JP6658335B2 - Image display device and image projection device - Google Patents

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JP6658335B2 JP2016126428A JP2016126428A JP6658335B2 JP 6658335 B2 JP6658335 B2 JP 6658335B2 JP 2016126428 A JP2016126428 A JP 2016126428A JP 2016126428 A JP2016126428 A JP 2016126428A JP 6658335 B2 JP6658335 B2 JP 6658335B2
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Description

本発明は、画像表示装置および画像投射装置に関するものである。   The present invention relates to an image display device and an image projection device.

光源と、照明光学系と、画像表示素子を有する画像表示装置が、例えばプロジェクタに使用されている。画像表示素子として、近年では、多数のマイクロミラーを平面に配列したデジタル・マイクロミラー・デバイス(以下「DMD」という)が多用されている。DMDは反射型の画像表示素子である。DMDに照明光学系から照明光を照射し、DMDの各マイクロミラーの傾きを制御して照明光の反射方向をオン・オフ制御することにより、画像を表示することができる。   An image display device having a light source, an illumination optical system, and an image display element is used in, for example, a projector. In recent years, a digital micromirror device (hereinafter, referred to as “DMD”) in which many micromirrors are arranged in a plane has been frequently used as an image display element. DMD is a reflection type image display device. An image can be displayed by irradiating the DMD with illumination light from the illumination optical system and controlling the inclination of each micromirror of the DMD to control the reflection direction of the illumination light on / off.

従来のDMDのほとんどは、マイクロミラーの回転軸が1軸で、1軸を中心としたマイクロミラーの回転態様によって、マイクロミラーに入射する照明光の反射方向をオン方向とオフ方向に切り替える。   In most conventional DMDs, the rotation axis of the micromirror is one axis, and the direction of reflection of the illumination light incident on the micromirror is switched between the on direction and the off direction according to the rotation mode of the micromirror about one axis.

近年は、表示画像の高精細化が求められることによってDMDのマイクロミラー(以下「可動ミラー」という)の微細化が進み、それに伴ってマイクロミラーによる光の回折が解決課題になっている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1には、上記課題を解決するために、入射光線と、可動ミラーのピッチ、傾き角度、回折の条件が記載されている。上記光の回折による不具合を解消するために、可動ミラーの回転角を大きくすることも有効である。   In recent years, the demand for higher definition of displayed images has led to the miniaturization of micromirrors (hereinafter referred to as “movable mirrors”) of DMDs, and light diffraction by the micromirrors has been a problem to be solved (eg, And Patent Document 1). Patent Literature 1 describes an incident light beam, a pitch, an inclination angle, and diffraction conditions of a movable mirror in order to solve the above problem. It is also effective to increase the rotation angle of the movable mirror in order to solve the problem caused by the light diffraction.

可動ミラーを、直交する2軸を中心に回転可能にしたDMDも公表されている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2のFig.29には、回折光が直交する2軸方向に延び、回折光が投影レンズに入射することを避ける様子が記載されている。   A DMD in which a movable mirror is rotatable about two orthogonal axes has also been disclosed (for example, see Patent Document 2). FIG. 29 describes a state in which the diffracted light extends in two orthogonal directions and avoids the diffracted light from entering the projection lens.

しかしながら、前述のような2軸を中心として回転するDMDの可動ミラーによる回折光は、特許文献2に記載されているような回折光に限らない。DMDの可動ミラーの配列が2次元であることにより原理的に生ずる回折光があり、表示画像のコントラスト比を高めるためには、かかる回折光を低減する必要がある。   However, the light diffracted by the movable mirror of the DMD rotating about two axes as described above is not limited to the diffracted light described in Patent Document 2. There is diffracted light that occurs in principle due to the two-dimensional arrangement of the movable mirrors of the DMD. In order to increase the contrast ratio of a displayed image, it is necessary to reduce such diffracted light.

本発明は、コントラストを高めることができる画像表示装置および画像投影装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an image display device and an image projection device that can enhance contrast.

本発明は、
光源、照明光学系、画像表示素子を有し、
前記画像表示素子は反射型であり可動ミラーが複数配列されて矩形の画像表示面を形成し、
前記各可動ミラーは、第1の方向に傾いて前記画像表示素子に入射する光線を第1の反射方向に反射してオン光を生成し、第1の方向と異なる第2の方向に傾いて前記画像表示素子に入射する光線を前記第1の反射方向とは異なる第2の反射方向に反射してオフ光を生成し、
前記照明光学系から前記画像表示素子に入射する入射光は、その主光線が前記画像表示面の法線に対し角度を持って入射し、
前記入射光の前記法線との角度を入射角、前記入射光の前記画像表示面の辺に対してなす角度を方位角とし、
前記可動ミラーの前記第2の方向への傾き角をα(°)、前記可動ミラーが前記第2の方向に傾いたとき前記入射光の前記可動ミラーへの入射角が小さくなる側への方位角の変化をプラス、前記入射光の前記可動ミラーへの入射角が大きくなる側への方位角の変化をマイナスとしたとき、
前記画像表示面の略中央において、前記入射角は2α+1(°)以上であり、前記入射光の方位角はマイナスであることを最も主要な特徴とする。
The present invention
Having a light source, an illumination optical system, and an image display element,
The image display element is a reflection type, a plurality of movable mirrors are arranged to form a rectangular image display surface,
Each of the movable mirrors reflects a light ray incident on the image display element while being inclined in a first direction in a first reflection direction to generate ON light, and is inclined in a second direction different from the first direction. Light rays incident on the image display element are reflected in a second reflection direction different from the first reflection direction to generate off-light,
Incident light incident on the image display element from the illumination optical system, its principal ray is incident at an angle with respect to the normal to the image display surface,
Angle of the incident light with respect to the normal line is an incident angle, and an angle between the incident light and a side of the image display surface is an azimuth angle.
The inclination angle of the movable mirror in the second direction is α (°), and the azimuth to the side where the incident angle of the incident light on the movable mirror becomes smaller when the movable mirror is inclined in the second direction. When the change of the angle is plus, and the change of the azimuth to the side where the incident angle of the incident light to the movable mirror is larger is minus,
At the substantially center of the image display surface, the main feature is that the incident angle is 2α + 1 (°) or more and the azimuth of the incident light is minus.

各可動ミラーが異なる方向の2軸を中心に傾く画像表示素子を有する画像表示装置において、コントラストを高めることができる。   In an image display device having an image display element in which each movable mirror is inclined about two axes in different directions, the contrast can be increased.

