JP6732347B1 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Fij:対強度定量値変化比
ΔIreli:測定線iの測定強度における所定量の変化
ΔWij:測定線iの測定強度の所定量変化による測定線jに対応する定量値の変化
σWj:測定線jに対応する定量値の定量精度
σreli:測定線iの強度相対精度
σWjs:測定線jに対応する定量値に対して指定された定量精度
σWjs:測定線jに対応する定量値に対して指定された定量精度
3 1次X線
5 2次X線(測定線)
13 計数時間計算手段
14 定量精度計算手段
Claims (2)
- 試料に1次X線を照射し、発生する2次X線の測定強度に基づいて前記試料中の成分の含有率の定量値および/または前記試料の厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置であって、
強度を測定すべき2次X線である測定線のそれぞれについて、計数時間を計算する計数時間計算手段を備え、
その計数時間計算手段が、
複数の標準試料について所定の仮の計数時間で測定することにより、所定の定量演算方法のための検量線定数と補正係数または装置感度定数を求め、
1つの標準試料について、各定量値に対し定量精度が指定されるところ、各測定線の測定強度を基準強度とし、
前記所定の定量演算方法により、前記基準強度を用いて各定量値を求めるとともに、1つの測定線の測定強度のみを所定量だけ変化させた場合の各定量値を求めて、前記所定量に対する各定量値の変化の比を対強度定量値変化比として求める手順を、測定強度を変化させる測定線を変えて繰返し、
測定強度を変化させた測定線ごとに、変化後の各定量値について、対応する前記対強度定量値変化比で前記指定された定量精度を除することにより強度の精度を求め、最も絶対値の小さい強度の精度を仮の必要な強度の精度とし、
各測定線について、前記基準強度に基づいて前記仮の必要な強度の精度を得るための計数時間を計算し、
各定量値について、各測定線の前記仮の必要な強度の精度および対応する前記対強度定量値変化比に基づいて推定定量精度を計算して前記指定された定量精度と比較し、
すべての定量値について前記推定定量精度が前記指定された定量精度を満足していれば、最終計数時間を出力する工程へ進み、満足していなければ次の工程へ進み、
前記推定定量精度が前記指定された定量精度を満足していない定量値ごとに、1つの測定線の計数時間のみを所定時間だけ増加させた場合の各測定線の強度の精度を前記基準強度に基づいて計算し、計算した各測定線の強度の精度および対応する前記対強度定量値変化比に基づいて推定定量精度を計算し、その計算した推定定量精度と前回計算した推定定量精度との差を改善定量精度とし、その改善定量精度に対する、前回計算した推定定量精度と前記指定された定量精度との差の比に、前記所定時間を乗ずることにより必要な追加時間を求め、この手順を、計数時間を増加させる測定線を変えて繰返し、前記必要な追加時間が最も短い場合について、該当する1つの測定線の計数時間のみを対応する前記必要な追加時間の所定倍だけ増加させて、各測定線の強度の精度を計算するとともに、推定定量精度を計算して更新し、
その更新した推定定量精度が前記指定された定量精度を満足していなければ、満足するまで推定定量精度の更新を繰り返し、満足していれば次の工程に進み、
最新の推定定量精度が前記指定された定量精度を満足していない定量値があれば、その定量値について推定定量精度を更新する工程に進み、なければ次の工程に進み、
各測定線についての最新の計数時間を所定の単位における所定の位に調整し、最終計数時間として出力する、蛍光X線分析装置。 - 試料に1次X線を照射し、発生する2次X線の測定強度に基づいて前記試料中の成分の含有率の定量値および/または前記試料の厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置であって、
各定量値について定量精度を計算する定量精度計算手段を備え、
その定量精度計算手段が、
複数の標準試料について測定することにより、所定の定量演算方法のための検量線定数と補正係数または装置感度定数を求め、
1つの標準試料について、強度を測定すべき2次X線である測定線のそれぞれに対し計数時間が指定されるところ、各測定線の測定強度を基準強度とし、
前記所定の定量演算方法により、前記基準強度を用いて各定量値を求めるとともに、1つの測定線の測定強度のみを所定量だけ変化させた場合の各定量値を求めて、前記所定量に対する各定量値の変化の比を対強度定量値変化比として求める手順を、測定強度を変化させる測定線を変えて繰返し、
各測定線について、前記指定された計数時間および前記基準強度に基づいて強度の精度を求め、各定量値について、各測定線の強度の精度および対応する前記対強度定量値変化比に基づいて定量精度を計算して出力する、蛍光X線分析装置。
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