JP6647961B2 - 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 - Google Patents
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Description
ー4と出射側電極5との間に発生する静電レンズEL2および出射側電極5と加速管6の最上段の加速電極6aとの間に発生する静電レンズEL3により、それぞれ出射側電極5の位置と、加速管6の出口の位置と、でクロスオーバーを形成する。
電子線を放出する電子源と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記加速管に加速電圧を供給する加速用電源部と、
前記第1電極に電圧を供給する第1電極用電源部と、
前記第1電極用電源部を制御する制御部と、
を含み、
前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線はクロスオーバーを形成し、
前記制御部は、前記加速電圧が変更された場合に、前記第1電極に印加される電圧と前記初段の加速電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記加速電圧の変化に応じて、前記第1電極に印加される電圧を変化させる。
前記電子線を単色化するためのモノクロメーターと、
前記モノクロメーターの入口側に配置され、前記モノクロメーターとの間でレンズ作用を生じさせる入射側電極と、
前記モノクロメーターの出口側に配置され、前記モノクロメーターとの間でレンズ作用を生じさせる出射側電極と、
を含んでいてもよい。
前記出射側電極と前記第1電極との間に配置され、前記電子線を偏向する偏向器を含んでいてもよい。
前記偏向器は、前記モノクロメーターと前記出射側電極との間に生じるレンズ作用によ
って形成される前記電子線のクロスオーバーの位置に配置されていてもよい。
前記電子源から前記電子線を引き出すための引出電極と、
前記引出電極との間でレンズ作用を生じさせる第2電極と、
を含んでいてもよい。
前記引出電極に引出電圧を供給する引出電極用電源部と、
前記第2電極に電圧を供給する第2電極用電源部と、
を含み、
前記制御部は、さらに、前記第2電極用電源部を制御し
前記制御部は、前記引出電圧が変更された場合に、前記引出電極に印加される電圧と前記第2電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記第2電極用電源部を制御してもよい。
電子線を放出する電子源と、
前記電子源から前記電子線を引き出すための引出電極と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記引出電極と前記第1電極との間に配置され、前記引出電極との間でレンズ作用を生じさせる第2電極と、
前記引出電極に引出電圧を供給する引出電極用電源部と、
前記第2電極に電圧を供給する第2電極用電源部と、
前記第2電極用電源部を制御する制御部と、
を含み、
前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線はクロスオーバーを形成し、
前記制御部は、前記引出電圧が変更された場合に、前記引出電極に印加される電圧と前記第2電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記第2電極用電源部を制御する。
された場合であっても、引出電極と第2電極との間に生じるレンズ作用による電子線の軌道は変わらない。
電子線を放出する電子源と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記加速管に加速電圧を供給する加速用電源部と、
前記第1電極に電圧を供給する第1電極用電源部と、
を含み、前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線がクロスオーバーを形成する電子顕微鏡の制御方法であって、
前記加速電圧が変更された場合に、前記第1電極に印加される電圧と前記初段の加速電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記加速電圧の変化に応じて、前記第1電極に印加される電圧を変化させる。
電子線を放出する電子源と、
前記電子源から前記電子線を引き出すための引出電極と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記引出電極と前記第1電極との間に配置され、前記引出電極との間でレンズ作用を生じさせる第2電極と、
前記引出電極に引出電圧を供給する引出電極用電源部と、
前記第2電極に電圧を供給する第2電極用電源部と、
を含み、前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線がクロスオーバーを形成する電子顕微鏡の制御方法であって、
前記引出電圧が変更された場合に、前記引出電極に印加される電圧と前記第2電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記第2電極用電源部を制御する。
1.1. 電子顕微鏡の構成
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100を模式的に示す図である。
、例えば、CCDカメラ等のデジタルカメラである。
Memory)等の記憶装置に記憶された制御プログラムを実行することによって実現してもよい。制御部109bの詳細については後述する。
次に、電子顕微鏡100の動作について説明する。
次に、本実施形態に係る電子顕微鏡の変形例について説明する。
まず、第1変形例に係る電子顕微鏡の構成について説明する。図4は、第1変形例に係る電子顕微鏡の電子銃101を模式的に示す図である。以下、第1変形例に係る電子顕微鏡の電子銃101において、図2に示す電子銃101の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
位置に配置される。偏向器180をクロスオーバーCO1の位置に配置することにより、電子線の光学系に対する入射角度のみを調整することができる。すなわち、偏向器180によって電子線を偏向することにより、クロスオーバーCO2の位置を変えることなく、クロスオーバーCO2における電子線の入射角度のみを変更できる。
を見失う原因となるような無用な電子線の位置の変更を生じさせないことができる。
次に、第2変形例に係る電子顕微鏡の構成について説明する。図5は、第2変形例に係る電子顕微鏡の電子銃101を模式的に示す図である。以下、第2変形例に係る電子顕微鏡の電子銃101において、図2に示す電子銃101および図4に示す電子銃101の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2.1. 電子顕微鏡の構成