本発明に係る画像表示装置および画像投射装置の実施例を示す光学配置図である。It is an optical arrangement diagram showing an example of an image display device and an image projection device concerning the present invention. 前記実施例中の画像表示素子としてのDMDの例を示すもので、(a)は正面図、(b)は各可動ミラーの2つの回転軸方向を示す概念図、(c)は1つの回転軸を中心に可動ミラーが回転した様子を示す斜視図、(d)は他の1つの回転軸を中心に可動ミラーが回転した様子を示す斜視図である。FIGS. 4A and 4B show examples of a DMD as an image display element in the embodiment, in which FIG. 4A is a front view, FIG. 4B is a conceptual diagram showing two rotation axis directions of each movable mirror, and FIG. FIG. 9 is a perspective view illustrating a state where the movable mirror rotates about an axis, and FIG. 10D is a perspective view illustrating a state where the movable mirror rotates about another rotation axis. 前記DMDへの入射光の入射角および方位角の定義を説明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view for describing definitions of an incident angle and an azimuth of incident light on the DMD. DMDへの入射光の入射方向の一例と前記方位角のプラスまたはマイナス方向への変化の定義を説明するための図で、(a)はDMDの正面図、(b)は1つの回転軸を中心に可動ミラーが回転した様子を示す斜視図、(c)は他の1つの回転軸を中心に可動ミラーが回転した様子を示す斜視図である。FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining an example of an incident direction of incident light on a DMD and a definition of a change in the azimuth angle in a plus or minus direction, wherein FIG. 7A is a front view of the DMD, and FIG. FIG. 7C is a perspective view illustrating a state in which the movable mirror rotates around the center, and FIG. 7C is a perspective view illustrating a state in which the movable mirror rotates around another rotation axis. DMDへの入射光の入射方向の別の例と前記方位角のプラスまたはマイナス方向への変化の定義を説明するための図で、(a)はDMDの正面図、(b)は1つの回転軸を中心に可動ミラーが回転した様子を示す斜視図、(c)は他の1つの回転軸を中心に可動ミラーが回転した様子を示す斜視図である。FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining another example of the incident direction of the incident light on the DMD and the definition of the change in the azimuth angle in the plus or minus direction, where FIG. 9A is a front view of the DMD and FIG. FIG. 7C is a perspective view illustrating a state in which the movable mirror rotates about an axis, and FIG. 9C is a perspective view illustrating a state in which the movable mirror rotates about another rotation axis. 比較例によるオン光の照度分布を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the illuminance distribution of ON light by a comparative example. 前記比較例によるオフ光の照度分布を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the illuminance distribution of the off light by the said comparative example. 前記比較例による回折光の様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the mode of the diffracted light by the said comparative example. 図8に示す回折光の様子を線図で表した模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a state of the diffracted light illustrated in FIG. 8 in a diagram. 前記比較例によるオフ光の回折光とオン光との分離について示す模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating separation of off-light diffracted light and on-light according to the comparative example. 本発明の実施例によるオフ光の回折光とオン光との分離について示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating separation of off-light diffracted light and on-light according to an embodiment of the present invention. 本発明に係る画像表示装置および画像投射装置の別の実施例を示す光学配置図である。FIG. 4 is an optical layout diagram showing another embodiment of the image display device and the image projection device according to the present invention. DMD、オン光、オフ光、入射角、方位角の関係を立体的に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows three-dimensionally the relationship of DMD, ON light, OFF light, an incident angle, and an azimuth. DMDからの反射光であるオフ光が所定の位置に到達する様子を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a state in which off-light that is reflected light from a DMD reaches a predetermined position. オン光とオフ光が所定の位置に到達するまでのエネルギーに関するグラフであって、(a)はエネルギー強度の変化を、(b)は変化の差分を示す。5 is a graph relating to the energy until the ON light and the OFF light reach a predetermined position, where (a) shows a change in energy intensity and (b) shows a difference between the changes. 個体光源を用いる場合の光源部の例を示す光学配置図である。FIG. 3 is an optical layout diagram illustrating an example of a light source unit when an individual light source is used. 個体光源を用いる場合の光源部の別の例を示す光学配置図である。FIG. 9 is an optical layout diagram illustrating another example of a light source unit when an individual light source is used. 個体光源を用いる場合の光源部のさらに別の例を示す光学配置図である。FIG. 11 is an optical layout diagram showing still another example of a light source unit when using an individual light source. 本発明に係る画像表示装置および画像投射装置のさらに別の実施例であって入射角と方位角の調整機構を有する実施例の光学配置図である。FIG. 11 is an optical layout diagram of still another embodiment of the image display device and the image projection device according to the present invention, the embodiment having a mechanism for adjusting an incident angle and an azimuth angle. 入射角と方位角の調整機構の別の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows another example of the adjustment mechanism of an incident angle and an azimuth. DMDに入射する照明光の配光分布の例を示す模式図で、(a)は照明角が小さい場合を、(b)照明角が大きい場合を示す。5A and 5B are schematic diagrams illustrating an example of a light distribution of illumination light incident on a DMD, wherein FIG. 7A illustrates a case where the illumination angle is small and FIG. 7B illustrates a case where the illumination angle is large.

以下、本発明に係る画像表示装置および画像投射装置の実施例について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of an image display device and an image projection device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

画像表示装置および画像表示装置で表示される画像を投射する画像投射装置すなわちプロジェクタの光学系全体を図1に示す。図1に示す光学系はテレセントリックである。図1に示す光学系全体のうち、画像表示装置は、ランプからなる光源10、照明光学系20、画像表示素子としてのDMD30を有してなる。   FIG. 1 shows the entire optical system of an image display device and an image projection device that projects an image displayed on the image display device, that is, a projector. The optical system shown in FIG. 1 is telecentric. 1, the image display device includes a light source 10 composed of a lamp, an illumination optical system 20, and a DMD 30 as an image display element.

光源10から出射する照明光は、防爆ガラス11、カラーホイール12、ライトトンネル13を経て照明光学系20に導かれる。防爆ガラス11、カラーホイール12およびライトトンネル13それぞれの構成および機能は周知のとおりである。   Illumination light emitted from the light source 10 is guided to an illumination optical system 20 through an explosion-proof glass 11, a color wheel 12, and a light tunnel 13. The configurations and functions of each of the explosion-proof glass 11, the color wheel 12, and the light tunnel 13 are well known.

照明光学系20は、前記照明光を導き入れる第1リレーレンズ21、第2リレーレンズ22と、導き入れる照明光の向きを折り曲げるミラー23を有する。照明光学系20はまた、ミラー23で反射される照明光を全反射プリズム26に導く第3リレーレンズ24、第4リレーレンズ25を有する。全反射プリズム26は、二つの三角柱状のプリズムが接合されたもので、導入される照明光を反射してDMD30に照射し、DMD30からの反射光を外部に向けて出射する。   The illumination optical system 20 has a first relay lens 21 and a second relay lens 22 for guiding the illumination light, and a mirror 23 for bending the direction of the illumination light to be guided. The illumination optical system 20 also has a third relay lens 24 and a fourth relay lens 25 that guide the illumination light reflected by the mirror 23 to the total reflection prism 26. The total reflection prism 26 is formed by joining two triangular prisms, reflects the introduced illumination light to irradiate the DMD 30, and emits the reflected light from the DMD 30 to the outside.

図1に示す例では、全反射プリズム26の下面に、カバーガラス31を介してDMD30が配置され、DMD30による反射光が全反射プリズム26の上面から出射する構成になっている。全反射プリズム26の上方に投射光学系40が配置されている。   In the example shown in FIG. 1, the DMD 30 is arranged on the lower surface of the total reflection prism 26 via the cover glass 31, and the light reflected by the DMD 30 is emitted from the upper surface of the total reflection prism 26. The projection optical system 40 is arranged above the total reflection prism 26.

光源10から照明光学系20およびDMD30までの各素子は、金属性あるいはプラスチック製のハウジングで保持されている。投射光学系40は鏡筒に収められ、前記ハウジングに固定されている。これらの部品乃至は部材以外にも、冷却ファン、放熱フィン、電気回路等があり、それぞれ適宜の筐体に収められている。   Each element from the light source 10 to the illumination optical system 20 and the DMD 30 is held by a metal or plastic housing. The projection optical system 40 is housed in a lens barrel and fixed to the housing. In addition to these parts or members, there are a cooling fan, a radiation fin, an electric circuit, and the like, each of which is housed in an appropriate housing.

DMD30は、周知の通り、反射型の素子であり可動ミラーが複数縦横に配列されて矩形の画像表示面を形成している。周知のDMDは、個々の可動ミラーが1つの軸を中心に回転して、入射する光線を特定の方向に反射するオン光の生成態様と、前記特定の方向とは異なる方向に反射するオフ光の生成態様を取ることができる。本発明に用いられるDMD30は、個々の可動ミラーが、互いに異なる方向の第1の回転軸と第2の回転軸を持っていることが特徴になっている。DMD30の具体的な構成については後で説明する。   As is well known, the DMD 30 is a reflection-type element, and a plurality of movable mirrors are arranged vertically and horizontally to form a rectangular image display surface. A well-known DMD is a method of generating an ON light in which each movable mirror rotates about one axis to reflect an incident light beam in a specific direction, and an OFF light that reflects an incident light beam in a direction different from the specific direction. Can be taken. The DMD 30 used in the present invention is characterized in that each movable mirror has a first rotation axis and a second rotation axis in directions different from each other. The specific configuration of the DMD 30 will be described later.

光源10から出射する照明光は、防爆ガラス11、カラーホイール12、ライトトンネル13を経て照明光学系20に導入される。照明光学系20内において、照明光は、第1リレーレンズ21、第2リレーレンズ22、ミラー23、第3リレーレンズ24、第4リレーレンズ25、全反射プリズム26を経てDMD30に入射する。   Illumination light emitted from the light source 10 is introduced into an illumination optical system 20 through an explosion-proof glass 11, a color wheel 12, and a light tunnel 13. In the illumination optical system 20, the illumination light enters the DMD 30 via a first relay lens 21, a second relay lens 22, a mirror 23, a third relay lens 24, a fourth relay lens 25, and a total reflection prism 26.

[DMDの構成と動作]
図2(a)に示すように、DMD30は、一辺が数μmから十数μmの微小な可動ミラー32が多数、縦方向と横方向に配列され、矩形の画像表示面を形成している。可動ミラー32が一方向に傾き、また異なる方向に傾くことにより、入射する光を互いに異なる方向に反射する。可動ミラー32が一方向に傾くと、DMD30に入射する光は、全反射プリズム26と投射光学系40を経てスクリーンに到達する。この場合の可動ミラー32による反射光をオン光とする。
[Configuration and operation of DMD]
As shown in FIG. 2A, the DMD 30 has a large number of small movable mirrors 32 each having a side of several μm to several tens μm, which are arranged in the vertical and horizontal directions to form a rectangular image display surface. When the movable mirror 32 is tilted in one direction and in another direction, incident light is reflected in different directions. When the movable mirror 32 is tilted in one direction, the light incident on the DMD 30 reaches the screen via the total reflection prism 26 and the projection optical system 40. In this case, the light reflected by the movable mirror 32 is defined as ON light.

