JP6730548B1 - 位置検出センサ - Google Patents

Abstract

位置検出センサ７０は、先端側の外周面が対象物と接触し該対象物の変位に伴って基端側を中心に回動する棒状の接触部８０と、接触部８０の回動によって移動する可動部７３と、可動部７３が移動により所定距離まで近づくと、可動部７３の存在を検知して対象物の位置を検出する磁気スイッチ７２とを備える。接触部８０は、弾性を有し、接触部８０の外周側を構成する筒状の外側部材８１と、外側部材８１の内側に挿入され、外側部材８１よりも弾性率が大きい棒状の内側部材８２とを有している。

Description

本願は、対象物の位置を検出する位置検出センサに関するものである。

例えば特許文献１に開示されているように、対象物の位置を検出する位置検出センサが知られている。この特許文献１では、位置検出センサは液体圧送装置に設けられてフロートの位置を検出する。液体圧送装置では、液体の液位に応じてフロートが上昇下降し、フロートが所定の高さまで上昇すると貯留された液体が排出され、フロートが所定の高さまで下降すると新たに液体が流入して貯留される。

位置検出センサは、近接スイッチである磁気スイッチと、永久磁石が内蔵された可動部（可動軸）と、フロートに接する棒状の接触部（コイルバネ）とを備えている。位置検出センサでは、接触部の先端側がフロートに接して該フロートの上昇に伴って回動する。この接触部の回動に伴い、可動部が磁気スイッチへ向かって移動する。そして、フロートが所定高位まで上昇し、磁気スイッチと永久磁石との距離が所定値になると、磁気スイッチは永久磁石の磁気を検知する。こうして、フロートが所定位置に到達したことが検出される。

特開２０１３−２４０６１号公報

上述した位置検出センサでは、例えばフロートが急激に上昇し接触部に接触した際に衝撃によって接触部が損傷しないように、接触部には衝撃を吸収可能な弾性を有する部材としてコイルバネが用いられている。しかしながら、コイルバネはフロートに接触した後に変形によって球状であるフロートの中央からずれる（滑り落ちる）虞があり、そうなると、フロートの上昇に対する接触部の回動量が減少する。そのため、対象物の位置検出精度が低下する虞がある。

本願に開示の技術は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、対象物の衝撃による接触部の損傷を防止しつつ、位置検出精度の低下を防止することにある。

本願の位置検出センサは、棒状の接触部と、可動部と、近接スイッチとを備えている。前記接触部は、先端側の外周面が対象物と接触し該対象物の変位に伴って基端側を中心に回動する。前記可動部は、前記接触部の回動によって移動する。前記近接スイッチは、前記可動部が移動により所定距離まで近づくと、前記可動部の存在を検知して前記対象物の位置を検出する。そして、前記接触部は、筒状の外側部材と、棒状の内側部材とを有している。前記外側部材は、弾性を有し、前記接触部の外周側を構成している。前記内側部材は、前記外側部材の内側に挿入され、前記外側部材よりも弾性率が大きい。

本願の位置検出センサによれば、対象物の衝撃による接触部の損傷を防止しつつ、位置検出精度の低下を防止することができる。

図１は、実施形態に係る液体圧送装置の概略構成を示す断面図である。 図２は、給気弁および排気弁の概略構成を拡大して示す断面図である。 図３は、実施形態に係る位置検出センサの概略構成を示す断面図である。 図４は、実施形態に係る接触部の概略構成を示す断面図である。 図５は、接触部の挙動を説明するための図である。

以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本願に開示の技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。

本実施形態の液体圧送装置１は、例えば蒸気システムに設けられ、蒸気の凝縮によって発生した高温のドレン（復水）を回収してボイラーや廃熱利用装置に圧送するものである。図１に示すように、液体圧送装置１は、密閉容器であるケーシング１０と、給気弁２０および排気弁３０と、弁作動機構４０と、本願の請求項に係る位置検出センサ７０とを備えている。

ケーシング１０は、本体部１１と蓋部１２とがボルトによって結合され、ドレン（液体）が流入して貯留される貯留空間１３が内部に形成されている。蓋部１２には、ドレンが流入する液体流入口１４と、ドレンが排出される液体排出口１５と、蒸気（作動気体）が導入される気体導入口１６と、蒸気（作動気体）が排出される気体排出口１７とが設けられている。液体流入口１４は蓋部１２の上部寄りに設けられ、液体排出口１５は蓋部１２の下部に設けられている。気体導入口１６および気体排出口１７は、何れも蓋部１２の上部に設けられている。これら液体流入口１４等は、何れも貯留空間１３と連通している。

