JP6687663B2 - 筐体の内部の熱を外部に放出する熱移動装置を備えるレーザ装置 - Google Patents
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Description
図1から図6を参照して、実施の形態1におけるレーザ装置について説明する。実施の形態では、様々な種類のレーザ装置のうち、光ファイバにて光を励起するファイバレーザ装置を例示して説明する。
図7を参照して、実施の形態2におけるレーザ装置について説明する。図7に、本実施の形態におけるレーザ装置の概略図を示す。レーザ装置2は、貯水部としての貯水タンク61に貯留する水を筐体6の外部に排出する排水装置65を備える。本実施の形態における排水装置65は、貯水タンク61に接続された排水管62と排水管62の途中に配置された排水弁63を含む。制御装置7は、排水装置65を制御する。排水弁63は、制御装置7の動作制御部71に制御されている。
図8を参照して、実施の形態3におけるレーザ装置について説明する。図8に、本実施の形態におけるレーザ装置の概略図を示す。本実施の形態のレーザ装置3は、筐体6の内部に配置された機器を冷却する冷却装置を備える。ここでは、筐体6の内部に配置された機器としてレーザ共振器11を例示して説明する。レーザ装置3は、レーザ共振器11に冷却水を供給する冷却水供給装置67を備える。冷却水供給装置67は、矢印94に示すように、供給管68を介してレーザ共振器11に冷却水を供給する。また、冷却水は、矢印95に示すように、戻り管69を通って冷却水供給装置67に戻る。冷却水供給装置67は、制御装置7の動作制御部71に制御されている。
図9を参照して、実施の形態4におけるレーザ装置について説明する。図9に、本実施の形態におけるレーザ装置の概略図を示す。本実施の形態のレーザ装置4は、筐体6の内部の空気を撹拌する少なくとも一つのファンを備える。本実施の形態では、冷却ファン13および撹拌ファン14が筐体6の内部の空気を冷却する機能を有する。レーザ装置4は、筐体6の内部の空気の温度を検出する複数の温度センサ31,32,33と、筐体の内部の空気の湿度を検出する複数の湿度センサ41,42,43とを備える。すなわち、レーザ装置4は、第1の温度センサ31に加えて、第2の温度センサ32および第3の温度センサ33を備える。また、レーザ装置4は、第1の湿度センサ41に加えて、第2の湿度センサ42および第3の湿度センサ43を備える。
6 筐体
7 制御装置
8 熱移動装置
11 レーザ共振器
12 レーザ電源
13 冷却ファン
13b 羽根車
14 撹拌ファン
14b 羽根車
22 冷却フィン
23 放熱ジャケット
31,32,33 温度センサ
41,42,43 湿度センサ
51 冷却水温度センサ
61 貯水タンク
63 排水弁
64 貯水センサ
65 排水装置
67 冷却水供給装置
71 動作制御部
72 記憶部
Claims (11)
- レーザ光を発振するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器が配置される空間を密閉する筐体と、
前記筐体の内部の空気の温度を検出する温度センサと、
前記筐体の内部の空気の湿度を検出する湿度センサと、
高温部と、前記筐体の内部に配置され、前記高温部よりも温度が低い低温部と、前記低温部において空気の流れを生成する冷却ファンとを有し、前記低温部の熱が前記高温部に移動する熱移動装置と、
前記冷却ファンを制御する動作制御部および予め定められた情報を記憶する記憶部を有する制御装置とを備え、
前記記憶部は、前記冷却ファンを制御するための温度に関する温度基準値および湿度に関する湿度基準値を記憶しており、
前記動作制御部は、前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも低く、かつ、前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも高い場合に、前記冷却ファンが停止するように制御し、
前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも高く、かつ、前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも低い場合に、前記冷却ファンが駆動するように制御することを特徴とする、レーザ装置。 - レーザ光を発振するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器が配置される空間を密閉する筐体と、
