JP6635712B2 - 検査方法、検査装置、画像処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
本発明の検査装置は、ワークに光を照射する光源と、前記ワークを撮像する撮像装置と、前記光源および前記撮像装置を制御する制御部と、前記撮像装置で取得した画像に対して処理を行う処理部と、を備え、前記制御部が、前記ワークと前記光源との相対位置を変えて前記撮像装置にて複数の画像を取得し、前記処理部が、前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出処理と、前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の位置を算出する特徴点算出処理と、前記各画像を、1つ以上の画素を含む複数のセルに区画し、前記複数の画像間で同じセルに属する前記特徴点の出現頻度を算出して、セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを生成する頻度算出処理と、前記頻度マップにおいて、出現頻度が1以上かつ予め設定された頻度閾値以下のセルの中から連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数より少ないセル群に対応する欠陥候補を欠陥と判定する判定処理と、を実行することを特徴とする。
本発明の画像処理装置は、ワークと前記ワークに光を照射する光源との相対位置が互いに異なる、前記ワークを撮像した複数の画像に対して、前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出処理と、前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の位置を算出する特徴点算出処理と、前記各画像を、1つ以上の画素を含む複数のセルに区画し、前記複数の画像間で同じセルに属する前記特徴点の出現頻度を算出して、セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを生成する頻度算出処理と、前記頻度マップにおいて、出現頻度が1以上かつ予め設定された頻度閾値以下のセルの中から、連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数より少ないセル群に対応する欠陥候補を欠陥と判定する判定処理と、を実行することを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る検査装置を示す概略図である。検査装置100は、ワーク(被検査物)Wを保持する検査用台座101と、光源102と、光源102を移動させる移動装置103と、撮像装置としてのカメラ105と、画像処理装置200と、を備えている。
次に、本発明の第2実施形態に係る検査方法について説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係る検査方法を示すフローチャートである。なお、第2実施形態の検査装置の各構成は、第1実施形態の検査装置の各構成と同様であるため、説明を省略する。
Claims (15)
- 検査方法であって、
ワークと前記ワークに光を照射する光源との相対位置が互いに異なる前記ワークを撮像した複数の画像を取得する工程と、
前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出工程と、
前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の位置を算出する特徴点算出工程と、
前記各画像を、1つ以上の画素を含む複数のセルに区画し、前記複数の画像間で同じセルに属する前記特徴点の出現頻度を算出して、セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを生成する頻度算出工程と、
前記頻度マップにおいて、出現頻度が1以上かつ予め設定された頻度閾値以下のセルの中から連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数よりも少ないセル群に対応する欠陥候補を欠陥と判定する判定工程と、を備えることを特徴とする検査方法。 - 前記判定工程において、前記頻度マップにおいて出現頻度が前記頻度閾値よりも高いセルに対応する欠陥候補を欠陥と判定することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- 少なくとも前記判定工程にて判定した欠陥の特徴量を算出する特徴量算出工程と、
前記特徴量が予め設定された特徴量閾値を超えるか否かを判定する特徴量判定工程と、を更に備えることを特徴とする請求項1または2に記載の検査方法。 - 前記頻度算出工程において、前記画像中、予め設定された被検査領域において前記頻度マップを生成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記画像は、撮像された撮像画像に対して2値化処理を施した2値化画像であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査方法。
- ワークに光を照射する光源と、
前記ワークを撮像する撮像装置と、
前記光源および前記撮像装置を制御する制御部と、
前記撮像装置で取得した画像に対して処理を行う処理部と、を備え、
前記制御部が、前記ワークと前記光源との相対位置を変えて前記撮像装置にて複数の画像を取得し、
前記処理部が、
前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出処理と、
前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の位置を算出する特徴点算出処理と、
前記各画像を、1つ以上の画素を含む複数のセルに区画し、前記複数の画像間で同じセルに属する前記特徴点の出現頻度を算出して、セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを生成する頻度算出処理と、
前記頻度マップにおいて、出現頻度が1以上かつ予め設定された頻度閾値以下のセルの中から連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数より少ないセル群に対応する欠陥候補を欠陥と判定する判定処理と、を実行することを特徴とする検査装置。 - 前記処理部は、前記判定処理において、前記頻度マップにおいて出現頻度が前記頻度閾値よりも高いセルに対応する欠陥候補を欠陥と判定することを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
- 前記処理部は、
少なくとも前記判定処理にて判定した欠陥の特徴量を算出する特徴量算出処理と、
前記特徴量が予め設定された特徴量閾値を超えるか否かを判定する特徴量判定処理と、を更に実行することを特徴とする請求項6または7に記載の検査装置。 - 前記処理部は、前記頻度算出処理において、前記画像中、予め設定された被検査領域において前記頻度マップを生成することを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記画像は、前記撮像装置により撮像された撮像画像に対して2値化処理を施した2値化画像であることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の検査装置。
- 画像処理装置であって、
ワークと前記ワークに光を照射する光源との相対位置が互いに異なる、前記ワークを撮像した複数の画像に対して、
前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出処理と、
前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の位置を算出する特徴点算出処理と、
前記各画像を、1つ以上の画素を含む複数のセルに区画し、前記複数の画像間で同じセルに属する前記特徴点の出現頻度を算出して、セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを生成する頻度算出処理と、
前記頻度マップにおいて、出現頻度が1以上かつ予め設定された頻度閾値以下のセルの中から、連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数より少ないセル群に対応する欠陥候補を欠陥と判定する判定処理と、を実行することを特徴とする画像処理装置。 - 前記判定処理において、前記頻度マップにおいて出現頻度が前記予め設定された頻度閾値よりも高いセルに対応する欠陥候補を欠陥と判定することを特徴とする請求項11に記載の画像処理装置。
- 少なくとも前記判定処理にて判定した欠陥の特徴量を算出する特徴量算出処理と、
前記特徴量が予め設定された特徴量閾値を超えるか否かを判定する特徴量判定処理と、を更に実行することを特徴とする請求項11または12に記載の画像処理装置。 - コンピュータに、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検査方法の各工程を実行させるためのプログラム。
- 請求項14に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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