JP6699663B2 - 熱可塑性放熱材料 - Google Patents

熱可塑性放熱材料 Download PDF

Info

Publication number
JP6699663B2
JP6699663B2 JP2017526220A JP2017526220A JP6699663B2 JP 6699663 B2 JP6699663 B2 JP 6699663B2 JP 2017526220 A JP2017526220 A JP 2017526220A JP 2017526220 A JP2017526220 A JP 2017526220A JP 6699663 B2 JP6699663 B2 JP 6699663B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mesogen
polymer
silicon compound
group
heat dissipation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017526220A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2017002489A1 (ja
Inventor
晃 打它
晃 打它
池野 正行
正行 池野
展明 松本
展明 松本
幸平 増田
幸平 増田
坂本 隆文
隆文 坂本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Publication of JPWO2017002489A1 publication Critical patent/JPWO2017002489A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6699663B2 publication Critical patent/JP6699663B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K5/00Heat-transfer, heat-exchange or heat-storage materials, e.g. refrigerants; Materials for the production of heat or cold by chemical reactions other than by combustion
    • C09K5/08Materials not undergoing a change of physical state when used
    • C09K5/14Solid materials, e.g. powdery or granular
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/48Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
    • C08G77/50Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms by carbon linkages
    • C08G77/52Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms by carbon linkages containing aromatic rings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/18Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
    • C08K3/20Oxides; Hydroxides
    • C08K3/22Oxides; Hydroxides of metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K7/00Use of ingredients characterised by shape
    • C08K7/16Solid spheres
    • C08K7/18Solid spheres inorganic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L83/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L83/14Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3733Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon having a heterogeneous or anisotropic structure, e.g. powder or fibres in a matrix, wire mesh, porous structures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3737Organic materials with or without a thermoconductive filler
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/18Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
    • C08K3/20Oxides; Hydroxides
    • C08K3/22Oxides; Hydroxides of metals
    • C08K2003/2227Oxides; Hydroxides of metals of aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K2201/00Specific properties of additives
    • C08K2201/001Conductive additives

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)

