JP6647556B2 - コンタクト電極およびその形成方法 - Google Patents
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Description
例えば、特開2004−140052号公報には、真空中高温で行う方法として、「n型の窒化物系半導体層と、前記n型の窒化物系半導体層の一方表面上に形成されたAlからなる第1電極層、前記第1電極層の表面に接触するように形成されたPtからなる第2電極層、および、前記第2電極層の表面上に形成されたAuからなる第3電極層を含む電極とを備えた、電極構造」(請求項1)が開示されている。
さらに、本発明のようなp型およびn型有機半導体が混在した基板上に、真空環境を使用せずに一括でコンタクト電極を形成する事は極めて困難とされていた。
第一金属体は、還元析出したナノ粒子を用いる事で、粒子表面への不純物の付着や、化合物膜(酸化)形成が抑えられ、粒子表面が清浄な金属結晶面となる。これにより、本来の金属と有機半導体の接触界面が形成され、界面抵抗が低くなる。
また、第二金属の被覆膜を有機半導体上で還元析出させることにより、第一金属上で反応した無電解めっき液中の還元剤が放出した電子が微量ながらも有機半導体層を通過し、有機半導体表面から電子の供給を受けて第二金属が析出する。そのため、第二金属と有機半導体の接触界面に不要物が挟まる事がなく、本来の金属と有機半導体の接触界面が形成され、界面抵抗が低くなる。
さらに付言すれば、本発明の無電解メッキ工程では、前記した本願発明者による先願発明の特願2014−146991号(特許5649150号)に係る無電解メッキの前処理浴や特願2014−175244号に係る電極形成方法、更には上述した先行技術などを組み合わせて実施することができる。
〔実施例1〕
図1に示すようなボトムゲート・トップコンタクトタイプのOFETを作製した。
トランジスタ1の基板2は、熱酸化により厚さ100nmの酸化シリコン(SiO2)が形成されたシリコン(Si)基板を用い、シリコン(Si)をゲート電極3、酸化シリコン(SiO2)をゲート絶縁膜4とした。この基板2をアセトンに浸漬し超音波洗浄により脱脂した後、紫外線(UV)照射とオゾン処理を行い清浄な表面を得た。次に真空蒸着法により有機半導体層5を堆積した。有機半導体材料は2,9−ジデシル−ジナフト[2,3−b:2’,3’−f]チエノ[3,2−b]チオフェン用い、平均厚さ30nmの有機半導体層5を得た。
次いで、銀(Ag)ナノ粒子の有機半導体上への吸着処理を行った。有機半導体層5まで形成された基板2に、上記の銀(Ag)ナノ粒子溶液を滴下し、スピンコーターにて2000回転/分の速度で30秒間回転させ、有機半導体表面に銀(Ag)ナノ粒子を吸着させた。その結果、図2の走査電子顕微鏡写真に示すような網目状体を得た。有機半導体層5上の銀(Ag)の面積は50%であった。
有機半導体層5の形成方法を塗布結晶化法に変更した以外は実施例1(銀(Ag)の面積=50%)と同様にして、図1に示すようなボトムゲート・トップコンタクトタイプのOFETを作製した。この場合も銀(Ag)の面積は、50%であった。次いで、前記プレシャスファブACG 3000EXの1/10希釈液(金(Au)濃度0.2g/L、pH=7.5)に75℃で2分間浸漬した後、同じプレシャスファブACG 3000EX希釈液に65℃で2分間浸漬し、平均膜厚50nmの金(Au)被覆層を得た。
銀(Ag)ナノ粒子の平均粒径を30±8nmとした以外は、実施例1と同様にしてコンタクト電極を作製し、p型トランジスタとしてのキャリア移動度を測定したところ、約2.0cm2/Vsであった。また接触抵抗を見積もったところ、0.8kΩcmと実施例1と同等の結果を得た。
有機半導体材料をN,N‘−1H,1H−Perfluorobutyldicyanoperylene Carboxydi-imide(PDIF−CN2)に変更した以外は実施例1と同様にコンタクト電極を作製し、n型トランジスタとしての評価を行ったところ、n型トランジスタとしての駆動が確認された。
実施例1(銀(Ag)の面積=50%)での銀(Ag)・金(Au)混合層の代わりに、真空蒸着法を用いて金(Au)層を形成した。金(Au)層形成後に実施例1と同様の処理を行い、OFETを得た。作製した素子の評価としてp型トランジスタとしてのキャリア移動を測定したところ、約3.1cm2/Vsであった。また、コンタクト電極の接触抵抗は0.3kΩcmであった。
実施例1(銀(Ag)の面積=50%)の第一金属体(銀)の網目状体形成方法をインクジェット印刷法での形成に変更した以外は実施例1と同様に実施した。
その後、実施例1と同様の処理を行い、チャネル幅が2000μmで、チャネル長がそれぞれ、500、1000および2000μmの金(Au)・銀(Ag)混合のコンタクト電極をもつOFETを得た。
