JP6642499B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
2…圧電薄膜
2a…主面
2c,2d…第1,第2の凹部
2A…マザー基板
2Aa…主面
2Ac,2Ad…第1,第2の凹部
3A…第1の音響反射層
3A1,3A3…低音響インピーダンス層
3A2,3A4…高音響インピーダンス層
3B,3C…第2,第3の音響反射層
4…圧電積層体
5,5A…支持層
6,6A…支持基板
7A,7B…第1,第2のIDT電極
8Aa,8Ab,8Ba,8Bb…配線
10…弾性波装置
20…弾性波装置
21A,21B…第1,第2の弾性波フィルタ
22…圧電薄膜
22c,22d…第1,第2の凹部
23B…第2の音響反射層
24…圧電積層体
30…弾性波装置
31A,31B…第1,第2の弾性波フィルタ
32…圧電薄膜
32a…主面
32c…第1の凹部
32A…マザー基板
32Ac,32Ae…第1,第3の凹部
35,35A…支持層
40…弾性波装置
41A,41B…第1,第2の弾性波フィルタ
42…圧電薄膜
42c…第1の凹部
44…圧電積層体
45…低音速膜
46…高音速膜
50…弾性波装置
51A,51B…第1,第2の弾性波フィルタ
54…圧電積層体
56…高音速基板
60…弾性波装置
63B…第2の音響反射層
64…圧電積層体
Claims (10)
- 支持基板と、
直接的または間接的に前記支持基板上に設けられている中間層と、前記中間層上に設けられている圧電薄膜と、を有する圧電積層体と、
前記圧電積層体における前記圧電薄膜上に設けられており、かつ同一平面上に設けられている第1の励振電極及び第2の励振電極と、
を備え、
前記第1の励振電極及び前記第2の励振電極が互いに通過帯域が異なる弾性波フィルタの一部を構成しており、前記第1の励振電極が板波を励振する第1のIDT電極であり、前記第2の励振電極が板波を励振する第2のIDT電極であり、
前記圧電積層体において、前記第1の励振電極が設けられている部分の前記圧電積層体の厚みと、前記第2の励振電極が設けられている部分の前記圧電積層体の厚みとが異なる、弾性波装置。 - 前記圧電積層体における前記圧電薄膜において、前記第1の励振電極が設けられている部分の厚みと、前記第2の励振電極が設けられている部分の厚みとが異なる、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記圧電積層体における前記中間層において、前記第1の励振電極が設けられている部分の厚みと、前記第2の励振電極が設けられている部分の厚みとが異なる、請求項1に記載の弾性波装置。
- 支持基板と、
直接的または間接的に前記支持基板上に設けられている中間層と、前記中間層上に設けられている圧電薄膜と、を有する圧電積層体と、
前記圧電積層体における前記圧電薄膜上に設けられており、かつ同一平面上に設けられている第1の励振電極及び第2の励振電極と、
を備え、
前記第1の励振電極及び前記第2の励振電極が互いに通過帯域が異なる弾性波フィルタの一部を構成しており、前記第1の励振電極が板波を励振する第1のIDT電極であり、前記第2の励振電極が板波を励振する第2のIDT電極であり、
前記中間層が第1の音響反射層及び第2の音響反射層であり、
平面視において、前記第1のIDT電極及び前記第1の音響反射層が重なっており、前記第2のIDT電極及び前記第2のIDT電極が重なっており、
前記圧電積層体において、前記第1のIDT電極が設けられている部分の厚みと、前記第2のIDT電極が設けられている部分の厚みとが同じ厚みであり、
前記圧電薄膜において、前記第1のIDT電極が設けられている部分の厚みと、前記第2のIDT電極が設けられている部分の厚みとが異なり、かつ前記第1の音響反射層の厚みと、前記第2の音響反射層の厚みとが異なり、
前記第1の音響反射層及び前記第2の音響反射層が、それぞれ、相対的に音響インピーダンスが低い、少なくとも1層の低音響インピーダンス層と、相対的に音響インピーダンスが高い、少なくとも1層の高音響インピーダンス層と、を有する、弾性波装置。 - 前記中間層が、前記圧電薄膜の前記第1,第2の励振電極側とは反対側の面に設けられており、かつバルク波が伝搬する音速が前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも低速である低音速膜を有し、
前記支持基板が、バルク波が伝搬する音速が前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも高速である高音速基板であり、
前記支持基板が、前記低音速膜上に設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記中間層が、前記圧電薄膜の前記第1,第2の励振電極側とは反対側の面に設けられており、かつバルク波が伝搬する音速が前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも低速である低音速膜と、前記低音速膜上に設けられており、かつバルク波が伝搬する音速が前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも高速である高音速膜と、を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記中間層が、相対的に音響インピーダンスが低い、少なくとも1層の低音響インピーダンス層と、相対的に音響インピーダンスが高い、少なくとも1層の高音響インピーダンス層と、を有する、音響反射層である、請求項1〜4のいずれかの1項に記載の弾性波装置。
- 前記音響反射層の積層数が2層以上である、請求項7に記載の弾性波装置。
- 前記支持基板上に設けられており、前記支持基板と前記中間層との間に設けられた部分を有する、支持層をさらに備える、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記支持層が、平面視において前記圧電薄膜を囲んでいる部分を有する、請求項9に記載の弾性波装置。
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