Description

本発明は、高熱伝導性のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる熱可塑性放熱材料、及び該(共)重合体を含有する組成物からなる熱可塑性放熱材料に関する。
ポリジメチルシロキサン(PDMS)を主成分とするジメチルシリコーンゴム等のいわゆるシリコーン樹脂は、耐熱性、電気絶縁性、耐候性、柔軟性、気体透過性、耐薬品性など優れた性質を持ち、様々な工業用途に使用されている。これらの特性から、シリコーン樹脂は、電気電子部材の放熱材として使用されている(特許文献1:特開2015−71662号公報)。しかし、シリコーン樹脂は、熱伝導性に乏しく、強度も低いため、フィラーの高充填化や、化学架橋処理を実施する必要があった。
一般に、ポリテトラメチル−p−シルフェニレンシロキサン(PTMPS)は、PDMSよりも耐熱性や機械的強度に優れ、熱可塑性を持つ結晶性高分子であることが知られている(特許文献2:特開2010−253774号公報)。従って、PTMPSのようなメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体においていわゆるシリコーン樹脂以上の耐熱性とその結晶性由来の高熱伝導性により放熱材への応用が期待されるが、実際にそれらを放熱材として用いた例はなかった。
特開2015−71662号公報 特開2010−253774号公報
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、例えば放熱材料、又は半導体装置及び電子部品のための樹脂材料として好適に使用することができる高熱伝導性のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる放熱材料、及び該(共)重合体を含有する組成物からなる放熱材料を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、後述する組成式(1)で表される、数平均分子量が1,000〜500,000のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体が、熱伝導性に優れ、更に熱可塑性を持ち、成型性に優れることを発見し、該メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体及びそれを含有する組成物が、放熱材料、特に半導体装置及び電子部品のための樹脂材料として好適に使用し得ることを見出し、本発明をなすに至った。
従って、本発明は、下記の高熱伝導性のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる熱可塑性放熱材料、及び該(共)重合体を含有する組成物からなる熱可塑性放熱材料を提供する。
〔1〕
下記一般式(1)で表される、数平均分子量が1,000〜500,000のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる熱可塑性放熱材料。
Figure 0006699663
(式中、Arは下記式
Figure 0006699663
で示される構造のメソゲン基である。aは0.5〜1の正数を示し、bは0又は0超過0.5以下数を示す(ただし、a、bはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率を表すものであり、a+b=1である。)。R1は独立に炭素原子数1〜8の脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であり、R2は独立に水素原子、−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)又は−Si(CH32(CH2−CH=CH2)である。)
〔2〕
下記一般式(1)で表される、数平均分子量が1,000〜500,000のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体100質量部に対して熱伝導性充填剤が100〜1,500質量部含有されたメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物からなる熱可塑性放熱材料。
Figure 0006699663
(式中、Arは下記式
Figure 0006699663
で示される構造のメソゲン基である。aは0.5〜1の正数を示し、bは0又は0超過0.5以下数を示す(ただし、a、bはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率を表すものであり、a+b=1である。)。R1は独立に炭素原子数1〜8の脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であり、R2は独立に水素原子、−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)又は−Si(CH32(CH2−CH=CH2)である。)
〔3〕
メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物が、前記一般式(1)で表されるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の融点±50℃の温度範囲で溶融し、流動性を持つものであることを特徴とする〔2〕記載の熱可塑性放熱材料。
〔4〕
メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物の熱伝導率が1.61〜10W/m・Kであることを特徴とする〔2〕又は〔3〕記載の熱可塑性放熱材料。
〔5〕
メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体単体での熱伝導率が0.26〜1.0W/m・Kである〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の熱可塑性放熱材料。
本発明の放熱材料は、熱伝導性に優れ、更に良好な熱可塑性を示し、成型性に優れることから、放熱材料、特に半導体装置及び電子部品のための樹脂材料として好適に用いることができる。
本発明の熱可塑性放熱材料は、下記一般式(1)で表される、数平均分子量が1,000〜500,000のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体を含むものである。
Figure 0006699663
(式中、Arは下記式
Figure 0006699663
で示される構造のメソゲン基である。aは0.5〜1の正数を示し、bは0又は0超過0.5以下数を示す(ただし、a、bはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率を表すものであり、a+b=1である。)。R1は独立に炭素原子数1〜8の脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であり、R2は独立に水素原子、−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)又は−Si(CH32(CH2−CH=CH2)である。)