実施例1(銀(Ag)の面積=50%)の第一金属体の網目状体形成方法を銀(Ag)ペーストを用いたスクリーン印刷法に変更した以外は実施例1と同様に実施した。
次いで有機半導体層5まで形成された基板2に、得られた銀(Ag)ペーストをスクリーン印刷法により印刷し、線幅約100μmで線間隔約100μmの格子状に銀(Ag)粒子を配置した。
その後、実施例1と同様の処理を行い、チャネル幅が2000μmで、チャネル長がそれぞれ、500、1000および2000μmの金(Au)・銀(Ag)混合のコンタクト電極をもつOFETを得た。
実施例1(銀(Ag)の面積=50%)の無電解金メッキ液を無電解銅メッキ液に変更した以外は実施例1と同様に実施した。
すなわち、硫酸銅(II)五水和物9.4g/L、エチレンジアミン四酢酸四ナトリウム50.0g/Lおよび50%グリオキシル酸水溶液30g/Lを含有する無電解銅(Cu)メッキ液に水酸化ナトリウムを添加してpH=11に調整した。このメッキ液に25℃で4分間浸漬し、平均膜厚50nmの銅(Cu)膜を得た。
2:基板
3:ゲート電極
4:ゲート絶縁膜
5:有機半導体層
6A:ソース電極
6B:ドレイン電極
Claims (9)
- 有機半導体層上に配置された第一金属体および第二金属層からなるコンタクト電極の構造において、当該第一金属体は、あらかじめ還元析出された当該第一金属体のナノ粒子が当該有機半導体層上で30%〜70%の面積割合を占める網目状の構造であり、当該第二金属層は当該第一金属体と当該有機半導体層上に還元析出された被覆層であることを特徴とするコンタクト電極。
- 上記第一金属体が銀(Ag)若しくは銅(Cu)であり、上記第二金属層が金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)若しくはコバルト(Co)であるか、または、上記第一金属体が金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)若しくはコバルト(Co)であり、上記第二金属層が銀(Ag)若しくは銅(Cu)であることを特徴とする請求項1に記載のコンタクト電極。
- 上記有機半導体層は、一つの絶縁層上に混在して設けられているp型有機半導体層およびn型有機半導体層を含むものであることを特徴とする請求項1に記載のコンタクト電極。
- 有機半導体層上に無電解メッキ法によりコンタクト電極を形成する方法であって、有機半導体層上に、あらかじめ還元析出された第一金属体のナノ粒子からなる30%〜70%の面積割合の網目状の凝集体を形成する工程、および当該有機半導体層と当該第一金属体を第二金属で無電解メッキして被覆層を形成する工程からなることを特徴とするコンタクト電極の形成方法
- 有機半導体層上に無電解メッキ法によりコンタクト電極を形成する方法であって、一つの絶縁層上にp型有機半導体層とn型有機半導体層を形成する工程、当該両有機半導体層上に、あらかじめ還元析出された第一金属体のナノ粒子からなる30%〜70%の面積割合の網目状の凝集体を形成する工程、当該有機半導体層と当該凝集体を第二金属で無電解メッキして被覆層を形成する工程、および当該被覆層及び前記凝集体をエッチングしてコンタクト電極を形成する工程からなることを特徴とするコンタクト電極の形成方法。
- 上記第一金属体が銀(Ag)若しくは銅(Cu)であり、上記第二金属が金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)若しくはコバルト(Co)であるか、または、上記第一金属体が金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)、若しくはコバルト(Co)であり、上記第二金属が銀(Ag)若しくは銅(Cu)であることを特徴する請求項4または請求項5に記載のコンタクト電極の形成方法。
- 上記被覆層を形成する工程が、コロイド触媒を付与した後に前記無電解メッキを行うものであることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のコンタクト電極の形成方法。
- 上記被覆層を形成する工程が、前記無電解メッキを複数回行うものであることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のコンタクト電極の形成方法。
- 上記網目状の凝集体を形成する工程が、非水溶液で行うものであることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のコンタクト電極の形成方法。
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