JP6738335B2 - Laminated structure, dry film and flexible printed wiring board - Google Patents
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Description
本発明は、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜として有用な積層構造体、ドライフィルムおよびフレキシブルプリント配線板（以下、単に「配線板」とも称する）に関する。 The present invention relates to a laminated structure useful as an insulating film of a flexible printed wiring board, a dry film, and a flexible printed wiring board (hereinafter, also simply referred to as “wiring board”).
近年、スマートフォンやタブレット端末の普及による電子機器の小型薄型化により、回路基板の小スペース化が必要となってきている。そのため、折り曲げて収納できるフレキシブルプリント配線板の用途が拡大し、これまで以上に高い信頼性を有するフレキシブルプリント配線板が求められている。 In recent years, as electronic devices have become smaller and thinner due to the spread of smartphones and tablet terminals, it has become necessary to reduce the space of circuit boards. Therefore, the application of the flexible printed wiring board that can be folded and stored is expanded, and a flexible printed wiring board having higher reliability than ever has been demanded.
これに対し現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部（屈曲部）には、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れたポリイミドをベースとしたカバーレイを用い（例えば、特許文献１，２参照）、実装部（非屈曲部）には、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能な感光性樹脂組成物を用いた混載プロセスが広く採用されている。
On the other hand, at present, as a insulating film for ensuring the insulation reliability of flexible printed wiring boards, a cover based on polyimide, which has excellent mechanical properties such as heat resistance and bendability, is used for the bent portion (bent portion). Using a lay (see, for example,
すなわち、ポリイミドをベースとしたカバーレイは、金型打ち抜きによる加工を必要とするため、微細加工には不向きである。そのため、微細加工が必要となるチップ実装部には、フォトリソグラフィーによる加工ができるアルカリ現像型の感光性樹脂組成物（ソルダーレジスト）を部分的に併用する必要があった。 That is, the coverlay based on polyimide requires processing by die punching and is not suitable for fine processing. Therefore, it is necessary to partially use an alkali-developable photosensitive resin composition (solder resist) that can be processed by photolithography in a chip mounting portion that requires fine processing.
このように、従来のフレキシブルプリント配線板の製造工程では、カバーレイを貼り合わせる工程とソルダーレジストを形成する工程の混載プロセスを採用せざるを得ず、コスト性と作業性に劣るという問題があった。 As described above, in the conventional manufacturing process of the flexible printed wiring board, there is no choice but to adopt the mixed mounting process of the step of attaching the coverlay and the step of forming the solder resist, which causes a problem of low cost and workability. It was
これに対し、本発明者らは、現像性接着層と、該現像性接着層を介してフレキシブルプリント配線板に積層される現像性保護層と、を有し、少なくとも前記現像性保護層は、光照射によりパターニングが可能であり、かつ、前記現像性接着層と前記現像性保護層は、現像によりパターンを一括して形成することが可能である積層構造体を、先に提案している。
このような積層構造体においては、プリント配線基板側の接着層（樹脂層（Ａ））とその上層の保護層（樹脂層（Ｂ））とを、両層同時にパターニングすることが可能となる。On the other hand, the present inventors have a developable adhesive layer and a developable protective layer laminated on the flexible printed wiring board via the developable adhesive layer, and at least the developable protective layer is We have previously proposed a laminated structure that can be patterned by light irradiation, and that the developable adhesive layer and the developable protective layer can be collectively formed with a pattern by development.
In such a laminated structure, both the adhesive layer (resin layer (A)) on the printed wiring board side and the protective layer (resin layer (B)) above it can be patterned simultaneously.
一方で、従来、配線回路上にソルダーレジストなどの樹脂層を形成する場合、ポストキュア工程で熱硬化する際に露出している銅回路表面が酸化しやすく、その後のめっき工程などにおいて、酸化した銅回路との界面側の塗膜が薬液に侵されて剥離するなど、密着性が低下してしまうという問題があった。
かかる問題については、従来、塗膜の組成物中にメラミンや３級アミンなどの酸化防止剤を配合して、耐薬品性（金めっき耐性）を向上することが行われている。On the other hand, conventionally, when a resin layer such as a solder resist is formed on a wiring circuit, the exposed copper circuit surface is easily oxidized during thermosetting in the post-cure process, and is oxidized in the subsequent plating process. There has been a problem that the adhesiveness is deteriorated, for example, the coating film on the interface side with the copper circuit is attacked by a chemical solution and peeled off.
With respect to this problem, it has been conventionally practiced to improve the chemical resistance (gold plating resistance) by incorporating an antioxidant such as melamine or a tertiary amine into the composition of the coating film.
そこで、本発明者らは、先に提案した前述の積層構造体について、プリント配線板側の樹脂層（Ａ）にメラミンや３級アミンなどの酸化防止剤を配合することを検討した。
しかしながら、このような積層構造体を、ＰＥＢ（ＰＯＳＴ ＥＸＰＯＳＵＲＥ ＢＡＫＥ）工程を含むプロセスに適用すると、ＰＥＢ工程により樹脂層（Ａ）の熱かぶりが促進されるために、開口安定性が悪くなるという新たな問題が生じることに発明者らは気付いた。
具体的には、プリント配線板に使用される感光性のソルダーレジスト組成物中には、通常、アルカリ現像のためのカルボキシル基含有樹脂、耐熱性や耐薬品性のためのエポキシ樹脂が存在するため、ソルダーレジストなどの樹脂層にメラミンや３級アミンなどを配合した場合、ＰＥＢ工程で、露光後、樹脂層を加熱することにより露光部を硬化する際に、樹脂層に配合したメラミンや３級アミンなどの影響によりエポキシ基とカルボキシル基との反応が進行して、熱かぶりによる現像不良が生じ、開口形状が閉じ気味になるという問題が生ずる。Therefore, the present inventors examined the above-mentioned previously proposed laminated structure in which the resin layer (A) on the printed wiring board side was mixed with an antioxidant such as melamine or a tertiary amine.
However, when such a laminated structure is applied to a process including a PEB (POST EXPOSURE BAKE) process, the PEB process promotes heat fogging of the resin layer (A), resulting in poor opening stability. The inventors have found that such problems arise.
Specifically, a photosensitive solder resist composition used for a printed wiring board usually contains a carboxyl group-containing resin for alkali development and an epoxy resin for heat resistance and chemical resistance. When a resin layer such as a solder resist is blended with melamine or a tertiary amine, when the exposed portion is cured by heating the resin layer after exposure in the PEB step, the melamine or the tertiary amine blended with the resin layer is cured. There is a problem that the reaction between the epoxy group and the carboxyl group proceeds due to the influence of amine and the like, resulting in poor development due to heat fogging, and the opening shape tends to be closed.
すなわち、メラミンや３級アミンなどを含む配合系では、ＰＥＢ工程等のプリント配線板製造工程での熱履歴がソルダーレジストなどの樹脂層の開口形状に影響しやすく、安定した開口形状を有するソルダーレジストおよびカバーレイが形成できないという問題が生ずる。この場合、ＰＥＢ工程における加熱温度が高いほど、また、加熱時間が長いほど、現像性が悪化して開口形状が閉じてしまうことから、開口形状を安定化させるためには、ＰＥＢのマージンを狭くせざるを得ず、結果として、実用性を損なうものとなっていた。しかも、プリント配線板の製造工程では、乾燥機内の熱履歴が乾燥位置により異なる場合もあるため、ソルダーレジストおよびカバーレイを形成する際のパターニング時に加熱処理を必要とする配合系については、これまで十分に検討されていなかった。 That is, in a compounding system containing melamine, a tertiary amine, etc., the thermal history in the printed wiring board manufacturing process such as the PEB process is likely to affect the opening shape of the resin layer such as the solder resist, and the solder resist having a stable opening shape. And the problem that a coverlay cannot be formed arises. In this case, as the heating temperature in the PEB step is higher and the heating time is longer, the developability is deteriorated and the opening shape is closed. Therefore, in order to stabilize the opening shape, the PEB margin is narrowed. There was no choice but to do so, and as a result, the practicality was impaired. Moreover, in the manufacturing process of the printed wiring board, the thermal history inside the dryer may differ depending on the drying position.Therefore, for compounding systems that require heat treatment during patterning when forming the solder resist and coverlay, It wasn't considered enough.
そこで本発明の目的は、屈曲性に優れ、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部（屈曲部）と実装部（非屈曲部）との一括形成プロセスに適した積層構造体であって、金めっき耐性を向上しつつ、熱履歴の影響を抑えて現像性を向上し、開口形状の安定化を図ることができる積層構造体、ドライフィルム、および、その硬化物を、例えばカバーレイまたはソルダーレジストなどの保護膜として有するフレキシブルプリント配線板を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a laminated structure having excellent flexibility, which is suitable for a process of collectively forming an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion), A laminated structure, a dry film, and a cured product thereof, which can improve the developability by suppressing the influence of heat history and stabilize the opening shape, while improving the resistance to gold plating, for example, a cover lay or a solder. It is to provide a flexible printed wiring board having a protective film such as a resist.