前記筐体の内部の空気の温度を検出する温度センサと、
前記筐体の内部の空気の湿度を検出する湿度センサと、
高温部と、前記筐体の内部に配置され、前記高温部よりも温度が低い低温部と、前記低温部において空気の流れを生成する冷却ファンとを有し、前記低温部の熱が前記高温部に移動する熱移動装置と、
前記冷却ファンを制御する動作制御部および予め定められた情報を記憶する記憶部を有する制御装置とを備え、
前記記憶部は、前記冷却ファンを制御するための温度に関する温度基準値および湿度に関する湿度基準値を記憶しており、
前記動作制御部は、前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも低く、かつ、前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも高い場合に、前記冷却ファンの回転速度を予め定められた周期にて変化させる制御を実施し、
前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも高い場合、および前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも低い場合のうち少なくとも一方の場合に、前記冷却ファンの回転速度を予め定められた周期にて変化させる制御を停止する、レーザ装置。 - 前記動作制御部は、予め定められた周期にて変化させる制御として、前記冷却ファンを停止する制御と前記冷却ファンを最大の回転速度にて駆動する制御とを繰り返す、請求項2に記載のレーザ装置。
- レーザ光を発振するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器が配置される空間を密閉する筐体と、
前記筐体の内部の空気の温度を検出する温度センサと、
前記筐体の内部の空気の湿度を検出する湿度センサと、
前記筐体の内部の空気を撹拌する少なくとも一つのファンと、
高温部と、前記筐体の内部に配置され、前記高温部よりも温度が低い低温部とを有し、前記低温部の熱が前記高温部に移動する熱移動装置と、
前記ファンを制御する動作制御部および予め定められた情報を記憶する記憶部を有する制御装置とを備え、
前記ファンは、前記熱移動装置から離れた位置に配置された撹拌ファン、および前記熱移動装置に配置され、前記低温部において空気の流れを生成する冷却ファンのうち少なくとも一方を有し、
前記記憶部は、前記ファンを制御するための温度に関する温度基準値および湿度に関する湿度基準値を記憶しており、
前記動作制御部は、前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも高く、かつ、前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも低い場合に、前記撹拌ファンおよび前記冷却ファンのうち少なくとも一方の前記ファンの羽根車の回転方向を予め定められた周期にて変化させる制御を実施し、
前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも低い場合、および前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも高い場合のうち少なくとも一方の場合に、前記羽根車の回転方向を予め定められた周期にて変化させる制御を停止する、レーザ装置。 - 前記動作制御部は、前記羽根車の回転方向を予め定められた周期にて変化させる制御として、前記羽根車を一方の向きに最大速度にて駆動する制御と、前記羽根車を他方の向きに最大速度にて駆動する制御とを繰り返す制御を実施する、請求項4に記載のレーザ装置。
- レーザ光を発振するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器が配置される空間を密閉する筐体と、
前記筐体の内部の空気の温度を検出する温度センサと、
前記筐体の内部の空気の湿度を検出する湿度センサと、
高温部と、前記筐体の内部に配置され、前記高温部よりも温度が低い低温部とを有し、前記低温部の熱が前記高温部に移動する熱移動装置と、
前記低温部において結露により生じた水を貯める貯水部と、
前記貯水部に貯留する水の量を検出する貯水センサと、
前記貯水部に貯留する水を前記筐体の外部に排出する排水装置と、
前記排水装置を制御する動作制御部および予め定められた情報を記憶する記憶部を有する制御装置とを備え、