可動ミラー32が前記異なる方向に傾くと、DMD30に入射する光は、オン光とは異なる方向に反射され、全反射プリズム26を経て、投射光学系40から外れる方向に出射する。この場合の可動ミラー32による反射光をオフ光とする。   When the movable mirror 32 is tilted in the different direction, the light incident on the DMD 30 is reflected in a direction different from the ON light, and is emitted through the total reflection prism 26 in a direction away from the projection optical system 40. In this case, the light reflected by the movable mirror 32 is referred to as off light.

全反射プリズム26は、全反射プリズム26を構成する面への入射角の違いにより、反射か透過かを区別する。全反射プリズム26は、可動ミラー32で生成されるオン光に対してはオン状態となってオン光を投射光学系40に向かって透過する。全反射プリズム26は、可動ミラー32で生成されるオフ光に対してはオフ状態となり、オフ光を投射光学系40から外れる向きに反射する。   The total reflection prism 26 distinguishes between reflection and transmission based on the difference in the angle of incidence on the surface constituting the total reflection prism 26. The total reflection prism 26 is turned on with respect to the ON light generated by the movable mirror 32 and transmits the ON light toward the projection optical system 40. The total reflection prism 26 is turned off with respect to the off light generated by the movable mirror 32, and reflects the off light in a direction away from the projection optical system 40.

図2(a)はDMDを正面から見た図で、正方形状の無数の画素が縦横方向に配列されている。前記画素は可動ミラー32からなる。可動ミラー32はマイクロミラーともいわれるもので、図2(a)では可動ミラー32を間引いて描いている。実際に配列される可動ミラー32の数は、例えば、800×1200というように、無数の可動ミラー32が配列されている。個々の可動ミラー32が画素になっている。各可動ミラー32は通常図2(b)示すように正方形で、正方形の一辺の長さは、例えば5.4μmである。   FIG. 2A is a view of the DMD as viewed from the front, where countless square pixels are arranged in the vertical and horizontal directions. The pixel comprises a movable mirror 32. The movable mirror 32 is also called a micromirror, and in FIG. 2A, the movable mirror 32 is thinned out. The number of movable mirrors 32 actually arranged is, for example, 800 × 1200, and an infinite number of movable mirrors 32 are arranged. Each movable mirror 32 is a pixel. Each movable mirror 32 is usually a square as shown in FIG. 2B, and the length of one side of the square is, for example, 5.4 μm.

次に、可動ミラー32の動きについて説明する。可動ミラー32は図2(c)および(d)に示すように、2つの回転軸を中心に回転して傾くことができる。図2において、可動ミラー32の一辺と平行な方向をx方向、x方向に直交する方向の可動ミラー32の辺と平行な方向をy方向とする。図2(c)に示すように、可動ミラー32はy方向の回転軸を中心に回転して傾くことができる。このy方向の回転軸を第1の回転軸とする。可動ミラー32は、第1の回転軸を中心に第1の方向に傾くことによってDMD30に入射する光線を第1の反射方向に反射してオン光を生成する。   Next, the movement of the movable mirror 32 will be described. As shown in FIGS. 2C and 2D, the movable mirror 32 can rotate and tilt about two rotation axes. In FIG. 2, a direction parallel to one side of the movable mirror 32 is defined as an x direction, and a direction parallel to the side of the movable mirror 32 in a direction orthogonal to the x direction is defined as a y direction. As shown in FIG. 2C, the movable mirror 32 can rotate around the rotation axis in the y direction and tilt. This rotation axis in the y direction is defined as a first rotation axis. The movable mirror 32 inclines in the first direction about the first rotation axis to reflect the light beam incident on the DMD 30 in the first reflection direction to generate ON light.

図2(d)に示すように、可動ミラー32は、x方向の回転軸を中心に回転して傾くことができる。このx方向の回転軸を第2の回転軸とする。可動ミラー32は、第2の回転軸を中心に第2の方向に傾くことによってDMD30に入射する光線を第2の反射方向に反射してオフ光を生成する。   As shown in FIG. 2D, the movable mirror 32 can rotate and tilt about a rotation axis in the x direction. This rotation axis in the x direction is defined as a second rotation axis. The movable mirror 32 inclines in the second direction about the second rotation axis to reflect light rays incident on the DMD 30 in the second reflection direction to generate off-light.

前記第1の回転軸および第2の回転軸を中心として可動ミラー32が回転したときの、可動ミラー32の反射面すなわちx−y平面に対する傾き角あるいは回転角をそれぞれα(°)とする。   When the movable mirror 32 rotates about the first rotation axis and the second rotation axis, the inclination angle or the rotation angle of the movable mirror 32 with respect to the reflection surface, that is, the xy plane, is α (°).

以上、可動ミラー32の第1、第2の回転軸が、可動ミラー32の辺と平行なものとして説明した。現実には、矩形の可動ミラーの対角を結ぶ線に沿った2つの軸を第1、第2の回転軸とするものがあるが、技術思想には何ら変わりがないから、引き続きx方向とy方向の2つの回転軸を有するものとして説明する。   As described above, the first and second rotation axes of the movable mirror 32 have been described as being parallel to the sides of the movable mirror 32. In reality, two axes along the line connecting the diagonals of the rectangular movable mirror are used as the first and second rotation axes. However, since the technical idea does not change at all, the x axis continues to be in the x direction. The description will be made assuming that two rotation axes are provided in the y direction.

[可動ミラーへの入射角と方位角]
画像投影装置に用いる画像表示装置の性能を評価する要素として、投射される画像の品質があり、その中でもコントラスト比すなわち明暗比がある。画像表示素子としてDMDを用いた場合、オフ光が投射光学系40に侵入するとコントラスト比が低下し、投射される画像の品質が落ちる。コントラスト比を決定する要素の一つに、可動ミラー32の法線に対する入射角があり、好ましい入射角に関して提案されている。本発明の実施例では、入射角に止まらず、DMDの画像表示面の辺に対してなす角度すなわち方位角に関しても考慮している。方位角に関しては、従来の技術では顧みられなかった。
[Incident angle and azimuth angle to movable mirror]
Factors for evaluating the performance of an image display device used in an image projection device include the quality of a projected image, and among them, there is a contrast ratio, that is, a contrast ratio. When the DMD is used as the image display element, when the off-light enters the projection optical system 40, the contrast ratio decreases, and the quality of the projected image deteriorates. One of the factors that determine the contrast ratio is the angle of incidence with respect to the normal of the movable mirror 32, and has been proposed for a preferred angle of incidence. In the embodiment of the present invention, not only the incident angle but also the angle formed with respect to the side of the image display surface of the DMD, that is, the azimuth is considered. Regarding the azimuth angle, it has not been considered in the prior art.

図3は、DMD30の画像表示面に対する入射光の入射角と方位角の関係を示している。画像表示面とは、可動ミラー32が配列されることによって形成される面と定義する。この画像表示面に対する法線Nと入射光線INの成す角を入射角(θ)と定義する。入射光線INと画像表示面の一辺であるy軸またはx軸に対して成す角を方位角(φ)と定義する。この例では、DMD30の長辺方向と平行な方向をy軸としている。図3に示すように、入射光線IN、画像表示面の法線Nおよび出射光線OUTは同一平面内にある。また、画像表示面の法線Nは、投射レンズの光軸O(図1参照)と平行である   FIG. 3 shows the relationship between the incident angle and the azimuth of the incident light on the image display surface of the DMD 30. The image display surface is defined as a surface formed by arranging the movable mirrors 32. The angle formed by the normal line N and the incident light IN with respect to the image display surface is defined as an incident angle (θ). The angle formed between the incident light IN and the y-axis or x-axis which is one side of the image display surface is defined as an azimuth (φ). In this example, the direction parallel to the long side direction of the DMD 30 is set as the y-axis. As shown in FIG. 3, the incident light IN, the normal N of the image display surface, and the output light OUT are in the same plane. The normal line N of the image display surface is parallel to the optical axis O of the projection lens (see FIG. 1).