上記式(1)中、R1は独立に炭素原子数1〜8、特に炭素原子数1〜6の、脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であり、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、オクチル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基等が挙げられ、好ましくはメチル基である。
また、aは0.5〜1、好ましくは0.7〜1、より好ましくは0.8〜1の正数を示し、bは0〜0.5、好ましくは0〜0.3、より好ましくは0〜0.2の数(0又は正数)を示す(ただし、a、bはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率(モル比)を表すものであり、a+b=1である。)。
また、一般式(1)のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体において、主鎖中のシルアリーレンシロキサン単位[−Si(R12−Ar−Si(R12O−]の繰り返し数又は重合度(これをa’とする)は、50〜1,000、好ましくは50〜800、より好ましくは80〜600程度の整数であり、主鎖中のジシロキサン単位[−Si(R12O−Si(R12O−]の繰り返し数又は重合度(これをb’とする)は、0〜1,000、好ましくは10〜800、より好ましくは20〜200程度の整数であり、主鎖全体の繰り返し単位数の合計又は重合度(これをa’+b’とする)は、50〜2,000、好ましくは100〜1,600、より好ましくは200〜1,200程度の整数である。
ここで、一般式(1)のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体中において、シルアリーレンシロキサン単位[−Si(R12−Ar−Si(R12O−]とジシロキサン単位[−Si(R12O−Si(R12O−]の配列はランダムである。
本発明の放熱材料に用いられるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体は、テトラヒドロフランを展開溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィにて測定したポリスチレン換算の数平均分子量が1,000〜500,000、好ましくは2,000〜400,000、更に好ましくは3,000〜300,000である(共)重合体である。重量平均分子量が小さすぎると樹脂が脆く、取扱いに難が出ることがあり、大きすぎると溶融時の粘度が上昇し、フィラーの充填が困難になる。
なお、上記ポリスチレン換算の数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ分析において、東ソー株式会社製のカラム:TSKgel Super H2500(1本)及びTSKgel Super HM−N(1本)、溶媒:テトラヒドロフラン、流量:0.6mL/min、検出器:RI(40℃)、カラム温度40℃、注入量50μL、サンプル濃度0.3質量%の条件にて測定することができる(以下、同じ)。
本発明の放熱材料に用いられるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体は、熱伝導率が0.2W/m・K以上であることが好ましく、0.2〜1.0W/m・Kであることがより好ましく、0.25〜1.0W/m・Kであることが更に好ましい。なお、熱伝導率は、6mm厚のシートを2枚用いて(12mm厚にて)ホットディスク法(TPA−501 京都電子工業製)によって測定することができる(以下、同じ)。
また、本発明の放熱材料に用いられるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の融点は、50〜250℃、特に80〜230℃であることが好ましい。なお、融点は、示差走査熱量分析(DSC)によって測定される融解吸熱ピークのピークトップから求めることができる(DSC830 メトラートレド製)(以下、同じ)。
本発明の一般式(1)で表されるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体において、R2が水素原子であるもの(分子鎖両末端がシラノール基で封鎖されたもの)は、公知の方法により製造することができる。また、R2が、−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)及び−Si(CH32(CH2−CH=CH2)であるもの(分子鎖両末端がシロキシ基で封鎖されたもの)の製造方法としては、公知の方法で製造される下記一般式(2)で表される分子鎖両末端がケイ素原子に結合した水酸基(シラノール基)で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物を出発原料として、これを分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基又は分子鎖両末端ヒドロキシジオルガノシロキシ基で封鎖されたジシロキサン化合物又は直鎖状ジオルガノポリシロキサン(例えば、分子鎖両末端がビニルジメチルシロキシ基、アリルジメチルシロキシ基などのアルケニル基含有ジオルガノシロキシ基やトリメチルシロキシ基等のトリオルガノシロキシ基、ヒドロキシジメチルシロキシ基などのヒドロキシ基含有ジオルガノシロキシ基で封鎖されたジシロキサン化合物(例えば、ヘキサオルガノジシロキサン又は1,3−ジヒドロキシテトラオルガノジシロキサン)や重合度3以上の直鎖状ジメチルポリシロキサンなどの直鎖状ジオルガノポリシロキサン等の既存の末端シリル変性シリコーンオイルなど)と混合し、酸性触媒下で平衡化反応(シロキサン結合の開裂/再結合化反応)することにより得ることができる。
Figure 0006699663
[式中、Ar、R1は式(1)のAr、R1と同じである。cは0.5〜1の正数を示し、dは0〜0.5の数を示す(ただし、c、dはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率を表すものであり、c+d=1である。)。]
一般式(2)において、分子中のシルアリーレンシロキサン単位[−Si(R12−Ar−Si(R12O−]の繰り返し単位数の比率を示すcは、0.5〜1、好ましくは0.7〜1、より好ましくは0.8〜1程度の正数であり、分子中のジシロキサン単位[−Si(R12O−Si(R12O−]の繰り返し単位数の比率を示すdは、0〜0.5、好ましくは0〜0.3、より好ましくは0〜0.2程度の数である。ただし、c+d=1である。
