JP6631449B2 - 処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態における処理装置100の構成を示す概略構成図である。図1には、相互に直交するXYZ軸が図示されている。Y軸に沿った方向であるY軸方向は鉛直方向を示し、X軸方向は水平方向を示し、Z軸方向はY軸及びX軸に垂直な方向を示す。+Y方向は鉛直方向上方であり、−Y方向は鉛直方向下方である。このことは、以降の図においても同様である。
図5は、ワーク側導電体50と電源部側導電体30とが接触する箇所近傍における異物Pの様子を示す図である。処理装置100では、処理室10内に、成膜に供されなかった原料ガスが凝集して固体化した異物や、エッチングによってワークWから除去された異物や、搬送部80の搬送ずれによりワーク側絶縁体60と電源部側絶縁体40とが接触してワーク側絶縁体60又は電源部側絶縁体40が削れることによって生じた異物等が存在する場合がある。これらの異物Pは、絶縁性もしくはワーク側導電体50及び電源部側導電体30とは抵抗値の異なる導電性の異物である。そのため、成膜又はエッチング後に、搬送部80が+Y方向へ移動した際に異物Pが開口部41を通じて電源部側導電体30へ落下すると、次回の成膜又はエッチング時に、ワーク側導電体50と電源側導電体との間に導通不良が発生し、ワークWに電力が適切に印加されないおそれがある。しかし、本実施形態の処理装置100では、処理室10内の異物Pが開口部41を介して電源部側導電体30へ落下した場合であっても、電源部側導電体30の上面31は鉛直方向上方に向けて凸となる曲面を有し、電源部側絶縁体40と上面31とは離間されているため、異物Pは、図5の点線矢印で示すように上面31から電源部側絶縁体40と上面31との隙間へ落下するので、電源部側導電体30の上面31に異物が付着することが抑制される。そのため、処理室10内に発生した異物によってワーク側導電体50と電源部側導電体30とが導通不良になることを抑制することができる。
図6は、第2実施形態における処理装置100aの拡大断面図である。図6には、ワーク側導電体50と電源部側導電体30aとが接触する箇所近傍が拡大して示されている。本実施形態の処理装置100aでは、開口部41を通じてワーク側導電体50が接触される上面31aが、+Y方向に向けて凸となる角部33aを有する。本実施形態では、角部33aの角度は、約60°である。図6に示すように、電源部側導電体30aの先端部32aの形状は、+Y方向に向けて凸となる角部33aを備える三角形状である。本実施形態の処理装置100aにおいても、図6に示すように、電源部側絶縁体40と上面31aは離間されている。そのため、処理室10内の異物Pは、図6の点線矢印で示すように鉛直方向下方に移動し、電源部側絶縁体40と上面31aとの隙間を介して電源部側絶縁体40の下部へ落下する。処理装置100aのその他の構成は上述の第1実施形態の処理装置100と同様であるため説明を省略する。このような処理装置100aであっても、上述の第1実施形態と同様の効果を奏する。
上述の種々の実施形態において、電源部側導電体30の本体部34のY軸方向の長さは、先端部32と同じであってもよい。また、上述の種々の実施形態において、電源部側導電体30は、先端部32の形状と本体部34の形状とが異なるように構成されていなくてもよい。例えば、電源部側導電体30の本体部34は、先端部32と同様に、上面31に+Y方向に向けて凸となる曲面又は+Y方向に向けて凸となる角部33aを有していてもよいし、本体部34の下端の位置Rと電源部側絶縁体40の底面45とが離間していてもよい。
11…供給口
12…排気口
13…挿入口
15…開口部
20…電源部
30、30a…電源部側導電体
31、31a…上面
32、32a…先端部
33a…角部
34…本体部
40…電源部側絶縁体
41…開口部
43…第1絶縁体
44…第2絶縁体
45…底面
50…ワーク側導電体
51…先端部
53…バネ
55…第2導電体
57…第1導電体
60…ワーク側絶縁体
61…開口部
71…保持部
75…搬送装置
76…シール部材
77…絶縁体
78…蓋
80…搬送部
90…制御部
91…ガス供給装置
92…排気装置
100、100a…処理装置
200…予備室
L1…距離
L2…距離
L3…距離
P…異物
Q…位置
R…位置
W…ワーク
W1…幅
W2…幅
W3…幅
Claims (1)
- 導電性のワークに成膜又はエッチングを行う処理装置であって、
前記成膜又は前記エッチングが行われる処理室と、
前記処理室外の電源部から電力が印加され、前記処理室内に少なくとも一部が設けられた電源部側導電体と、
前記電源部側導電体の上面側の一部において開口する開口部を有し、前記電源部側導電体を覆う電源部側絶縁体と、
前記ワークを保持する導電性の保持部と、前記保持部と電気的に接続されたワーク側導電体と、を有し、前記処理室の鉛直方向上方に位置するとともに鉛直方向に沿って移動可能な搬送部と、を備え、
前記開口部は前記処理室内に配置されており、
前記搬送部は、鉛直方向下方に移動したときに前記ワーク側導電体及び前記ワークを前記処理室内に搬送して前記ワーク側導電体を前記電源部側導電体の上面に前記開口部を通じて接触させることで、前記電源部側導電体を介して印加される電力を前記保持部を介して前記ワークに印加し、鉛直方向上方に移動したときに前記ワーク側導電体を前記上面から離間させて前記ワーク側導電体及び前記ワークを前記処理室外に搬送し、
前記上面は、
鉛直方向上方に向けて凸となる曲面又は鉛直方向上方に向けて凸となる角部を有し、
前記電源部側絶縁体と離間されている、
処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016183712A JP6631449B2 (ja) | 2016-09-21 | 2016-09-21 | 処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016183712A JP6631449B2 (ja) | 2016-09-21 | 2016-09-21 | 処理装置 |
Publications (2)
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JP2018048363A JP2018048363A (ja) | 2018-03-29 |
JP6631449B2 true JP6631449B2 (ja) | 2020-01-15 |
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ID=61767239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016183712A Active JP6631449B2 (ja) | 2016-09-21 | 2016-09-21 | 処理装置 |
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JP (1) | JP6631449B2 (ja) |
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2016
- 2016-09-21 JP JP2016183712A patent/JP6631449B2/ja active Active
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JP2018048363A (ja) | 2018-03-29 |
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