能である。
(1)前記実施形態では、固定手段にネジ41,41を用いたが、粗動状態と微動状態とを切り替える切替手段を設けても構わない。
20 球面軸受
21 球面内輪部
22 ホルダ
30 球ジョイント(自在継手)
31 球状部
32 球座部
40 規制部材(支持部)
40a 孔(収容部)
41 ネジ(固定手段)
50 移動平板
60 固定部
70 操作レバー
75 軸体(操作軸)
100 マニピュレータ
Claims (3)
- 固定部及び移動部を有するステージと、
前記移動部に連結される球面軸受と、
前記球面軸受に挿通される操作軸と、
前記操作軸と前記固定部とを連結する自在継手とを備え、
前記自在継手は、前記移動部の移動方向と交差する方向に移動可能である
ことを特徴とするマニピュレータ。 - 請求項1に記載のマニピュレータであって、
前記自在継手は、球状部と、該球状部を保持する球座部とを有する球ジョイントであり、
前記固定部は、前記球座部を支持する支持部を有し、
前記支持部は、前記球座部を収容する収容部と、前記球座部を前記収容部内の任意の位置で固定する固定手段とを有する、
ことを特徴とするマニピュレータ。 - 請求項2に記載のマニピュレータであって、
前記球状部及び前記球座部は、強磁性体であり、少なくとも一方は磁化されており、
前記球座部は、前記球状部を吸着保持する
ことを特徴とするマニピュレータ。
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