JP6650231B2 - グローブボックス用蓋 - Google Patents
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Description
図7A及び図7Bは、グローブボックスの概略構成を示す図である。グローブボックス100は、透明なアクリル板などで形成された筐体であり、内部の気密性が保たれる構成になっている。グローブボックス100の内部には、例えば、工作機械190が配置される。工作機械190の例としては、半導体チップを接合する接合装置等が挙げられる。グローブボックス100の内部に窒素ガスなどの不活性ガスを充填させた上で、接合装置を用いて接合作業を行うことで、接合作業中の半導体チップの酸化を防ぐことができる。
そして、本発明のグローブボックス用蓋は、以下の各部材を備える。
すなわち、開口部の所定の径よりも大きな径の蓋部材と、蓋部材の一方の面の縁に配置されたシール部材と、蓋部材の一方の面の少なくとも2箇所に、蓋部材の中心側から放射状にスライド可能に配置され、先端が開口部の壁面の縁と係合する突起部材と、それぞれの突起部材を開口部の壁面の縁の方向に押圧する押圧部材と、蓋部材の一方の面に取り付けられ、それぞれの突起部材をスライド可能に保持すると共に、押圧部材を収納するガイド部材と、蓋部材の一方の面に配置され、先端にネジ孔を有し、開口部の壁面と近接する複数本の直立ピンとを備える。
それぞれの突起部材は、蓋部材のほぼ中心寄りの位置に近接すると共にガイド部材から突出した操作つまみ部を一体に有し、それぞれの操作つまみ部で、押圧部材の押圧に対向して突起部材を蓋部材のほぼ中心寄りにスライドさせることで、突起部材の先端が前記開口部の壁面の縁と係合した状態から外れるようにした。
図1は、グローブボックス用蓋200の構成例を示す。
グローブボックス用蓋200は、図7で説明したグローブボックス100のグローブ取り付け用の開口部110,120に装着されるものである。以下の説明では、一方のグローブ取り付け用の開口部110にグローブボックス用蓋200が取り付けられる状態を説明するが、他方のグローブ取り付け用の開口部120についても、同じ形状のグローブボックス用蓋200が取り付けられる。
そして、蓋部材201の表面201aのシール部材210が配置された箇所に隣接して、4本の直立ピン221,222,223,224がほぼ等間隔に配置される。4本の直立ピン221,222,223,224は、後述するグローブ取り付け用の開口部110の壁部111と同じ高さとする。それぞれの直立ピン221,222,223,224の中央には、ネジ孔221a,222a,223a,224aが形成され、後述するネジ311,312,313,314(図5、図6)を嵌めることができる。
2つの突起部材240,250は、蓋部材201の中心側が、ガイド部材230の凹部231,232に嵌った状態であり、凹部231,232により各突起部材240,250の動きが規制される。ガイド部材230の内部には、押圧部材であるバネ233,234が配置されている。バネ233,234は、各突起部材240,250を蓋部材201の中心側から縁側に押し出されるように作用する。
また、先端部244,254の下側は、傾斜したテーパー面245,255とし、先端に近づく程、細くなるようにする。
図2及び図3は、グローブボックス用蓋200をグローブボックス100の開口部110に取り付けた状態を示す斜視図及び断面図である。図2は、開口部110にグローブ170が未装着の状態を示し、図3は、グローブ170が装着された状態を示す。
図2の例では、グローブボックス100は、開口部110を構成する部材を含めて全て透明な材質で構成されている。したがって、グローブボックス用蓋200の開口部110と重なる箇所についても、外側から見える状態になっている。
すなわち、図3に示すように、各突起部材240,250は、ガイド部材230内のバネ233,234の押圧力により外側に押し出された状態になり、突起部材240,250の先端部244,254が、壁部111の端面111aと接した状態になる。そして、先端部244,254の下側がテーパー面245,255であるため、各突起部材240,250が外側に押し出される程、先端部244,254が強い力で端面111aを押さえるようになる。
図4は、グローブボックス用蓋200が開口部110に取り付けられる途中の状態を示す。