また、一般式(2)のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体において、主鎖中のシルアリーレンシロキサン単位[−Si(R12−Ar−Si(R12O−]の繰り返し数又は重合度(これをc’とする)は、50〜1,000、好ましくは50〜800、より好ましくは80〜600程度の整数であり、主鎖中のジシロキサン単位[−Si(R12O−Si(R12O−]の繰り返し数又は重合度(これをd’とする)は、0〜1,000、好ましくは10〜800、より好ましくは20〜200程度の整数であり、主鎖全体の繰り返し単位数の合計又は重合度(これをc’+d’とする)は、50〜2,000、好ましくは100〜1,600、より好ましくは200〜1,200程度の整数である。
なお、一般式(2)の化合物中において、シルアリーレンシロキサン単位[−Si(R12−Ar−Si(R12O−]とジシロキサン単位[−Si(R12O−Si(R12O−]の配列はランダムである。
式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物は、テトラヒドロフランを展開溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィにて測定したポリスチレン換算の数平均分子量が好ましくは1,000〜500,000、より好ましくは2,000〜400,000、更に好ましくは3,000〜300,000である。
なお、式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物が、本発明の式(1)で表されるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の範囲内であれば、これをそのまま式(1)で表されるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体として用いることができる。
一般式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物は、例えば、1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼンや4,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ビフェニル等のシルアリーレン構造を有する化合物と、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ジヒドロキシジシロキサン等の末端水酸基含有オルガノシロキサンとを、1:0〜1:1、好ましくは1:0〜1:0.4(モル比)程度の割合で、ジ−2−エチルヘキサン酸1,1,3,3−テトラメチルグアニジン等の重縮合触媒及び必要により有機溶媒の存在下、60〜250℃、特に80〜130℃にて4〜48時間、特に8〜32時間反応させることにより得ることができる。
また、上記一般式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物と反応させる分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基又は分子鎖両末端ヒドロキシジオルガノシロキシ基で封鎖されたジシロキサン化合物又は直鎖状ジオルガノポリシロキサンとしては、例えば、分子鎖両末端がビニルジメチルシロキシ基(−OSi(CH32(CH=CH2))アリルジメチルシロキシ基(−OSi(CH32(CH2−CH=CH2))等のアルケニル基含有シロキシ基や、トリメチルシロキシ基(−OSi(CH33)等のトリオルガノシロキシ基、ヒドロキシジメチルシロキシ基(−OSi(CH32(OH))等のヒドロキシ基含有ジオルガノシロキシ基などで封鎖されたジシロキサン化合物や直鎖状ジメチルポリシロキサンなどの既存の末端シリル変性シリコーンオイル(重合度3以上の直鎖状ジオルガノポリシロキサン)などを用いることができる。
分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖のジシロキサン化合物又は直鎖状ジオルガノポリシロキサンにおいて、ジオルガノシロキサン単位中のケイ素原子に結合する有機基としては、炭素原子数1〜8の脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であることが好ましく、上述した一般式(1)のR1で例示したものと同様のものを挙げることができ、中でもメチル基であることが好ましい。
分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖の直鎖状ジオルガノポリシロキサンの重合度は3以上であれば特に限定されないが、通常、10〜2,000、特に50〜1,000、とりわけ100〜500程度であることが好ましい。
上記の分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖のジシロキサン化合物又は直鎖状ジオルガノポリシロキサン(末端シリル変性シリコーンオイル)は、1種単独で用いても、重合度の異なる2種以上を用いてもよい。
平衡化反応において、上記一般式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物と分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖のジシロキサン化合物又は直鎖状ジオルガノポリシロキサンとの混合割合は、質量比で1:0.5〜1:10、特には1:2〜1:7.5程度であることが好ましい。分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖のジシロキサン化合物又は直鎖状ジオルガノポリシロキサンが少なすぎると比較的高価なアリーレン基を有するシラノール基封鎖オルガノポリシロキサンの使用量が増大し、製造コストが増加する場合があり、多すぎると主鎖中のアリーレン基導入量が低下し、目的とする上記一般式(1)で表される反応生成物の熱伝導性、機械的強度、熱可塑性などの特性が劣る場合がある。
平衡化反応を促進するための酸性触媒としては、強酸であれば特に種類を問わないが、硫酸、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸などが好適に使用でき、使用量の少なさや後処理の容易さから特にトリフルオロメタンスルホン酸が好ましい。
また、酸性触媒の添加量は、一般式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物と、ジシロキサン化合物又は分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖の直鎖状ジオルガノポリシロキサンとの合計質量に対して100〜10,000ppmの範囲が望ましく、特に500〜3,000ppmが望ましい。
平衡化反応は、特に制限されないが、通常、80〜150℃、特には100〜130℃程度の加熱下で、通常、0.5〜6時間、特には1〜4時間程度の条件で行うことができる。この際、必要に応じて溶媒を添加することは任意である。溶媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族系非極性溶媒などが挙げられる。