図4(a)は、DMD30の短辺方向右側から照明光が入射する場合を示している。照明光は画像表示面の法線に対して、ある入射角(θ)をもって入射し、入射角と同じ出射角(θ)をもって出射する。図4(b)(c)は一つの可動ミラー32を拡大して示しており、図4(b)はオフ状態、(c)はオン状態である。可動ミラー32がオン状態にある場合、可動ミラー32で反射される光は、DMD30の上方に設置されている投射光学系40に入射する。可動ミラー32がオフ状態にある場合は、オン状態の場合とは別の方向に光が反射される。   FIG. 4A shows a case where the illumination light is incident from the right side in the short side direction of the DMD 30. The illuminating light is incident at a certain incident angle (θ) with respect to the normal to the image display surface, and is emitted at the same exit angle (θ) as the incident angle. FIGS. 4B and 4C show one movable mirror 32 in an enlarged manner. FIG. 4B shows an off state and FIG. 4C shows an on state. When the movable mirror 32 is in the ON state, the light reflected by the movable mirror 32 enters a projection optical system 40 installed above the DMD 30. When the movable mirror 32 is in the off state, light is reflected in a direction different from that in the on state.

図4(b)に示すように、可動ミラー32がオフ状態にあるとき、入射光に方位角を持たせる。すなわち画像表示面の一辺に対して入射光に角度を持たせる。可動ミラー32がオフ状態になるためにy軸方向の第1の回転軸を中心に回転したとき、可動ミラー32への入射光の入射角が小さくなる側への方位角の移動をプラス、反対側への方位角の移動をマイナスと定義する。   As shown in FIG. 4B, when the movable mirror 32 is in the off state, the incident light has an azimuth. That is, the incident light has an angle with respect to one side of the image display surface. When the movable mirror 32 is turned around the first rotation axis in the y-axis direction in order to be in the off state, the movement of the azimuth angle to the side where the incident angle of the incident light on the movable mirror 32 becomes smaller is plus and the opposite. The azimuth shift to the side is defined as minus.

照明光は、図5(a)に示すように、DMD30の長辺方向から入射させることもできる。図5(a)は、DMD30の長辺方向下側から照明光が入射する場合を示しており、図5(b)はオン状態、図5(c)はオフ状態を示す。可動ミラー32がオフ状態になるためにx軸方向の第2の回転軸を中心に回転したとき、可動ミラー32への入射光の入射角が小さくなる側への方位角の移動をプラス、反対側への方位角の移動をマイナスと定義する。   As shown in FIG. 5A, the illumination light can be made to enter from the long side direction of the DMD 30. FIG. 5A illustrates a case where the illumination light is incident from below the long side of the DMD 30. FIG. 5B illustrates an ON state, and FIG. 5C illustrates an OFF state. When the movable mirror 32 is turned around the second rotation axis in the x-axis direction in order to be in the off state, the movement of the azimuth angle to the side where the incident angle of the incident light on the movable mirror 32 becomes smaller is plus and the opposite. The azimuth shift to the side is defined as minus.

なお、図4、図5に示す例において、方位角の最適値は光学設計によって求めてもよく、あるいは調整手段を設けて調整によって最適値に調整するようにしてもよい。   In the examples shown in FIGS. 4 and 5, the optimal value of the azimuth may be obtained by optical design, or an adjusting means may be provided to adjust the optimal value by adjustment.

[入射角について]
本発明では、入射角を2×α°+1°以上とし、これに加えて、方位角を0°よりも小さくする。これは、以下に述べるように、投射光学系40のDMD30に最も近いレンズすなわち投射光学系第1レンズ41(図1参照)の直径内において、オフのときの回折光を、オン光から分離するための照明光学系20の条件である。
[About incident angle]
In the present invention, the incident angle is set to 2 × α ° + 1 ° or more, and in addition, the azimuth is set smaller than 0 °. This separates off diffracted light from on light within the diameter of the lens closest to the DMD 30 of the projection optical system 40, ie, within the diameter of the projection optical system first lens 41 (see FIG. 1), as described below. Of the illumination optical system 20 for the purpose.

図6は、幾何光学的な光線追跡シミュレーションにより求めたオン光の照度分布を示す。可動ミラー32は図4(c)に示す状態にあり、傾き角αは17°である。DMD30の画像表示面にある全ての可動ミラー32すなわち各画素がオンの状態、いわゆる全白(フルオン)である。投射光学系第1レンズ41の直径をDとすると、オン光ONの領域は投射光学系第1レンズ41の直径D内に分布している。   FIG. 6 shows the illuminance distribution of the ON light obtained by the geometrical ray tracing simulation. The movable mirror 32 is in the state shown in FIG. 4C, and the tilt angle α is 17 °. All the movable mirrors 32 on the image display surface of the DMD 30, that is, each pixel is in an ON state, that is, a so-called all white (full ON) state. Assuming that the diameter of the projection optical system first lens 41 is D, the ON light ON region is distributed within the diameter D of the projection optical system first lens 41.

図6は、本発明の実施例に対する比較例であって、入射角θは35.5°、方位角は0°の例である。これは、投射光学系第1レンズ41の、DMD30側における曲面頂点に接する平面での照度分布である。この照度分布の投射光が投射光学系40を経てスクリーンに投射される。この照度分布のx断面を図6(b)に、y方向の断面を図6(c)に示す。それぞれの方向の照度分布の最大値を、オン光ONの照度の最大値と定義する。   FIG. 6 shows a comparative example with respect to the embodiment of the present invention, in which the incident angle θ is 35.5 ° and the azimuth angle is 0 °. This is an illuminance distribution on a plane of the projection optical system first lens 41 that is in contact with the vertex of the curved surface on the DMD 30 side. The projection light having this illuminance distribution is projected on a screen via the projection optical system 40. FIG. 6B shows an x section of this illuminance distribution, and FIG. 6C shows a section in the y direction. The maximum value of the illuminance distribution in each direction is defined as the maximum value of the illuminance of the ON light ON.

図7に、幾何光学的な光線追跡シミュレーションにより求めたオフ光OFFの照度分布を示す。この照度分布は図4(b)に示す状態での照度分布であり、可動ミラー32の傾き角αは17°である。DMD30の画像表示面にある全ての可動ミラー32がオフ状態すなわち全黒(フルオフ)である。   FIG. 7 shows an illuminance distribution of off light OFF obtained by a geometrical optical ray tracing simulation. This illuminance distribution is the illuminance distribution in the state shown in FIG. 4B, and the tilt angle α of the movable mirror 32 is 17 °. All the movable mirrors 32 on the image display surface of the DMD 30 are in the off state, that is, all black (full off).

オン状態とオフ状態では可動ミラー32の傾き方向が異なる。オフ光OFFの分布領域は図7の左斜め上側に移行し、オフ光OFFは投射光学系第1レンズ41に入らない理想的な状態になる。したがって、オフ光OFFはスクリーンには到達せず、完全な黒表示となる。しかしながら、以下に述べる回折の影響により、可動ミラー32がオフ状態でもスクリーンに到達する光が生じ、完全な黒表示とはならない。   The tilt direction of the movable mirror 32 differs between the on state and the off state. The distribution region of the OFF light OFF shifts to the upper left side of FIG. 7, and the OFF light OFF is in an ideal state where it does not enter the first lens 41 of the projection optical system. Therefore, the off light OFF does not reach the screen, and complete black display is performed. However, even when the movable mirror 32 is in the off state, light reaching the screen is generated due to the influence of diffraction described below, and a complete black display is not obtained.

DMD30の全可動ミラー32がオン状態の場合を全白、このときのスクリーン上の照度を全白(照度)とし、全可動ミラー32がオフ状態の場合を全黒、このときのスクリーン上の照度を全黒(照度)とすると、コントラスト比は、次の式(1)で与えられる。
コントラスト比=全白(照度)/全黒(照度) 式(1)
The case where all the movable mirrors 32 of the DMD 30 are on is all white, the illuminance on the screen at this time is all white (illuminance), and the case where all the movable mirrors 32 is off is all black, the illuminance on the screen at this time Is all black (illuminance), the contrast ratio is given by the following equation (1).
Contrast ratio = all white (illuminance) / all black (illuminance) Equation (1)

あるいは、スクリーンを縦横それぞれ3等分して9分割したANSI(American National Standards Institute)によるコントラスト比も用いることができる。いずれにしても、全黒(照度)が大きくなるほどコントラスト比は小さくなり、画質的は低下する。   Alternatively, a contrast ratio based on ANSI (American National Standards Institute) obtained by dividing the screen into three equal parts vertically and horizontally and dividing the screen into nine parts can also be used. In any case, as the total black (illuminance) increases, the contrast ratio decreases, and the image quality deteriorates.