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、絶縁膜を２種の樹脂組成物からなるプリント配線板側の樹脂層（Ａ）とプリント配線板から遠い側の樹脂層（Ｂ）とで構成した積層構造体とし、前記プリント配線板側の樹脂層（Ａ）に、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物またはメラミンの有機酸塩を含有させることで、上記課題を解決できることを見出して、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that an insulating film is a resin layer (A) on the printed wiring board side and a resin layer ( It is possible to solve the above-mentioned problems by providing a laminated structure composed of B) and containing a mixture of melamine and a borate ester compound or an organic acid salt of melamine in the resin layer (A) on the printed wiring board side. The present invention has been completed, and the present invention has been completed.
すなわち、本発明の積層構造体は、樹脂層（Ａ）と、該樹脂層（Ａ）を介してフレキシブルプリント配線板に積層される樹脂層（Ｂ）と、を有する積層構造体であって、
前記樹脂層（Ｂ）が、アルカリ溶解性樹脂と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなり、かつ、前記樹脂層（Ａ）が、アルカリ溶解性樹脂と、熱反応性化合物と、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物またはメラミンの有機酸塩と、を含むアルカリ現像型樹脂組成物からなることを特徴とするものである。That is, the laminated structure of the present invention is a laminated structure having a resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on the flexible printed wiring board via the resin layer (A),
The resin layer (B) is composed of a photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a thermoreactive compound, and the resin layer (A) is alkali-soluble. And a heat-reactive compound, a mixture of melamine and a borate ester compound, or an organic acid salt of melamine, and an alkali developable resin composition.
本発明の積層構造体は、フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうちの少なくともいずれか一方に用いることができ、また、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうちの少なくともいずれか１つの用途に用いることができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The laminated structure of the present invention can be used for at least one of a bent portion and a non-bent portion of a flexible printed wiring board, and also for a cover lay, a solder resist and an interlayer insulating material of the flexible printed wiring board. Can be used for at least any one of the above.
また、本発明のドライフィルムは、上記本発明の積層構造体の少なくとも片面が、フィルムで支持または保護されていることを特徴とするものである。 In addition, the dry film of the present invention is characterized in that at least one surface of the laminated structure of the present invention is supported or protected by a film.
さらに、本発明のフレキシブルプリント配線板は、上記本発明の積層構造体を用いた絶縁膜を有することを特徴とするものである。 Further, the flexible printed wiring board of the present invention is characterized by having an insulating film using the laminated structure of the present invention.
具体的には、本発明のフレキシブルプリント配線板は、フレキシブルプリント配線基板上に上記本発明の積層構造体の層を形成し、光照射によりパターニングし、現像液にてパターンを一括して形成してなる絶縁膜を有するものが挙げられる。また、本発明のフレキシブルプリント配線板は、本発明に係る積層構造体を使用せずに、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）とを順次に形成し、その後に、光照射によりパターニングし、現像液にてパターンを一括して形成したものであってもよい。 Specifically, in the flexible printed wiring board of the present invention, the layer of the laminated structure of the present invention is formed on the flexible printed wiring board, patterned by light irradiation, and a pattern is collectively formed by a developing solution. One having an insulating film formed of Further, the flexible printed wiring board of the present invention is formed by sequentially forming the resin layer (A) and the resin layer (B) without using the laminated structure according to the present invention, and then patterning by light irradiation. Alternatively, the pattern may be collectively formed with a developing solution.
本発明によれば、屈曲性に優れ、フレキシブルプリント配線板の絶縁膜、特に折り曲げ部（屈曲部）と実装部（非屈曲部）との一括形成プロセスに適した積層構造体であって、金めっき耐性を向上しつつ、熱履歴の影響を抑えて現像性を向上し、開口形状の安定化を図ることができる積層構造体、ドライフィルム、および、その硬化物を、例えばカバーレイまたはソルダーレジストなどの保護膜として有するフレキシブルプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, a laminated structure having excellent flexibility, which is suitable for a process of collectively forming an insulating film of a flexible printed wiring board, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion), is provided. A laminated structure, a dry film, and a cured product thereof which can improve the developability by suppressing the influence of heat history and stabilize the opening shape while improving the plating resistance, for example, a cover lay or a solder resist. It is possible to provide a flexible printed wiring board having a protective film such as.
以下、本発明の実施の形態について詳述する。
本発明の積層構造体は、樹脂層（Ａ）と、樹脂層（Ａ）を介してフレキシブルプリント配線板に積層される樹脂層（Ｂ）と、を有しており、樹脂層（Ｂ）が、アルカリ溶解性樹脂と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなるとともに、樹脂層（Ａ）が、アルカリ溶解性樹脂と、熱反応性化合物とを含む組成物において、さらにメラミンとホウ酸エステル化合物との混合物、または、メラミンの有機酸塩を含むアルカリ現像型樹脂組成物からなるものである。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
The laminated structure of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on the flexible printed wiring board via the resin layer (A), and the resin layer (B) is A photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a heat-reactive compound, and the resin layer (A) includes an alkali-soluble resin and a heat-reactive compound. The composition further comprises a mixture of melamine and a borate ester compound, or an alkali developable resin composition containing an organic acid salt of melamine.
このような本発明の積層構造体は、導体回路が形成されたフレキシブルプリント配線基板上に、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）とを順に有し、上層側の樹脂層（Ｂ）が光照射によりパターニングが可能な感光性熱硬化性樹脂組成物からなり、かつ、樹脂層（Ｂ）と樹脂層（Ａ）とが、現像によりパターンを一括形成することが可能なものである。 Such a laminated structure of the present invention has a resin layer (A) and a resin layer (B) in this order on a flexible printed wiring board on which a conductor circuit is formed, and the upper resin layer (B) is It is composed of a photosensitive thermosetting resin composition that can be patterned by light irradiation, and the resin layer (B) and the resin layer (A) can form a pattern by development at the same time.
本発明の積層構造体は、樹脂層（Ａ）が、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物、または、メラミンの有機酸塩を含有することが必要であり、この点が、本発明の最大の特徴である。樹脂層（Ａ）に、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物、または、メラミンの有機酸塩を含有させることで、薬液耐性（金めっき耐性）を向上することができるとともに、ＰＥＢ工程の加熱に起因する熱かぶりの発生を抑制することができる。
これは、以下のような理由によるものと考えられる。すなわち、樹脂層（Ａ）に、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物またはメラミンの有機酸塩を含有させることで、積層構造体の層をパターニングする際のＰＥＢ工程における加熱処理の間は、ホウ酸エステル化合物がメラミンの周囲をコーティングするように配位結合することによって、あるいはメラミンの有機酸塩として配合することによって、熱履歴に起因するメラミンの活性を抑えて、樹脂層（Ａ）における熱かぶりの発生を抑制することができる。一方、その後のポストキュア工程での加熱温度（１００℃以上）で、ホウ酸エステル化合物、あるいは有機酸塩によるメラミンの活性を抑える効果が徐々に失活していき、本硬化時には、メラミンが酸化防止剤として作用して、金めっき耐性などの耐薬品性が得られるものと考えられる。よって、本発明によれば、ＰＥＢのマージンを広く確保しつつ、金めっき耐性の向上と、開口形状の安定化とを両立させることが可能となる。In the laminated structure of the present invention, the resin layer (A) needs to contain a mixture of melamine and a borate ester compound, or an organic acid salt of melamine, and this point is the maximum. It is a feature. By containing a mixture of melamine and a borate ester compound or an organic acid salt of melamine in the resin layer (A), chemical solution resistance (gold plating resistance) can be improved and heating in the PEB step can be performed. It is possible to suppress the occurrence of heat fogging that is caused.
This is considered to be due to the following reasons. That is, when the resin layer (A) contains a mixture of melamine and a borate ester compound or an organic acid salt of melamine, during the heat treatment in the PEB step when patterning the layer of the laminated structure, the boron By coordinating the acid ester compound so as to coat the periphery of melamine or by blending it as an organic acid salt of melamine, the activity of melamine due to thermal history is suppressed, and the heat in the resin layer (A) is suppressed. It is possible to suppress the occurrence of fogging. On the other hand, at the heating temperature (100°C or higher) in the subsequent post-cure step, the effect of suppressing the activity of melamine by the borate ester compound or the organic acid salt gradually deactivates, and melamine is oxidized during the main curing. It is considered that it acts as an inhibitor to obtain chemical resistance such as gold plating resistance. Therefore, according to the present invention, it is possible to improve the resistance to gold plating and stabilize the opening shape while securing a wide PEB margin.
