JP6645577B2 - Method of cutting brittle substrate - Google Patents
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Description
本発明は脆性基板の分断方法に関する。 The present invention relates to a method for cutting a brittle substrate.
フラットディスプレイパネルまたは太陽電池パネルなどの電気機器の製造において、脆性基板を分断することがしばしば必要となる。典型的な分断方法においては、まず、脆性基板上にクラックラインが形成される。本明細書において「クラックライン」とは、脆性基板の厚さ方向に部分的に進行したクラックが脆性基板の表面上においてライン状に延びているもののことを意味する。次に、いわゆるブレイク工程が行われる。具体的には、脆性基板に応力を印加することによって、クラックラインのクラックが厚さ方向に完全に進行させられる。これにより、クラックラインに沿って脆性基板が分断される。 In the manufacture of electrical equipment, such as flat display panels or solar panels, it is often necessary to break brittle substrates. In a typical dividing method, first, a crack line is formed on a brittle substrate. As used herein, the term "crack line" means a crack that has partially progressed in the thickness direction of the brittle substrate and extends linearly on the surface of the brittle substrate. Next, a so-called break step is performed. Specifically, by applying stress to the brittle substrate, the cracks in the crack line are completely advanced in the thickness direction. Thereby, the brittle substrate is cut along the crack line.
特許文献1によれば、ガラス板の上面にあるくぼみがスクライブ時に生じる。この特許文献1においては、このくぼみが「スクライブライン」と称されている。また、このスクライブラインの刻設と同時に、スクライブラインから直下方向に延びるクラックが発生する。この特許文献1の技術に見られるように、従来の典型的な技術においては、スクライブラインの形成と同時にクラックラインが形成される。
According to
特許文献2によれば、上記の典型的な分断技術とは顕著に異なる分断技術が提案されている。この技術によれば、まず、脆性基板上での刃先の摺動によって塑性変形を発生させることにより、この特許文献2において「スクライブライン」と称される溝形状が形成される。本明細書においては、以降において、この溝形状のことを「トレンチライン」と称する。トレンチラインが形成されている時点では、その下方にクラックは形成されない。その後にトレンチラインに沿ってクラックを伸展させることで、クラックラインが形成される。つまり、典型的な技術とは異なり、クラックを伴わないトレンチラインがいったん形成され、その後にトレンチラインに沿ってクラックラインが形成される。その後、クラックラインに沿って通常のブレイク工程が行われる。 According to Patent Literature 2, a dividing technique that is significantly different from the typical dividing technique described above is proposed. According to this technique, first, plastic deformation is generated by sliding of a cutting edge on a brittle substrate, whereby a groove shape called “scribe line” in Patent Document 2 is formed. In the present specification, this groove shape is hereinafter referred to as “trench line”. When the trench line is formed, no crack is formed below the trench line. Thereafter, the cracks are formed by extending the cracks along the trench lines. That is, unlike a typical technique, a trench line without a crack is formed once, and then a crack line is formed along the trench line. Thereafter, a normal break process is performed along the crack line.
上記特許文献2の技術で用いられる、クラックを伴わないトレンチラインは、クラックの同時形成を伴う典型的なスクライブラインに比して、より低い荷重での刃先の摺動により形成可能である。荷重が小さいことにより、刃先に加わるダメージが小さくなる。よって、この分断技術によれば、刃先の寿命を延ばすことができる。 The trench line without cracks used in the technique of Patent Document 2 can be formed by sliding the cutting edge with a lower load compared to a typical scribe line with simultaneous formation of cracks. When the load is small, damage applied to the cutting edge is reduced. Therefore, according to this dividing technique, the life of the cutting edge can be extended.
上記特許文献2において、刃先と、そのホルダとしてのシャンクとを有するカッティング器具が用いられる。カッティング器具は軸方向を有しており、シャンクは軸方向に沿って延在している。トレンチラインは、脆性基板上における刃先の摺動によって形成される。刃先は、軸方向に沿って延在するホルダに保持される。軸方向は、脆性基板の上面に対して傾斜している。軸方向を脆性基板上へ射影した方向が、刃先の摺動方向に対応している。 In Patent Document 2, a cutting instrument having a cutting edge and a shank as a holder thereof is used. The cutting instrument has an axial direction and the shank extends along the axial direction. The trench line is formed by sliding the cutting edge on the brittle substrate. The cutting edge is held by a holder extending along the axial direction. The axial direction is inclined with respect to the upper surface of the brittle substrate. The direction in which the axial direction is projected onto the brittle substrate corresponds to the sliding direction of the cutting edge.
上記特許文献2によれば、軸方向をガラス基板上へ射影した方向が、刃先の摺動方向に対応している。言い換えれば、脆性基板に対する基板刃先の作用に異方性が存在する。このため、刃先の摺動方向に対応して、軸方向を調整する必要がある。よって、脆性基板の分断装置に、軸方向が摺動方向に対応するように刃先の姿勢を調整するための機構を設ける必要がある。また特に、刃先の摺動方向が一定でない場合には、刃先の姿勢を制御する機構を設ける必要がある。刃先の姿勢の調整および制御の必要性は、分断装置のコストの増加や、工程に要する時間の増大、スクライブ位置の精度の低下などのデメリットにつながり得る。 According to Patent Document 2, the direction in which the axial direction is projected onto the glass substrate corresponds to the sliding direction of the cutting edge. In other words, there is anisotropy in the action of the substrate cutting edge on the brittle substrate. Therefore, it is necessary to adjust the axial direction according to the sliding direction of the blade edge. Therefore, it is necessary to provide a mechanism for adjusting the posture of the blade edge in the brittle substrate cutting device so that the axial direction corresponds to the sliding direction. In particular, when the sliding direction of the cutting edge is not constant, it is necessary to provide a mechanism for controlling the attitude of the cutting edge. The necessity of adjusting and controlling the posture of the cutting edge can lead to disadvantages such as an increase in the cost of the cutting device, an increase in the time required for the process, and a decrease in the accuracy of the scribe position.
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、刃先の摺動方向に応じて刃先の姿勢を調整する必要がない、脆性基板の分断方法を提供することである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method for cutting a brittle substrate, which does not require adjusting the posture of the cutting edge according to the sliding direction of the cutting edge. It is.
本発明の一の局面に従う脆性基板の分断方法は、以下の工程a)〜e)を有する。
a)一の面と、一の面に垂直な厚さ方向とを有する脆性基板が準備される。
b)軸方向における軸対称性を有する先端部が設けられ、先端部の曲率半径が3μm以上40μm以下、先端部の軸方向に沿っての寸法が0.5μm以上、とされた刃先が準備される。
c)脆性基板の一の面に対して刃先の軸方向を垂直としつつ、一の面上において刃先の先端部を摺動させることによって、溝形状を有するトレンチラインが塑性変形により脆性基板の一の面上に形成される。トレンチラインは、トレンチラインの下方において脆性基板がトレンチラインと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように形成される。
d)トレンチラインに沿って厚さ方向における脆性基板のクラックを伸展させることによって、クラックラインが形成される。クラックラインによってトレンチラインの下方において脆性基板はトレンチラインと交差する方向において連続的なつながりが断たれている。
e)クラックラインに沿って脆性基板が分断される。
A method for cutting a brittle substrate according to one aspect of the present invention includes the following steps a) to e).
a) A brittle substrate having one surface and a thickness direction perpendicular to the one surface is prepared.
b) A tip having an axially symmetric tip in the axial direction is provided, and a tip having a radius of curvature of 3 μm or more and 40 μm or less and a dimension of the tip along the axial direction of 0.5 μm or more is prepared. You.
c) By sliding the tip of the cutting edge on one surface while making the axial direction of the cutting edge perpendicular to one surface of the brittle substrate, the trench line having the groove shape is deformed by plastic deformation. Formed on the surface of The trench line is formed so as to obtain a crackless state in which the brittle substrate is continuously connected below the trench line in a direction crossing the trench line.
d) Crack lines are formed by extending cracks in the brittle substrate in the thickness direction along the trench lines. The brittle substrate has a continuous connection in a direction crossing the trench line below the trench line due to the crack line.
e) The brittle substrate is cut along the crack line.
なお、上記「a)」〜「e)」のアルファベット文字は、工程を区別するために付されているものであり、工程の実施の順番について含意するものではない。 Note that the alphabetic characters “a)” to “e)” are given for distinguishing the steps, and do not imply the order of performing the steps.
本発明によれば、軸対称性を有する先端部が設けられた刃先が脆性基板の一の面上を摺動させられる際に、一の面に対して刃先の軸方向が垂直とされる。これにより、刃先のうち、脆性基板に直接接触することになる部分が、先端部に実質的に含まれることとなり、摺動方向に依存することなく、軸方向と摺動方向との関係が一定となる。よって、刃先の摺動方向に応じて刃先の姿勢を調整する必要がない。 According to the present invention, when the cutting edge provided with the axially symmetrical tip is slid on one surface of the brittle substrate, the axial direction of the cutting edge is perpendicular to the one surface. As a result, the portion of the cutting edge that comes into direct contact with the brittle substrate is substantially included in the tip portion, and the relationship between the axial direction and the sliding direction is constant without depending on the sliding direction. Becomes Therefore, it is not necessary to adjust the attitude of the cutting edge according to the sliding direction of the cutting edge.
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding portions have the same reference characters allotted, and description thereof will not be repeated.
<実施の形態1>
図1および図2のそれぞれは、本実施の形態におけるガラス基板4(脆性基板)の分断方法に用いられるカッティング器具50の構成を概略的に示す斜視図である。図3は、図1および図2の刃先51の先端部51Nの近傍の部分断面図である。<First Embodiment>
FIGS. 1 and 2 are perspective views schematically showing the configuration of a
カッティング器具50は刃先51および支持部52を有している。刃先51と支持部52とは、同一材料からなる一体の部材であってもよい。
The cutting
刃先51には、図3に示すように、軸方向AXにおける軸対称性を有する先端部51Nが設けられている。すなわち、先端部51Nの表面は、軸方向AX周りに曲線を回転させることによって得られる面である。先端部51Nの表面は、外側に向かって凸形状を有する曲面である。先端部51Nの表面は、球面の一部であってもよい。先端部51Nの曲率半径は、3μm以上40μm以下であることが好ましい。先端部51Nの表面は、円錐面であってもよく、この円錐面の頂点は丸められていてもよい。先端部51Nの軸方向AXに沿っての寸法は、典型的には0.5μm以上であり、通常1.0μm以上あれば十分であり、好ましくは2.0μm以上である。これにより、刃先51のうち、ガラス基板4に直接接触することになる部分が、通常、先端部51Nに実質的に含まれる。なお、上述した「軸対称性」は、好ましくは理想的な幾何学的軸対称性であるが、ガラス基板4への作用に鑑みての実質的な軸対称性であってもよい。後者を本明細書では「疑似的軸対称性」と称し、その詳細については、後述する実施の形態10において説明する。
As shown in FIG. 3, the
好ましくは、先端部51Nを含む刃先51の全体が、軸方向AXにおける軸対称性を有している。図3においては、刃先51は、軸方向AXにおける軸対称性を有する直円錐形状を含み、この直円錐形状の頂点に先端部51Nが設けられている。軸方向AXを含む断面(図3)において、先端部51Nの形状を無視すれば、この直円錐形状の頂点の角度は、120°以上が好ましく、130°以上がより好ましい。またこの角度は、160°以下が好ましく、150°以下がより好ましい。
Preferably, the
支持部52は軸方向AXに沿って延在していることが好ましい。カッティング器具50の全体が、軸方向AXにおける軸対称性を有していてもよい。
It is preferable that the
次に、図4に示すフロー図を参照しつつ、ガラス基板4の分断方法について、以下に説明する。
Next, a method of cutting the
ステップS10(図4)にて、分断されることになるガラス基板4(図2)が準備される。ガラス基板4は、上面SF1(一の面)と、その反対の下面SF2(他の面)とを有している。上面SF1には縁EDが設けられている。上面SF1は、典型的には平坦である。図5で示す例においては、縁EDは長方形状を有する。ガラス基板4は、上面SF1に垂直な厚さ方向DTを有する。またステップS20(図4)にて、上述した、刃先51を有するカッティング器具50(図1〜図3)が準備される。
In step S10 (FIG. 4), a glass substrate 4 (FIG. 2) to be cut is prepared. The
図5を参照して、ステップS30(図4)にて、直線形状を有するトレンチラインTLが形成される。具体的には、以下の工程が行われる。 Referring to FIG. 5, in step S30 (FIG. 4), a trench line TL having a linear shape is formed. Specifically, the following steps are performed.
まず、刃先51(図1〜図3)の先端部51Nが上面SF1に位置N1で押し付けられる。これにより先端部51Nがガラス基板4に接触する。位置N1は、図示されているように、ガラス基板4の上面SF1の縁EDから離れていることが好ましい。その場合、刃先51の摺動開始時に、刃先51がガラス基板4の上面SF1の縁EDに衝突することが避けられる。
First, the
次に、ガラス基板4の上面SF1に対して刃先51の軸方向AXを垂直としつつ、上面SF1上において刃先51の先端部51Nが摺動させられる(図5の矢印参照)。摺動時に刃先51には外部から荷重が印加される。この荷重方向は上面SF1に対して垂直である。摺動によって上面SF1上に塑性変形が発生させられる。
Next, the
この塑性変形により、溝形状(図6参照)を有するトレンチラインTLがガラス基板4の上面SF1上に形成される。トレンチラインTLは、トレンチラインTLの下方においてガラス基板4がトレンチラインTLの延在方向(図5における横方向)と交差する方向DC(図6)において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように形成される。クラックレス状態においては、塑性変形によるトレンチラインTLは形成されているものの、それに沿ったクラックは形成されていない。クラックレス状態を得るために、刃先51に加えられる荷重は、トレンチラインTL形成時点ではクラックが発生しない程度に小さく、かつ、後の工程でクラックを発生させることができる内部応力の状態を作り出すような塑性変形が発生する程度大きくなるように調整される。
Due to this plastic deformation, a trench line TL having a groove shape (see FIG. 6) is formed on the upper surface SF1 of the
トレンチラインTLは、ガラス基板4の塑性変形のみによって生じることが好ましく、その場合、ガラス基板4の上面SF1上で削れが生じない。削れを避けるためには、刃先51の荷重を過度に高くしなければよい。削れがないことにより、上面SF1上に、好ましくない微細な破片が生じることが避けられる。ただし、若干の削れは、通常、許容され得る。
The trench line TL is preferably generated only by the plastic deformation of the
トレンチラインTLの形成は、位置N1および位置N3eの間で、位置N1から位置N2を経由して位置N3eへ刃先51の先端部51Nを摺動させることによって行われる。位置N2は、ガラス基板4の上面SF1の縁EDから離れている。位置N3eは、ガラス基板4の上面SF1の縁EDに位置している。よって、トレンチラインTLを形成するために摺動させられた刃先51は、最終的に位置N3eに達する。クラックレス状態は、刃先51が位置N2に位置している時点で維持されており、さらに、刃先51が位置N3eに達する瞬間まで維持されている。刃先51が位置N3eに達すると、刃先51は、ガラス基板4の上面SF1の縁EDを切り下ろす。
The formation of the trench line TL is performed by sliding the
図7および図8を参照して、上記の切り下ろしによって、位置N3eに微細な破壊が生じる。この破壊を起点として、トレンチラインTL付近の内部応力を解放するようにクラックが発生する。具体的には、ガラス基板4の上面SF1の縁EDに位置する位置N3eからトレンチラインTLに沿って、厚さ方向DTにおけるガラス基板4のクラックが伸展する(図7における矢印参照)。言い換えれば、クラックラインCLの形成が開始される。これにより、ステップS50(図4)として、位置N3eから位置N1へクラックラインCLが形成される。トレンチラインTLに沿ってクラックラインCLが伸展する方向(図7の矢印)は、トレンチラインTLが形成された方向(図5の矢印)と逆である。
Referring to FIG. 7 and FIG. 8, the above-mentioned downcut causes minute destruction at position N3e. Starting from this destruction, cracks occur so as to release the internal stress near the trench line TL. Specifically, cracks in the
なお、クラックラインCLの形成をより確実にするために、刃先51が位置N2から位置N3eを摺動する速度を、位置N1から位置N2における速度より小さくしてもよい。同様に、位置N2から位置N3eにおいて刃先51に印加される荷重を、クラックレス状態が維持される範囲で位置N1から位置N2における荷重よりも大きくしてもよい。
In order to more reliably form the crack line CL, the speed at which the
クラックラインCLによってトレンチラインTLの下方においてガラス基板4はトレンチラインTLの延在方向(図7における横方向)と交差する方向DC(図8)において連続的なつながりが断たれている。ここで「連続的なつながり」とは、言い換えれば、クラックによって遮られていないつながりのことである。なお、上述したように連続的なつながりが断たれている状態において、クラックラインCLのクラックを介してガラス基板4の部分同士が接触していてもよい。また、トレンチラインTLの直下にわずかに連続的なつながりが残されていてもよい。
Below the trench line TL, the continuous connection of the
次に、ステップS60(図4)にて、クラックラインCLに沿ってガラス基板4が分断される。すなわち、いわゆるブレイク工程が行なわれる。ブレイク工程は、ガラス基板4への外力の印加によって行ない得る。たとえば、ガラス基板4の上面SF1上のクラックラインCL(図8)に向かって下面SF2上に応力印加部材(たとえば、「ブレイクバー」と称される部材)を押し付けることによって、クラックラインCLのクラックを開くような応力がガラス基板4へ印加される。なおクラックラインCLがその形成時に厚さ方向DTに完全に進行した場合は、クラックラインCLの形成とガラス基板4の分断とが同時に生じる。
Next, in step S60 (FIG. 4), the
以上によりガラス基板4の分断が行なわれる。なお上述したクラックラインCLの形成工程は、いわゆるブレイク工程と本質的に異なっている。ブレイク工程は、既に形成されているクラックを厚さ方向にさらに伸展させることで基板を完全に分離するものである。一方、クラックラインCLの形成工程は、トレンチラインTLの形成によって得られたクラックレス状態から、クラックを有する状態への変化をもたらすものである。この変化は、クラックレス状態が有する内部応力の開放によって生じると考えられる。
Thus, the
本実施の形態によれば、軸対称性を有する先端部51Nが設けられた刃先51がガラス基板4の上面SF1上を摺動させられる際に、上面SF1に対して刃先51の軸方向AXが垂直とされる(図2)。これにより、刃先51の先端部51Nが摺動させられる方向DAに依存することなく、軸方向AXと摺動方向DAとの関係が一定となる。よって、刃先51の摺動方向DAに応じて刃先51の姿勢を調整する必要がない。
According to the present embodiment, when the
なお、後述する他の実施の形態においても、トレンチラインTLの形成のために刃先51がガラス基板4の上面SF1上を摺動させられる際に、上面SF1に対して刃先51の軸方向AXが垂直とされる。よって、他の実施の形態においても、本実施の形態と同様の効果が得られる。
In other embodiments described later, when the
<実施の形態2>
実施の形態1においては、トレンチラインTLが直線形状を有している。これに対して、本実施の形態においては、トレンチラインTLは曲線形状を含む。以下、トレンチラインTLを形成する工程について詳述する。<Embodiment 2>
In the first embodiment, trench line TL has a linear shape. On the other hand, in the present embodiment, trench line TL includes a curved shape. Hereinafter, a process of forming the trench line TL will be described in detail.
図9を参照して、本実施の形態においては、トレンチラインTLは曲線形状を有する。これに対応して、トレンチラインTLを形成する工程は、刃先51の先端部51Nを方向DA1(第1方向)に向かって摺動させる工程と、その後に、先端部51Nを方向DA2(第2方向)に向かって摺動させる工程とを含む。
Referring to FIG. 9, in the present embodiment, trench line TL has a curved shape. Correspondingly, the step of forming the trench line TL includes a step of sliding the
図10を参照して、方向DA2は方向DA1とは異なる。また刃先51の先端部51Nの摺動方向DAは、方向DA1と方向DA2との間で、図中の破線で示すように、連続的に変化する。
Referring to FIG. 10, direction DA2 is different from direction DA1. The sliding direction DA of the
続いて、トレンチラインTLに沿ってクラックラインが形成される。図11を参照して、このクラックラインに沿ってガラス基板4が分断される。
Subsequently, a crack line is formed along the trench line TL. Referring to FIG. 11,
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態1の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。 Since the configuration other than the above is substantially the same as the configuration of the above-described first embodiment, the same or corresponding elements have the same reference characters allotted, and description thereof will not be repeated.
本実施の形態においては、摺動方向DAが方向DA1と方向DA2との間で変化する。刃先51の先端部51Nが軸対称性を有し、かつ、上面SF1に対して刃先51の軸方向AXが垂直とされる(図2)ことから、上述した摺動方向DAの変化は、軸方向AXと摺動方向DAとの関係に影響を及ぼさない。よって、刃先51の摺動方向DAに応じて刃先51の姿勢を調整する必要がない。言い換えれば、曲線部を含むトレンチラインTLが形成される際においても、刃先51の摺動方向DAに応じて刃先51の姿勢を調整する必要がない。
In the present embodiment, the sliding direction DA changes between the direction DA1 and the direction DA2. Since the
<実施の形態3>
図12を参照して、本実施の形態においては、トレンチラインTLは、実質的に、閉曲線を含む。これに対応して、図13に示すように、摺動方向DAは、図中の破線で示すように、全方向にわたって変化する。言い換えれば、刃先51の先端部51Nは、全方向に向かって摺動させられる。なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態2の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。<Embodiment 3>
Referring to FIG. 12, in the present embodiment, trench line TL substantially includes a closed curve. Correspondingly, as shown in FIG. 13, the sliding direction DA changes in all directions as shown by the broken lines in the figure. In other words, the
<実施の形態4>
図14および図15を参照して、本実施の形態においては、トレンチラインTLが形成される際に、刃先51の先端部51Nをガラス基板4の上面SF1上に接触させつつ、先端部51Nが向かう方向DAが方向DA1から方向DA2に不連続に変化させられる。<
Referring to FIGS. 14 and 15, in the present embodiment, when trench line TL is formed,
続いて、トレンチラインTLに沿ってクラックラインが形成される。図16を参照して、このクラックラインに沿ってガラス基板4が分断される。
Subsequently, a crack line is formed along the trench line TL. Referring to FIG. 16,
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態2の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。 Since the configuration other than the above is substantially the same as the configuration of the second embodiment described above, the same or corresponding elements have the same reference characters allotted, and description thereof will not be repeated.
方向DAが不連続に変化する瞬間においては、刃先51はガラス基板4に対して相対的にほぼ停止している。このような停止状態において、仮に刃先51の姿勢が調整されたとすると、刃先51の先端部51Nまたはガラス基板4へダメージが生じやすい。本実施の形態によれば、刃先51の姿勢を調整する必要がないので、上述したダメージを避けることができる。
At the moment when the direction DA changes discontinuously, the
<実施の形態5>
図17を参照して、本実施の形態において形成されるトレンチラインTLは、互いに平行なトレンチラインTL1およびトレンチラインTL2を含む。トレンチラインTL1およびトレンチラインTL2は交互に形成される。トレンチラインTL1が形成される際には、刃先51の先端部51Nをガラス基板4の上面SF1上に接触させつつ、先端部51Nが向かう方向DAが方向DA1とされる。トレンチラインTL2が形成される際には、刃先51の先端部51Nをガラス基板4の上面SF1上に接触させつつ、先端部51Nが向かう方向DAが方向DA2とされる。方向DA1と方向DA2とは、互いに反対である。よって、図18に示すように、先端部51Nが向かう方向DAは、方向DA1および方向DA2のいずれかである。トレンチラインTLの形成において、摺動方向DAは、方向DA1と方向DA2との間で不連続に変化させられる。<Embodiment 5>
Referring to FIG. 17, trench line TL formed in the present embodiment includes a trench line TL1 and a trench line TL2 which are parallel to each other. The trench lines TL1 and TL2 are formed alternately. When the trench line TL1 is formed, the direction DA of the
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態4の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。 Since the configuration other than the above is substantially the same as the configuration of the above-described fourth embodiment, the same or corresponding elements have the same reference characters allotted, and description thereof will not be repeated.
仮に、トレンチラインTL1およびトレンチラインTL2の両方が、方向DA1の摺動によって形成されたとすると、刃先51を一方の縁(図中、左の縁)から他方の縁(図中、右の縁)へ移動させることでトレンチラインTL1を形成した後に、刃先51を上記一方の縁の方へ戻すためだけの動作が必要となる。これに対して本実施の形態によれば、この動作中にトレンチラインTL2が形成される。これにより、工程に必要な時間が短縮される。よって生産性を向上させることができる。
Assuming that both the trench line TL1 and the trench line TL2 are formed by sliding in the direction DA1, the
<実施の形態6>
図19を参照して、上述した各実施の形態において、トレンチラインTLが形成される際に、刃先51が軸方向AX周りに回転させられてもよい(図中、回転RT参照)。回転RTは、ガラス基板4の上面SF1上において刃先51の先端部51Nを摺動させながら行われてもよい。回転RTは、摺動中、常時行われてもよく、間欠的に行われてもよい。あるいは、回転RTは、ガラス基板4の上面SF1上において刃先51の先端部51Nを摺動させることなく行われてもよい。この場合、刃先51が停止した状態で、または刃先51がガラス基板4から離れた状態で、刃先51が回転させられる。<Embodiment 6>
Referring to FIG. 19, in each of the above-described embodiments, when forming trench line TL, cutting
本実施の形態によれば、刃先51の局所的な摩耗が避けられる。よって刃先51の寿命を延ばすことができる。
According to the present embodiment, local wear of the
<実施の形態7>
上述した各実施の形態において、トレンチラインTLが形成される際に、ガラス基板4の上面SF1上において刃先51の先端部51Nが摺動することになる位置に、潤滑剤が供給されてもよい。言い換えれば、トレンチラインTLを形成する工程(図4:ステップS30)は、図20に示すように、潤滑剤を供給するステップS31と、潤滑剤が供給された位置において刃先51が摺動されるステップS32とを含んでもよい。潤滑剤としては、たとえば常温で液体の潤滑油または常温で固体の潤滑剤を用い得る。<Embodiment 7>
In each of the above-described embodiments, when the trench line TL is formed, the lubricant may be supplied to a position where the
上述した各実施の形態においては、トレンチラインTLの形成時に、ガラス基板4の上面SF1と摺動する刃先51が摩耗しやすくなる。本実施の形態によれば、このような摩耗を抑制することができる。
In each of the above-described embodiments, the
<実施の形態8>
図21を参照して、ステップS10(図4)にて、上記実施の形態1と同様のガラス基板4が準備される。ただし本実施の形態においては、ガラス基板4の上面SF1上に、予めアシストラインALが設けられている。図22を参照して、アシストラインALは、アシストトレンチラインTLaと、アシストクラックラインCLaとを有している。アシストトレンチラインTLaは溝形状を有している。アシストクラックラインCLaは、厚さ方向DTにおけるガラス基板4のクラックがアシストトレンチラインTLaに沿って延びることによって構成されている。<
Referring to FIG. 21, in step S10 (FIG. 4), a
本実施の形態においては、アシストラインALはガラス基板4の上面SF1に、アシストトレンチラインTLaおよびアシストクラックラインCLaを同時に形成する工程によって設けられる。このようなアシストラインALは、従来の典型的なスクライブ方法によって形成され得る。たとえば、このようなアシストラインALは、図21の矢印に示すように、刃先がガラス基板4の上面SF1の縁EDを乗り上げ、そして上面SF1上を移動することによって形成され得る。この刃先は、回動可能に保持されたもの(ホイール型のもの)であることが好ましい。言い換えれば、刃先はガラス基板4上で摺動ではなく回動するものであることが好ましい。
In the present embodiment, the assist line AL is provided on the upper surface SF1 of the
なお、アシストラインALの起点は、図21においては縁EDであるが、縁EDから離れていてもよい。また、アシストラインALは、前述した実施の形態1〜7のいずれかにおけるクラックラインCLの形成方法と同様の方法によって形成されてもよい。また、ガラス基板4上で摺動させられる刃先を用いて上記のアシストラインALが形成されていてもよい。あるいは、前述したアシストラインAL用の刃先の準備を容易とするために、上記のアシストラインALがこの刃先51を用いて形成されていてもよい。
The starting point of the assist line AL is the edge ED in FIG. 21, but may be away from the edge ED. Further, assist line AL may be formed by a method similar to the method of forming crack line CL in any of the first to seventh embodiments described above. Further, the above-described assist line AL may be formed using a blade that is slid on the
次にステップS20(図4)にて、実施の形態1と同様の刃先51が準備される。
Next, in step S20 (FIG. 4), the
図23を参照して、次に、ステップS30(図4)にてトレンチラインTLが形成される。本実施の形態においては、トレンチラインTLの形成は、位置N1および位置N3aの間で、位置N1から位置N2を経由して位置N3aへ刃先51を摺動させることによって行われる。位置N3aはアシストラインAL上に配置されている。位置N2は、位置N1と位置N3aとの間に配置されている。好ましくは、刃先51は、アシストラインAL上の位置N3aを超えてさらに位置N4まで摺動させられる。位置N4は縁EDから離れていることが好ましい。
Referring to FIG. 23, next, in step S30 (FIG. 4), trench line TL is formed. In the present embodiment, the formation of trench line TL is performed by sliding
トレンチラインTLを形成するために上記のように摺動させられた刃先51は、位置N3aにおいてアシストラインALと交差する。この交差によって位置N3aに微細な破壊が生じる。この破壊を起点として、トレンチラインTL付近の内部応力を解放するようにクラックが発生する。具体的には、アシストラインAL上に位置する位置N3aからトレンチラインTLに沿って、厚さ方向におけるガラス基板4のクラックが伸展する(図24の矢印参照)。言い換えれば、クラックラインCL(図24)の形成が開始される。これにより、ステップS50(図4)として、位置N3aから位置N1へクラックラインCLが形成される。
The
刃先51は、位置N3aに達した後、ガラス基板4から離される。好ましくは、刃先51は、位置N3aを超えて位置N4まで摺動した後、ガラス基板4から離される。
After reaching the position N3a, the
次に、ステップS60(図4)にて、実施の形態1と同様に、クラックラインCLに沿ってガラス基板4が分断される。以上により本実施の形態のガラス基板4の分断方法が行われる。
Next, in step S60 (FIG. 4), similarly to the first embodiment,
実施の形態1においては、刃先51が位置N3e(図5)でガラス基板4を切り下ろす。これに対して、本実施の形態によれば、このような切り下ろしが必要ない。これにより、刃先51による切り下ろしの際に生じ得る、刃先51またはガラス基板4へのダメージを避けることができる。
In the first embodiment, the
なお、刃先51がアシストラインALと交差しただけでは、クラックラインCLの形成開始のきっかけが得られない場合があり得る。そのような場合は、アシストラインALと交差するトレンチラインTLが形成された後に、ガラス基板4がアシストラインALに沿って分断されればよい。これにより、クラックラインCLの形成開始のきっかけを得ることができる。
It should be noted that the start of the formation of the crack line CL may not be obtained simply by the intersection of the
<実施の形態9>
図26を参照して、まず、他の実施の形態と同様、ガラス基板4が準備される(図4:ステップS10)。また刃先51が準備される(図4:ステップS20)。<Embodiment 9>
Referring to FIG. 26, first, as in the other embodiments,
次に、他の実施の形態と同様、ガラス基板4の上面SF1に対して刃先51の軸方向AXを垂直としつつ、上面SF1上において刃先51の先端部51Nが摺動させられる。この摺動は、始点N1から途中点N2を経由して終点N3まで行われる。これによってガラス基板4の上面SF1上に塑性変形が発生させられる。これによって上面SF1上に、始点N1から途中点N2を経由して終点N3へ延びるトレンチラインTLが形成される(図4:ステップS30)。
Next, as in the other embodiments, the
トレンチラインTLの各々を形成する工程は、トレンチラインTLの一部として低荷重区間LRを形成する工程(図25:ステップS30L)と、トレンチラインTLの一部として高荷重区間HRを形成する工程(図25:ステップS30H)とを含む。図26においては、始点N1から途中点N2まで低荷重区間LRが形成され、途中点N2から終点N3まで高荷重区間HRが形成される。高荷重区間HRを形成する工程において刃先51に加えられる荷重は、低荷重区間LRを形成する工程で用いられる荷重よりも高い。逆に言えば、低荷重区間LRを形成する工程において刃先51に加えられる荷重は、高荷重区間HRを形成する工程で用いられる荷重よりも低く、たとえば、高荷重区間HRの荷重の30〜50%程度である。そのため、高荷重区間HRにおけるトレンチラインの幅は、低荷重区間LRの幅よりも大きい。また、図27に示すように、高荷重区間HRの深さは、低荷重区間LRの深さよりも大きい。トレンチラインTLの断面は、たとえば、角度150°程度のV字形状を有する。
The step of forming each of the trench lines TL includes a step of forming a low load section LR as a part of the trench line TL (FIG. 25: step S30L) and a step of forming a high load section HR as a part of the trench line TL. (FIG. 25: Step S30H). In FIG. 26, a low load section LR is formed from the start point N1 to the middle point N2, and a high load section HR is formed from the middle point N2 to the end point N3. The load applied to the
なお、高荷重区間HRにおいては刃先51へ高い荷重が加えられるため、刃先51の寿命を考慮すれば、高荷重区間HRの距離は小さいことが好ましい。さらに、トレンチラインTL形成中に荷重を変化させる場合、より小さい距離で高荷重区間HRにおける荷重を十分に大きくするため、高荷重区間HRではスクライブ速度が小さくされることが好ましい。すなわち、刃先51の荷重を瞬間的に増加させる制御は困難であることから、実際には位置N2を始点として、一定の区間ではあらかじめ定められた荷重に達するまで荷重が大きくされながらスクライブが行われる。したがって、高荷重区間HRにおける速度を小さくすることで、より小さな距離で高荷重にすることができ、高荷重区間HR全体の距離を小さくすることができる。
Since a high load is applied to the
トレンチラインTLを形成する工程は、トレンチラインTLの直下においてガラス基板4がトレンチラインTLと交差する方向DC(図28および図29)において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように行われる。このためには、刃先に加えられる荷重が、ガラス基板4の塑性変形を発生させる程度に大きく、かつ、この塑性変形部を起点としたクラックを発生させない程度に小さくされる。
In the step of forming the trench line TL, a crackless state in which the
次に、クラックラインを形成する工程(図4:ステップS50)が、以下のように行われる。 Next, a step of forming a crack line (FIG. 4: step S50) is performed as follows.
図30〜図32を参照して、まず、ガラス基板4の上面SF1上において高荷重区間HRに交差するアシストラインALが形成される。アシストラインALは、ガラス基板4の厚さ方向に浸透するクラックを伴う。アシストラインALは、通常のスクライブ方法によって形成し得る。
Referring to FIGS. 30 to 32, first, an assist line AL that intersects high load section HR is formed on upper surface SF1 of
次に、アシストラインALに沿ってガラス基板4が分離される。この分離は、通常のブレイク工程によって行い得る。この分離をきっかけとして、厚さ方向におけるガラス基板4のクラックがトレンチラインTLに沿って、トレンチラインTLのうち高荷重区間HRにのみ伸展させられる。
Next, the
図33および図34を参照して、以上により、トレンチラインTLの一部に沿ってクラックラインCLが形成される。具体的には、高荷重区間HRのうち、分離によって新たに生じた辺と、途中点N2との間の部分に、クラックラインCLが形成される。クラックラインCLが形成される方向は、トレンチラインTLが形成された方向DA(図26)と反対である。 33 and 34, crack line CL is formed along part of trench line TL as described above. Specifically, a crack line CL is formed in a portion between the side newly generated by separation and the midpoint N2 in the high load section HR. The direction in which the crack line CL is formed is opposite to the direction DA (FIG. 26) in which the trench line TL is formed.
なお、分離によって新たに生じた辺と終点N3との間の部分にはクラックラインCLが形成されにくい。この理由は、トレンチラインTL近傍に発生させられる内部応力の分布が、トレンチラインTLの形成方向に依存した異方性を有しているためではないかと推測される。 Note that a crack line CL is not easily formed in a portion between a side newly generated by separation and the end point N3. This is presumably because the distribution of the internal stress generated near the trench line TL has anisotropy depending on the direction in which the trench line TL is formed.
図35を参照して、クラックラインCLによってトレンチラインTLの高荷重区間HRの直下において、ガラス基板4はトレンチラインTLの延在方向と交差する方向DCにおいて連続的なつながりが断たれている。ここで「連続的なつながり」とは、言い換えれば、クラックによって遮られていないつながりのことである。なお、上述したように連続的なつながりが断たれている状態において、クラックラインCLのクラックを介してガラス基板4の部分同士が接触していてもよい。
Referring to FIG. 35, immediately below the high load section HR of trench line TL by crack line CL,
次に、トレンチラインTLに沿ってガラス基板4を分断するブレイク工程が行われる(図4:ステップS60)。この際に、ガラス基板4に応力を加えることによってクラックラインCLを起点として低荷重区間LRに沿ってクラックが伸展させられる。クラックが伸展する方向(図36における矢印PR)は、トレンチラインTLが形成された方向DA(図26)と反対である。
Next, a breaking step of dividing the
以上により、ガラス基板4が分断される。
Thus, the
本実施の形態によれば、ガラス基板4が分断される位置を規定するためのトレンチラインTL(図26および図27)の形成に際して、高荷重区間HRに比して低荷重区間LRにおいて、刃先51(図1)に加えられる荷重が軽減される。これにより刃先51へのダメージを小さくすることができる。
According to the present embodiment, when forming trench line TL (FIGS. 26 and 27) for defining the position where
また低荷重区間LRおよび高荷重区間HRのうち低荷重区間LRがクラックレス状態である場合(図33および図34)、ガラス基板4が分断される起点となるクラックが低荷重区間LRにはない。よってこの状態においてガラス基板4に対して任意の処理を行う場合、低荷重区間LRに不慮の応力が加わっても、ガラス基板4の意図しない分断が生じにくい。よって上記処理を安定的に行うことができる。
When the low load section LR of the low load section LR and the high load section HR is in a crackless state (FIGS. 33 and 34), there is no crack in the low load section LR that is a starting point at which the
また低荷重区間LRおよび高荷重区間HRの両方がクラックレス状態である場合(図26および図27)、ガラス基板4が分断される起点となるクラックがトレンチラインTLにない。よってこの状態においてガラス基板4に対して任意の処理を行う場合、トレンチラインTLに不慮の応力が加わっても、ガラス基板4の意図しない分断が生じにくい。よって上記処理をより安定的に行うことができる。
When both the low load section LR and the high load section HR are in a crackless state (FIGS. 26 and 27), no crack serving as a starting point at which the
またトレンチラインTLはアシストラインALの形成前に形成される。これにより、トレンチラインTLの形成時にアシストラインALが影響を及ぼすことを避けることができる。特に、トレンチラインTL形成のために刃先51がアシストラインAL上を通過した直後における形成異常を避けることができる。
The trench line TL is formed before the formation of the assist line AL. This can prevent the assist line AL from affecting the formation of the trench line TL. In particular, it is possible to avoid abnormal formation immediately after the
<実施の形態10>
本実施の形態においては、前述した実施の形態1において言及された疑似的軸対称性を刃先の先端部が有する場合について説明する。<Embodiment 10>
In the present embodiment, a case where the tip of the cutting edge has the pseudo-axial symmetry mentioned in the first embodiment will be described.
図37は、本実施の形態におけるカッティング器具150の構成を概略的に示す斜視図である。カッティング器具150は、先端部51Nが設けられた刃先51(図2)に代り、先端部151Nが設けられた刃先151を有している。刃先151は、丸められた頂点を有する多角錐の形状を有している。多角錐は側面SDと稜線RGとを有している。多角錐の頂点に先端部151Nが設けられている。
FIG. 37 is a perspective view schematically showing a configuration of a cutting
図38は、図37の線XXXVIII−XXXVIIIに沿う、軸方向AXに垂直な概略断面図である。線XXXVIII−XXXVIII(図37)は、刃先151における先端部151Nとそれ以外の部分との境界近傍における、軸方向AXに垂直な断面に対応している。以下、この断面視における先端部151Nの形状について説明する。
FIG. 38 is a schematic sectional view taken along the line XXXVIII-XXXVIII in FIG. 37 and perpendicular to the axial direction AX. A line XXXVIII-XXXVIII (FIG. 37) corresponds to a cross section perpendicular to the axial direction AX near the boundary between the
先端部151Nの形状は、上記多角錐に対応したn辺多角形(n≧3)であり、好ましくは正多角形である。図38においては16角形(n=16)が例示されている。先端部151Nは、n個の稜線RG(図37)に対応してn個の点PTを有しており、点PTの各々は外接円CCに接している。また先端部151Nは、n個の側面SD(図37)に対応してn個の辺SDを有しており、辺SDの各々は寸法DSを有している。外接円CCの大きさを一定として、nが大きくなるほど、寸法DSは小さくなり、結果として先端部151Nの断面形状は円形に近づいていく。よってnが大きくなるほど、先端部151Nの、軸方向AXにおける軸対称性は、理想的な幾何学的対称性に近づく。よって、nがある程度大きければ、先端部151Nは、その機能上、軸対称性を有しているといえる。すなわち、先端部151Nは、前述した疑似的軸対称性を有しているといえる。本発明者の検討によれば、寸法DSが1μm以下であれば、先端部151Nは疑似的軸対称性を有しているといえる。この条件を満たすnは、例えば、先端部151Nの角度と、軸AX近傍での先端部151Nの曲率半径とから算出され得る。この算出の例について、以下に説明する。
The shape of the
図39は、図38の線A−Aに沿う断面視に対応しており、先端部151Nの例として、軸AX近傍で曲率半径R=3μmを有する先端部151Na〜151Ncの表面形状を示している。先端部151Na〜151Ncのそれぞれは、先端角度120°、130°および140°を有している。軸AX近傍での曲率半径Rが3μmであることから、先端部51Nの軸方向AXに沿っての寸法が1μmの場合、先端部151Na〜151Ncのそれぞれは、直径5.08μm、5.62μmおよび6.56μmを有している。言い換えれば、先端部151Na〜151Ncのそれぞれは、円周15.96μm、17.65μmおよび20.60μmを有している。よって、寸法DS(図38)を1μm以下とするnは、先端部151Naの場合は16以上であり、先端部151Nbの場合は18以上であり、先端部151Ncの場合は21以上である。
FIG. 39 corresponds to a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 38, and illustrates surface shapes of tips 151Na to 151Nc having a radius of curvature R = 3 μm near axis AX as an example of
図40は、図38の線A−Aに沿う断面視に対応しており、先端部151Nの例として、軸AX近傍で曲率半径R=5μmを有する先端部151Ni〜151Nkの表面形状を示している。先端部151Ni〜151Nkのそれぞれは、先端角度120°、130°および140°を有している。軸AX近傍での曲率半径Rが5μmであることから、先端部51Nの軸方向AXに沿っての寸法が1μmの場合、先端部151Ni〜151Nkのそれぞれは、直径6.17μm、6.51μmおよび7.26μmを有している。言い換えれば、先端部151Ni〜151Nkのそれぞれは、円周19.38μm、20.45μmおよび22.80μmを有している。よって、寸法DS(図38)を1μm以下とするnは、先端部151Niの場合は20以上であり、先端部151Njの場合は21以上であり、先端部151Nkの場合は23以上である。
FIG. 40 corresponds to a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 38 and illustrates, as an example of the
図39および図40の検討結果を踏まえれば、例えばn≧16であれば疑似的軸対称性を得ることができる場合がある。よってnは16以上が好ましい。n≧25であれば、通常用いられる範囲内での任意の先端角度および曲率半径を用いつつ疑似的軸対称性を得ることができる。先端部を形成するための作業の作業性および加工時間に鑑みれば、nは不必要に大きくないことが好ましく、よってnは25以下が好ましい。 Based on the study results in FIGS. 39 and 40, for example, if n ≧ 16, pseudo axial symmetry may be obtained. Therefore, n is preferably 16 or more. If n ≧ 25, pseudo-axial symmetry can be obtained while using any tip angle and radius of curvature within a normally used range. In view of the workability and working time of the work for forming the tip, n is preferably not unnecessarily large, and therefore n is preferably 25 or less.
刃先151を得るためには、例えば、多角柱形状を有する材料片(例えばダイヤモンド片)の先端を複数回研磨することによって、このダイヤモンド片の先端部に略多角錐形状が付与されればよい。変形例として、稜線RG(図37)に対してR面取りが施されてもよい。これにより辺SD(図38)の直線部分が短くなるので、先端部151Nの形状は、より円形に近づく。すなわち、先端部151Nの軸対称性は、より理想的なものに近づく。この場合、より小さなnによっても疑似的軸対称性が得られる。
In order to obtain the
なお上記各実施の形態においては上面SF1の縁が長方形状である場合について図示されているが、他の形状が用いられてもよい。また上面SF1が平坦である場合について説明したが、上面は湾曲していてもよい。またトレンチラインTLが直線状である場合について説明したが、トレンチラインTLは曲線状であってもよい。また脆性基板としてガラス基板4が用いられる場合について説明したが、脆性基板は、ガラス以外の脆性材料から作られていてもよく、たとえば、セラミックス、シリコン、化合物半導体、サファイアまたは石英から作られ得る。
In each of the above embodiments, the case where the edge of the upper surface SF1 is rectangular is illustrated, but another shape may be used. Although the case where the upper surface SF1 is flat has been described, the upper surface may be curved. Although the case where the trench line TL is linear has been described, the trench line TL may be curved. Although the case where the
AL アシストライン
CL クラックライン
AX 軸方向
SF1 上面(一の面)
HR 高荷重区間
LR 低荷重区間
TL,TL1,TL2 トレンチライン
4 ガラス基板(脆性基板)
50,150 カッティング器具
51,151 刃先
51N,151N,151Na〜151Nc,151Ni〜151Nk 先端部
52 支持部AL Assist line CL Crack line AX Axial direction SF1 Upper surface (one surface)
HR High load section LR Low load section TL, TL1,
50, 150
Claims (9)
b)軸方向における軸対称性を有する先端部が設けられた刃先を準備する工程を備え、さらに
c)前記脆性基板の前記一の面に対して前記刃先の前記軸方向を垂直としつつ、前記一の面上において前記刃先の前記先端部を摺動させることによって、溝形状を有するトレンチラインを塑性変形により前記脆性基板の前記一の面上に形成する工程を備え、前記トレンチラインは、前記トレンチラインの下方において前記脆性基板が前記トレンチラインと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように形成され、さらに
d)前記トレンチラインに沿って前記厚さ方向における前記脆性基板のクラックを伸展させることによって、クラックラインを形成する工程を備え、前記クラックラインによって前記トレンチラインの下方において前記脆性基板は前記トレンチラインと交差する方向において連続的なつながりが断たれており、さらに
e)前記クラックラインに沿って前記脆性基板を分断する工程を備え、
前記刃先の前記先端部は、曲率半径が3μm以上40μm以下であり、軸方向に沿っての寸法が0.5μm以上である、
脆性基板の分断方法。 a) providing a brittle substrate having one surface and a thickness direction perpendicular to the one surface; and b) preparing a cutting edge provided with a tip having axial symmetry in the axial direction. And c) by sliding the tip of the cutting edge on the one surface while making the axial direction of the cutting edge perpendicular to the one surface of the brittle substrate. Forming a trench line on the one surface of the brittle substrate by plastic deformation, wherein the trench line is continuously formed in a direction in which the brittle substrate crosses the trench line below the trench line. And d) extending a crack in the brittle substrate in the thickness direction along the trench line. A step of forming a crack line, wherein the crack line disconnects the brittle substrate below the trench line continuously in a direction intersecting with the trench line. Comprising a step of dividing the brittle substrate along a line ,
The tip portion of the cutting edge, the radius of curvature is at 3μm or 40μm or less, the dimension along the axial direction Ru der than 0.5 [mu] m,
A method for cutting brittle substrates.
c1)前記刃先の前記先端部を第1方向に向かって摺動させる工程と、
c2)前記工程c1)の後に、前記刃先の前記先端部を、前記第1方向と異なる第2方向に向かって摺動させる工程と、
を含む、請求項1に記載の脆性基板の分断方法。 The step c) includes:
c1) a step of sliding the tip of the cutting edge in a first direction;
c2) after the step c1), sliding the tip of the cutting edge in a second direction different from the first direction;
The method for cutting a brittle substrate according to claim 1, comprising:
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