JP6713493B2 - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及びエピタキシャルシリコンウェーハ - Google Patents
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Description
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法は、
n型ドーパントのドーパント濃度が1.0×1019atoms/cm3以上のシリコンウェーハを準備する、シリコンウェーハ準備工程と、
前記シリコンウェーハを、該シリコンウェーハの酸化に対して不活性なガス雰囲気下にて、900〜1300℃の熱処理温度で、1〜300secの熱処理時間で熱処理を行う、急速熱アニーリング工程と、
前記急速熱アニーリング工程を行った後の前記シリコンウェーハ上に、エピタキシャル層を成長させる、エピタキシャル成長工程と、を含み、
前記エピタキシャル層のドーパント濃度は、1.0×1019atoms/cm3未満であることを特徴とする。
シリコンウェーハ上にエピタキシャル層を有する、エピタキシャルシリコンウェーハであって、
前記シリコンウェーハのn型ドーパントのドーパント濃度は、1.0×1019atoms/cm3以上であり、
前記エピタキシャル層のドーパント濃度は、1.0×1019atoms/cm3未満であることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態にかかるエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法のフロー図である。
図1に示すように、本実施形態においては、まず、n型ドーパントのドーパント濃度が1.0×1019atoms/cm3以上のシリコンウェーハを準備する(シリコンウェーハ準備工程:ステップS101)。
さらに、急速熱アニーリング工程(ステップS102)において、シリコンウェーハの酸化に対して不活性なガス雰囲気における、該シリコンウェーハの酸化に対して不活性なガスの純度は99.999体積%以上であることが好ましい。
以下、本実施形態のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法の作用効果について説明する。
一般的に、n型シリコン中においてCu析出核はマイナスチャージしており、Cui +がクーロン力で凝集することで析出物サイズは大きくなる。しかし、本実施形態ではシリコンウェーハのn型ドーパントのドーパント濃度を1.0×1019atoms/cm3以上とし、Cuとドーパントとの反応による偏析型ゲッタリングを利用しているためゲッタリングされたCuはシリコン中に固溶した状態である。したがって、シリコンウェーハ内部における過剰なCu析出を抑制して、バルク欠陥の発生を抑制することもできる。
そして、上記の偏析型ゲッタリングは、BMD起因のゲッタリングではないため、エピタキシャル成長工程や、デバイス製造工程の熱処理プロセスの低温・短時間熱処理化といった工程変化の影響が、ゲッタリング能力に影響しない。また、BMD核やBMD密度の制御のためのデバイス製造工程における前処理(成長熱処理)等が不要になる。
このように、本実施形態のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法によれば、析出物起因のバルク欠陥を抑制し、且つ、ゲッタリング能力を向上させることができる。
本発明の一実施形態にかかるエピタキシャルウェーハは、シリコンウェーハ上にエピタキシャル層を有し、シリコンウェーハのn型ドーパントのドーパント濃度は、1.0×1019atoms/cm3以上であり、エピタキシャル層のドーパント濃度は、1.0×1019atoms/cm3未満である。
なお、本実施形態では、エピタキシャル層が有するドーパントをn型ドーパントとしているが、本発明では、エピタキシャル層が有するドーパントをp型ドーパントとすることもできる。この場合、p型ドーパントは、B、Al、Gaのうち、いずれか1種以上のドーパントとすることが好ましく、Bとすることが特に好ましい。この場合もエピタキシャル層の抵抗率を0.1〜1000Ω・cmとすることが好ましい。
なお、シリコンウェーハ及びエピタキシャル層の導電型については、n型ドーパントを有するシリコンウェーハ上に、n型ドーパントを有するエピタキシャル層を有する構成とすることが最も好ましい。
各シリコンウェーハに対し、Ar雰囲気下にて1150℃、1minの急速熱アニーリング処理を行い、結晶成長中に形成したBMDの核を消去する処理を行った。
次いで、急速熱アニーリング処理を行った各シリコンウェーハに対し、HF洗浄、HCl/H2O2洗浄によりシリコンウェーハ表面を親水面とした。
また、金属標準液1000ppmを68%HNO3と超純水を用いて10ppmに希釈し、Cu汚染液を作製した。各シリコンウェーハに対し、スピンコート汚染法にて故意汚染させ(表面汚染濃度:1.7×1013cm−2)、窒素雰囲気下の横型炉に導入し、900℃で30min保持することでシリコンウェーハ内部に熱拡散させた。
<評価手法>
BMDを顕在化するため、急速熱アニーリング処理後のシリコンウェーハを、900℃で保持した横型炉へ投入し、1000℃へ昇温後、16h保持した。熱処理後、サンプルを短冊状に劈開し、ライトエッチング液で2μmエッチングを行い、光学顕微鏡観察により断面のエッチピット密度を計測した。
<結果>
以下の表2に、急速熱アニーリング処理後のBMD密度の測定結果を示す。表2に示すように、全てのシリコンウェーハについて、検出下限値以下であった。BMDのIG能力は、BMDの密度及びサイズに依存する。そこで、エッチピット密度の測定結果からBMD表面積を算出し、CuのIG能力を確認した。BMD成長の機構として酸素の拡散律速成長を仮定した。BMDの初期半径を1nmと仮定し,使用したシリコンウェーハの酸素濃度から急速熱アニーリング処理後のBMD半径を算出した。以下の表2にエッチピット密度(N)、BMD半径(R)およびウェーハ厚み(d=725μm)から算出した4πNR2dの値を示す。通常、4πNR2dの値が1.0×10−4以下であると、ゲッタリングへの影響がほとんどないとされており、この結果から、いずれのシリコンウェーハにおいても、BMD起因のゲッタリングの影響はないことがわかった。
なお、エピタキシャル成長工程も急速熱アニーリング処理の一種であるため、エピタキシャル成長処理前後において、BMD密度やCuゲッタリング効率およびCu析出に差は生じないと判断した。