なお、硬化性樹脂組成物をドライフィルムのような積層構造体とする場合、通常、保存安定性の観点から冷暗所で保管されるが、実際に配線板の製造等に使用する際には、室温に戻し、場合によっては数日間にわたって保管される。この点、本発明の積層構造体は、樹脂層（Ａ）に、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物、あるいはメラミンの有機酸塩を含有させることで、室温での保管時間（放置ライフ）についても従来技術に比べて長く確保でき、有用である。 When the curable resin composition is used as a laminated structure such as a dry film, it is usually stored in a cool and dark place from the viewpoint of storage stability. It may be stored for up to several days. In this regard, in the laminated structure of the present invention, the resin layer (A) contains a mixture of melamine and a borate ester compound or an organic acid salt of melamine, and thereby the storage time at room temperature (leaving life) Is also useful because it can be secured for a longer period than the conventional technique.
また、従来、熱かぶりの防止の目的で難溶性のエポキシ化合物を用いる技術もあるが、本発明の積層構造体においては、ホウ酸エステル化合物の配合、あるいは有機酸塩としての配合により熱かぶりを抑制できるので、エポキシ化合物として、液状のものも難溶性のものも適宜使用することが可能である。 Further, conventionally, there is also a technique of using a poorly soluble epoxy compound for the purpose of preventing heat fogging, but in the laminated structure of the present invention, heat fogging is prevented by blending a borate ester compound or as an organic acid salt. Since the epoxy compound can be suppressed, it is possible to appropriately use a liquid compound or a poorly soluble epoxy compound.
［アルカリ現像型樹脂組成物からなる樹脂層（Ａ）］
樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物は、アルカリ溶解性樹脂と熱反応性化合物とを含む組成物において、さらに、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物、あるいはメラミンの有機酸塩を含む。[Resin Layer (A) Made of Alkali-Developable Resin Composition]
The alkali-developable resin composition constituting the resin layer (A) is a composition containing an alkali-soluble resin and a heat-reactive compound, and further a mixture of melamine and a borate ester compound, or an organic acid salt of melamine. including.
（アルカリ溶解性樹脂）
アルカリ溶解性樹脂としては、フェノール性水酸基、カルボキシル基のうち１種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂であればよい。
このようなアルカリ溶解性樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を有する化合物、カルボキシル基を有する化合物、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物を含む樹脂組成物が挙げられ、公知慣用のものが用いられる。
例えば、カルボキシル基を有する化合物としては、従来からソルダーレジスト組成物として用いられている、カルボキシル基含有樹脂やカルボキシル基含有感光性樹脂などが挙げられる。(Alkali-soluble resin)
The alkali-soluble resin may be any resin that contains at least one functional group of a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group and that can be developed with an alkaline solution.
Examples of such an alkali-soluble resin include a compound having a phenolic hydroxyl group, a compound having a carboxyl group, a resin composition containing a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and known and commonly used resins are used. ..
For example, examples of the compound having a carboxyl group include a carboxyl group-containing resin and a carboxyl group-containing photosensitive resin that have been conventionally used as solder resist compositions.
（熱反応性化合物）
熱反応性化合物としては、環状（チオ）エーテル基などの熱による硬化反応が可能な官能基を有する公知慣用の化合物、例えば、エポキシ化合物などが用いられる。
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物；ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、ＣＴＢＮ変性エポキシ樹脂などが挙げられる。(Thermally reactive compound)
As the heat-reactive compound, a known and commonly used compound having a functional group capable of undergoing a curing reaction by heat such as a cyclic (thio)ether group, for example, an epoxy compound or the like is used.
Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin , Diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoylethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, Examples thereof include CTBN-modified epoxy resin.
上記熱反応性化合物の配合量としては、アルカリ溶解性樹脂との当量比（カルボキシル基などのアルカリ溶解性基：エポキシ基などの熱反応性基）が１：０．１〜１：１０であることが好ましい。このような配合比の範囲とすることにより、現像が良好となり、微細パターンを容易に形成することができるものとなる。上記当量比は、１：０．２〜１：５であることがより好ましい。 Regarding the compounding amount of the above-mentioned heat-reactive compound, the equivalent ratio to the alkali-soluble resin (alkali-soluble group such as carboxyl group: heat-reactive group such as epoxy group) is 1:0.1 to 1:10. It is preferable. By setting the blending ratio in such a range, the development becomes good and the fine pattern can be easily formed. More preferably, the equivalent ratio is 1:0.2 to 1:5.
（メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物）
ホウ酸エステル化合物としては、公知のものを用いることができる。具体的には、揮発性の低いホウ酸トリフェニルや環状ホウ酸エステル化合物等を挙げることができ、好ましくは環状ホウ酸エステル化合物である。環状ホウ酸エステル化合物とは、ホウ素が環式構造に含まれているものであり、特に、２，２’−オキシビス（５，５’−ジメチル−１，３，２−ジオキサボリナン）が好ましい。
ホウ酸トリフェニルや環状ホウ酸エステル化合物以外のホウ酸エステル化合物として、例えば、ホウ酸トリメチル、ホウ酸トリエチル、ホウ酸トリプロピル、ホウ酸トリブチル等が挙げられるが、これらのホウ酸エステル化合物は揮発性が高いため、特に高温時における組成物の保存安定性に対しては、その効果が十分ではない場合もある。これらのホウ酸エステル化合物は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
(Mixture of melamine and borate compound)
As the boric acid ester compound, known compounds can be used. Specific examples thereof include triphenyl borate and cyclic boric acid ester compounds having low volatility, and cyclic boric acid ester compounds are preferable. The cyclic borate ester compound, boron is one contained in the cyclic structure, in particular, 2,2'-oxybis (5,5'-dimethyl-1,3,2-Okisaborinan) are preferred.
Examples of borate ester compounds other than triphenyl borate and cyclic borate ester compounds include, for example, trimethyl borate, triethyl borate, tripropyl borate, tributyl borate, and the like, but these borate ester compounds are volatile. In some cases, the effect is not sufficient for the storage stability of the composition at high temperature because of its high property. These borate ester compounds may be used alone or in combination of two or more.
ホウ酸エステル化合物の市販品としては、例えば、ハイボロンＢＣ１、ハイボロンＢＣ２、ハイボロンＢＣ３、ハイボロンＢＣＮ（いずれも（株）ボロンインターナショナル製）、キュアダクトＬ−０７Ｎ（四国化成工業（株）製）等を挙げることができる。 Examples of commercially available boric acid ester compounds include Hiboron BC1, Hiboron BC2, Hiboron BC3, Hiboron BCN (both manufactured by Boron International), Cureduct L-07N (manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.) and the like. Can be mentioned.
樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物の固形成分中における、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物の配合量は、メラミンについては好適には０．１〜３．０質量％、より好適には０．５〜２．０質量％であり、ホウ酸エステル化合物については、好適には０．１〜２．０質量％、より好適には０．２〜１．０質量％である。樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物中に、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物をそれぞれ上記の量で配合することで、ＰＥＢ条件における開口形状をより安定化して、実工程で製造可能な広いＰＥＢ条件を得られるため、好ましい。 The blending amount of the mixture of melamine and borate ester compound in the solid component of the alkali-developing resin composition constituting the resin layer (A) is preferably 0.1 to 3.0% by mass for melamine, It is more preferably 0.5 to 2.0% by mass, and with respect to the borate ester compound, preferably 0.1 to 2.0% by mass, more preferably 0.2 to 1.0% by mass. is there. By blending the mixture of the melamine and the borate ester compound in the alkali developing resin composition constituting the resin layer (A) in the respective amounts described above, the opening shape under PEB conditions is further stabilized, and the actual process is performed. It is preferable because a wide PEB condition that can be produced by
（メラミンの有機酸塩）
メラミンの有機酸塩としては、メラミンと当モルの有機酸とを反応させたものが使用できる。メラミンの有機酸塩は、メラミンを沸騰水中に溶解し、水あるいはアルコール等の親水性溶剤に溶解した有機酸を添加し、析出した塩をろ過することで得られる。
ここで、上記反応では、メラミン分子中の１個のアミノ基は反応性が速いが、他の２個の反応性は低いため、反応は化学量論的に進行し、メラミン分子中の１個のアミノ基に有機酸が１個付加したメラミン塩が生成する。また、上記反応で用いられる有機酸としては、カルボン酸、酸性リン酸エステル化合物、スルホン酸含有化合物が考えられ、いずれも使用することができるが、電気特性の面から、カルボン酸が最も好ましい。(Melamine organic acid salt)
As the organic acid salt of melamine, one obtained by reacting melamine with an equimolar amount of an organic acid can be used. The organic acid salt of melamine can be obtained by dissolving melamine in boiling water, adding an organic acid dissolved in a hydrophilic solvent such as water or alcohol, and filtering the precipitated salt.