図２にも示すように、気体導入口１６には給気弁２０が設けられ、気体排出口１７には排気弁３０が設けられている。給気弁２０および排気弁３０は、それぞれ気体導入口１６および気体排出口１７を開閉するものである。給気弁２０は、蒸気を気体導入口１６から貯留空間１３に導入することによって貯留空間１３のドレンを液体排出口１５から排出させる。排気弁３０は、貯留空間１３に導入された蒸気を気体排出口１７から排出させる。

給気弁２０は、弁ケース２１、弁体２２および昇降棒２３を有する。弁ケース２１は軸方向に貫通孔を有し、該貫通孔の上側には弁座２４が形成されている。弁ケース２１の中間部には、貫通孔と外部とが連通する開口２５が形成されている。弁体２２は、球状に形成されており、昇降棒２３の上端に一体的に設けられている。昇降棒２３は、弁ケース２１の貫通孔に上下動可能に挿入されている。給気弁２０は、昇降棒２３が上昇すると弁体２２が弁座２４から離座して気体導入口１６が開放され、昇降棒２３が下降すると弁体２２が弁座２４に着座して気体導入口１６が閉じられる。

排気弁３０は、弁ケース３１、弁体３２および昇降棒３３を有する。弁ケース３１は軸方向に貫通孔を有し、貫通孔のやや上側には弁座３４が形成されている。弁ケース３１には、貫通孔と外部とが連通する開口３５が形成されている。弁体３２は、略半球状に形成されており、昇降棒３３の上端に一体的に設けられている。昇降棒３３は、弁ケース３１の貫通孔に上下動可能に挿入されている。排気弁３０は、昇降棒３３が上昇すると弁体３２が弁座３４に着座して気体排出口１７が閉じられ、昇降棒３３が下降すると弁体３２が弁座３４から離座して気体排出口１７が開放される。

排気弁３０の昇降棒３３の下端には、弁操作棒３６が連結されている。つまり、排気弁３０の昇降棒３３は弁操作棒３６の上下動に伴って上下動する。また、弁操作棒３６には、給気弁２０の昇降棒２３の下方領域まで延びる連設板３７が取り付けられている。給気弁２０の昇降棒２３は、弁操作棒３６が上昇すると連設板３７によって押し上げられて上昇し、弁操作棒３６が下降すると連設板３７も下降するので自重で下降する。つまり、弁操作棒３６が上昇すると、給気弁２０は開く（開弁する）一方、排気弁３０は閉じ（閉弁し）、弁操作棒３６が下降すると、給気弁２０は閉じる（閉弁する）一方、排気弁３０は開く（開弁する）。

弁作動機構４０は、ケーシング１０内に設けられ、弁操作棒３６を上下動させて給気弁２０および排気弁３０を開弁および閉弁させるものである。弁作動機構４０は、フロート４１およびスナップ機構５０を有する。

フロート４１は、球形に形成され、レバー４２が取り付けられている。レバー４２は、ブラケット４４に設けられた軸４３に回転可能に支持されている。レバー４２には、フロート４１側とは反対側の端部に軸４５が設けられている。スナップ機構５０は、フロートアーム５１、副アーム５２、コイルバネ５３、２つの受け部材５４，５５を有する。フロートアーム５１は、一端部がブラケット５９に設けられた軸５８に回転可能に支持されている。なお、両ブラケット４４，５９は互いにねじによって結合され蓋部１２に取り付けられている。フロートアーム５１の他端部は、溝５１ａが形成されており、その溝５１ａにレバー４２の軸４５が嵌っている。この構成により、フロートアーム５１はフロート４１の上昇下降に伴い軸５８を中心として揺動する。

また、フロートアーム５１には軸５６が設けられている。副アーム５２は、上端部が軸５８に回転可能に支持され、下端部に軸５７が設けられている。受け部材５４はフロートアーム５１の軸５６に回転可能に支持され、受け部材５５は副アーム５２の軸５７に回転可能に支持されている。両受け部材５４，５５の間には、圧縮状態のコイルバネ５３が取り付けられている。また、副アーム５２には軸６１が設けられ、その軸６１に弁操作棒３６の下端部が連結されている。