<評価手法>
化学分析技術により、シリコンウェーハ表面、表層およびバルクの金属不純物量を測定した。2%HF/2%H2O2の混合液を用いてドロップエッチング法:DE(Drop Etching)によって、シリコンウェーハ表面のCuを回収し、Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry:ICP−MSによって、その濃度を測定した。シリコンウェーハの表層は、38%HF及び68%HNO3を混合したエッチング液を用いて表層5μmまでの領域を液相エッチング法:DSE(Drop Sandwich Etching)にてエッチングし、Atomic Absorption Spectrometry:AASにて、Cu濃度を測定した。バルクは、38%HF及び68%HNO3の混合液を用いた全溶解法:WD(Wafer Digestion)で評価し、ICP−MSにてCu濃度を測定した。表1に示した全てのシリコンウェーハに対して上記評価をそれぞれ3枚ずつ実施した。
<結果>
シリコンウェーハの表層及びバルクから検出されたCu量は、900℃で横型炉よりシリコンウェーハを取り出し、50℃/minの速度で冷却する過程においてシリコンウェーハ表面及び裏面に再拡散せず、バルクに残存したCu量(バルク残存量)である。このバルク残存量は、何らかのゲッタリングサイトに捕獲されたCuであると仮定して、以下の(式1)よりゲッタリング効率を算出した。
(式1)ゲッタリング効率(%)=バルク残存量/故意汚染量×100
ここで故意汚染量は、シリコンウェーハの表裏面、表層、バルクから検出されたCuの総量を示す。
表3及び図2に、各シリコンウェーハのゲッタリング効率を示す。ドーパント濃度が1.0×1019atoms/cm3以上のシリコンウェーハでは高いゲッタリング効率となった。特に、ドーパント濃度が3.0×1019atoms/cm3以上のシリコンウェーハでは、急激にゲッタリング効率が高くなる。
<評価手法>
ドーパント濃度を1.0×1014−1.0×1019atoms/cm3まで広く変化させたPドープのサンプルを用いて、Cu析出の抵抗率依存性を調べた。散乱強度と析出物サイズには正の相関があることから、Cuの拡散熱処理後、赤外散乱トモグラフにてバルクに確認された析出物の密度および散乱強度を測定した。赤外散乱トモグラフの場合、欠陥密度が高くなると(1.0×108atoms/cm3以上)欠陥のサイズ及び密度の正確な測定が困難になるため、空間分解能がより高く高密度の欠陥まで測定可能な二次元計測にて測定を実施した。レーザー強度100mW、スキャン距離500μmの条件で測定を行い、ウェーハの深さ88.4−348.4μmの範囲の析出物を観察した。しかし、ドーパント濃度が高くなるとシリコンウェーハに赤外線が吸収されるため赤外散乱が得られない。そこで、拡散熱処理後のサンプルをライトエッチング(Write Etching)液で2μmエッチングを行い、光学顕微鏡観察により断面のエッチピット密度を測定し、選択エッチングによる析出物密度の評価も実施した。
<結果>
図3に赤外散乱トモグラフにて測定したCu析出物の密度、及び散乱強度の結果を示す。ドーパント濃度の増加に伴い、Cu析出物の密度は増加、析出物のサイズは小さくなる傾向にあることがわかる。しかし、ドーパント濃度1.0×1018atoms/cm3以上の水準に関しては、赤外吸収の影響をうけるため赤外散乱トモグラフによる測定では析出物が検出されなかった。選択エッチングによるエッチピット密度の測定結果を、表4及び図4に示す。赤外散乱トモグラフでの測定結果と同様に、ドーパント濃度1.0×1014−1.0×1018atoms/cm3の範囲では、Cu析出物の密度が増加する傾向が確認された。また、ドーパント濃度1.0×1019atoms/cm3以上では選択エッチングでもCu析出物が観察されなかった。
Claims (6)
- n型ドーパントのドーパント濃度が1.0×1019atoms/cm3以上のシリコンウェーハを準備する、シリコンウェーハ準備工程と、
前記シリコンウェーハ準備工程に次いで、該シリコンウェーハで準備した前記シリコンウェーハを、Arガス雰囲気下にて、900〜1300℃の熱処理温度で、1〜300secの熱処理時間で熱処理を行う、急速熱アニーリング工程と、
前記急速熱アニーリング工程を行った後の、裏面にポリシリコンが形成されていない前記シリコンウェーハ上に、該シリコンウェーハの研磨を行うことなく、エピタキシャル層を成長させる、エピタキシャル成長工程と、を含み、
前記エピタキシャル層のドーパント濃度は、1.0×1019atoms/cm3未満であることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 前記n型ドーパントは、P、As、Sbのうち、いずれか1種以上のドーパントである、請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記n型ドーパントは、Pである、請求項1又は2に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記エピタキシャル層が有するドーパントは、n型ドーパントである、請求項1〜3のいずれか一項に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記急速熱アニーリング工程において、Arガス雰囲気における、該Arガスの純度は99.999体積%以上である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記エピタキシャル成長工程により成長された前記エピタキシャル層の厚さは、1〜150μmである、請求項1〜5のいずれか一項に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C23 | Notice of termination of proceedings |
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C03 | Trial/appeal decision taken |
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C30A | Notification sent |
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