Here, in the above reaction, the reactivity of one amino group in the melamine molecule is fast, but the reactivity of the other two is low, so the reaction proceeds stoichiometrically, A melamine salt in which one organic acid is added to the amino group of is produced. As the organic acid used in the above reaction, a carboxylic acid, an acidic phosphoric acid ester compound and a sulfonic acid-containing compound can be considered, and any of them can be used, but the carboxylic acid is most preferable from the viewpoint of electric characteristics.
カルボン酸としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸、グリコール酸、アクリル酸、メタクリル酸のモノカルボン酸や、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、３−メチルヘキサヒドロフタル酸、４−メチルヘキサヒドロフタル酸、３−エチルヘキサヒドロフタル酸、４−エチルヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、３−メチルテトラヒドロフタル酸、４−メチルテトラヒドロフタル酸、３−エチルテトラヒドロフタル酸、４−エチルテトラヒドロフタル酸、クロトン酸などのジカルボン酸、さらに、トリメリット酸などのトリカルボン酸、および、これらの無水物が使用できる。これらの中でも、テトラヒドロ無水フタル酸が好適である。 Examples of the carboxylic acid include formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, lactic acid, glycolic acid, acrylic acid, methacrylic acid monocarboxylic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, and maleic acid. , Itaconic acid, phthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3- Dicarboxylic acids such as methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid and crotonic acid, tricarboxylic acids such as trimellitic acid, and their anhydrides Can be used. Among these, tetrahydrophthalic anhydride is preferable.
メラミンの有機酸塩は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物の固形分中における、メラミンの有機酸塩の配合量は、好ましくは０．１〜６．０質量％、より好ましくは０．５〜５．０質量％、特に好ましくは１．０〜３．０質量％である。樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物中に、メラミンの有機酸塩を上記の量で配合することで、ＰＥＢ条件における開口形状をより安定化して、実工程で製造可能な広いＰＥＢ条件を得られるため、好ましい。 The organic acid salt of melamine may be used alone or in combination of two or more. The content of the organic acid salt of melamine in the solid content of the alkali-developable resin composition constituting the resin layer (A) is preferably 0.1 to 6.0% by mass, more preferably 0.5 to 5%. 0.0% by mass, particularly preferably 1.0 to 3.0% by mass. By blending the organic acid salt of melamine in the above amount in the alkali-developable resin composition that constitutes the resin layer (A), the opening shape under PEB conditions can be further stabilized, and a wide range that can be manufactured in an actual process can be obtained. It is preferable because PEB conditions can be obtained.
樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合を有する化合物を含んでいてもよい。また、樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物は、光重合開始剤を含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。このようなエチレン性不飽和結合を有する化合物や光重合開始剤としては、特に制限されず、公知慣用の化合物が用いられる。
なお、樹脂層（Ａ）に光重合開始剤を含まない場合、単層ではパターニングが不可能であるが、本発明の積層構造体のような構成であれば、露光時には、その上層の樹脂層（Ｂ）に含まれる光重合開始剤から発生したラジカル等の活性種が直下の樹脂層（Ａ）に拡散することで、両層は同時にパターニングすることが可能となる。特に、ＰＥＢ工程を含むプリント配線板の製造方法では前記活性種の熱拡散によりその効果が顕著となる。
また、樹脂層（Ａ）を構成するアルカリ現像型樹脂組成物を調製する際の、各成分の配合順については、特に制限されるものではなく、また、メラミンとホウ酸エステル化合物の混合物については、あらかじめ混合したものを用いずに配合してもよい。The alkali-developable resin composition constituting the resin layer (A) may contain a compound having an ethylenically unsaturated bond. Moreover, the alkali-developable resin composition forming the resin layer (A) may or may not contain a photopolymerization initiator. The compound having such an ethylenically unsaturated bond and the photopolymerization initiator are not particularly limited, and known and commonly used compounds are used.
When the resin layer (A) does not contain a photopolymerization initiator, patterning is not possible with a single layer, but with the structure of the laminated structure of the present invention, upon exposure, the resin layer above it The active species such as radicals generated from the photopolymerization initiator contained in (B) diffuse into the resin layer (A) directly below, whereby both layers can be patterned at the same time. In particular, in a method of manufacturing a printed wiring board including a PEB step, the effect becomes remarkable due to thermal diffusion of the active species.
In addition, the mixing order of each component when preparing the alkali-developing resin composition that constitutes the resin layer (A) is not particularly limited, and regarding the mixture of melamine and the borate ester compound, Alternatively, they may be blended without using a premixed product.
［感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層（Ｂ）］
樹脂層（Ｂ）を構成する感光性熱硬化性樹脂組成物は、アルカリ溶解性樹脂と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含むものである。[Resin Layer (B) Made of Photosensitive Thermosetting Resin Composition]
The photosensitive thermosetting resin composition forming the resin layer (B) contains an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a heat-reactive compound.
（アルカリ溶解性樹脂）
アルカリ溶解性樹脂としては、上記樹脂層（Ａ）と同様の公知慣用のものを用いることができるが、耐屈曲性、耐熱性などの特性により優れる、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂を好適に用いることができる。(Alkali-soluble resin)
As the alkali-soluble resin, a known and common one similar to the resin layer (A) can be used, but an alkali-soluble resin having an imide ring, which is excellent in properties such as bending resistance and heat resistance, is suitable. Can be used.
このイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、フェノール性水酸基、カルボキシル基のうち１種以上のアルカリ溶解性基と、イミド環とを有するものである。このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環の導入には公知慣用の手法を用いることができる。例えば、カルボン酸無水物成分とアミン成分および／またはイソシアネート成分とを反応させて得られる樹脂が挙げられる。イミド化は、熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して実施することもできる。 The alkali-soluble resin having an imide ring has an imide ring and at least one alkali-soluble group selected from a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group. A known and commonly used method can be used for introducing the imide ring into the alkali-soluble resin. Examples thereof include resins obtained by reacting a carboxylic acid anhydride component with an amine component and/or an isocyanate component. The imidization may be carried out by thermal imidization or chemical imidization, or these may be used in combination.
ここで、カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含め用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 Here, examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydrides and tricarboxylic acid anhydrides, but are not limited to these acid anhydrides, and acid anhydrides that react with an amino group or an isocyanate group. Any compound having a physical group and a carboxyl group can be used including its derivative. Further, these carboxylic acid anhydride components may be used alone or in combination.
アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミン、カルボン酸を有するジアミン、フェノール性水酸基を有するジアミンなどを用いることができるが、これらのアミンに限定されるものではない。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 The amine component may be a diamine such as an aliphatic diamine or an aromatic diamine, a polyvalent amine such as an aliphatic polyether amine, a diamine having a carboxylic acid, a diamine having a phenolic hydroxyl group, and the like. It is not limited to. Moreover, you may use these amine components individually or in combination.
イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネートおよびその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類およびその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。 As the isocyanate component, aromatic diisocyanates and isomers and multimers thereof, aliphatic diisocyanates, diisocyanates such as alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general-purpose diisocyanates can be used. It is not limited. Moreover, you may use these isocyanate components individually or in combination.
以上説明したようなイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、アミド結合を有していてもよい。具体的には、カルボキシル基を有するイミド化物とイソシアネートとカルボン酸無水物とを反応させて得られるポリアミドイミドが挙げられ、それ以外の反応によって得られるものであってもよい。
さらに、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、その他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。The alkali-soluble resin having an imide ring as described above may have an amide bond. Specific examples include a polyamideimide obtained by reacting an imidized product having a carboxyl group with an isocyanate and a carboxylic acid anhydride, and may be obtained by a reaction other than that.
Furthermore, the alkali-soluble resin having an imide ring may have a bond formed by other addition and condensation.
このようなアルカリ溶解性基とイミド環とを有するアルカリ溶解性樹脂の合成においては、公知慣用の有機溶剤を用いることができる。かかる有機溶剤としては、原料であるカルボン酸無水物類、アミン類、イソシアネート類と反応せず、かつこれら原料が溶解する溶剤であれば問題はなく、特にその構造は限定されない。特に、原料の溶解性が高いことから、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性溶媒が好ましい。 In the synthesis of such an alkali-soluble resin having an alkali-soluble group and an imide ring, a known and commonly used organic solvent can be used. As the organic solvent, there is no problem as long as it is a solvent that does not react with the carboxylic acid anhydrides, amines, and isocyanates that are the raw materials and that dissolves these raw materials, and its structure is not particularly limited. In particular, aprotic solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylsulfoxide, and γ-butyrolactone are preferable because the raw materials have high solubility.
