JP6684733B2 - Air shower device - Google Patents

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Description

本発明は、ファン等で加圧された空気を用いて塵埃を除去するエアシャワー装置に関する。   The present invention relates to an air shower device that removes dust by using air pressurized by a fan or the like.

エアシャワー装置は、半導体や精密機械等の製造、あるいは食品製造・加工、あるいは医薬品等の製造を行うクリーンルームまたは作業室の出入口または物品搬入口に設置され、クリーンルームまたは作業室の通路もしくは前室、または物品用の搬入口として使用される。そして、エアシャワー装置によりクリーンルームまたは作業室への塵埃の流入・持ち込みが抑制される。   The air shower device is installed at a doorway or an entrance of a clean room or a work room for manufacturing semiconductors, precision machinery, or the like, or food manufacturing / processing, or manufacturing pharmaceuticals, or a clean room or work room passageway or front room, Or it is used as an entrance for goods. Then, the air shower device suppresses the inflow and carry-in of dust into the clean room or the work room.

一般的なエアシャワー装置の機能として、エアシャワー装置室内の人や物品に対して、天井および側面に取り付けられているエアジェットノズルからエアジェットを吹出し、人や物品に付着している塵埃を吹き飛ばす。そして、この吹き飛ばされた塵埃は、エアシャワー装置内に設けたプレフィルタ(空気の吸込み口に相当)より吸引され、ファンで加圧され、ＨＥＰＡフィルタ等のメインフィルタを通して除去される。その後、塵埃が除去された循環エアは、再度エアジェットノズルより吹き出される。   As a function of a general air shower device, air jets are blown out from the air jet nozzles mounted on the ceiling and side surfaces of people and articles inside the air shower apparatus to blow out dust adhering to people and articles. . Then, the blown dust is sucked from a pre-filter (corresponding to an air suction port) provided in the air shower device, pressurized by a fan, and removed through a main filter such as a HEPA filter. After that, the circulating air from which dust has been removed is again blown out from the air jet nozzle.

しかし、人や物品が帯電している場合、エアジェットを吹き付けても帯電した人や物品に付着した塵埃は除去することが難しいという問題があった。   However, when the person or the article is charged, there is a problem that it is difficult to remove the dust attached to the charged person or the article even if the air jet is blown.

そこで、エアシャワー装置内に静電気除去装置を設置し、エアジェットを吹き付けると同時に静電気除去を行う場合がある。   Therefore, there is a case where a static electricity eliminator is installed in the air shower device to remove the static electricity at the same time as blowing an air jet.

特許文献１には、エアシャワユニット６０を備える洗浄室３０に、洗浄室の静電気を中和するためのイオンを発生する除電器７０を備え、イオンセンサ７１が検出した静電気が所定の電荷量よりも大きい値の場合には、検出した極性と反対極性となるイオンを発生させることが、開示されている（図２参照）。   In Patent Document 1, the cleaning chamber 30 including the air shower unit 60 is provided with a static eliminator 70 that generates ions for neutralizing the static electricity in the cleaning chamber, and the static electricity detected by the ion sensor 71 is more than a predetermined charge amount. When the value is also large, it is disclosed that ions having a polarity opposite to the detected polarity are generated (see FIG. 2).

特開２００９−１４４９６８号公報JP, 2009-144968, A

しかし、従来の静電気除去装置付エアシャワー装置は除電の効果がわからないため、除電が不完全なまま、クリーンルーム内に入室または物品を入庫してしまい、再度塵埃が付着しクリーンルームへ持ち込まれるという問題があった。   However, the conventional air shower device with static eliminator does not know the effect of static elimination.Therefore, there is a problem that dust is attached again to the clean room because the static elimination is incomplete and the room or articles are stored in the clean room. there were.

本発明は、クリーンルーム内への塵埃の持ち込みを確実に抑制するエアシャワー装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an air shower device that reliably suppresses the introduction of dust into a clean room.

本発明は、エアシャワー装置内部に静電気除去装置と静電気電荷測定器を搭載し、エアシャワー装置内の人や物品の帯電電位を測定し、その測定結果を制御部に取り込み監視する。   According to the present invention, a static electricity eliminator and an electrostatic charge measuring device are mounted inside an air shower device, the charging potential of a person or an article in the air shower device is measured, and the measurement result is taken into a control unit and monitored.