〈位置検出センサの構成〉
位置検出センサ７０は、ケーシング１０の本体部１１の上部に設けられて貯留空間１３に連通し、対象物であるフロート４１の位置を検出するものである。位置検出センサ７０は、磁気式のセンサを構成している。

図３に示すように、位置検出センサ７０は、ケース７１と、磁気スイッチ７２と、可動部７３と、接触部８０とを備えている。

ケース７１は、前後方向に延びる略柱状に形成されている。ケース７１は、前方側（柱軸方向一端側）がケーシング１０内の貯留空間１３に位置し、後方側（柱軸方向他端側）がケーシング１０の外部に位置している。ケース７１には、前方側に可動部７３の挿入部７１ａが形成され、後方側に磁気スイッチ７２の収容部７１ｂが形成されている。

つまり、挿入部７１ａおよび収容部７１ｂは互いに前後に形成されている。挿入部７１ａは、ケース７１の前方端から後方へ延びる挿入孔であり、ケース７１と同軸に形成されている。挿入部７１ａと収容部７１ｂとは、隔壁７１ｃによって区画されている。

磁気スイッチ７２は、ケース７１の収容部７１ｂにおいて固定されている。磁気スイッチ７２は、本願の請求項に係る近接スイッチに相当する。

可動部７３は、前後方向（ケース７１の柱軸方向）に延びる棒状の部材である。可動部７３は、ケース７１の挿入部７１ａにおいて前後方向に移動可能（変位可能）に挿入されている。可動部７３には、内端側（後方端側）に磁石７４が内蔵されて取り付けられている。磁石７４は、永久磁石である。

ケース７１の前方端には、二又片７１ｄが形成されており、その二又片７１ｄに回転板７５が設けられている。回転板７５は、円形に形成され、二又片７１ｄの間に接続された中心軸７６に回転自在に取り付けられている。つまり、回転板７５は中心軸７６を介してケース７１に回転自在に支持されている。

可動部７３の外端（前方端）には、二又片７３ａが形成されており、その二又片７３ａの間に連結軸７７が接続されている。連結軸７７は、回転板７５の外縁部を貫通して設けられている。つまり、回転板７５は、ケース７１に回転自在に支持されると共に、外縁部が連結軸７７を介して可動部７３に連結されている。

接触部８０は、細長い棒状に形成されている。接触部８０は、基端側（図３において左側の端部）が回転板７５に固定され、先端側（図３において右側の端部）がフロート４１の上方まで延びている。接触部８０は、先端側の外周面がフロート４１と接触し、フロート４１の変位に伴って基端側を中心に回動するように構成されている。つまり、接触部８０は、フロート４１と接触しフロート４１の上昇および下降に伴って回転板７５と共に回動する。

可動部７３は、接触部８０の回動によって前後方向に移動する。つまり、位置検出センサ７０では、可動部７３が、フロート４１に間接的に接触し、フロート４１の変位に伴って磁気スイッチ７２へ近づく方向に（向かって）移動しまたは磁気スイッチ７２から遠ざかる方向に移動するように構成されている。

そして、磁気スイッチ７２は、可動部７３が移動により予め設定された所定距離まで近づくと、可動部７３の存在を検知してフロート４１の位置を検出するように構成されている。つまり、磁気スイッチ７２は、可動部７３に内蔵された磁石７４の磁気を検知することにより、可動部７３の存在を検知する。

図４に示すように、接触部８０は、外側部材８１と、内側部材８２と、環状部材８３とを有している。なお、図３では、接触部８０の基端側が概略的に示されており、内側部材８２および環状部材８３の図示を省略している。

外側部材８１は、弾性を有し、接触部８０の外周側を構成する筒状（具体的には、略円筒状）の部材である。つまり、外側部材８１は、細長い棒状の部材であり、先端８１ｂ側の外周面がフロート４１と接触する。外側部材８１は、金属製のコイルバネであり、より詳しくは、密着コイルバネである。