[回折光について]
DMD30の画素すなわち可動ミラー32のサイズは、例えば5.4μmと微小であるため、回折が生じ、これがコントラスト比を低下させる要因となる。回折光の影響を見るため、DMD30での回折を考慮した光線追跡シミュレーションを行った。その結果を図8に複数の斑点状のパターンで示す。図8において、左上に比較的大きい領域で示しているものは、図7の幾何光学的なオフ光OFFである。その周辺に複数の回折光が生じている。図7では、4つの領域に生じている回折光DF1,DF2,DF3,DF4が生じている様子を示している。これらの回折光以外にも回折光が生じるが、他の回折光は照度が低いため、図示を省略している。
[About diffracted light]
Since the size of the pixel of the DMD 30, that is, the size of the movable mirror 32 is as small as, for example, 5.4 μm, diffraction occurs, and this causes a reduction in the contrast ratio. In order to see the effect of the diffracted light, a ray tracing simulation was performed in consideration of the diffraction at the DMD 30. The result is shown in FIG. 8 by a plurality of spot-like patterns. In FIG. 8, what is indicated by a relatively large area at the upper left is the geometrical optical OFF light OFF in FIG. A plurality of diffracted lights are generated around it. FIG. 7 shows a state in which diffracted lights DF1, DF2, DF3, and DF4 generated in four regions are generated. Although diffracted light is generated in addition to these diffracted lights, the other diffracted lights have low illuminance and are not shown.

図7に、オフ光OFFの領域の中心から3方に向かって示した破線の矢印は、回折光が生じる方向を示している。回折光DF1,DF2は横方向すなわちy方向に生じている回折光であり、回折光DF3は縦方向すなわちx方向に生じている回折光である。さらに、回折光DF4のように、斜め方向に生じるものもある。   In FIG. 7, dashed arrows shown in three directions from the center of the OFF light OFF region indicate directions in which diffracted light is generated. The diffracted lights DF1 and DF2 are diffracted lights generated in the horizontal direction, that is, the y direction, and the diffracted light DF3 is a diffracted light generated in the vertical direction, that is, the x direction. Further, there is a diffracted light DF4 that is generated in an oblique direction.

これらの回折光のうち、y方向に生じた回折光の一部分が、そして斜めに生じた回折光は全体が、投射光学系第1レンズ41の直径D内に入っている。この回折光は、図6に示すオン光ONと比べると照度は小さいが、式(1)に従いコントラスト比の低下要因になる。   Among these diffracted lights, a part of the diffracted light generated in the y direction and the whole of the obliquely generated diffracted light are within the diameter D of the first lens 41 of the projection optical system. Although the illuminance of this diffracted light is smaller than that of the ON light ON shown in FIG. 6, it causes a decrease in the contrast ratio according to the equation (1).

オン光ON、オフ光OFF、オフ光の回折光DF1〜DF4、投射光学系第1レンズ41の関係を模式的に図9に示す。オフ光OFF、回折光DF2、回折光DF3は投射光学系第1レンズ41には入らない。しかし、回折光DF1の一部分と回折光DF4の全体は投射光学系第1レンズ41に入る。この回折光DF1とDF4のうち、オン光ONと重なる部分が、コントラスト比の主たる低下要因になる。   FIG. 9 schematically shows the relationship among the ON light ON, the OFF light OFF, the diffracted lights DF1 to DF4 of the OFF light, and the first lens 41 of the projection optical system. The OFF light OFF, the diffracted light DF2, and the diffracted light DF3 do not enter the projection optical system first lens 41. However, a part of the diffracted light DF1 and the whole of the diffracted light DF4 enter the first lens 41 of the projection optical system. A portion of the diffracted lights DF1 and DF4 that overlaps with the ON light ON is a main cause of a decrease in the contrast ratio.

これら回折光とオン光ONとが重なる部分の総和が、式(1)の分母となる。従って、オン光ONと重なる回折光を低減すれば、コントラスト比が高まる。ただし、回折光がオン光ONと重ならない場合であっても、投射光学系40の内部での反射、散乱によって迷光となり、コントラスト比の低下になる。よって、回折光とオン光ONはできるだけ分離することが好ましい。あるいは、遮光部材により遮光するとよい。回折光を示す符号に付けた数字は便宜的なものであり、回折次数を表すものではない。   The sum of the overlapping portions of the diffracted light and the ON light ON is the denominator of Expression (1). Therefore, if the diffracted light overlapping with the ON light ON is reduced, the contrast ratio is increased. However, even when the diffracted light does not overlap with the ON light ON, the light becomes stray light due to reflection and scattering inside the projection optical system 40, and the contrast ratio decreases. Therefore, it is preferable to separate the diffracted light and the ON light ON as much as possible. Alternatively, light may be blocked by a light blocking member. The number attached to the sign indicating the diffracted light is for convenience and does not represent the order of diffraction.

[入射角と方位角]
本発明は、前述の通り、DMD30への照明光の入射角と方位角を好適に設定することを特徴としており、これにより、オフ光の回折光がオン光と重なることを低減するものである。
[Incident angle and azimuth]
As described above, the present invention is characterized in that the incident angle and the azimuth of the illumination light to the DMD 30 are suitably set, thereby reducing the overlapping of the diffracted light of the off light with the on light. .

図6、図7、図8は、本発明の実施例に対する比較例であって、入射角θは35.5度、方位角Φは0度である。これら入射角θ、方位角Φは、DMD30の画像表示面の略中央に到達する主光線に関するものである。略中央とは、画像表示面の機械的な中央、若しくは、ライトトンネル13(図1参照)の光路中心に沿って光を出し、この光が照明光学系20を経て画像表示面に到達した位置とする。   6, 7, and 8 are comparative examples with respect to the embodiment of the present invention, in which the incident angle θ is 35.5 degrees and the azimuth angle Φ is 0 degrees. The incident angle θ and the azimuth angle Φ relate to the principal ray reaching substantially the center of the image display surface of the DMD 30. The approximate center is a position where light is emitted along the mechanical center of the image display surface or along the optical path center of the light tunnel 13 (see FIG. 1), and the light reaches the image display surface via the illumination optical system 20. And

これらオフ光の回折光とオン光との分離についてまとめたものを図10に示す。図10は、図6と図8を並べたもの、したがって、本発明の実施例に対する比較例である。図10の左上と右下の図は図6に示すオン光、左下は図8に示すオフの回折光である。オン光ONとオフ光OFFの照度の最大の位置の分離を定量化すると、x方向での分離は2.9mm,y方向での分離は2.6mmである   FIG. 10 shows a summary of the separation between the diffracted light of the off light and the on light. FIG. 10 is a comparison of FIG. 6 and FIG. 8, thus showing an embodiment of the present invention. The upper left and lower right diagrams in FIG. 10 show ON light shown in FIG. 6, and the lower left diagram shows OFF diffracted light shown in FIG. When quantifying the separation of the maximum position of the illuminance of the ON light ON and the OFF light OFF, the separation in the x direction is 2.9 mm and the separation in the y direction is 2.6 mm.

次に、本発明の前記実施例において、入射角36.0度、方位角マイナス3.4°の例を図11に示す。この場合も、入射角、方位角は、DMD30の画像表示面の略中央に到達する主光線に関するものである。略中央とは、DMD30の画像表示面の機械的な中央、若しくは、ライトトンネル13の光路中心に沿って光を出し、照明光学系20を経て画像表示面に到達した位置とする。   Next, FIG. 11 shows an example in which the incident angle is 36.0 degrees and the azimuth angle is minus 3.4 degrees in the embodiment of the present invention. Also in this case, the incident angle and the azimuth are related to the principal ray reaching substantially the center of the image display surface of the DMD 30. The substantially center is a position where light is emitted along the mechanical center of the image display surface of the DMD 30 or along the optical path center of the light tunnel 13 and reaches the image display surface via the illumination optical system 20.

図11は、前記比較例を基にして、入射角、方位角を調整したものである。これに合わせて投射光学系40の位置も変えている。図11に示すデータによれば、オン光ONとオフ回折光OFFとの分離は、x方向で3.7mm、y方向で5mmである。図10に示す比較例と比べて、オン光とオフ回折光との分離度合いがx方向で1.3倍、y方向で1.9倍大きくなることを確認した。また、投射光学系40を経てスクリーンに到達する回折光を含むオフ光の光量は、比較例1の場合を1とすると、前記実施例では0.5程度に低下した。   FIG. 11 is a graph in which the incident angle and the azimuth are adjusted based on the comparative example. The position of the projection optical system 40 is changed accordingly. According to the data shown in FIG. 11, the separation between the ON light ON and the OFF diffracted light OFF is 3.7 mm in the x direction and 5 mm in the y direction. Compared with the comparative example shown in FIG. 10, it was confirmed that the degree of separation between the ON light and the OFF diffracted light was increased by 1.3 times in the x direction and by 1.9 times in the y direction. Further, assuming that the amount of off-light including diffracted light that reaches the screen via the projection optical system 40 is 1 in Comparative Example 1, the amount of off-light is reduced to about 0.5 in the example.