本発明のエアシャワー装置の一例を挙げるならば、エアジェットにより、フィルタで塵埃を除去した清浄な空気を装置内の人や物品に吹き付けて塵埃を除去するエアシャワー装置であって、静電気を中和するイオンを発生する静電気除去装置と、装置内の人や物品の帯電電位を測定する静電気電荷測定器と、前記エアジェットの動作時間を設定するタイマ装置と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位に応じて、前記エアジェットの風速を変化させるとともに、前記エアジェットの動作時間が、前記タイマ装置で設定した動作時間に到達し、前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位が所定の電位以下となった場合に、前記エアジェットの動作を停止するものである。
To give an example of the air shower device of the present invention, it is an air shower device that removes dust by spraying clean air from which dust has been removed by a filter onto a person or article in the device by an air jet, and removing static electricity. A static electricity removing device for generating ions to be solvated; an electrostatic charge measuring device for measuring a charging potential of a person or an article in the device; a timer device for setting an operating time of the air jet; and a control unit, The control unit changes the wind speed of the air jet according to the charging potential measured by the electrostatic charge measuring device, and the operating time of the air jet reaches the operating time set by the timer device, The operation of the air jet is stopped when the charging potential measured by the charge measuring device becomes equal to or lower than a predetermined potential.

本発明によれば、帯電した人や物品の入室または入庫を制限することが可能となり、クリーンルーム内への塵埃の持ち込みを確実に抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to restrict entry or entry of charged persons or articles into the clean room, and it is possible to reliably prevent dust from being brought into the clean room.

本発明の実施例のエアシャワー装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the air shower apparatus of the Example of this invention. 実施例のエアシャワー装置の制御構成を示す図である。It is a figure which shows the control structure of the air shower apparatus of an Example. 実施例のエアシャワー装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the air shower apparatus of an Example. 実施例のエアシャワー装置の全体制御フローを示す図である。It is a figure which shows the whole control flow of the air shower apparatus of an Example. エアジェットモータの制御構成を示す図である。It is a figure which shows the control structure of an air jet motor. エアジェットおよび静電気除去装置の詳細制御フローを示す図である。It is a figure which shows the detailed control flow of an air jet and an electrostatic discharger.

以下に、本発明の実施の形態を、図１〜６を用いて説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.

図１〜６に本発明の実施例を示す。
図１は、エアシャワー装置の構成を示す正面図である。本エアシャワー装置1は、エアジェットファン2、メインフィルタ3、プレフィルタ4、エアジェットノズル5、制御部6、静電気除去装置8、静電気電荷測定器9を備えている。これらの配置は、図１の通りでなくても良い。 1 to 6 show an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a front view showing the configuration of the air shower device. The air shower device 1 includes an air jet fan 2, a main filter 3, a prefilter 4, an air jet nozzle 5, a control unit 6, a static electricity removing device 8, and an electrostatic charge measuring device 9. These arrangements need not be as shown in FIG.

エアジェットファン2により、エアシャワー装置内から塵埃を含むエアをプレフィルタ4を通して吸い込み、ＨＥＰＡフィルタ等のメインフィルタ3を通して塵埃を除去し、天井および側面に設けられたエアジェットノズル5から装置内の人や物品にエアジェット気流7を吹き付けて、塵埃を除去する。静電気除去装置8は、静電気を中和するイオンを発生し、静電気電荷測定器9は、装置内の人や物品の帯電電位を測定する。エアジェットファン2や静電気除去装置8は、制御部6によってＯＮ−ＯＦＦなどが制御される。   The air jet fan 2 sucks air containing dust through the pre-filter 4 from the inside of the air shower device, removes the dust through the main filter 3 such as a HEPA filter, and the air jet nozzle 5 provided on the ceiling and the side surface of the device. The air jet airflow 7 is blown to a person or an article to remove dust. The static electricity removing device 8 generates ions for neutralizing static electricity, and the electrostatic charge measuring device 9 measures the charging potential of a person or an article in the device. The air jet fan 2 and the static eliminator 8 are controlled to be turned on and off by the control unit 6.

図２に、エアシャワー装置の制御構成を示す。静電気電荷測定器10で電位測定した結果を制御部11に送り、エアジェットやインターロックや静電気除去装置のＯＮ−ＯＦＦ等の各制御を行う。更に、制御部11をパソコン12と連動させることにより、エアシャワー装置の入室の管理、監視を行うことも可能となる。電位測定した結果は、制御部１１から表示器13に送られ、装置内の人や物品の電位が表示される。なお、図では表示器13を記載しているが、パソコン12で表示するようにしても良い。   FIG. 2 shows the control configuration of the air shower device. The result of potential measurement by the electrostatic charge measuring device 10 is sent to the control unit 11 to perform various controls such as air jet, interlock and ON / OFF of the static eliminator. Further, by interlocking the control unit 11 with the personal computer 12, it is possible to manage and monitor the entrance of the air shower device. The result of the electric potential measurement is sent from the control unit 11 to the display unit 13, and the electric potential of the person or article in the device is displayed. Although the display 13 is shown in the drawing, it may be displayed on the personal computer 12.