以上説明したようなフェノール性水酸基、カルボキシル基のうち１種以上のアルカリ溶解性基とイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、フォトリソグラフィー工程に対応するために、その酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、より好適には６０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。この酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上の場合、アルカリに対する溶解性が増加し、現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。また、この酸価が２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下の場合には、特に、後述する光照射後のＰＥＢ（ＰＯＳＴ ＥＸＰＯＳＵＲＥ ＢＡＫＥ）工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。 The alkali-soluble resin having one or more alkali-soluble groups among the phenolic hydroxyl group and the carboxyl group and the imide ring as described above has an acid value of 20 to 200 mgKOH/g in order to correspond to the photolithography process. Is preferable, and more preferably 60 to 150 mgKOH/g. When the acid value is 20 mgKOH/g or more, the solubility in alkali is increased, the developability is improved, and the degree of crosslinking with the thermosetting component after light irradiation is increased, so that sufficient development contrast is obtained. be able to. When the acid value is 200 mgKOH/g or less, so-called heat fog in the PEB (POST EXPOSURE BAKE) step after light irradiation, which will be described later, can be suppressed, and the process margin increases.
また、このアルカリ溶解性樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量１，０００〜１００，０００が好ましく、さらに２，０００〜５０，０００がより好ましい。この分子量が１，０００以上の場合、露光・ＰＥＢ後に十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。また、分子量が１００，０００以下の場合、アルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。 The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 1,000 to 100,000, more preferably 2,000 to 50,000, in consideration of developability and cured coating characteristics. When the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured physical properties can be obtained after exposure and PEB. When the molecular weight is 100,000 or less, the alkali solubility is increased and the developability is improved.
（光重合開始剤）
樹脂層（Ｂ）において用いる光重合開始剤としては、公知慣用のものを用いることができ、特に、後述する光照射後のＰＥＢ工程に用いる場合には、光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤が好適である。なお、このＰＥＢ工程では、光重合開始剤と光塩基発生剤とを併用してもよい。(Photopolymerization initiator)
As the photopolymerization initiator used in the resin layer (B), known and conventional photopolymerization initiators can be used, and in particular, when used in the PEB step after light irradiation described below, a light having a function as a photobase generator is also used. Polymerization initiators are preferred. In this PEB step, a photopolymerization initiator and a photobase generator may be used in combination.
光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、後述する熱反応性化合物の重合反応の触媒として機能しうる１種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば２級アミン、３級アミンが挙げられる。
このような光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤としては、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基，Ｎ−ホルミル化芳香族アミノ基、Ｎ−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメート基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。中でも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、２つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。The photopolymerization initiator which also has a function as a photobase generator, the molecular structure is changed by the irradiation of light such as ultraviolet rays and visible light, or by the cleavage of the molecule, the polymerization reaction of the thermoreactive compound described below. A compound that produces one or more basic substances that can function as a catalyst. Examples of the basic substance include secondary amines and tertiary amines.
Examples of the photopolymerization initiator that also has a function as such a photobase generator include, for example, α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, and N-acylated aromatics. Examples thereof include compounds having a substituent such as a group amino group, a nitrobenzyl carbamate group, and an alcooxybenzyl carbamate group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferable, and oxime ester compounds are more preferable. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.
α−アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質（アミン）が生成するものであればよい。 Any α-aminoacetophenone compound may be used as long as it has a benzoin ether bond in the molecule and undergoes cleavage within the molecule when it is irradiated with light to generate a basic substance (amine) that exerts a curing catalyst action.
オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれをも使用することができる。 As the oxime ester compound, any compound can be used as long as it is a compound that produces a basic substance upon irradiation with light.
このような光重合開始剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂組成物中の光重合開始剤の配合量は、好ましくはアルカリ溶解性樹脂１００質量部に対して０．１〜４０質量部であり、さらに好ましくは、０．３〜２０質量部である。０．１質量部以上の場合、光照射部／未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、４０質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。 Such photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The compounding amount of the photopolymerization initiator in the resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, and more preferably 0.3 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin. When the amount is 0.1 part by mass or more, it is possible to obtain a good contrast of development resistance between the light-irradiated portion and the unirradiated portion. Further, when the amount is 40 parts by mass or less, the properties of the cured product are improved.
（熱反応性化合物）
熱反応性化合物としては、上記樹脂層（Ａ）と同様の公知慣用のものを用いることができる。(Thermally reactive compound)
As the heat-reactive compound, the same known and commonly used compounds as those used for the resin layer (A) can be used.
以上説明したような樹脂層（Ａ）および樹脂層（Ｂ）において用いる樹脂組成物には、必要に応じて、高分子樹脂や無機充填剤、着色剤、有機溶剤などの成分を配合することができる。 The resin composition used in the resin layer (A) and the resin layer (B) as described above may be blended with components such as a polymer resin, an inorganic filler, a colorant, and an organic solvent, if necessary. it can.
ここで、高分子樹脂は、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に、公知慣用のものを配合することができる。このような高分子樹脂としては、セルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。この高分子樹脂は、１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。 Here, as the polymer resin, a known and commonly used polymer resin can be blended for the purpose of improving flexibility and dryness to the touch of the obtained cured product. Examples of such polymer resins include cellulose-based, polyester-based, phenoxy resin-based polymers, polyvinyl acetal-based, polyvinyl butyral-based, polyamide-based, polyamide-imide-based binder polymers, block copolymers, and elastomers. This polymer resin may be used alone or in combination of two or more.
無機充填材は、硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために配合することができる。このような無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。 The inorganic filler can be added in order to suppress the curing shrinkage of the cured product and improve the properties such as adhesion and hardness. As such an inorganic filler, for example, barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, Neuburg Siricious Earth and the like can be mentioned.
着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの公知慣用の着色剤を配合することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。 As the colorant, known and commonly used colorants such as red, blue, green, yellow, white and black may be blended, and any of pigments, dyes and pigments may be used.
有機溶剤は、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために配合することができる。このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上の混合物として用いてもよい。 The organic solvent can be added for the preparation of the resin composition and for the adjustment of the viscosity for coating the base material or the carrier film. Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum-based solvents and the like. Such organic solvents may be used alone or as a mixture of two or more.
また必要に応じて、メルカプト化合物、密着促進剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、公知慣用のものを用いることができる。
さらに必要に応じて、微粉シリカやハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系やフッ素系、高分子系などの消泡剤および／またはレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。Moreover, if necessary, components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, and an ultraviolet absorber can be blended. As these, known and conventional ones can be used.
Further, if necessary, known and commonly used thickeners such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, defoaming agents and/or leveling agents such as silicone-based, fluorine-based, polymer-based, and silane coupling agents. Well-known and commonly used additives such as rust preventives can be added.
以上説明したような構成に係る本発明の積層構造体は、その少なくとも片面がフィルムで支持または保護されているドライフィルムとして用いることが好ましい。 The laminated structure of the present invention having the structure described above is preferably used as a dry film having at least one surface supported or protected by a film.
（ドライフィルム）
本発明のドライフィルムは、以下のようにして製造できる。すなわち、まず、キャリアフィルム（支持フィルム）上に、上記樹脂層（Ｂ）および樹脂層（Ａ）を構成する組成物を、有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、常法に従い、コンマコーター等の公知の手法で順次塗布する。その後、通常、５０〜１３０℃の温度で１〜３０分間乾燥することで、キャリアフィルム上に樹脂層（Ｂ）および樹脂層（Ａ）からなるドライフィルムを形成することができる。このドライフィルム上には、膜の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、剥離可能なカバーフィルム（保護フィルム）を積層することができる。キャリアフィルムおよびカバーフィルムとしては、従来公知のプラスチックフィルムを適宜用いることができ、カバーフィルムについては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであることが好ましい。キャリアフィルムおよびカバーフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、１０〜１５０μｍの範囲で適宜選択される。(Dry film)
The dry film of the present invention can be manufactured as follows. That is, first, on a carrier film (supporting film), the composition constituting the resin layer (B) and the resin layer (A) is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and a comma is added according to a conventional method. The coating is sequentially performed by a known method such as a coater. Then, usually, by drying at a temperature of 50 to 130° C. for 1 to 30 minutes, a dry film composed of the resin layer (B) and the resin layer (A) can be formed on the carrier film. On the dry film, a peelable cover film (protective film) can be further laminated for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film. As the carrier film and the cover film, a conventionally known plastic film can be appropriately used, and when the cover film is peeled off, the adhesive force between the resin layer and the carrier film is smaller than that. preferable. The thickness of the carrier film and the cover film is not particularly limited, but is generally appropriately selected within the range of 10 to 150 μm.