次に、非テレセントリック光学系を用いた本発明に係る画像表示装置および画像投射装置の実施例について図12を参照しながら説明する。図12に示す実施例は、図1に示す実施例と比較すると、照明光学系に全反射プリズム26を使用していない点が異なっている。   Next, an embodiment of an image display device and an image projection device according to the present invention using a non-telecentric optical system will be described with reference to FIG. The embodiment shown in FIG. 12 is different from the embodiment shown in FIG. 1 in that the total reflection prism 26 is not used in the illumination optical system.

図12において、光源10、防爆ガラス11、カラーホイール12およびライトトンネル13が光源部を構成している。光源部に続き、リレーレンズ27、第1ミラー28および第2ミラー29がDMD30に照明光を照射する照明光学系を構成している。第1ミラー28は平面ミラー、第2ミラー29は凹の曲面ミラーである。DMD30はカバーガラス31で覆われている。DMD30の上方に投射光学系40が配置されている。投射光学系40は複数のレンズからなり、そのうちの投射光学系第1レンズ41は、DMD30に最も近いレンズである。光源10、ライトトンネル13、照明光学系、DMD30などの部材はハウジングによって保持され、投射光学系40は鏡胴で保持される。   12, a light source 10, an explosion-proof glass 11, a color wheel 12, and a light tunnel 13 constitute a light source unit. Following the light source section, the relay lens 27, the first mirror 28, and the second mirror 29 constitute an illumination optical system that irradiates the DMD 30 with illumination light. The first mirror 28 is a plane mirror, and the second mirror 29 is a concave curved mirror. DMD 30 is covered with cover glass 31. A projection optical system 40 is arranged above the DMD 30. The projection optical system 40 includes a plurality of lenses, of which the first lens 41 of the projection optical system is the lens closest to the DMD 30. Members such as the light source 10, the light tunnel 13, the illumination optical system, and the DMD 30 are held by a housing, and the projection optical system 40 is held by a lens barrel.

実施例2は、DMD30の画像表示面の略中央に到達する主光線に関して、入射角θは43.4°、方位角Φはマイナス1.2°である。略中央の意味は前述の通りである。これらの数値は設計により実現したものである。スクリーンに到達する回折光を含むオフ光の光量は、前記比較例の場合を1とすると0.81で、コントラストの低下要因が減少した。   In the second embodiment, the incident angle θ is 43.4 ° and the azimuth Φ is −1.2 ° with respect to the principal ray reaching the substantially center of the image display surface of the DMD 30. The meaning at substantially the center is as described above. These numerical values are realized by design. The light amount of the off-light including the diffracted light reaching the screen was 0.81, assuming that the case of the comparative example was 1, indicating that the factor of lowering the contrast was reduced.

図1に示す実施例1はテレセントリック光学系であり、全反射プリズム26が必要であったが、実施例2は非テレセントリック光学系であり、全反射プリズム26を用いる必要がない。このため、設計の自由度が高く、入射角、方位角を大きく取ることが可能であり、オフ時に投射光学系40に進入する回折光の量を低減することができる。   Embodiment 1 shown in FIG. 1 is a telecentric optical system and requires a total reflection prism 26, whereas Embodiment 2 is a non-telecentric optical system and does not require the use of a total reflection prism 26. Therefore, the degree of design freedom is high, the incident angle and the azimuth angle can be made large, and the amount of diffracted light that enters the projection optical system 40 when off can be reduced.

非テレセントリック光学系を用いた実施例2においても、入射角、方位角の調整機構を設置することができる。図22はこれらの調整機構の例を示す。図22は、図12に示す光学系において、照明光学系中の第2ミラー29とDMD30のみを示す。この調整機構は、第2ミラー29に直交する2つの軸を中心とする回転機構を有し、これらの軸を中心に第2ミラー29を回転させて、入射角と方位角を個別に調整できるようにしている。   In the second embodiment using the non-telecentric optical system, a mechanism for adjusting the incident angle and the azimuth can be provided. FIG. 22 shows examples of these adjustment mechanisms. FIG. 22 shows only the second mirror 29 and the DMD 30 in the illumination optical system in the optical system shown in FIG. This adjustment mechanism has a rotation mechanism about two axes orthogonal to the second mirror 29, and can rotate the second mirror 29 about these axes to individually adjust the incident angle and the azimuth. Like that.

[オン光とオフ光との分離]
図13は、DMD30、オン光ON、オフ光Off、入射角θ、方位角Φの関係を立体的に描いたものである。図13に示す例において方位角Φはマイナスである。照明光の入射光INの広がりすなわち照明角(半角)LdはF値でも表される。
[Separation of ON light and OFF light]
FIG. 13 three-dimensionally depicts a relationship among the DMD 30, the ON light ON, the OFF light Off, the incident angle θ, and the azimuth angle Φ. In the example shown in FIG. 13, the azimuth angle Φ is negative. The spread of the incident light IN of the illumination light, that is, the illumination angle (half angle) Ld is also represented by the F value.

ここで、オン光とオフ光との分離を、図13に示したオフ光OFFの主光線とオン光ONの主光線との間の角度で定量化する。ここでは、方位角の正負および大小と、分離角について考察する。   Here, the separation between the ON light and the OFF light is quantified by the angle between the OFF-light principal ray and the ON-light ON principal ray shown in FIG. Here, the positive and negative azimuths, the magnitude, and the separation angle are considered.

図14に示すように、DMD30を中心とした仮想的な半球を考える。DMD30の中心を通る水平方向の線を赤道50とし、DMD30の中心の真上に位置する半球の1点を頂点51とする。この半球は検出器であり、中心から半球に到達したエネルギーを、光線追跡計算によって計測する。図14ではDMD30からの反射光であるオフ光OFFがこの半球に到達する様子を模式的に示している。   As shown in FIG. 14, a virtual hemisphere centered on the DMD 30 is considered. A horizontal line passing through the center of the DMD 30 is defined as an equator 50, and one point of a hemisphere located directly above the center of the DMD 30 is defined as a vertex 51. This hemisphere is a detector, and measures the energy reaching the hemisphere from the center by ray tracing calculation. FIG. 14 schematically shows a state in which off light OFF, which is reflected light from DMD 30, reaches this hemisphere.

赤道50から天頂51に向かって半球に到達したエネルギーを積算していく。この積算したエネルギーをエンサークルドエナジーという。オフ光OFFの広がりに着目して、赤道50に最も近いオフ光と赤道50との角度をD1、赤道50から最も遠いオフ光と赤道50との角度をD2とする。オフ光OFFは角度D1と角度D2との間でエレルギーを持つ。エネルギーの積算のされ方は、入射角θ、方位角Φ、照明角Ld(図13参照)と、配光分布に依存する。   The energy that reaches the hemisphere from the equator 50 toward the zenith 51 is integrated. This integrated energy is called encircled energy. Focusing on the spread of the off light OFF, the angle between the off light closest to the equator 50 and the equator 50 is D1, and the angle between the off light farthest from the equator 50 and the equator 50 is D2. The OFF light OFF has energy between the angle D1 and the angle D2. How the energy is integrated depends on the incident angle θ, the azimuth angle Φ, the illumination angle Ld (see FIG. 13), and the light distribution.

同様のことをオン光について考えると、オン光はオフ光よりも、天頂51側でエネルギーが積算される。幾何光学的な光線追跡計算による結果の一例を図15(a)に示す。入射角θは35°、方位角φは0°、照明角15°、配光分布はランバード分布である。可動ミラー32の傾き角αは17°である。オン光は、角度160°を過ぎて天頂51近くになって強度が急激に高まる。オフ光は120°付近から強度が立ち上がり、150°付近から天頂51までは一定である。   Considering the same for the ON light, the ON light is integrated more energy on the zenith 51 side than the OFF light. FIG. 15A shows an example of the result of the geometrical ray tracing calculation. The incident angle θ is 35 °, the azimuth φ is 0 °, the illumination angle is 15 °, and the light distribution is a Lambert distribution. The tilt angle α of the movable mirror 32 is 17 °. The ON light passes through the angle 160 ° and approaches the zenith 51, and the intensity sharply increases. The intensity of the off-light rises from around 120 ° and is constant from around 150 ° to the zenith 51.

図15(a)に示すオン光とオフ光において、それぞれの前後の強度の差、すなわち変化率を図15(b)に示す。オフ光とオン光とで釣鐘状の分布となり、これら釣鐘状の分布のピーク位置間の角度が分離角Dsである。図15において、分離角Dsは約39.6度である。分離角Dsが大きいほど、オフ光とオン光との分離は良好であり、投射される画像のコントラスト比を高めることができる。   FIG. 15B shows a difference between the front and rear intensities of the ON light and the OFF light shown in FIG. The off-light and the on-light form a bell-shaped distribution, and the angle between the peak positions of these bell-shaped distributions is the separation angle Ds. In FIG. 15, the separation angle Ds is about 39.6 degrees. As the separation angle Ds is larger, the separation between the off light and the on light is better, and the contrast ratio of the projected image can be increased.