図３に、エアシャワー装置の平面構成図を示す。エアシャワー装置1は、ダーティ側ドア14、ダーティ側インターロック装置15、クリーン側ドア16、クリーン側インターロック装置17を備えている。ここで、ダーティ側とは、汚れた空気がある側で、例えばクリーンルームの外である。また、クリーン側とは、清浄な空気がある側で、例えばクリーンルームの中である。なお、ダーティ側およびクリーン側のドアは自動ドアやシートシャッタなどでも良い。符号18はエアジェット作動用の光電管スイッチを示し、人の入室を検知し、検知信号により制御部がエアジェットを作動させる。なお、光電管スイッチ18は、入室者の入室を検知できるセンサであれば良く、光電管スイッチに限られない。   FIG. 3 shows a plan view of the air shower device. The air shower device 1 includes a dirty side door 14, a dirty side interlock device 15, a clean side door 16, and a clean side interlock device 17. Here, the dirty side is the side with dirty air, for example, outside the clean room. Further, the clean side is a side having clean air, for example, in a clean room. The dirty and clean doors may be automatic doors or seat shutters. Reference numeral 18 indicates a photoelectric tube switch for operating the air jet, which detects the entry of a person into the room, and the control unit operates the air jet by the detection signal. The photoelectric tube switch 18 is not limited to the photoelectric tube switch as long as it is a sensor that can detect entry of a person entering the room.

図４に、エアシャワー装置の全体制御フローを示す。図４において、左側の欄は、図３の平面図における人の位置や、ダーディ側およびクリーン側のドアの開閉などを示す。中央の欄は、エアシャワー装置を通ってクリーンルームに入室するまでの、エアシャワー装置の動作の各ステップを示す。右側の欄は、各動作ステップに対応して静電気チェック、ダーティ側インターロック、およびクリーン側インターロックのオン−オフの状態を示す。   FIG. 4 shows an overall control flow of the air shower device. In FIG. 4, the left column shows the position of a person in the plan view of FIG. 3, the opening and closing of doors on the dirty side and the clean side, and the like. The middle column shows each step of the operation of the air shower device until it enters the clean room through the air shower device. The right column shows the on / off states of the static electricity check, the dirty side interlock, and the clean side interlock corresponding to each operation step.

エアシャワー装置は、以下の各ステップにて動作する。
ステップ101は入室前の待機状態である。この時、入室者はダーティ側で待機しており、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックOFF、クリーン側インターロックOFFである。静電気チェックは行われておらず、ダーティ側ドアおよびクリーン側ドア共に、ロックされていない。
ステップ102で、入室者はエアシャワー内に入室するためにダーティ側ドア14を開く。この時、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックOFF、クリーン側インターロックONであり、クリーン側ドアがロックされる。
ステップ103で、入室者はエアシャワー装置内に入室する。
ステップ104で、入室者が入室し終わるとダーティ側ドア14を閉める。この時、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックOFF、クリーン側インターロックOFFとなり、クリーン側ドアのロックが解除される。 The air shower device operates in the following steps.
Step 101 is a waiting state before entering the room. At this time, the person entering the room is waiting on the dirty side, and the static electricity check is OFF, the dirty interlock is OFF, and the clean interlock is OFF. No static check was done and neither the dirty side door nor the clean side door is locked.
At step 102, the occupant opens the dirty side door 14 to enter the air shower. At this time, the static electricity check is OFF, the dirty side interlock is OFF, and the clean side interlock is ON, and the clean side door is locked.
In step 103, the person entering the room enters the air shower device.
In step 104, the dirty side door 14 is closed when the occupant finishes entering the room. At this time, the static electricity check is turned off, the dirty side interlock is turned off, and the clean side interlock is turned off, and the lock of the clean side door is released.

