JP6654830B2 - コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 - Google Patents
コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6654830B2 JP6654830B2 JP2015165801A JP2015165801A JP6654830B2 JP 6654830 B2 JP6654830 B2 JP 6654830B2 JP 2015165801 A JP2015165801 A JP 2015165801A JP 2015165801 A JP2015165801 A JP 2015165801A JP 6654830 B2 JP6654830 B2 JP 6654830B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection
- light
- reflecting
- reflected
- collimation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 81
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 32
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 31
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J9/0215—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods by shearing interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J2009/0223—Common path interferometry; Point diffraction interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J2009/0234—Measurement of the fringe pattern
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
図1は、第1比較例のコリメーション評価装置100の構成を示す図である。第1比較例のコリメーション評価装置100は、反射部材20、スクリーン30および筐体40を備える。反射部材20およびスクリーン30は、筐体40に固定されている。コリメーション評価対象の光L0がコリメーション評価装置100に入射する方向はx軸に平行であるとする。
図3は、第2比較例のコリメーション評価装置200の構成を示す図である。第2比較例のコリメーション評価装置200は、第1比較例のコリメーション評価装置100が有する上記の低感度の問題を解消すべく本発明者が行った研究開発の成果に基づくものである。第2比較例のコリメーション評価装置200は、第1反射部材10、第2反射部材20、スクリーン30および筐体40を備える。第1反射部材10、第2反射部材20およびスクリーン30は、筐体40に固定されている。コリメーション評価対象の光L0がコリメーション評価装置200に入射する方向はx軸に平行であるとする。
図4は、実施形態のコリメーション評価装置1の構成を示す図である。実施形態のコリメーション評価装置1は、比較例のコリメーション評価装置100,200が有する低感度および低コントラストの問題を解消し得るものである。実施形態のコリメーション評価装置1は、第1反射部材10、第2反射部材20、スクリーン30および筐体40を備える。第1反射部材10、第2反射部材20およびスクリーン30は、筐体40に固定されている。コリメーション評価対象の光L0がコリメーション評価装置1に入射する方向はz軸に平行であるとする。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記の実施形態のコリメーション評価装置1は、反射光L12,L21により形成される干渉縞を可観測化する観測部としてすりガラス板からなる透過型のスクリーン30を用いて、そのスクリーン30を透過拡散する光によって干渉縞を観測するものであった。しかし、干渉縞を可観測化する観測部は、これに限られない。図7〜図10は、実施形態のコリメーション評価装置1の変形例の構成を示す図である。これらの変形例では、干渉縞を可観測化する観測部として他の構成を採用している。
Claims (8)
- 入射光の一部を反射させる第1反射面と、該入射光のうち該第1反射面を透過した光を反射させる第2反射面と、を有する第1反射部材と、
前記第1反射部材から出射した光の一部を反射させる第1反射面と、該光のうち該第1反射面を透過した光を反射させる第2反射面と、を有する第2反射部材と、
を備え、
前記第1反射部材の前記第1反射面と前記第2反射部材の前記第1反射面とが対向していて互いに平行であり、
前記第1反射部材の前記第1反射面および前記第2反射部材の前記第2反射面で反射した光ならびに前記第1反射部材の前記第2反射面および前記第2反射部材の前記第1反射面で反射した光により形成される干渉縞を観測部により可観測化し、
前記第1反射部材の前記第1反射面および前記第2反射部材の前記第1反射面で反射した光ならびに前記第1反射部材の前記第2反射面および前記第2反射部材の前記第2反射面で反射した光を前記観測部において前記干渉縞が形成される領域に入射させず、
前記観測部により可観測化された前記干渉縞の方位に基づいて前記入射光のコリメーションを評価する、
コリメーション評価装置。 - 前記第1反射部材および前記第2反射部材の双方または何れか一方において、入射面および前記第1反射面の双方に平行な方向について前記第1反射面と前記第2反射面とが互いに非平行である、
請求項1に記載のコリメーション評価装置。 - 前記第1反射部材および前記第2反射部材の双方または何れか一方は、平行移動または回転移動が自在である、
請求項1または2に記載のコリメーション評価装置。 - 前記第1反射部材の前記第1反射面および前記第2反射部材の前記第1反射面で反射した光、または、前記第1反射部材の前記第2反射面および前記第2反射部材の前記第2反射面で反射した光に基づいて、前記入射光のビームプロファイルを評価する、
請求項1〜3の何れか1項に記載のコリメーション評価装置。 - 入射光の一部を反射させる第1反射面と、該入射光のうち該第1反射面を透過した光を反射させる第2反射面と、を有する第1反射部材と、
前記第1反射部材から出射した光の一部を反射させる第1反射面と、該光のうち該第1反射面を透過した光を反射させる第2反射面と、を有する第2反射部材と、
を用い、
前記第1反射部材の前記第1反射面と前記第2反射部材の前記第1反射面とを対向させて互いに平行とし、
前記第1反射部材の前記第1反射面および前記第2反射部材の前記第2反射面で反射した光ならびに前記第1反射部材の前記第2反射面および前記第2反射部材の前記第1反射面で反射した光により形成される干渉縞を観測部により可観測化し、
前記第1反射部材の前記第1反射面および前記第2反射部材の前記第1反射面で反射した光ならびに前記第1反射部材の前記第2反射面および前記第2反射部材の前記第2反射面で反射した光を前記観測部において前記干渉縞が形成される領域に入射させず、
前記観測部により可観測化された前記干渉縞の方位に基づいて前記入射光のコリメーションを評価する、
コリメーション評価方法。 - 前記第1反射部材および前記第2反射部材の双方または何れか一方において、入射面および前記第1反射面の双方に平行な方向について前記第1反射面と前記第2反射面とを互いに非平行とする、
請求項5に記載のコリメーション評価方法。 - 前記第1反射部材および前記第2反射部材の双方または何れか一方は、平行移動または回転移動が自在である、