グローブボックス用蓋200は、通常、グローブボックス100の内部に用意しておく。例えば、開口部110の近傍のグローブボックス100内に、グローブボックス用蓋200が配置される。
そして、開口部110をグローブボックス用蓋200で塞ぐ際には、開口部110に取り付けられたグローブ170(図7)をグローブボックス100の内部に入れた状態とし、グローブ170に挿入させた作業員の手で、グローブボックス用蓋200を掴む。このときには、例えば操作つまみ部241,251を手で持つ。
そして、開口部110にグローブボックス用蓋200を嵌めた状態で、先端部244,254が壁部111の端面111aよりも上側になったとき、バネ233,234の押圧力により図2に示す状態に変化し、グローブボックス用蓋200が開口部110を完全に塞いだ状態になる。
図5及び図6は、ネジを使用してグローブボックス用蓋200を開口部110に固定する場合の例を示す。図2に示した取り付け状態では、操作つまみ部241,251の操作により、簡単に開口部110を塞いだ状態から蓋200を取り外すことができるが、何らかの要因で、グローブ170を使用した作業を長期間実行しない場合には、グローブボックス用蓋200を開口部110に完全に固定してもよい。
ネジ311,312,313,314を直立ピン221,222,223,224のネジ孔221a,222a,223a,224aに挿入したときには、各ネジ311,312,313,314のつば部321,322,323,324が、開口部110の壁部111の端面111aと接触する。したがって、グローブボックス用蓋200が各ネジ311,312,313,314により開口部110に固定されるようになる。
なお、既に説明したように、4本の直立ピン221,222,223,224は、グローブボックス用蓋200を開口部110に嵌める際の案内部材としても機能する。
なお、上述した実施の形態例では、蓋部材201の表面201aの2箇所に突起部材240,250を配置した構成にした。これに対して、蓋部材201には、突起部材240,250に相当する部材を、3箇所以上配置するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態例では、蓋部材201の表面201aに直立ピン221,222,223,224を配置して、ネジ止めでグローブボックス用蓋200を固定できると共に、直立ピン221,222,223,224が開口部110への挿入時の案内部材になるようした。これに対して、蓋部材201に、直立ピン221,222,223,224を配置しない構成としてもよい。
また、図1などに示した突起部材240,250の各部(操作つまみ部241,251など)の形状についても、一例を示すものであり、その他の形状としてもよい。
Claims (2)
- グローブボックスに設けられた、グローブが装着されるための所定の径の開口部に取り付けられるグローブボックス用蓋であって、
前記開口部の所定の径よりも大きな径の蓋部材と、
前記蓋部材の一方の面の縁に配置されたシール部材と、
前記蓋部材の一方の面の少なくとも2箇所に、前記蓋部材の中心側から放射状にスライド可能に配置され、先端が前記開口部の壁面の縁と係合する突起部材と、
それぞれの前記突起部材を前記開口部の壁面の縁の方向に押圧する押圧部材と、
前記蓋部材の一方の面に取り付けられ、それぞれの前記突起部材をスライド可能に保持すると共に、前記押圧部材を収納するガイド部材と、
前記蓋部材の一方の面に配置され、先端にネジ孔を有し、前記開口部の壁面と近接する複数本の直立ピンとを備え、
それぞれの前記突起部材は、前記蓋部材のほぼ中心寄りの位置に近接すると共に前記ガイド部材から突出した操作つまみ部を一体に有し、
それぞれの前記操作つまみ部で、前記押圧部材の押圧に対向して前記突起部材を前記蓋部材のほぼ中心寄りにスライドさせることで、前記突起部材の先端が前記開口部の壁面の縁と係合した状態から外れるようにした
グローブボックス用蓋。 - 前記突起部材の先端の前記開口部の壁面の縁と接する面は、前記蓋部材の中心から離れる程、前記蓋部材の一方の面から離れるように傾斜したテーパーを有するようにした
請求項1に記載のグローブボックス用蓋。
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