また、本発明の積層構造体は、屈曲性に優れることから、フレキシブルプリント配線板の屈曲部および非屈曲部のうちの少なくともいずれか一方に用いることができ、また、フレキシブルプリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジストおよび層間絶縁材料のうちの少なくともいずれか１つの用途として用いることができる。 Further, since the laminated structure of the present invention is excellent in flexibility, it can be used in at least one of the bent portion and the non-bent portion of the flexible printed wiring board, and the cover layer of the flexible printed wiring board can be used. It can be used as at least one of a solder resist and an interlayer insulating material.
以下に、本発明にかかるフレキシブルプリント配線板を製造する方法について説明するが、本発明は、これらの製造方法に限定されるものではない。 The method for manufacturing the flexible printed wiring board according to the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these manufacturing methods.
本発明の積層構造体を用いたフレキシブルプリント配線板の製造は、例えば、図１の工程図に示す手順に従い行うことができる。
すなわち、導体回路を形成したフレキシブル配線基板上に本発明の積層構造体の層を形成する工程（積層工程）、この積層構造体の層に活性エネルギー線をパターン状に照射する工程（露光工程）、および、この積層構造体の層をアルカリ現像して、パターン化された積層構造体の層を一括形成する工程（現像工程）を含む製造方法である。また、必要に応じて、アルカリ現像後、さらなる光硬化や熱硬化（ポストキュア工程）を行い、積層構造体の層を完全に硬化させて、信頼性の高いフレキシブルプリント配線板を得ることができる。The flexible printed wiring board using the laminated structure of the present invention can be manufactured, for example, according to the procedure shown in the process chart of FIG.
That is, a step of forming a layer of the laminated structure of the present invention on a flexible wiring board on which a conductor circuit is formed (laminating step), and a step of irradiating the layer of the laminated structure with active energy rays in a pattern (exposure step) And a step of developing the layers of the laminated structure with an alkali to collectively form the patterned layers of the laminated structure (developing step). Further, if necessary, after the alkali development, further photo-curing or heat-curing (post-cure process) is performed to completely cure the layers of the laminated structure to obtain a highly reliable flexible printed wiring board. ..
また、本発明の積層構造体を用いたフレキシブルプリント配線板の製造は、図２の工程図に示す手順に従い行うこともできる。
すなわち、導体回路を形成したフレキシブル配線基板上に本発明の積層構造体の層を形成する工程（積層工程）、この積層構造体の層に活性エネルギー線をパターン状に照射する工程（露光工程）、この積層構造体の層を加熱する工程（加熱（ＰＥＢ）工程）、および、積層構造体の層をアルカリ現像して、パターン化された積層構造体の層を一括形成する工程（現像工程）を含む製造方法である。また、必要に応じて、アルカリ現像後、さらなる光硬化や熱硬化（ポストキュア工程）を行い、積層構造体の層を完全に硬化させて、信頼性の高いフレキシブルプリント配線板を得ることができる。特に、樹脂層（Ｂ）においてイミド環含有アルカリ溶解性樹脂を用いた場合には、この図２の工程図に示す手順を用いることが好ましい。The flexible printed wiring board using the laminated structure of the present invention can also be manufactured according to the procedure shown in the process chart of FIG.
That is, a step of forming a layer of the laminated structure of the present invention on a flexible wiring board on which a conductor circuit is formed (laminating step), and a step of irradiating the layer of the laminated structure with active energy rays in a pattern (exposure step) A step of heating the layer of the laminated structure (heating (PEB) step), and a step of alkali-developing the layer of the laminated structure to collectively form a layer of the patterned laminated structure (developing step) It is a manufacturing method including. Further, if necessary, after the alkali development, further photo-curing or heat-curing (post-cure process) is performed to completely cure the layers of the laminated structure to obtain a highly reliable flexible printed wiring board. .. Particularly, when the imide ring-containing alkali-soluble resin is used in the resin layer (B), it is preferable to use the procedure shown in the process chart of FIG.
以下、図１または図２に示す各工程について、詳細に説明する。
［積層工程］
この工程では、導体回路２が形成されたフレキシブルプリント配線基板１に、アルカリ溶解性樹脂等を含むアルカリ現像型樹脂組成物からなる樹脂層３（樹脂層（Ａ））と、樹脂層３上の、アルカリ溶解性樹脂等を含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層４（樹脂層（Ｂ））と、からなる積層構造体を形成する。ここで、積層構造体を構成する各樹脂層は、例えば、樹脂層３，４を構成する樹脂組成物を、順次、配線基板１に塗布および乾燥することにより樹脂層３，４を形成するか、あるいは、樹脂層３，４を構成する樹脂組成物を２層構造のドライフィルムの形態にしたものを、配線基板１にラミネートする方法により形成してもよい。Hereinafter, each step shown in FIG. 1 or FIG. 2 will be described in detail.
[Lamination process]
In this step, on the flexible printed
樹脂組成物の配線基板への塗布方法は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等の公知の方法でよい。また、乾燥方法は、熱風循環式乾燥炉、ＩＲ炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより支持体に吹き付ける方法等、公知の方法でよい。 The method of applying the resin composition to the wiring board may be a known method such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, or a film coater. In addition, the drying method uses a hot air circulation type drying oven, an IR oven, a hot plate, a convection oven, or the like equipped with a heat source of a heating method by steam, a method of bringing the hot air in the dryer into countercurrent contact, and supporting from a nozzle. A known method such as a method of spraying on the body may be used.
［露光工程］
この工程では、活性エネルギー線の照射により、樹脂層４または樹脂層３に含まれる光重合開始剤をネガ型のパターン状に活性化させて、露光部を硬化する。露光機としては、直接描画装置、メタルハライドランプを搭載した露光機などを用いることができる。パターン状の露光用のマスクは、ネガ型のマスクである。[Exposure process]
In this step, the photopolymerization initiator contained in the
露光に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が３５０〜４５０ｎｍの範囲にあるレーザー光または散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光重合開始剤を活性化させることができる。また、その露光量は膜厚等によって異なるが、通常は、１００〜１５００ｍＪ／ｃｍ２とすることができる。As the active energy ray used for exposure, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photopolymerization initiator can be efficiently activated. Although the exposure dose varies depending on the film thickness and the like, it can usually be 100 to 1500 mJ/cm 2 .
［ＰＥＢ工程］
この工程では、露光後、樹脂層を加熱することにより、露光部を硬化する。この工程により、光塩基発生剤としての機能を有する光重合開始剤を用いた組成物、あるいは光重合開始剤と光塩基発生剤とを併用した組成物からなる樹脂層（Ｂ）の露光工程で発生した塩基によって、樹脂層（Ｂ）を深部まで硬化できる。加熱温度は、例えば、８０〜１４０℃である。加熱時間は、例えば、１０〜１００分である。本発明における樹脂組成物の硬化は、例えば、熱反応によるエポキシ樹脂の開環反応であるため、光ラジカル反応で硬化が進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。[PEB process]
In this step, the exposed part is cured by heating the resin layer after exposure. By this step, in the exposure step of the resin layer (B) composed of a composition using a photopolymerization initiator having a function as a photobase generator or a composition using a photopolymerization initiator and a photobase generator in combination. The generated base can cure the resin layer (B) to a deep portion. The heating temperature is, for example, 80 to 140°C. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes. Curing of the resin composition in the present invention is, for example, a ring-opening reaction of an epoxy resin by a thermal reaction, so that it is possible to suppress strain and curing shrinkage as compared with the case where curing proceeds by a photoradical reaction.
［現像工程］
この工程では、アルカリ現像により、未露光部を除去して、ネガ型のパターン状の絶縁膜、特には、カバーレイおよびソルダーレジストを形成する。現像方法としては、ディッピング等の公知の方法によることができる。また、現像液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、アミン類、２−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液（ＴＭＡＨ）等のアルカリ水溶液、または、これらの混合液を用いることができる。[Development process]
In this step, the unexposed portion is removed by alkali development to form a negative patterned insulating film, particularly a coverlay and a solder resist. As a developing method, a known method such as dipping can be used. As the developing solution, sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, amines, imidazoles such as 2-methylimidazole, alkaline aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), or a mixed solution thereof is used. Can be used.
［ポストキュア工程］
この工程は、現像工程の後に、樹脂層を完全に熱硬化させて信頼性の高い塗膜を得るものである。加熱温度は、例えば１４０℃〜１８０℃である。加熱時間は、例えば２０〜１２０分である。さらに、ポストキュアの前または後に、光照射してもよい。[Post cure process]
In this step, the resin layer is completely thermoset after the developing step to obtain a highly reliable coating film. The heating temperature is, for example, 140°C to 180°C. The heating time is, for example, 20 to 120 minutes. Further, light irradiation may be performed before or after the post cure.
