JP6667576B2 - 搬送装置、基板処理装置及び搬送方法 - Google Patents
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Description
50 ウエハボート
60 ウエハ搬送装置
63 フォーク
66 位置検出センサ
67 温度センサ
80 熱処理炉
100 制御部
P1 待機位置
P2 測定位置
W ウエハ
Claims (7)
- 温度センサが配置され、被搬送物の温度を測定する測定位置と、前記測定位置から隔離された待機位置との間で移動する移載機と、
前記移載機の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記測定位置と前記待機位置との間で前記移載機を移動させ、前記測定位置において前記温度センサにより測定される温度が第1の時間継続して閾値以下である場合、前記移載機により前記被搬送物を搬送させ、
前記測定位置において前記温度が前記第1の時間内に前記閾値を超えた場合、前記移載機を前記待機位置に移動させ、前記待機位置において第2の時間が経過した後、前記移載機を再び前記測定位置に移動させる、
搬送装置。 - 前記第1の時間及び前記第2の時間は、前記温度センサの特性に基づいて定められる、
請求項1に記載の搬送装置。 - 前記移載機には、前記被搬送物の位置を検出する位置検出センサが配置され、
前記制御部は、前記位置検出センサにより検出される前記被搬送物の位置が正常であるか否かを判定し、前記被搬送物の位置が正常である場合、前記移載機を前記測定位置に移動させる、
請求項1又は2に記載の搬送装置。 - 前記被搬送物は、複数の基板を上下方向に所定間隔を有して略水平に保持することができる基板保持具に保持される基板である、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の搬送装置。 - 熱処理炉と、
複数の基板を保持した状態で前記熱処理炉に収容可能な基板保持具と、
温度センサが配置され、前記複数の基板の温度を測定する測定位置と、前記測定位置から隔離された待機位置との間で移動する移載機と、
前記移載機の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記測定位置と前記待機位置との間で前記移載機を移動させ、前記測定位置において前記温度センサにより測定される温度が第1の時間継続して閾値以下である場合、前記移載機により前記基板保持具から前記複数の基板を搬出させ、
前記測定位置において前記温度が前記第1の時間内に前記閾値を超えた場合、前記移載機を前記待機位置に移動させ、前記待機位置において第2の時間が経過した後、前記移載機を再び前記測定位置に移動させる、
基板処理装置。 - 前記制御部は、前記熱処理炉から前記基板保持具を搬出してから前記複数の基板の搬出を開始するまでの時間に基づいて、前記複数の基板を冷却する能力が正常であるか否かを診断する、
請求項5に記載の基板処理装置。 - 温度センサが配置された移載機を、被搬送物の温度を測定する測定位置と、前記測定位置から隔離された待機位置との間で移動させ、前記測定位置において前記温度センサにより測定される温度が第1の時間継続して閾値以下である場合、前記被搬送物を搬送し、前記測定位置において前記温度が前記第1の時間内に前記閾値を超えた場合、前記移載機を前記待機位置に移動させ、前記待機位置において第2の時間が経過した後、前記移載機を再び前記測定位置に移動させる、
搬送方法。
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