外側部材８１は、フロート４１と接触した際に弾性変形可能に構成されている。外側部材８１は、フロート４１が急激に上昇し接触した際に衝撃によって損傷しないように衝撃を吸収可能な弾性を有している。より詳しくは、外側部材８１は、フロート４１と急激に接触した際、上部と下部がそれぞれ図４に示す太線の矢印方向に弾性変形する弾性を有している。言い換えれば、外側部材８１は、フロート４１の衝撃を吸収可能な弾性変形が許容される弾性を有している。このように外側部材８１が弾性変形することにより、外側部材８１はフロート４１の衝撃を吸収する。なお、外側部材８１の上部と下部の変形方向はそれぞれ図４に示す方向と逆方向であってもよい。

内側部材８２は、外側部材８１の内側に挿入され、外側部材８１よりも弾性率が大きい棒状の部材である。内側部材８２は、円形の棒状部材であり、外側部材８１と同軸に設けられている。内側部材８２は、外側部材８１の基端８１ａから先端８１ｂまでの全長に亘って挿入されている。より詳しくは、内側部材８２は、基端８２ａが外側部材８１の基端８１ａから突出しており、先端８２ｂが外側部材８１の先端８１ｂと面一になっている。

内側部材８２は、弾性率が外側部材８１よりも大きいため、外側部材８１よりも可撓性が低い（撓みにくい）。内側部材８２は、接触部８０（外側部材８１）がフロート４１に接触した後、接触部８０（外側部材８１）が変形によってフロート４１の中央からずれない（滑り落ちない）ように、接触部８０の変形（撓み）を抑制し得る大きさの弾性率を有している。つまり、内側部材８２の弾性率は、接触部８０（外側部材８１）が例えば図５に二点鎖線で示すように撓むことがないように、フロート４１の中央付近で接触部８０の撓みを抑制し得る大きさとなっている。なお、図５はフロート４１の上方から視た図である。

内側部材８２は、例えば、ばね用ステンレス鋼線により形成されている。ばね用ステンレス鋼線としては、例えば、ＪＩＳ Ｇ ４３１４のＳＵＳ３０４−ＷＰＢ、ＳＵＳ３１６−ＷＰＡが用いられる。

内側部材８２は、外側部材８１と所定の隙間δ（（外側部材８１の内径Ｄ−内側部材８２の外径ｄ）／２）を存して挿入されている（図４参照）。このような隙間δを設けることにより、上述した外側部材８１の変形（外側部材８１の上部および下部が図４に示す太線の矢印方向への変位）が可能となる。隙間δは、必要な外側部材８１の変形量を確保し得る大きさに設定される。

環状部材８３は、円環状の板部材である。環状部材８３は、外側部材８１の基端８１ａ側の端面において外側部材８１と同軸に設けられている。環状部材８３は、内径が内側部材８２の外径ｄと略同じに形成されており、内側部材８２の基端８２ａ側が貫通している。

内側部材８２は、環状部材８３よりも外方の基端８２ａがＬの字状に屈曲している。内側部材８２は、屈曲した基端８２ａが環状部材８３に接触することで、外側部材８１から抜け出ることが阻止される。外側部材８１は、基端８１ａ側が、回転板７５に設けられた突起８４に引っ掛かっており、これにより、回転板７５から抜け出ることが阻止される。

〈位置検出センサの動作〉
弁作動機構４０は、フロート４１の上昇下降に伴って変位し、弁操作棒３６を上下動させて給気弁２０および排気弁３０を開閉させる。具体的に、液体圧送装置１では、ドレンが貯留空間１３に溜まっていない場合、フロート４１は貯留空間１３の底部に位置する（図１の状態）。この状態において、弁操作棒３６は下降しており、給気弁２０は閉じられ排気弁３０は開いている。そして、蒸気システムでドレンが発生すると、そのドレンは液体流入口１４から流入して貯留空間１３に溜まる。貯留空間１３にドレンが溜まっていくに従って、フロート４１は上昇する。なお、貯留空間１３ではドレンが溜まっていくにつれて蒸気が気体排出口１７から排出される。

フロート４１が上昇し接触部８０の先端側の外周面に接触した後、位置検出センサ７０では、フロート４１の上昇に伴って接触部８０が回転板７５と共に図３において反時計回りに回転する。ここで、フロート４１が急激に上昇し接触部８０に接触した場合、外側部材８１は図４に太線の矢印方向に変形してフロート４１の衝撃を吸収する。そのため、フロート４１の衝撃による接触部８０の損傷が防止される。