以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples and Comparative Examples.
＜合成例１：ポリアミドイミド樹脂溶液の合成例＞
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル３つ口フラスコに、３，５−ジアミノ安息香酸を３．８ｇ、２，２’−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパンを６．９８ｇ、ジェファーミンＸＴＪ−５４２（ハンツマン社製、分子量１０２５．６４）を８．２１ｇ、γ−ブチロラクトンを８６．４９ｇ、室温で仕込み、溶解した。<Synthesis Example 1: Synthesis example of polyamide-imide resin solution>
In a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introducing tube, a fractionating ring, and a cooling ring, 3.8 g of 3,5-diaminobenzoic acid and 2,2′-bis[4-(4-aminophenoxy) were added. 6.98 g of phenyl]propane, 8.21 g of Jeffamine XTJ-542 (manufactured by Huntsman, molecular weight 1025.64), and 86.49 g of γ-butyrolactone were charged at room temperature and dissolved.
次いで、シクロヘキサン−１，２，４−トリカルボン酸−１，２−無水物１７．８４ｇおよびトリメリット酸無水物２．８８ｇを仕込み、室温で３０分間保持した。次いで、トルエンを３０ｇ加え、１６０℃まで昇温して、トルエンおよび水を留去しながら３時間撹拌した後、室温まで冷却し、イミド化物溶液を得た。 Then, 17.84 g of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride and 2.88 g of trimellitic acid anhydride were charged, and the mixture was kept at room temperature for 30 minutes. Next, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160° C., the mixture was stirred for 3 hours while distilling off toluene and water, and then cooled to room temperature to obtain an imidized product solution.
得られたイミド化物溶液に、トリメリット酸無水物９．６１ｇおよびトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート１７．４５ｇを仕込み、温度１６０℃で３２時間撹拌した。こうしてカルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂溶液（ＰＡＩ−１）を得た。得られた樹脂（固形分）の酸価は８３．１ｍｇＫＯＨ、Ｍｗは４３００であった。 The resulting imidized product solution was charged with 9.61 g of trimellitic anhydride and 17.45 g of trimethylhexamethylene diisocyanate, and stirred at a temperature of 160° C. for 32 hours. Thus, a polyamide-imide resin solution (PAI-1) having a carboxyl group was obtained. The acid value of the obtained resin (solid content) was 83.1 mgKOH, and the Mw was 4300.
＜合成例２：イミド環、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液の合成＞
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル３つ口フラスコに、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルホン２２．４ｇ、２，２’−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパンを８．２ｇ、ＮＭＰを３０ｇ、γ−ブチロラクトンを３０ｇ、４，４’−オキシジフタル酸無水物を２７．９ｇ、トリメリット酸無水物を３．８ｇ加え、窒素雰囲気下、室温、１００ｒｐｍで４時間撹拌した。次いでトルエンを２０ｇ加え、シリコン浴温度１８０℃、１５０ｒｐｍでトルエンおよび水を留去しながら４時間撹拌して、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液（ＰＩ−１）を得た。
得られた樹脂（固形分）の酸価は１８ｍｇＫＯＨ、Ｍｗは１０，０００、水酸基当量は３９０であった。<Synthesis Example 2: Synthesis of polyimide resin solution having imide ring, phenolic hydroxyl group and carboxyl group>
In a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introduction tube, a fractionating ring, and a cooling ring, 22.4 g of 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone and 2,2′-bis[4 8.2 g of -(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 30 g of NMP, 30 g of γ-butyrolactone, 27.9 g of 4,4′-oxydiphthalic anhydride and 3.8 g of trimellitic anhydride, Under a nitrogen atmosphere, the mixture was stirred at room temperature and 100 rpm for 4 hours. Next, 20 g of toluene was added, and the mixture was stirred for 4 hours while distilling toluene and water at a silicon bath temperature of 180° C. and 150 rpm to obtain a polyimide resin solution (PI-1) having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group.
The obtained resin (solid content) had an acid value of 18 mgKOH, Mw of 10,000, and hydroxyl group equivalent of 390.
＜合成例３：カルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成＞
撹拌装置、温度計およびコンデンサーを備えた反応容器に、１，５−ペンタンジオールと１，６−ヘキサンジオールから誘導されるポリカーボネートジオール（旭化成ケミカルズ（株）製、Ｔ５６５０Ｊ、数平均分子量８００）を２４００ｇ（３モル）、ジメチロールプロピオン酸を６０３ｇ（４．５モル）、および、モノヒドロキシル化合物として２−ヒドロキシエチルアクリレートを２３８ｇ（２．６モル）投入した。次いで、ポリイソシアネートとしてイソホロンジイソシアネート１８８７ｇ（８．５モル）を投入し、撹拌しながら６０℃まで加熱して停止し、反応容器内の温度が低下し始めた時点で再度加熱して８０℃で撹拌を続け、赤外線吸収スペクトルでイソシアネート基の吸収スペクトル（２２８０ｃｍ−１）が消失したことを確認して、反応を終了した。その後、固形分が５０質量％となるようにカルビトールアセテートを添加した。得られたカルボキシル基含有樹脂の固形分の酸価は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。<Synthesis Example 3: Synthesis of carboxyl group-containing urethane resin>
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser, 2400 g of a polycarbonate diol derived from 1,5-pentanediol and 1,6-hexanediol (T5650J, manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, number average molecular weight 800). (3 mol), 603 g (4.5 mol) of dimethylolpropionic acid, and 238 g (2.6 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate as a monohydroxyl compound were added. Then, 1887 g (8.5 mol) of isophorone diisocyanate was added as polyisocyanate, heated to 60° C. with stirring and stopped, and when the temperature inside the reaction vessel started to decrease, heated again and stirred at 80° C. The reaction was terminated by confirming that the absorption spectrum (2280 cm −1 ) of the isocyanate group had disappeared by infrared absorption spectrum. Then, carbitol acetate was added so that the solid content was 50% by mass. The acid value of the solid content of the obtained carboxyl group-containing resin was 50 mgKOH/g.
（実施例１〜９，比較例１〜３）
下記表１，２中に記載の配合に従って、実施例および比較例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、３本ロールミルにて混練し、各樹脂層を構成する樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りがない限り、固形分の質量部である。(Examples 1-9, Comparative Examples 1-3)
In accordance with the formulations shown in Tables 1 and 2 below, the materials described in Examples and Comparative Examples were blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to form a resin composition constituting each resin layer. Was prepared. Unless otherwise noted, the values in the table are parts by mass of solid content.
＜樹脂層（Ａ）の形成＞
銅厚１８μｍの回路が形成されているフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社ＣＺ−８１００を使用して、前処理を行った。その後、前処理を行ったフレキシブルプリント配線基材に、各樹脂組成物をそれぞれ乾燥後の膜厚が２５μｍになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて８０℃／３０分にて乾燥し、樹脂組成物からなる樹脂層（Ａ）を形成した。<Formation of resin layer (A)>
A flexible printed wiring substrate on which a circuit having a copper thickness of 18 μm was formed was prepared and subjected to pretreatment using CZ-8100 manufactured by MEC. Then, each resin composition was applied to the pretreated flexible printed wiring substrate so that the film thickness after drying was 25 μm. Then, it dried at 80 degreeC/30 minutes in the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer (A) which consists of a resin composition.
＜樹脂層（Ｂ）の形成＞
上記で形成された樹脂層（Ａ）上に、各樹脂組成物をそれぞれ乾燥後の膜厚が１０μｍになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて９０℃／１５分にて乾燥し、樹脂組成物からなる樹脂層（Ｂ）を形成した。<Formation of resin layer (B)>
Each resin composition was applied onto the resin layer (A) formed above so that the film thickness after drying was 10 μm. Then, it dried at 90 degreeC/15 minutes in the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer (B) which consists of a resin composition.
＊２）ＰＡＩ−１：合成例１のポリアミドイミド樹脂
＊３）ＰＩ−１：合成例２のポリイミド樹脂
＊４）ＢＰＥ−９００：エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート（新中村化学（株）製）
＊５）Ｅ１００１：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂，エポキシ当量４５０〜５００（三菱化学（株）製）
＊６）Ｅ８３４：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂，エポキシ当量２３０〜２７０（三菱化学（株）製）
＊７）ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０２：オキシム系光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製）
＊８）カルボキシル基含有ウレタン樹脂：合成例３の樹脂
＊９）Ｅ８２８：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂，エポキシ当量１９０，質量平均分子量３８０（三菱化学（株）製）
＊１０）２，２’−オキシビス（５，５’−ジメチル−１，３，２−ジオキサボリナン）
*2) PAI-1: Polyamideimide resin of Synthesis Example 1 *3) PI-1: Polyimide resin of Synthesis Example 2 *4) BPE-900: Ethoxylated bisphenol A dimethacrylate (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.)