このような一般式(2)で表される分子鎖両末端がシラノール基で封鎖され主鎖中にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサン化合物と、ジシロキサン化合物又は分子鎖両末端トリオルガノシロキシ基封鎖又はヒドロキシジオルガノシロキシ基封鎖の直鎖状ジオルガノポリシロキサンとの平衡化反応により、上記一般式(1)で表されるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体において、R2が−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)又は−Si(CH32(CH2−CH=CH2)であるものを、容易に、かつ定量的に高収率で製造することができる。
本発明の放熱材料は、上記メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体に熱伝導性充填剤が含有されたメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物を用いることもできる。
上記組成物に用いられる熱伝導性充填剤については汎用の熱伝導性充填剤が用いられるが、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化ホウ素、カーボン、及びこれらをシラン類、シラザン類、低重合度ポリシロキサン類等で表面処理した微粉末状の無機質充填剤やアルミニウム、銅、鉄、金、銀などの金属粉を使用することができる。更に経済性や熱伝導率の観点から酸化アルミニウムやアルミニウムが特に望ましい。
熱伝導性充填剤の含有量は、上記メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体100質量部に対して100〜1,500質量部が好ましく、250〜1,000質量部がより好ましい。配合量が少なすぎると目的の熱伝導率が得られない場合があり、多すぎると樹脂の物性が低下する場合がある。
熱伝導性充填剤の充填方法としてはメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体と熱伝導性充填剤をプラネタリーミキサーに仕込み、該メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の融点以上で30分程度混合することで目的組成物が得られる。
メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物は、上述したメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の融点に対して、該融点±50℃、特には該融点±30℃の温度範囲で溶融し、流動性を持つものであることが好ましい。
更に、メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物の熱伝導率は、1W/m・K以上、特に1〜10W/m・Kであることが好ましく、1.5〜10W/m・Kであることが更に好ましい。
本発明の放熱材料は、特に半導体装置及び電子部品のための樹脂材料として好適に用いることができる。
以下、合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
初めに本発明に用いるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の原料となるモノマーの合成例を示す。これらのモノマーは既知の手法によって合成される。
[合成例1]
1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼンの合成
還流管と1Lの滴下ロートを備えた5Lセパラブルフラスコに、テトラヒドロフラン500mL、メチルエチルケトン2,500mL、5質量%パラジウム担持カーボン7.8g、イオン交換水172.8gを仕込み、50℃まで昇温した。次に、滴下ロートに、1,4−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン757.6g(商品名 シルフェニレンC、信越化学工業製)を仕込み、4時間かけて滴下を行った。滴下終了後、5時間熟成させ、触媒を濾過にて除去したのち、濾液を濃縮し、白色固体を得た。次に、ヘキサン3L、テトラヒドロフラン500mLの混合溶媒を用いて再結晶精製を行い、1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼン596.9gを得た(収率68%)。1H−NMR(400MHz,CDCl3)δ7.61(s,4H),1.95(brs,2H),0.41(s,12H)
[合成例2]
4,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ビフェニルの合成
還流管を備えた3Lナスフラスコに、マグネシウム48g、乾燥テトラヒドロフラン1L、数滴の1,2−ジブロモエタンを加え、窒素雰囲気下で加熱還流させた。次に、4,4’−ジブロモビフェニル250gを加え、1時間加熱還流し、グリニヤール試薬を調製した。これをジメチルクロロシラン170gとテトラヒドロフラン200mLが仕込まれた3L四つ口フラスコに、氷浴下で1時間かけて移送滴下した。滴下終了後一晩室温で反応させ、桐山ロートで残渣を除いたのち140−150℃/1mmHgで蒸留精製し、4,4−ビス(ジメチルシリル)ビフェニルを得た。
これを原料とし、上記1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼンの合成法と同様にして4,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ビフェニル130gを得た(収率47%)。1H−NMR(400MHz,CDCl3)δ7.68(d,4H),7.60(d,4H),1.76(brs,2H),0.45(s,12H)
参考例1]
ディーンスタークトラップを取り付けた1Lナスフラスコに、合成例1で得られた1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼンを100g、ベンゼンを800mL、ジ−2−エチルヘキサン酸1,1,3,3−テトラメチルグアニジンを4g加え、24時間加熱還流した。その後、3Lのメタノールに溶液を滴下し、再沈殿精製することで、下記化学式(2)で表される、白色粉末のPTMPS(メソゲン・ケイ素化合物重合体)を88g得た。収率90%、数平均分子量(Mn)=80,000、多分散度(PDI)=1.7、熱伝導率=0.25W/m・K、融点(mp)=125℃であった。このポリマーをポリマー1とする。
Figure 0006699663
(式中、nは数平均分子量が上記範囲となる数である。)
[実施例
ディーンスタークトラップを取り付けた1Lナスフラスコに、合成例2で得られた4,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ビフェニルを100g、ベンゼンを800mL、ジ−2−エチルヘキサン酸1,1,3,3−テトラメチルグアニジンを4g加え、24時間加熱還流した。その後、3Lのメタノールに溶液を滴下し、再沈殿精製することで、下記化学式(3)で表される、白色粉末の樹脂(メソゲン・ケイ素化合物重合体)を76g得た。収率79%、Mn=5,000、PDI=1.8、熱伝導率=0.35W/m・K、mp=210℃であった。このポリマーをポリマー2とする。
Figure 0006699663
(式中、nは数平均分子量が上記範囲となる数である。)
参考例2
ディーンスタークトラップを取り付けた1Lナスフラスコに、合成例1で得られた1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼンを80g、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ジヒドロキシジシロキサンを14.67g、ベンゼンを800mL、ジ−2−エチルヘキサン酸1,1,3,3−テトラメチルグアニジンを4g加え、24時間加熱還流した。その後、3Lのメタノールに溶液を滴下し、再沈殿精製することで、下記化学式(4)で表される、白色粉末の樹脂(メソゲン・ケイ素化合物共重合体)を82g得た。収率87%、Mn=160,000、PDI=2.0、熱伝導率=0.20W/m・K、mp=90℃であった。このポリマーをポリマー3とする。
Figure 0006699663
[実施例
ディーンスタークトラップを取り付けた1Lナスフラスコに、合成例2で得られた4,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ビフェニルを106.9g、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ジヒドロキシジシロキサンを14.67g、ベンゼンを800mL、ジ−2−エチルヘキサン酸1,1,3,3−テトラメチルグアニジンを4g加え、24時間加熱還流した。その後、3Lのメタノールに溶液を滴下し、再沈殿精製することで、下記化学式(5)で表される、白色粉末の樹脂(メソゲン・ケイ素化合物共重合体)を100g得た。収率85%、Mn=24,000、PDI=2.2、熱伝導率=0.26W/m・K、mp=140℃であった。このポリマーをポリマー4とする。
Figure 0006699663
参考例3
前述のポリマー1 50gと球状アルミナ(DAW−0745 電気化学工業製)185gをプラネタリーミキサーに仕込み、180℃で加熱混合し、60mm×60mm×6mmの金型に流し込み、150℃、10分間プレス成型することで組成物1を得た。熱伝導率は1.58W/m・Kであった。
[実施例
前述のポリマー2 50gと球状アルミナ(DAW−0745 電気化学工業製)185gをプラネタリーミキサーに仕込み、220℃で加熱混合し、60mm×60mm×6mmの金型に流し込み、220℃、10分間プレス成型することで組成物2を得た。熱伝導率は2.14W/m・Kであった。
参考例4
前述のポリマー3 50gと球状アルミナ(DAW−0745 電気化学工業製)185gをプラネタリーミキサーに仕込み、180℃で加熱混合し、60mm×60mm×6mmの金型に流し込み、150℃、10分間プレス成型することで組成物3を得た。熱伝導率は1.28W/m・Kであった。
[実施例
前述のポリマー4 50gと球状アルミナ(DAW−0745 電気化学工業製)185gをプラネタリーミキサーに仕込み、180℃で加熱混合し、60mm×60mm×6mmの金型に流し込み、150℃、10分間プレス成型することで組成物4を得た。熱伝導率は1.61W/m・Kであった。
[比較例1]
粘度1,000mPa・sの両末端アルケニル基封鎖ジメチルシリコーンオイルを48g、ケイ素原子に直接結合した水素原子を4つ含むオルガノハイドロジェンポリシロキサンを1.96g(末端アルケニル基とSi−H基のモル比率が1:1)、球状アルミナ(DAW−0745 電気化学工業製)185gをプラネタリーミキサーに仕込み、室温で30分混合し、0.5質量%カールステット触媒トルエン溶液を0.05g添加し、更に5分混合した。これを、60mm×60mm×6mmの金型に流し込み、150℃、10分間プレス成型することで硬化物5を得た。熱伝導率は1.08W/m・Kであった。
[比較例2]
ディーンスタークトラップを取り付けた1Lナスフラスコに、合成例1で得られた1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼンを20g、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ジヒドロキシジシロキサンを80g、ベンゼンを800mL、ジ−2−エチルヘキサン酸1,1,3,3−テトラメチルグアニジンを4g加え、24時間加熱還流した。その後、3Lのメタノールに溶液を滴下し、再沈殿精製することで、下記化学式(6)で表される、高粘度の透明液体を68g得た。収率75%、Mn=240,000、PDI=2.5であった。この液体を−30℃まで冷却したが、固体とはならず、熱伝導率は測定できなかった。
Figure 0006699663
上記参考例1〜4、実施例1〜及び比較例1で得られたポリマー1〜4、組成物1〜4及び硬化物5を用いて、各種物性(硬さ、引張り強度、伸び)を評価した。また、組成物1〜4及び硬化物5の融点を測定した。これらの結果を下記表1に示す。なお、各種物性に関しては、150℃、10分間プレス成型することで100mm×100mm×2mmのシートを作製し、自動硬度計と引張り試験機を用いて測定を行った。なお、物性測定の条件はJIS K 6249に準拠する。
Figure 0006699663
これらの結果から、本発明に係るメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる熱可塑性放熱材料(参考例1,2、実施例1,2)の熱伝導率は0.35〜0.20W/m・Kと、従来の放熱材料として一般的に使用されているジメチルシリコーン樹脂(文献値0.18W/m・K)よりも優れており、機械的物性も優れていることがわかる。更に、本発明に係るメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体(樹脂)及び熱伝導性充填剤(充填剤)を含有する組成物からなる熱可塑性放熱材料(参考例3,4、実施例3,4)は熱可塑性を持つことから、化学架橋が必要なジメチルシリコーンゴム(比較例1)と比較して、成型性に優れる。樹脂と充填剤を含有する組成物からなる放熱材料(参考例3,4、実施例3,4)の熱伝導率は、樹脂の熱伝導率が大きくなると飛躍的に向上することが知られており、本発明の樹脂においても、充填剤添加後の熱伝導率が通常のジメチルシリコーン樹脂と充填剤との組合せに比較して大幅に向上している。これらのことから、本発明のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる熱可塑性放熱材料及び該(共)重合体と熱伝導性充填剤を含有する組成物からなる熱可塑性放熱材料は、放熱材料として好適であり、特には半導体装置及び電子部品のための放熱用の樹脂材料として好適に用いることができる。