入射角をそれぞれ35°、40°、45°、方位角をそれぞれ0°、±5°、±10°、±15°とし、図15と同様にして求めた分離角を表1に示す。照明角はすべて15°である。表1において、入射角が大きいほど分離角は大きい。方位角はプラスよりもマイナスの方が、分離角が大きくなることが分かる。   The incident angles were 35 °, 40 °, 45 °, and the azimuth angles were 0 °, ± 5 °, ± 10 °, ± 15 °, respectively. Table 1 shows the separation angles obtained in the same manner as in FIG. The illumination angles are all 15 °. In Table 1, the separation angle is larger as the incident angle is larger. It can be seen that the azimuth angle is greater in the negative direction than in the positive direction, the separation angle is larger.



表1



Table 1

本発明に係る画像表示装置および画像投射装置において、画像表示素子への入射角の範囲は、可動ミラー32の傾き角αが17°であるとき、35°≦入射角≦51°である。入射角35°から45°は表1に基づく。上限の51°は、図13、図14に示すオフ光の最小角がDMD30と平行になる値である。方位角に関しては、プラスよりもマイナスがよい。これは、可動ミラー32の傾きと、反射の法則に基づく入射角および反射角よるものと考える。方位角は、表1から、大きくしても飽和あるいは減少しており、−15°より小さくしても効果が小さい。   In the image display device and the image projection device according to the present invention, the range of the incident angle to the image display element is 35 ° ≦ incident angle ≦ 51 ° when the tilt angle α of the movable mirror 32 is 17 °. The incident angles from 35 ° to 45 ° are based on Table 1. The upper limit of 51 ° is a value at which the minimum angle of the off-light shown in FIGS. As for the azimuth, minus is better than plus. This is considered to be due to the inclination of the movable mirror 32 and the incident angle and the reflection angle based on the law of reflection. From Table 1, it can be seen from Table 1 that the azimuth is saturated or decreased even if it is increased, and the effect is small even if it is smaller than -15 °.

図13に示したように、照明角LdはDMD30への入射光束の広がりである。ここでは、照明角Ldは半値すなわち半角を表している。照明角Ldの広がりは、回折の広がりに影響を与える。図23(a)は照明角Ldが小さい場合、図23(b)は照明角Ldが大きい場合を示している。   As shown in FIG. 13, the illumination angle Ld is the spread of the light beam incident on the DMD 30. Here, the illumination angle Ld represents a half value, that is, a half angle. The spread of the illumination angle Ld affects the spread of diffraction. FIG. 23A shows a case where the illumination angle Ld is small, and FIG. 23B shows a case where the illumination angle Ld is large.

照明角Ldの最大値は、可動ミラー32の傾き角αで決まる。また、照明角Ldは光学系の明るさを決定する。明るさを最大にするのではあれば、照明角を可動ミラー32の傾き角αと同じにするのがよい。回折を低減し、コントラスト比を向上させるには、照明角をマイクロミラーの傾き角αよりも小さくとすることが好ましい。傾き角αを17°とすると、これよりも小さい照明角とする。   The maximum value of the illumination angle Ld is determined by the tilt angle α of the movable mirror 32. The illumination angle Ld determines the brightness of the optical system. In order to maximize the brightness, it is preferable to set the illumination angle to be equal to the tilt angle α of the movable mirror 32. In order to reduce diffraction and improve the contrast ratio, it is preferable that the illumination angle is smaller than the inclination angle α of the micromirror. If the inclination angle α is 17 °, the illumination angle is smaller than this.

実施例1、2では、光源10として超高圧水銀ランプを用いている。超高圧水銀ランプには特有の配光分布があり、DMD30への入射照明光は、図21に示すような定型的な円錐状にはならない。しかし、実施例1における照明角の最小値は15.1°、実施例2における照明角の最小値は12.5°である。いずれの実施例においても、可動ミラーの傾き角αは17°であり、この傾き角αよりも照明角の最小値が小さくなっている。   In the first and second embodiments, an ultra-high pressure mercury lamp is used as the light source 10. The ultra-high pressure mercury lamp has a specific light distribution, and the illumination light incident on the DMD 30 does not have a regular cone shape as shown in FIG. However, the minimum value of the illumination angle in the first embodiment is 15.1 °, and the minimum value of the illumination angle in the second embodiment is 12.5 °. In any of the embodiments, the tilt angle α of the movable mirror is 17 °, and the minimum value of the illumination angle is smaller than the tilt angle α.

実施例1、2では、光源としてランプ光源を用い、ランプ光源として超高圧水銀ランプを用いている。しかし、光源はこれに限られるものではなく、固体光源であっても良い。個体光源として、LED(Light Emitting Diode)、LD(Laser Diode)などを用いることができる。また、LDおよびLEDと、その励起光源として蛍光体を組み合わせたハイブリッド光源などを用いることもできる。LD光源を用いると、ランプ光源に比べて可干渉性が高く、回折の影響を受けやすくなる。   In the first and second embodiments, a lamp light source is used as a light source, and an ultra-high pressure mercury lamp is used as a lamp light source. However, the light source is not limited to this, and may be a solid-state light source. As the solid light source, an LED (Light Emitting Diode), an LD (Laser Diode), or the like can be used. Further, a hybrid light source or the like in which an LD and an LED are combined with a phosphor as an excitation light source thereof can also be used. When an LD light source is used, the coherence is higher than that of a lamp light source, and the light source is easily affected by diffraction.

本発明によるオフの回折光とオン光とを分離する構成は、光源が固体光源の場合であっても有効であり、コントラスト比を高めることができる。   The configuration for separating off diffracted light and on light according to the present invention is effective even when the light source is a solid light source, and can increase the contrast ratio.

[個体光源を用いた光源部]
図16に固体光源を用いた光源部の例を示す。光源部は、3つの個体光源101,102,103、各個体光源に対応するコリメートレンズ111,112,113、ダイクロイックミラー121,122を有する。個体光源101,102,103はそれぞれ波長が異なり、それぞれ赤色、緑色、青色の照明光を出射する。各コリメートレンズ111,112,113は、各個体光源からの照明光を平行光束にする。ダイクロイックミラー121,122は、各コリメートレンズを経て導入される各個体光源からの照明光を混合し白色光として出射する。
[Light source unit using individual light source]
FIG. 16 shows an example of a light source unit using a solid-state light source. The light source unit includes three solid light sources 101, 102, and 103, collimating lenses 111, 112, and 113, and dichroic mirrors 121 and 122 corresponding to the solid light sources. The individual light sources 101, 102, and 103 have different wavelengths, and emit red, green, and blue illumination light, respectively. Each of the collimating lenses 111, 112, and 113 converts the illumination light from each individual light source into a parallel light beam. The dichroic mirrors 121 and 122 mix illumination light from the individual light sources introduced through the respective collimating lenses and emit the mixed light as white light.

前記白色光の出射光路には、集光レンズ15、ライトトンネル13がこの順に配置されている。ライトトンネル13以降は、前記照明光学系20、DMD30および投射光学系40に続く。この光源部の構成ではカラーホイールは不要である。固体光源はLED、LDのいずれでもよい。   A condensing lens 15 and a light tunnel 13 are arranged in this order on an emission optical path of the white light. After the light tunnel 13, the illumination optical system 20, the DMD 30 and the projection optical system 40 continue. This configuration of the light source does not require a color wheel. The solid-state light source may be either an LED or an LD.

固体光源を用いた光源部の別の例を図17に示す。この光源部の例が図16に示す光源部の例と異なっているのは、ダイクロイックミラーの代わりにクロスダイクロイックプリズム140を用いている点である。図17において、クロスダイクロイックプリズム140には、3つの個体光源101,102,103からコリメートレンズ111,112,113を経て、それぞれ赤色、緑色、青色の照明光が入射する。クロスダイクロイックプリズム140は各色の照明光を混合して白色の照明光を出射する。白色の照明光の出射光路上には、図16の例と同様に、集光レンズ15、ライトトンネル13が配置されている。   Another example of a light source unit using a solid-state light source is shown in FIG. The example of the light source unit differs from the example of the light source unit shown in FIG. 16 in that a cross dichroic prism 140 is used instead of the dichroic mirror. In FIG. 17, red, green, and blue illumination lights enter the cross dichroic prism 140 from three solid light sources 101, 102, and 103 via collimating lenses 111, 112, and 113, respectively. The cross dichroic prism 140 mixes the illumination light of each color and emits white illumination light. A condensing lens 15 and a light tunnel 13 are arranged on the emission optical path of the white illumination light, as in the example of FIG.

