JP6716374B2 - バンドギャップ測定方法、バンドギャップ測定装置 - Google Patents
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Description
10 励起源
20 光学フィルタ
30 撮像素子
40 計測部
100 測定対象物
Claims (9)
- バンドギャップ測定方法であって、
測定対象物を発光させるステップと、
前記測定対象物が発する光を光学フィルタを介さない状態で受光して前記測定対象物の第1の画像を撮像するステップと、
前記測定対象物が発する光を光学フィルタを介した状態で受光して前記測定対象物の第2の画像を撮像するステップと、
前記第1の画像と前記第2の画像の輝度比を算出するステップと、
前記輝度比に基づいて前記測定対象物のバンドギャップを算出するステップと、を有し、
前記光学フィルタの波長と透過率の関係において、前記波長が大きくなるにつれて前記透過率は右肩上がりまたは右肩下がりであり、かつ異なる波長において同一の透過率となることがない、バンドギャップ測定方法。 - 前記輝度比を算出するステップでは、前記第1の画像及び前記第2の画像のピクセル毎に前記輝度比を算出し、
前記バンドギャップを算出するステップでは、ピクセル毎の前記輝度比に基づいてバンドギャップを算出する、請求項1に記載のバンドギャップ測定方法。 - 前記バンドギャップを算出するステップでは、前記輝度比は前記光学フィルタの透過率と等しい関係に基づいて、ピクセル毎の前記輝度比から波長を求め、前記波長から前記バンドギャップを算出する、請求項2に記載のバンドギャップ測定方法。
- 前記ピクセル毎の前記波長をマッピングするステップを有する、請求項3に記載のバンドギャップ測定方法。
- 前記測定対象物を発光させるステップでは、電源から前記測定対象物に電圧を印加する、請求項1乃至4の何れか一項に記載のバンドギャップ測定方法。
- 前記測定対象物を発光させるステップでは、励起光源から前記測定対象物に光を照射する、請求項1乃至4の何れか一項に記載のバンドギャップ測定方法。
- バンドギャップ測定装置であって、
測定対象物を発光させる励起源と、
前記測定対象物が発する光の光路上に選択的に配置可能な光学フィルタと、
前記測定対象物が発する光を前記光学フィルタを介さない状態で受光して前記測定対象物の第1の画像を撮像すると共に、前記測定対象物が発する光を前記光学フィルタを介した状態で受光して前記測定対象物の第2の画像を撮像する撮像素子と、
前記第1の画像と前記第2の画像の所定位置の輝度比を算出し、前記輝度比に基づいて前記測定対象物の前記所定位置のバンドギャップを算出する演算手段と、を有し、
前記光学フィルタの波長と透過率の関係において、前記波長が大きくなるにつれて前記透過率は右肩上がりまたは右肩下がりであり、かつ異なる波長において同一の透過率となることがない、バンドギャップ測定装置。 - 前記演算手段は、前記第1の画像及び前記第2の画像のピクセル毎に前記輝度比を算出し、前記輝度比は前記光学フィルタの透過率と等しい関係に基づいて、ピクセル毎の前記輝度比から波長を求め、前記波長から前記バンドギャップを算出する、請求項7に記載のバンドギャップ測定装置。
- 前記演算手段は、前記ピクセル毎の前記波長をマッピングする、請求項8に記載のバンドギャップ測定装置。
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