ステップ105で、入室者によってエアジェット作動用の光電管スイッチ18が遮られ、光電管スイッチ18がＯＮとなる。
ステップ106で、入室者が検知されるとエアジェットが作動する。このエアジェット作動方式は、光電管スイッチ18以外の押釦スイッチ、近接スイッチ等の別手段で作動するようにしても良い。他にも、ドア閉で作動するようにしても良い。この時、静電気チェックON、ダーティ側インターロックON、クリーン側インターロックONとなり、静電気チェックが開始され、また、ダーティ側ドアおよびクリーン側ドアがロックされる。そして、エアジェットが作動することにより、人や物品の塵埃を高速気流により吹き飛ばし、除去を行う。
ステップ107では、静電気チェックにて静電気帯電電位測定を行う。
ステップ108で、静電気の測定電位が設定値まで下がった場合、静電気チェックOKと判断する。この時、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックON、クリーン側インターロックONとなり、静電気チェックを終了する。
ステップ108で、帯電電位が設定値まで下がらない場合には、ステップ107に戻って、更に静電気量をモニタリングする。そして、帯電電位が設定値まで下がらない場合はエアジェットが作動し続ける。
帯電電位が設定値まで下がることにより、ステップ109で、エアジェットが停止する。 At step 105, the phototube switch 18 for operating the air jet is blocked by the occupant, and the phototube switch 18 is turned on.
In step 106, the air jet is activated when an occupant is detected. This air jet operation method may be operated by other means such as a push button switch other than the phototube switch 18 and a proximity switch. Alternatively, the door may be closed. At this time, the static electricity check is turned on, the dirty side interlock is turned on, and the clean side interlock is turned on, the static electricity check is started, and the dirty side door and the clean side door are locked. Then, when the air jet is operated, the dust of the person or the article is blown away by the high-speed air flow and removed.
In step 107, the electrostatic charge potential is measured by the static electricity check.
In step 108, when the measured electrostatic potential drops to the set value, it is determined that the static electricity check is OK. At this time, the static electricity check is turned off, the dirty side interlock is turned on, and the clean side interlock is turned on, and the static electricity check is completed.
If the charging potential does not drop to the set value in step 108, the process returns to step 107 and the amount of static electricity is further monitored. Then, if the charging potential does not drop to the set value, the air jet continues to operate.
When the charging potential drops to the set value, the air jet is stopped in step 109.

ステップ110で、所定時間が経過し、クリーンアップ(沈静化)が終了する。この時、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックOFF、クリーン側インターロックOFFとなり、ダーティ側ドアおよびクリーン側ドアのロックが解除される。
ステップ111で、入室者はクリーン側に退室するためにクリーン側ドア16を開ける。この時、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックON、クリーン側インターロックOFFとなり、ダーティ側がロックされる。
ステップ112で、入室者はクリーン側へ退出する。
ステップ113で、クリーン側ドア16を閉める。この時、静電気チェックOFF、ダーティ側インターロックOFF、クリーン側インターロックOFFとなり、ダーティ側ドアのロックが解除される。
ステップ114で、入室者のクリーンルームへの入室が完了する。 In step 110, the predetermined time has elapsed and the cleanup (settling) is completed. At this time, the static electricity check is turned off, the dirty side interlock is turned off, and the clean side interlock is turned off, and the dirty side door and the clean side door are unlocked.
At step 111, the occupant opens the clean side door 16 to exit to the clean side. At this time, the static electricity check is turned off, the dirty side interlock is turned on, and the clean side interlock is turned off, and the dirty side is locked.
At step 112, the occupant exits to the clean side.
In step 113, the clean side door 16 is closed. At this time, the static electricity check is turned off, the dirty side interlock is turned off, and the clean side interlock is turned off, and the dirty side door is unlocked.
At step 114, entry of the person into the clean room is completed.

図４の全体制御フローにおいて、ステップ１０７の静電気チェックによる帯電電位の測定に基づいて、静電気量に応じてエアジェット風速を可変させる制御を行っても良い。
図５に、この制御構成図を示す。静電気電荷測定器19により測定した帯電電位が大の場合、エアシャワー装置内の人や物品に付着している塵埃は取れにくいため、制御部20によりエアジェットモータ21を高速運転させる。これに対し、帯電電位が小の場合、塵埃は取れやすいのでエアジェットモータ21の低速運転を行う。なお、静電気電荷測定器19が多段階出力可能な場合は、エアジェットモータの回転速度も多段階で制御可能となる。 In the overall control flow of FIG. 4, the air jet wind speed may be varied according to the amount of static electricity based on the measurement of the charging potential by the static electricity check in step 107.
FIG. 5 shows this control configuration diagram. When the charge potential measured by the electrostatic charge measuring device 19 is high, it is difficult to remove dust adhering to a person or an article in the air shower device, so the control unit 20 causes the air jet motor 21 to operate at high speed. On the other hand, when the charging potential is small, dust is easily removed, so the air jet motor 21 is operated at a low speed. When the electrostatic charge measuring device 19 can output in multiple stages, the rotation speed of the air jet motor can also be controlled in multiple stages.