*5) E1001: Bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 450-500 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
*6) E834: Bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 230 to 270 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
*7) IRGACURE OXE02: oxime photopolymerization initiator (manufactured by BASF)
*8) Carboxyl group-containing urethane resin: Resin of Synthesis Example 3 *9) E828: Bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 190, mass average molecular weight 380 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
* 10) 2,2'-oxybis (5,5'-dimethyl-1,3,2-Okisaborinan)
＜ブレークポイント（現像性）＞
得られた各積層構造体の乾燥塗膜に対し、メタルハライドランプ搭載の露光装置（ＨＭＷ−６８０−ＧＷ２０）を用いて、所定のパターン状に５００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、下記の表中に示す条件でＰＥＢ工程を行ってから、現像（３０℃、０．２ＭＰａ、１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液）を行って、未露光部分が完全溶解するまでの時間（秒）を測定した。その結果を、下記の表３，４中に示す。<Break point (development)>
The obtained dried coating film of each laminated structure was exposed in a predetermined pattern at 500 mJ/cm 2 using an exposure device (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. Then, after performing the PEB process under the conditions shown in the table below, the development (30° C., 0.2 MPa, 1 mass% Na 2 CO 3 aqueous solution) is performed, and the time until the unexposed portion is completely dissolved ( Second) was measured. The results are shown in Tables 3 and 4 below.
＜解像性（開口径）＞
得られた各積層構造体を、メタルハライドランプ搭載の露光装置（ＨＭＷ−６８０−ＧＷ２０）を用いて、５００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。露光パターンは、３００μｍの開口を開けるパターンとした。その後、下記の表中に示す条件でＰＥＢ工程を行ってから、現像（３０℃、０．１ＭＰａ、１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液）を６０秒で行ってパターンを描き、１５０℃×６０分で熱硬化することにより硬化塗膜を得た。得られた硬化塗膜の開口サイズ（設計値３００μｍ）を、２００倍に調整した光学顕微鏡を用いて測定した。その結果を、下記の表５，６中に示す。<Resolution (aperture diameter)>
Each obtained laminated structure was exposed at 500 mJ/cm 2 using an exposure device (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. The exposure pattern was a pattern for opening an opening of 300 μm. After that, after performing the PEB process under the conditions shown in the following table, development (30° C., 0.1 MPa, 1 mass% Na 2 CO 3 aqueous solution) is performed for 60 seconds to draw a pattern, and 150° C.×60 minutes A cured coating film was obtained by heat curing with. The opening size (design value 300 μm) of the obtained cured coating film was measured using an optical microscope adjusted to 200 times. The results are shown in Tables 5 and 6 below.
＜無電解金めっき耐性＞
上記基材上の硬化塗膜に対し、市販の無電解金めっき浴を用いて、ニッケル３．０μｍ、金０．０３μｍの条件でめっきを行い、めっきされた評価基板において、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。得られた結果を下記表７，８中に示す。<Electroless gold plating resistance>
The cured coating film on the base material was plated with a commercially available electroless gold plating bath under the conditions of nickel 3.0 μm and gold 0.03 μm, and a resist layer was formed by tape peeling on the plated evaluation substrate. The presence or absence of peeling was evaluated. The obtained results are shown in Tables 7 and 8 below.
＜常温放置後のブレークポイント（現像性）＞
得られた各積層構造体の乾燥塗膜を、冷暗所で保管した後、常温で５日間放置して、メタルハライドランプ搭載の露光装置（ＨＭＷ−６８０−ＧＷ２０）を用いて、所定のパターン状に５００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、下記の表中に示す条件でＰＥＢ工程を行ってから、現像（３０℃、０．２ＭＰａ、１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液）を行って、未露光部分が完全溶解するまでの時間（秒）を測定した。その結果を、下記の表９，１０中に示す。<Break point (developing property) after standing at room temperature>
The dried coating film of each obtained laminated structure was stored in a cool dark place, left at room temperature for 5 days, and exposed to a predetermined pattern of 500 mJ using an exposure device (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. Exposure was performed at /cm 2 . Then, after performing the PEB process under the conditions shown in the table below, the development (30° C., 0.2 MPa, 1 mass% Na 2 CO 3 aqueous solution) is performed, and the time until the unexposed portion is completely dissolved ( Second) was measured. The results are shown in Tables 9 and 10 below.
＜現像残渣＞
得られた各積層構造体の乾燥塗膜に対し、メタルハライドランプ搭載の露光装置（ＨＭＷ−６８０−ＧＷ２０）を用いて、所定のパターン状に５００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。その後、下記の表中に示す条件でＰＥＢ工程を行ってから、現像（３０℃、０．２ＭＰａ、１質量％Ｎａ２ＣＯ３水溶液）を６０秒で行って、水洗した。これを光学顕微鏡（×２．５倍）にて観察し、現像残渣（現像残り）の有無を確認した。その結果を、下記の表１１，１２中に示す。<Development residue>
The obtained dried coating film of each laminated structure was exposed in a predetermined pattern at 500 mJ/cm 2 using an exposure device (HMW-680-GW20) equipped with a metal halide lamp. After that, the PEB process was performed under the conditions shown in the table below, and then the development (30° C., 0.2 MPa, 1% by mass Na 2 CO 3 aqueous solution) was performed for 60 seconds, followed by washing with water. This was observed with an optical microscope (×2.5 times) to confirm the presence or absence of a development residue (development residue). The results are shown in Tables 11 and 12 below.
上記表中に示す評価結果から明らかなように、樹脂層（Ａ）がメラミンとホウ酸エステル化合物との混合物またはメラミンの有機酸塩を含む各実施例の積層構造体は、金めっき耐性が良好で、ＰＥＢの条件によらず安定した開口径を有し、現像性および常温放置後の現像性の双方について良好な結果を示すとともに、現像残渣も生じないものであった。 As is clear from the evaluation results shown in the above table, the laminated structure of each example in which the resin layer (A) contains a mixture of melamine and a borate ester compound or an organic acid salt of melamine has good gold plating resistance. In addition, it had a stable opening diameter regardless of PEB conditions, showed good results both in terms of developability and developability after standing at room temperature, and did not cause development residues.
これに対し、樹脂層（Ａ）がメラミンとホウ酸エステル化合物との混合物またはメラミンの有機酸塩を含まない比較例１〜３では、メラミンの配合量が増加するにつれて、現像性が悪化し、開口径が小さくなる一方、金めっき耐性は良好となっている。また、現像性については、メラミンの配合量が増加するにつれて、また、加熱温度が高くなるにつれて、現像速度が遅くなっている。さらに、現像残渣について、比較例２〜３では、熱かぶりによる現像不良が生じ、現像残渣が残っていることがわかる。 On the other hand, in Comparative Examples 1 to 3 in which the resin layer (A) does not contain a mixture of melamine and a borate ester compound or an organic acid salt of melamine, the developability deteriorates as the blended amount of melamine increases, While the opening diameter is reduced, the gold plating resistance is good. Regarding the developability, the developing rate becomes slower as the blending amount of melamine increases and as the heating temperature increases. Further, regarding the development residue, in Comparative Examples 2 to 3, it is found that the development defect occurs due to heat fogging and the development residue remains.
１ フレキシブルプリント配線基板
２ 導体回路
３ 樹脂層
４ 樹脂層
５ マスク1 Flexible Printed
Claims (5)
前記樹脂層（Ｂ）が、アルカリ溶解性樹脂と、光重合開始剤と、熱反応性化合物とを含む感光性熱硬化性樹脂組成物からなり、かつ、前記樹脂層（Ａ）が、アルカリ溶解性樹脂と、熱反応性化合物と、メラミンとホウ酸エステル化合物との混合物と、を含むアルカリ現像型樹脂組成物からなり、
前記ホウ酸エステル化合物が、ホウ酸トリフェニルまたは環状ホウ酸エステル化合物であることを特徴とする積層構造体。 A laminated structure having a resin layer (A) and a resin layer (B) laminated on a flexible printed wiring board via the resin layer (A),
The resin layer (B) is composed of a photosensitive thermosetting resin composition containing an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a thermoreactive compound, and the resin layer (A) is alkali-soluble. and sex resin, a thermally reactive compound, Ri Do from alkali development type resin composition comprising a mixture of melamine and boric acid ester compound, a,
The laminated structure, wherein the borate ester compound is triphenyl borate or a cyclic borate ester compound .
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