Claims (5)

  1. 下記一般式(1)で表される、数平均分子量が1,000〜500,000のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体からなる熱可塑性放熱材料。
    Figure 0006699663
    (式中、Arは下記式
    Figure 0006699663
    で示される構造のメソゲン基である。aは0.5〜1の正数を示し、bは0又は0超過0.5以下の正数を示す(ただし、a、bはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率を表すものであり、a+b=1である。)。R1は独立に炭素原子数1〜8の脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であり、R2は独立に水素原子、−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)又は−Si(CH32(CH2−CH=CH2)である。)
  2. 下記一般式(1)で表される、数平均分子量が1,000〜500,000のメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体100質量部に対して熱伝導性充填剤が100〜1,500質量部含有されたメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物からなる熱可塑性放熱材料。
    Figure 0006699663
    (式中、Arは下記式
    Figure 0006699663
    で示される構造のメソゲン基である。aは0.5〜1の正数を示し、bは0又は0超過0.5以下の正数を示す(ただし、a、bはそれぞれ、分子中におけるそれぞれの繰り返し単位数の比率を表すものであり、a+b=1である。)。R1は独立に炭素原子数1〜8の脂肪族不飽和結合を含まない1価炭化水素基であり、R2は独立に水素原子、−Si(CH33、−Si(CH32(OH)、−Si(CH32(CH=CH2)又は−Si(CH32(CH2−CH=CH2)である。)
  3. メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物が、前記一般式(1)で表されるメソゲン・ケイ素化合物(共)重合体の融点±50℃の温度範囲で溶融し、流動性を持つものであることを特徴とする請求項2記載の熱可塑性放熱材料。
  4. メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体組成物の熱伝導率が1.61〜10W/m・Kであることを特徴とする請求項2又は3記載の熱可塑性放熱材料。
  5. メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体単体での熱伝導率が0.26〜1.0W/m・Kである請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱可塑性放熱材料。
JP2017526220A 2015-06-30 2016-05-25 熱可塑性放熱材料 Active JP6699663B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015130903 2015-06-30
JP2015130903 2015-06-30
PCT/JP2016/065414 WO2017002489A1 (ja) 2015-06-30 2016-05-25 放熱材料