次に、全体制御フローのステップ106からステップ109の部分の詳細制御フローについて、図６を用いて説明する。
ステップ201で、エアジェットおよび静電気除去装置がONとなり、同時にエアジェットのタイマが作動する。通常、エアシャワー装置内の人や物品の塵埃を除去するために必要な時間をタイマにて予め設定しておく。
ステップ202で、エアジェットの動作がタイマで設定した規定時間に到達したかを確認する。規定時間に到達したOKの場合は、次のステップ203の静電気チェックへ進み、到達していないNGの場合は、タイマ規定時間到達チェックがOKとなるまでループする。
ステップ203で、静電気電荷測定器で測定した帯電電位に基づいて静電気チェックを行い、静電気電位が規定値に到達しているかを確認する。静電気電位が規定値まで低下したOKの場合、ステップ204でエアジェットおよび静電気除去装置をOFFとし、次の動作に進むことが可能となる。静電気電位が既定値より高いNGの場合、ステップ203の静電気チェックがOKになるまで、エアジェットおよび静電気除去装置をＯＮした状態で、ループすることになる。 Next, the detailed control flow of the steps 106 to 109 of the overall control flow will be described with reference to FIG.
In step 201, the air jet and the static eliminator are turned on, and at the same time, the air jet timer is activated. Normally, a timer presets the time required to remove dust from people and articles in the air shower device.
In step 202, it is confirmed whether the operation of the air jet has reached the specified time set by the timer. If it is OK when the specified time has been reached, the process proceeds to the next step 203, where the static electricity check is performed. If it is not NG, the process loops until the timer specified time arrival check is OK.
In step 203, an electrostatic charge check is performed based on the charged electric potential measured by the electrostatic charge measuring device to confirm whether the electrostatic potential has reached a specified value. If the electrostatic potential has dropped to the specified value and it is OK, the air jet and the static eliminator are turned off in step 204, and it becomes possible to proceed to the next operation. When the electrostatic potential is NG higher than the predetermined value, the air jet and the static eliminator are turned on and looped until the static check in step 203 becomes OK.

本実施例によれば、入室者がエアシャワー装置に入室してエアジェットや静電気除去装置が作動した後、エアジェットの動作がタイマで設定した規定時間に到達し、静電気電荷測定器で測定した帯電電位が規定値まで低下した場合に、エアジェットや静電気除去装置の動作を停止するようにしたので、クリーンルーム内への塵埃の持ち込みおよび塵埃の付着を確実に抑制することができる。また、エアジェットが動作中は、ダーティ側インターロックおよびクリーン側インターロックを動作させるので、クリーンルーム内への塵埃の持ち込みを確実に抑制することができる。   According to the present embodiment, after the person entering the room enters the air shower device and the air jet or the static electricity eliminator operates, the operation of the air jet reaches the specified time set by the timer, and the measurement is performed by the electrostatic charge measuring device. Since the operation of the air jet and the static eliminator are stopped when the charging potential drops to the specified value, it is possible to reliably suppress the carry-in of dust and the adhesion of dust into the clean room. Further, since the dirty side interlock and the clean side interlock are operated while the air jet is operating, it is possible to reliably prevent dust from being brought into the clean room.

また、静電気電荷測定器により測定した帯電電位に基づいて、帯電電位が高い場合には風速を大きく、また、帯電電位が低い場合には風速を小さくなるようにエアジェットを制御することにより、付着した塵埃を良好に除去することができる。   Also, based on the charge potential measured by the electrostatic charge measuring device, the air jet is controlled so that the wind velocity is high when the charge potential is high and the wind velocity is low when the charge potential is low. It is possible to satisfactorily remove the generated dust.

さらに、静電気電荷測定器により測定した帯電電位を表示器などにより表示するようにしたので、エアシャワー装置内の人や物品の帯電量をモニタリングすることができる。   Further, since the charging potential measured by the electrostatic charge measuring device is displayed on the display or the like, it is possible to monitor the charging amount of a person or an article in the air shower device.