図18は、固体光源を用いた光源部のさらに別の例を示す。図18に示す光源部の例は、図17に示す光源部におけるクロスダイクロイックプリズム140に代えてクロスダイクロイックミラー150を用いた例である。他の構成は図16、図17の例と同様であるから、説明を省略する。   FIG. 18 shows still another example of a light source unit using a solid-state light source. The light source unit shown in FIG. 18 is an example in which a cross dichroic mirror 150 is used instead of the cross dichroic prism 140 in the light source unit shown in FIG. Other configurations are the same as those in the examples of FIGS. 16 and 17, and a description thereof will be omitted.

[入射角、方位角の調整機構]
入射角と方位角の調整機構の一例を図19に示す。図19に示す調整機構は、図1に示すテレセントリック光学系を用いた実施例1に組み込まれている。図19において、光源10から第4リレーレンズ25までを照明ユニットとし、この照明ユニットが照明ユニット筐体70に組み込まれている。また、全反射プリズム26、DMD30、投射光学系40を含む部分を投射ユニットとし、この投射ユニットが投射ユニット筐体60に組み込まれている。
[Adjustment mechanism of incident angle and azimuth]
FIG. 19 shows an example of a mechanism for adjusting the incident angle and the azimuth angle. The adjustment mechanism shown in FIG. 19 is incorporated in the first embodiment using the telecentric optical system shown in FIG. In FIG. 19, the light source 10 to the fourth relay lens 25 are used as a lighting unit, and this lighting unit is incorporated in a lighting unit housing 70. A portion including the total reflection prism 26, the DMD 30, and the projection optical system 40 is referred to as a projection unit, and the projection unit is incorporated in the projection unit housing 60.

投射ユニット筐体60は底板61を有し底板61と一体に結合された筐体である。照明ユニット筐体70は、底板61の上に、調整機構80を介して取り付けられている。調整機構80は、図19(b)に示すように、U字形の支持体81を有する。支持体81は、その底部が底板61を貫通した垂直軸82によって貫通され、垂直軸82を中心に水平面内において回転可能である。   The projection unit housing 60 has a bottom plate 61 and is a housing integrally connected to the bottom plate 61. The lighting unit housing 70 is mounted on the bottom plate 61 via an adjustment mechanism 80. The adjusting mechanism 80 has a U-shaped support 81 as shown in FIG. The support 81 is penetrated by a vertical axis 82 having a bottom portion penetrating the bottom plate 61, and is rotatable about a vertical axis 82 in a horizontal plane.

支持体81は、垂直に立ち上がった二つの支持片を貫通した水平軸83を有し、水平軸83に、照明ユニット筐体70の底部が連結されている。照明ユニット筐体70は、水平軸83を中心に垂直面内において回転可能であり、これによって、DMD30の画像表示面に対する入射角を調整することができる。照明ユニット筐体70は、支持体81とともに垂直軸82を中心に水平面内において回転可能であり、これによって、DMD30の画像表示面に対する方位角を調整することができる。これにより、適切な入射角と方位角に調整することができる。   The support 81 has a horizontal axis 83 penetrating two vertically rising support pieces, and the bottom of the lighting unit housing 70 is connected to the horizontal axis 83. The illumination unit housing 70 is rotatable about a horizontal axis 83 in a vertical plane, whereby the incident angle of the DMD 30 with respect to the image display surface can be adjusted. The illumination unit housing 70 is rotatable in a horizontal plane about a vertical axis 82 together with the support body 81, whereby the azimuth of the DMD 30 with respect to the image display surface can be adjusted. Thereby, it is possible to adjust the incident angle and the azimuth angle to appropriate values.

10 光源
11 防爆ガラス
12 カラーホイール
13 ライトトンネル
20 照明光学系
21 第1リレーレンズ
22 第2リレーレンズ
23 ミラー
24 第3リレーレンズ
25 第4リレーレンズ
26 全反射プリズム
30 DMD(画像表示素子)
31 カバーガラス
32 可動ミラー
40 投射光学系
Reference Signs List 10 light source 11 explosion-proof glass 12 color wheel 13 light tunnel 20 illumination optical system 21 first relay lens 22 second relay lens 23 mirror 24 third relay lens 25 fourth relay lens 26 total reflection prism 30 DMD (image display element)
31 cover glass 32 movable mirror 40 projection optical system

特開2012−133284号公報JP 2012-133284 A 米国特許公開公報:US2015/0070749US Patent Publication: US 2015/0070749

Claims (9)

光源、照明光学系、画像表示素子を有し、
前記画像表示素子は反射型であり可動ミラーが複数配列されて矩形の画像表示面を形成し、
前記各可動ミラーは、第1の方向に傾いて前記画像表示素子に入射する光線を第1の反射方向に反射してオン光を生成し、第1の方向と異なる第2の方向に傾いて前記画像表示素子に入射する光線を前記第1の反射方向とは異なる第2の反射方向に反射してオフ光を生成し、
前記照明光学系から前記画像表示素子に入射する入射光は、その主光線が前記画像表示面の法線に対し角度を持って入射し、
前記入射光の前記法線との角度を入射角、前記入射光の前記画像表示面の辺に対してなす角度を方位角とし、
前記可動ミラーの前記第2の方向への傾き角をα(°)、前記可動ミラーが前記第2の方向に傾いたとき前記入射光の前記可動ミラーへの入射角が小さくなる側への方位角の変化をプラス、前記入射光の前記可動ミラーへの入射角が大きくなる側への方位角の変化をマイナスとしたとき、
前記画像表示面の略中央において、前記入射角は2α+1(°)以上であり、前記入射光の方位角はマイナスであることを特徴とする画像表示装置。
Having a light source, an illumination optical system, and an image display element,
The image display element is a reflection type, a plurality of movable mirrors are arranged to form a rectangular image display surface,
Each of the movable mirrors reflects a light ray incident on the image display element while being inclined in a first direction in a first reflection direction to generate ON light, and is inclined in a second direction different from the first direction. Light rays incident on the image display element are reflected in a second reflection direction different from the first reflection direction to generate off-light,
Incident light incident on the image display element from the illumination optical system, its principal ray is incident at an angle with respect to the normal to the image display surface,
Angle of the incident light with respect to the normal line is an incident angle, and an angle between the incident light and a side of the image display surface is an azimuth angle.
The inclination angle of the movable mirror in the second direction is α (°), and the azimuth to the side where the incident angle of the incident light on the movable mirror becomes smaller when the movable mirror is inclined in the second direction. When the change of the angle is plus, and the change of the azimuth to the side where the incident angle of the incident light to the movable mirror is larger is minus,
The image display device according to claim 1, wherein the incident angle is approximately 2α + 1 (°) or more and the azimuth of the incident light is minus at substantially the center of the image display surface.
請求項1に記載の画像表示装置において、前記可動ミラーの傾き角αが17°であるとき、入射角の範囲は、35°≦入射角≦51°であることを特徴とする画像表示装置。   2. The image display device according to claim 1, wherein when the tilt angle α of the movable mirror is 17 °, the range of the incident angle is 35 ° ≦ incident angle ≦ 51 °. 3. 請求項1または2に記載の画像表示装置において、前記方位角の範囲は、−15°≦方位角<0°であることを特徴とする画像表示装置。   3. The image display device according to claim 1, wherein the azimuth range is −15 ° ≦ azimuth <0 °. 4. 請求項1、2または3に記載の画像表示装置において、投射光学系は非テレセントリックであることを特徴とする画像表示装置。   4. The image display device according to claim 1, wherein the projection optical system is non-telecentric. 請求項1から4のいずれかに記載の画像表示装置において、前記可動ミラーの傾き角をα(°)としたとき、照明光学系から前記画像表示素子に入射する光束の照明角の半角はα(°)以下であることを特徴とする画像表示装置。   5. The image display device according to claim 1, wherein when a tilt angle of the movable mirror is α (°), a half angle of an illumination angle of a light beam incident on the image display element from an illumination optical system is α. (°) or less. 請求項1から5に記載の画像表示装置において、光源は固体光源であることを特徴とする画像表示装置。   6. The image display device according to claim 1, wherein the light source is a solid light source. 請求項1から5に記載の画像表示装置において、光源はランプ光源であることを特徴とする画像表示装置。   6. The image display device according to claim 1, wherein the light source is a lamp light source. 請求項1から7のいずれかに記載の画像表示装置において、入射角または方位角の調整手段を有することを特徴とする画像表示装置。   The image display device according to claim 1, further comprising an incident angle or azimuth adjustment unit. 請求項1から8のいずれかに記載の画像表示装置を備え、前記画像表示装置に表示される画像を投射する投射光学系を備えた画像投影装置。
An image projection device, comprising: the image display device according to claim 1; and a projection optical system that projects an image displayed on the image display device.
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