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2017002489A1 JPWO2017002489A1 (ja) 2018-03-29
JP6699663B2 true JP6699663B2 (ja) 2020-05-27

Family

ID=57608262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017526220A Active JP6699663B2 (ja) 2015-06-30 2016-05-25 熱可塑性放熱材料

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10590322B2 (ja)
EP (1) EP3318593B1 (ja)
JP (1) JP6699663B2 (ja)
WO (1) WO2017002489A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2363299B1 (en) 2010-03-05 2012-10-17 Spanolux N.V.- DIV. Balterio A method of manufacturing a floor board
WO2018147010A1 (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 信越化学工業株式会社 新規メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体及び熱可塑性エラストマー
US10941251B2 (en) 2018-03-22 2021-03-09 Momentive Performance Materials Inc. Silicone polymer and composition comprising the same
US10968351B2 (en) * 2018-03-22 2021-04-06 Momentive Performance Materials Inc. Thermal conducting silicone polymer composition
TWI687799B (zh) * 2018-11-09 2020-03-11 緯創資通股份有限公司 散熱模組與包含其之顯示裝置及其組裝方法
JP7475578B2 (ja) 2020-07-01 2024-04-30 信越化学工業株式会社 1,3-ジヒドロキシ-1,1,3,3-テトラ-tert-ブトキシジシロキサンの製造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3959403A (en) * 1975-03-31 1976-05-25 General Electric Company Process for making silarylenesilanediol, silarylenesiloxanediol and silarylenesiloxane-polydiorganosiloxane block copolymers
JPS63230768A (ja) * 1987-03-20 1988-09-27 Mitsubishi Electric Corp シリコ−ン導電性樹脂
US5035927A (en) * 1990-06-26 1991-07-30 Eastman Kodak Company Toner fusing device and method of using the same
JP5376510B2 (ja) 2009-04-23 2013-12-25 国立大学法人群馬大学 ポリテトラメチル−p−シルフェニレンシロキサンの延伸フィルムの製造法
US20120153342A1 (en) * 2010-06-08 2012-06-21 Takashi Nishimura Die-bonding material for optical semiconductor devices and optical semiconductor device using same
JP2014080522A (ja) * 2012-10-17 2014-05-08 Shin Etsu Chem Co Ltd 熱伝導性樹脂組成物
JP6075261B2 (ja) 2013-10-02 2017-02-08 信越化学工業株式会社 熱伝導性シリコーン組成物及びその硬化物
JP6042307B2 (ja) * 2013-10-16 2016-12-14 信越化学工業株式会社 硬化性熱伝導性樹脂組成物、該組成物の製造方法、該組成物の硬化物、該硬化物の使用方法、該組成物の硬化物を有する半導体装置、及び該半導体装置の製造方法
JP6065858B2 (ja) * 2014-02-26 2017-01-25 信越化学工業株式会社 樹脂組成物、メソゲン基含有硬化物及びその製造方法
CN106661439B (zh) * 2014-08-11 2019-10-15 株式会社I.S.T 弹性体的导热性改性剂及导热性改性液晶性弹性体

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2017002489A1 (ja) 2018-03-29
EP3318593A4 (en) 2019-02-13
US10590322B2 (en) 2020-03-17
EP3318593B1 (en) 2020-05-06
EP3318593A1 (en) 2018-05-09
WO2017002489A1 (ja) 2017-01-05
US20180163113A1 (en) 2018-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6699663B2 (ja) 熱可塑性放熱材料
TWI766937B (zh) 熱傳導性聚有機矽氧烷組成物
JP5247979B2 (ja) 透明な硬化物を与えるポリオルガノシロキサン組成物
TWI447175B (zh) 加成硬化型聚矽氧組成物及其硬化產物
TWI398487B (zh) A polysiloxane composition and a hardened product thereof
JP6024839B2 (ja) オルガノポリシロキサン化合物及びその製造方法並びに付加硬化型シリコーン組成物
US8124715B2 (en) Isocyanuric ring-containing polysiloxane having vinyl groups at the terminals
JP4816951B2 (ja) シリコーン組成物及びその硬化物
JP6264307B2 (ja) 付加硬化型シリコーン組成物
JPWO2019240124A1 (ja) 成形用ポリオルガノシロキサン組成物、光学用部材、および成形方法
KR20170129248A (ko) 유기폴리실록산, 이의 제조 방법, 및 경화성 실리콘 조성물
JP5388409B2 (ja) 硬化性シリコーン組成物およびその硬化物
JP6493268B2 (ja) 主鎖にアリーレン基を有するオルガノポリシロキサンの製造方法
EP3986968A1 (en) Thermal conductive silicone composition
JP6791273B2 (ja) 新規メソゲン・ケイ素化合物(共)重合体及び熱可塑性エラストマー
JP7336509B2 (ja) 架橋性オルガノシロキサン組成物
WO2021184149A1 (en) Thermal conductive silicone composition
JP6536414B2 (ja) 付加硬化型熱可塑性シリコーン組成物、熱可塑性シリコーン硬化物及びその製造方法
JP2015127401A (ja) 熱硬化性樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置
JP2015187258A (ja) 熱硬化性樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190129

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190301

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190903

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200331

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200413

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6699663

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150