前記記憶部は、前記排水装置を制御するための温度に関する温度基準値、湿度に関する湿度基準値、および前記貯水部に貯留する水の量に関する貯水量基準値を記憶しており、
前記動作制御部は、前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも低く、かつ、前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも高い場合に、予め定められた周期にて前記貯水部の水を排水するように前記排水装置を制御し、
前記温度センサにより検出された温度が前記温度基準値よりも高く、かつ、前記湿度センサにより検出された湿度が前記湿度基準値よりも低い場合に、前記貯水部の水の量が前記貯水量基準値を超えた時に、前記貯水部の水を排水するように前記排水装置を制御する、レーザ装置。 - 前記筐体の内部に配置された機器を冷却する冷却水を供給する冷却水供給装置と、
前記冷却水の温度を検出する冷却水温度センサとを備え、
前記動作制御部は、前記温度センサにより検出された前記筐体の内部の空気の温度および前記冷却水温度センサにより検出された前記冷却水の温度に基づいて前記湿度基準値を設定し、
前記記憶部は、設定された前記湿度基準値を記憶する、請求項1から6のいずれか一項に記載のレーザ装置。 - レーザ光を発振するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器が配置される空間を密閉する筐体と、
前記筐体の内部の空気の温度を検出する複数の温度センサと、
前記筐体の内部の空気を撹拌する少なくとも一つのファンと、
高温部と、前記筐体の内部に配置され、前記高温部よりも温度が低くなる低温部とを有し、前記低温部の熱が前記高温部に移動する熱移動装置と、
前記ファンを制御する動作制御部および予め定められた情報を記憶する記憶部を有する制御装置とを備え、
前記ファンは、前記熱移動装置から離れた位置に配置された撹拌ファン、および前記熱移動装置に配置され、前記低温部において空気の流れを生成する冷却ファンのうち少なくとも一方を有し、
複数の前記温度センサは、前記筐体の内部において互いに離れた位置に配置されており、
前記記憶部は、前記筐体の内部の温度分布に関する変数の温度分布基準値を記憶しており、
前記動作制御部は、複数の前記温度センサにより検出される温度に基づいて、温度分布に関する変数を算出し、温度分布に関する変数が温度分布基準値よりも大きい場合に、前記撹拌ファンおよび前記冷却ファンのうち少なくとも一方が動作するように制御し、温度分布に関する変数が温度分布基準値よりも小さい場合に、前記撹拌ファンおよび前記冷却ファンのうち少なくとも一方を停止するように制御する、レーザ装置。 - 前記変数は、複数の前記温度センサにより検出される複数の温度の最大値と最小値との差、または、複数の温度の標準偏差である、請求項8に記載のレーザ装置。
- レーザ光を発振するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器が配置される空間を密閉する筐体と、
前記筐体の内部の空気の湿度を検出する複数の湿度センサと、
前記筐体の内部の空気を撹拌する少なくとも一つのファンと、
高温部と、前記筐体の内部に配置され、前記高温部よりも温度が低くなる低温部とを有し、前記低温部の熱が前記高温部に移動する熱移動装置と、
前記ファンを制御する動作制御部および予め定められた情報を記憶する記憶部を有する制御装置とを備え、
前記ファンは、前記熱移動装置から離れた位置に配置された撹拌ファン、および前記熱移動装置に配置され、前記低温部において空気の流れを生成する冷却ファンのうち少なくとも一方を有し、
複数の前記湿度センサは、前記筐体の内部において互いに離れた位置に配置されており、
前記記憶部は、前記筐体の内部の湿度分布に関する変数の湿度分布基準値を記憶しており、
前記動作制御部は、複数の前記湿度センサにより検出される湿度に基づいて、湿度分布に関する変数を算出し、湿度分布に関する変数が湿度分布基準値よりも大きい場合に、前記撹拌ファンおよび前記冷却ファンのうち少なくとも一方が動作するように制御し、湿度分布に関する変数が湿度分布基準値よりも小さい場合に、前記撹拌ファンおよび前記冷却ファンのうち少なくとも一方を停止するように制御する、レーザ装置。 - 湿度に関する変数は、複数の前記湿度センサにより検出される複数の湿度の最大値と最小値の差、または、複数の湿度の標準偏差である、請求項10に記載のレーザ装置。
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