回転板７５の回転に伴い、可動部７３が後方へ移動して磁気スイッチ７２に近づく。そして、フロート４１が第２所定高位まで上昇すると、磁石７４が磁気スイッチ７２に所定距離まで近づき、磁気スイッチ７２が磁石７４の磁気を検知してＯＮする。これにより、フロート４１が第２所定高位まで上昇したことが検出される。ここで、内側部材８２は上述した所定の弾性率を有しているため、フロート４１が上昇する際に接触部８０が図５の二点鎖線で示すように撓んでフロート４１の中央からずれることはない。そのため、フロート４１が接触部８０に接触した後は、接触部８０をフロート４１の上昇に伴って回動させることができる。

フロート４１がさらに上昇して第１所定高位（通常反転高位）に達すると、スナップ機構５０によって弁操作棒３６が上昇する。これにより、給気弁２０が開くと共に排気弁３０が閉じる。給気弁２０が開くと、蒸気システム内の蒸気（高圧蒸気）が気体導入口１６から流入して貯留空間１３の上部（ドレンの上方空間）に導入される。そうすると、貯留空間１３に溜まっているドレンは、導入された蒸気の圧力によって下方へ押されて液体排出口１５から排出される。つまり、貯留空間１３のドレンが圧送される。液体圧送装置１によって圧送されたドレンは、ボイラーや廃熱利用装置に供給される。ドレンの排出によって貯留空間１３のドレン液位が低下すると、フロート４１は下降する。

位置検出センサ７０では、フロート４１の下降に伴い、接触部８０および回転板７５が接触部８０の自重により図３において時計回りに回転する。この回転板７５の回転に伴い、可動部７３が前方に移動して磁気スイッチ７２から遠ざかる。そして、フロート４１が第２所定高位よりも下降すると、磁石７４と磁気スイッチ７２との距離が所定距離よりも遠くなり、磁気スイッチ７２がＯＦＦする。これにより、フロート４１が第２所定高位よりも下降したことが検出される。

そして、フロート４１が所定低位（通常反転低位）まで下降すると、スナップ機構５０によって弁操作棒３６が下降し、給気弁２０が閉じると共に排気弁３０が開く。これにより、ドレンが液体流入口１４から流入して貯留空間１３に溜まると共に、貯留空間１３の蒸気が気体排出口１７から排出される。以上のサイクルが繰り返される。そして、位置検出センサ７０のＯＮ・ＯＦＦの回数を計測することにより、液体圧送装置１の作動状況が把握される。

以上のように、上記実施形態の位置検出センサ７０は、棒状の接触部８０と、可動部７３と、磁気スイッチ７２（近接スイッチ）とを備える。接触部８０は、先端側の外周面がフロート４１（対象物）と接触しフロート４１の変位に伴って基端側を中心に回動する。可動部７３は、接触部８０の回動によって移動する。磁気スイッチ７２は、可動部７３が移動により所定距離まで近づくと、可動部７３の存在を検知して対象物の位置を検出する。そして、接触部８０は、筒状の外側部材８１と、棒状の内側部材８２とを有する。外側部材８１は、弾性を有し、接触部８０の外周側を構成している。内側部材８２は、外側部材８１の内側に挿入され、外側部材８１よりも弾性率が大きい。

上記の構成によれば、フロート４１が急激に接触部８０に接触した際には、外側部材８１が弾性変形してフロート４１の衝撃が吸収される。そのため、フロート４１（対象物）の衝撃による接触部８０の損傷を防止することができる。また、内側部材８２の弾性率が外側部材８１よりも大きいため、接触部８０（外側部材８１）がフロート４１に接触した後、接触部８０が変形によってフロート４１の中央からずれる（滑り落ちる）ことを阻止することができる。そのため、接触部８０をフロート４１の上昇に伴って確実に回動させることができる。これにより、位置検出精度の低下を防止することができる。以上のように、上記の構成によれば、対象物の衝撃による接触部８０の損傷を防止しつつ、位置検出精度の低下を防止することができる。