請求項5または6に記載のコリメーション評価方法。 - 前記第1反射部材の前記第1反射面および前記第2反射部材の前記第1反射面で反射した光、または、前記第1反射部材の前記第2反射面および前記第2反射部材の前記第2反射面で反射した光に基づいて、前記入射光のビームプロファイルを評価する、
請求項5〜7の何れか1項に記載のコリメーション評価方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015165801A JP6654830B2 (ja) | 2015-08-25 | 2015-08-25 | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 |
US15/331,036 US10309836B2 (en) | 2015-08-25 | 2016-10-21 | Collimation evaluation device and collimation evaluation method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015165801A JP6654830B2 (ja) | 2015-08-25 | 2015-08-25 | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017044525A JP2017044525A (ja) | 2017-03-02 |
JP6654830B2 true JP6654830B2 (ja) | 2020-02-26 |
Family
ID=58209712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015165801A Active JP6654830B2 (ja) | 2015-08-25 | 2015-08-25 | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10309836B2 (ja) |
JP (1) | JP6654830B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111256582B (zh) * | 2020-01-22 | 2021-09-07 | 中国计量大学 | 一种瞬态移相横向剪切干涉仪及测量方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001336914A (ja) | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Sigma Koki Kk | コリメーション検査装置 |
JP4114847B2 (ja) | 2001-03-21 | 2008-07-09 | 株式会社リコー | コリメート評価装置 |
US6937347B2 (en) * | 2002-09-18 | 2005-08-30 | Engineering Synthesis Design Inc. | Small-beam lateral-shear interferometer |
JP2009103592A (ja) | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Sigma Koki Kk | コリメーション検査装置 |
JP6483973B2 (ja) | 2014-07-30 | 2019-03-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 |
-
2015
- 2015-08-25 JP JP2015165801A patent/JP6654830B2/ja active Active
-
2016
- 2016-10-21 US US15/331,036 patent/US10309836B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017044525A (ja) | 2017-03-02 |
US20170199083A1 (en) | 2017-07-13 |
US10309836B2 (en) | 2019-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6124385B2 (ja) | イメージプロジェクタおよび光アセンブリ | |
EP2915000B1 (en) | Polarization splitting multiplexing device, optical system, and display unit | |
US9080990B2 (en) | Illumination subsystems of a metrology system, metrology systems, and methods for illuminating a specimen for metrology measurements | |
US9829704B2 (en) | Head-up display device | |
JP2013231940A5 (ja) | ||
US9880383B2 (en) | Display device | |
US10649071B2 (en) | Scanning optical system and radar | |
KR20230100708A (ko) | 레이저용 시어링 간섭계 | |
CN110168423B (zh) | 照明装置和用于在显微镜中照明的方法和显微镜 | |
JP2008242371A (ja) | 照明用光源装置および画像表示装置 | |
JP6654830B2 (ja) | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 | |
JP4427632B2 (ja) | 高精度三次元形状測定装置 | |
JP6483973B2 (ja) | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 | |
JP2012135808A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
US9945656B2 (en) | Multi-function spectroscopic device | |
EP3855586B1 (en) | Laser device | |
EP1840630A1 (en) | Segment grating alignment device | |
WO2013183454A1 (ja) | 光学結像装置及び光学結像方法 | |
EP3796081A1 (en) | Optical imaging apparatus, robot hand, moving body, and lidar apparatus | |
EP4025930A1 (en) | Projector for a solid-state lidar system | |
US9441945B2 (en) | Scan lens, interferometric measuring device using same | |
EP3771883A2 (en) | Dispersive optical device | |
JP2009025181A (ja) | 厚み測定用光干渉測定装置 | |
KR20190117322A (ko) | 편광 필름 검사 장치 | |
JP2016118680A (ja) | 光源装置及び画像投影装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6654830 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |