JP6682403B2 - 絶縁基板の製造方法及び絶縁基板 - Google Patents
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Description
前記仮工程する工程の後で、前記金属質層と前記ブレージングシートとセラミック製絶縁層を積層状にろう付けにより一括して接合する工程と、を含む絶縁基板の製造方法。
前記搭載面は、前記発熱性素子が接合される接合予定領域と前記発熱性素子が接合されない非接合予定領域とを含んでおり、
前記仮固定する工程では、前記重合体を前記金属質層の前記搭載面の前記非接合予定領域にて局部的に塑性加工する前項1記載の絶縁基板の製造方法。
前記接合する工程は、前記平坦化加工する工程の後で行われる前項1又は2記載の絶縁基板の製造方法。
さらに、
前記金属質層と前記ブレージングシートのうち少なくとも一方に前記ブレージングシートの前記金属質層への仮固定部として局部的に形成された塑性加工部と、
前記金属質層と前記ブレージングシートを接合した第1ろう付け部と、
前記ブレージングシートと前記絶縁層を接合した第2ろう付け部と、を備えた絶縁基板。
本実施例1では、図1〜8に示した上述した第1実施形態の絶縁基板1を以下の製造方法により製造した。
本実施例2では、図9及び10に示した上述した第2実施形態の絶縁基板101を以下の製造方法により製造した。
2:配線層(アルミニウム基複合材層)
3:搭載面
4:ブレージングシート
5:ブレージングシートの絶縁層側の表面
6:絶縁層
8:緩衝層
12:冷却部材
14:重合体
15:塑性加工部(仮固定部)
Claims (5)
- 金属質層とブレージングシートを重合した重合体を局部的に塑性加工することにより前記金属質層に前記ブレージングシートを前記金属質層に対し重合した状態に仮固定する工程と、
前記仮固定する工程の後で、前記金属質層と前記ブレージングシートとセラミック製絶縁層を積層状にろう付けにより一括して接合する工程と、を含む絶縁基板の製造方法。 - 前記金属質層は、発熱性素子が搭載される搭載面を有しており、
前記搭載面は、前記発熱性素子が接合される接合予定領域と前記発熱性素子が接合されない非接合予定領域とを含んでおり、
前記仮固定する工程では、前記重合体を前記金属質層の前記搭載面の前記非接合予定領域にて局部的に塑性加工する請求項1記載の絶縁基板の製造方法。 - 前記仮固定する工程の後で、前記重合体の塑性加工部を前記ブレージングシートの前記絶縁層側の表面が平坦状になるように平坦化加工する工程を更に含んでおり、
前記接合する工程は、前記平坦化加工する工程の後で行われる請求項1又は2記載の絶縁基板の製造方法。 - 前記金属質層は、炭素粒子を含有するアルミニウム基複合材層を含む請求項1〜3のいずれかに記載の絶縁基板の製造方法。
- 積層状に配置された金属質層とブレージングシートとセラミック製絶縁層を備えるとともに、
さらに、
前記金属質層と前記ブレージングシートのうち少なくとも一方に前記ブレージングシートの前記金属質層への仮固定部として局部的に形成された塑性加工部と、
前記金属質層と前記ブレージングシートを接合した第1ろう付け部と、
前記ブレージングシートと前記絶縁層を接合した第2ろう付け部と、を備えた絶縁基板。
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