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図6は、第2実施形態に係る電子顕微鏡の電子銃101を模式的に示す図である。以下、第2実施形態に係る電子顕微鏡の電子銃101において、図2に示す電子銃101の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
ンズEL210を発生させる。静電レンズEL210は、電子源110から放出された電子線の軌道を調整する。電極220は、電極用電源222に接続されている。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡の動作について説明する。以下、上述した電子顕微鏡100の動作例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
第2実施形態に係る電子顕微鏡の電子銃101では、電子源110、引出電極120、および、電極220の光学設定は、加速電圧によらず一定である。
第2実施形態に係る電子顕微鏡では、電子源110から放出される電子線の量を調整するために、引出電極120に印加される引出電圧が変更される。このとき、仮に、電極220に印加される電圧が引出電圧によらず一定で有る場合、静電レンズEL210の強度が変化してしまい、電子線の軌道がずれてしまう。
変更された場合であっても、制御部109bが入口電極用電源162を制御することで、クロスオーバーCO2の位置を変えないことができる。
Claims (9)
- 電子線を放出する電子源と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記加速管に加速電圧を供給する加速用電源部と、
前記第1電極に電圧を供給する第1電極用電源部と、
前記第1電極用電源部を制御する制御部と、
を含み、
前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線はクロスオーバーを形成し、
前記制御部は、前記加速電圧が変更された場合に、前記第1電極に印加される電圧と前記初段の加速電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記加速電圧の変化に応じて、前記第1電極に印加される電圧を変化させる、電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記電子線を単色化するためのモノクロメーターと、
前記モノクロメーターの入口側に配置され、前記モノクロメーターとの間でレンズ作用を生じさせる入射側電極と、
前記モノクロメーターの出口側に配置され、前記モノクロメーターとの間でレンズ作用を生じさせる出射側電極と、
を含む、電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記出射側電極と前記第1電極との間に配置され、前記電子線を偏向する偏向器を含む、電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記偏向器は、前記モノクロメーターと前記出射側電極との間に生じるレンズ作用によって形成される前記電子線のクロスオーバーの位置に配置されている、電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記電子源から前記電子線を引き出すための引出電極と、
前記引出電極との間でレンズ作用を生じさせる第2電極と、
を含む、電子顕微鏡。 - 請求項5において、
前記引出電極に引出電圧を供給する引出電極用電源部と、
前記第2電極に電圧を供給する第2電極用電源部と、
を含み、
前記制御部は、さらに、前記第2電極用電源部を制御し
前記制御部は、前記引出電圧が変更された場合に、前記引出電極に印加される電圧と前記第2電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記第2電極用電源部を制御する、電子顕微鏡。 - 電子線を放出する電子源と、
前記電子源から前記電子線を引き出すための引出電極と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記引出電極と前記第1電極との間に配置され、前記引出電極との間でレンズ作用を生じさせる第2電極と、
前記引出電極に引出電圧を供給する引出電極用電源部と、
前記第2電極に電圧を供給する第2電極用電源部と、
前記第2電極用電源部を制御する制御部と、
を含み、
前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線はクロスオーバーを形成し、
前記制御部は、前記引出電圧が変更された場合に、前記引出電極に印加される電圧と前記第2電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記第2電極用電源部を制御する、電子顕微鏡。 - 電子線を放出する電子源と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記加速管に加速電圧を供給する加速用電源部と、
前記第1電極に電圧を供給する第1電極用電源部と、
を含み、前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線がクロスオーバーを形成する電子顕微鏡の制御方法であって、
前記加速電圧が変更された場合に、前記第1電極に印加される電圧と前記初段の加速電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記加速電圧の変化に応じて、前記第1電極に印加される電圧を変化させる、電子顕微鏡の制御方法。 - 電子線を放出する電子源と、
前記電子源から前記電子線を引き出すための引出電極と、
複数段に積み重ねられている加速電極を備え、前記電子線を加速させるための加速管と、
前記加速管の前段に配置され、複数段に積み重ねられている前記加速電極のうちの初段の加速電極との間でレンズ作用を生じさせる第1電極と、
前記引出電極と前記第1電極との間に配置され、前記引出電極との間でレンズ作用を生じさせる第2電極と、
前記引出電極に引出電圧を供給する引出電極用電源部と、
前記第2電極に電圧を供給する第2電極用電源部と、
を含み、前記第1電極と前記初段の加速電極との間に生じるレンズ作用によって、前記電子線がクロスオーバーを形成する電子顕微鏡の制御方法であって、
前記引出電圧が変更された場合に、前記引出電極に印加される電圧と前記第2電極に印加される電圧との比が一定となるように、前記第2電極用電源部を制御する、電子顕微鏡の制御方法。
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