１ エアシャワー装置
２ エアジェットファン
３ メインフィルタ
４ プレフィルタ
５ エアジェットノズル
６ 制御部
７ エアジェット気流
８ 静電気除去装置
９ 静電気電荷測定器
１０ 静電気電荷測定器
１１ 制御部
１２ パソコン
１３ 表示器
１４ ダーティ側ドア
１５ ダーティ側インターロック装置
１６ クリーン側ドア
１７ クリーン側インターロック装置
１８ エアジェット作動用光電管スイッチ
１９ 静電気電荷測定器
２０ 制御部
２１ エアジェットモータ 1 Air Shower Device 2 Air Jet Fan 3 Main Filter 4 Pre Filter 5 Air Jet Nozzle 6 Control Unit 7 Air Jet Airflow 8 Static Elimination Device 9 Electrostatic Charge Measuring Device 10 Electrostatic Charge Measuring Device 11 Control Unit 12 Personal Computer 13 Display 14 Dirty Side Door 15 Dirty side interlock device 16 Clean side door 17 Clean side interlock device 18 Air jet actuating photoelectric tube switch 19 Electrostatic charge measuring instrument 20 Control unit 21 Air jet motor

Claims (7)

エアジェットにより、フィルタで塵埃を除去した清浄な空気を装置内の人や物品に吹き付けて塵埃を除去するエアシャワー装置であって、
静電気を中和するイオンを発生する静電気除去装置と、
装置内の人や物品の帯電電位を測定する静電気電荷測定器と、
前記エアジェットの動作時間を設定するタイマ装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位に応じて、前記エアジェットの風速を変化させるとともに、
前記エアジェットの動作時間が、前記タイマ装置で設定した動作時間に到達し、前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位が所定の電位以下となった場合に、前記エアジェットの動作を停止することを特徴とするエアシャワー装置。 An air shower device that removes dust by blowing clean air from which dust has been removed by a filter onto a person or article in the device by an air jet,
A static eliminator that generates ions that neutralize static electricity,
An electrostatic charge measuring device that measures the electrostatic potential of people and items in the device,
A timer device for setting the operating time of the air jet,
And a control unit,
The control unit is
According to the charge potential measured by the electrostatic charge measuring device, while changing the wind speed of the air jet,
The operation of the air jet is stopped when the operation time of the air jet reaches the operation time set by the timer device and the charging potential measured by the electrostatic charge measuring device becomes a predetermined potential or less. An air shower device characterized by. 請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位を表示することを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
An air shower device displaying the charging potential measured by the electrostatic charge measuring device. 請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記制御部は、前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位が高い場合には、前記エアジェットの風速を高速とし、帯電電位が低い場合には、前記エアジェットの風速を低速とすることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1 ,
When the charging potential measured by the electrostatic charge measuring device is high, the control unit sets the wind speed of the air jet to high speed, and when the charging potential is low, sets the wind speed of the air jet to low speed. And an air shower device. 請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記制御部は、人が装置内へ入室したことを検知して、前記エアジェットおよび前記静電気除去装置を動作させることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
The air shower device, wherein the control unit operates to operate the air jet and the static electricity removing device by detecting that a person has entered the device. 請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記制御部は、少なくとも前記エアジェットが動作中は、ダーティ側インターロックおよびクリーン側インターロックを動作させることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
The air shower device, wherein the controller operates the dirty side interlock and the clean side interlock at least while the air jet is operating. 請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記エアジェットは、ファンと該ファンを駆動するモータを備えることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
The air jet device includes a fan and a motor for driving the fan. エアジェットにより、フィルタで塵埃を除去した清浄な空気を装置内の人や物品に吹き付けて塵埃を除去するエアシャワー装置であって、
静電気を中和するイオンを発生する静電気除去装置と、
装置内の人や物品の帯電電位を測定する静電気電荷測定器と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、前記静電気電荷測定器で測定した帯電電位が高い場合には、前記エアジェットの風速を高速とし、帯電電位が低い場合には、前記エアジェットの風速を低速とすることを特徴とするエアシャワー装置。 An air shower device that removes dust by blowing clean air from which dust has been removed by a filter onto a person or article in the device by an air jet,
A static eliminator that generates ions that neutralize static electricity,
An electrostatic charge measuring device that measures the electrostatic potential of people and items in the device,
And a control unit,
When the charging potential measured by the electrostatic charge measuring device is high, the control unit sets the wind speed of the air jet to high speed, and when the charging potential is low, sets the wind speed of the air jet to low speed. And an air shower device.
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