また、上記実施形態の位置検出センサ７０では、内側部材８２は外側部材８１と所定の隙間δを存して挿入されている。この構成によれば、フロート４１が接触した際に外側部材８１を容易に弾性変形させることができるし、必要な変形量を確保しやすくなる。そのため、対象物の衝撃による接触部８０の損傷を確実に防止することができる。

また、上記実施形態の位置検出センサ７０では、外側部材８１は金属製のコイルバネである。これによれば、外側部材を例えばゴムで形成した場合に比べて、外側部材８１の耐久性を向上させることができる。特に、上記実施形態のように高温の貯留空間１３に設けられる位置検出センサ７０では有効である。

また、外側部材８１と内側部材８２との間に所定の隙間δが設けられているため、コイルバネ（外側部材８１）の外周面にフロート４１が接触した際、コイルバネを図４に示す太線の矢印方向に弾性変形させることができる。

また、上記実施形態の位置検出センサ７０では、接触部８０は、外側部材８１の基端８１ａ側の端面において外側部材８１と同軸に設けられると共に、内径が内側部材８２の外径ｄと略同じに形成され、内側部材８２の基端８２ａ側が貫通する環状部材８３を有している。この構成によれば、外側部材８１と内側部材８２との間に所定の隙間δを容易且つ確実に設けることができる。

また、上記実施形態の位置検出センサ７０において、内側部材８２は、環状部材８３よりも外方の基端８２ａが屈曲している。この構成によれば、屈曲した基端８２ａが環状部材８３に引っ掛かることで、内側部材８２が外側部材８１から抜け出るのを防止することができる。

なお、上記実施形態の位置検出センサ７０では、外側部材８１と内側部材８２との間に所定の隙間δを設けるようにしたが、本願の位置検出センサは、外側部材と内側部材との間に隙間を実質設けないようにしてもよい。その場合、外側部材はコイルバネ以外の所定の弾性を有する筒状のゴム体や金属体を用いることが好ましい。

また、上記実施形態の位置検出センサ７０では、近接スイッチとして磁気形のスイッチ（磁気スイッチ７２）を用いたが、例えば、誘導形や静電容量形、超音波形、光電形等の近接スイッチを用いるようにしてもよい。

また、上記実施形態の位置検出センサ７０において、内側部材８２の材質は上述したものに限られない。

また、上記実施形態では、位置検出センサ７０を液体圧送装置１に用いた形態について説明したが、本願の位置検出センサはこれに限らず、それ以外の装置や器具に用いてもよい。例えば、本願の位置検出センサは、ドレン水位に応じてフロートが上昇下降するドレンタンクに用いるようにしてもよい。

本願に開示の技術は、対象物の位置を検出する位置検出センサについて有用である。

７０ 位置検出センサ
７２ 磁気スイッチ（近接スイッチ）
７３ 可動部
８０ 接触部
８１ 外側部材
８１ａ 基端
８１ｂ 先端
８２ 内側部材
８２ａ 基端
８３ 環状部材
δ 隙間

Claims (5)

1. 先端側の外周面が対象物と接触し該対象物の変位に伴って基端側を中心に回動する棒状の接触部と、
   前記接触部の回動によって移動する可動部と、
   前記可動部が移動により所定距離まで近づくと、前記可動部の存在を検知して前記対象物の位置を検出する近接スイッチとを備え、
   前記接触部は、
   弾性を有し、前記接触部の外周側を構成する筒状の外側部材と、
   前記外側部材の内側に挿入され、前記外側部材よりも弾性率が大きい棒状の内側部材とを有している
   ことを特徴とする位置検出センサ。
2. 請求項１に記載の位置検出センサにおいて、
   前記内側部材は、前記外側部材と所定の隙間を存して挿入されている
   ことを特徴とする位置検出センサ。
3. 請求項２に記載の位置検出センサにおいて、
   前記外側部材は、コイルバネである
   ことを特徴とする位置検出センサ。
4. 請求項２に記載の位置検出センサにおいて、
   前記接触部は、前記外側部材の基端側の端面において前記外側部材と同軸に設けられると共に、内径が前記内側部材の外径と略同じに形成され、前記内側部材の基端側が貫通する環状部材を有している
   ことを特徴とする位置検出センサ。
5. 請求項４に記載の位置検出センサにおいて、
   前記内側部材は、前記環状部材よりも外方の基端が屈曲している
   ことを特徴とする位置検出センサ。

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