JP6630839B2 - リソグラフィ装置、デバイス製造方法ならびに関連データ処理装置およびコンピュータプログラム製品 - Google Patents
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Description
[0001] この出願は、2016年2月18日に出願された欧州特許第16156361.4号および2017年1月25日に出願された欧州特許第17152954.8号の優先権を主張し、それらの特許はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
として表現することができ、支持領域710は、
によって説明され、エッジ領域716は、r>Roによって説明される。高さマップw(x,y)は、フリーフォース状態の基板W(例えば、基板Wにはクランプ力がそれほどかけられていない)に対して決定(例えば、予測、シミュレーションまたは測定)される。基板Wの高さマップw(x,y)は、典型的には、KLA Tencor PWGまたはUltratech Superfastシステム(参考文献i)Brunner,T.A.,Zhou,Y.,Wong,C.W.,Morgenfeld,B.,Leino,G.and Mahajan,S.,“Patterned wafer geometry (PWG)metrology for improving process-induced overlay and focus problems”Proc.SPIE 9780,97800W(2016)およびii)Anberg,D.,Owen,D.M.,Lee,B.H.,Shetty,S.and Bouche,E.,“A study of feedforward strategies for overlay control in lithography processes using CGS technology”ASMC 2015,395(2015))のような専用ウェーハ形状メトロロジツーリングを使用して測定される。これらのツールは、そのフリーフォース状態の基板の形状を導き出すために干渉計測法を利用する。
に従って、基板の厚さ「T」および基板形状w(x,y)の偏微分に依存する。方程式Iの右側の第1の項は、典型的には基板に適用された層(図示せず)によって導入される、基板に加えられた薄膜応力の面内成分である。薄膜応力は、例えば、層の熱膨張係数と基板の熱膨張係数との差が原因で誘導され得る。公式Iの右側の第2の項は、基板の屈曲によって誘導された応力に由来する横方向変位を表現する。
に従って計算される。高さマップw”(x,y)は、クランプされた基板の表面と関連付けられる。
であり、従って、IPDは、クランプされていない高さマップw(x,y)の関数として表現することができる。
基板サポートの特性に基づいて、半径Roを決定することができ、それに続いて、領域R=Roにおける基板に対して高さマップw(x,y)の勾配を決定することができる。公式IIIは、基板Wの領域716の残存非平坦性(例えば、残存屈曲)によって引き起こされたIPDの正確な予測を可能にする。
が基板にわたって連続であるという事実を使用して、クランプされていない高さマップw(x,y)から導き出すことができる。以下の方程式は、クランプされたエリアの外側の半径rの関数としての面外変位OPDを表現する。
公式IVは、r>Roとして与えられた半径rの関数としてOPDを予測するために使用することができる。
1.基板上にパターンを適用するためのリソグラフィ装置であって、基板をクランプするための基板サポートと、クランプされた基板にわたって分散されたフィーチャの位置を測定するためのアライメントセンサと、前記アライメントセンサによって測定された位置に少なくとも部分的に基づいて、適用パターンを位置決めしながら、クランプされた基板に前記パターンを適用するように構成されたパターニングシステムであって、アライメントセンサによって基板にわたって測定された位置における撓み誘導特性の認識に基づいて、基板の1つまたは複数の領域における適用パターンの位置決めに補正を適用するように構成される、パターニングシステムを含む、装置。
2.前記撓み誘導特性が、前記クランプによる撓んだ基板の変形を示すものである、条項1に記載の装置。
3.前記パターニングシステムが、ボウル形状、ドーム形状およびサドル形状の少なくとも1つを有する撓んだ基板の平坦化を示す撓み誘導特性を認識するように構成される、条項2に記載の装置。
4.前記パターニングシステムが、異なる形状の撓んだ基板の平坦化を示す撓み誘導特性を区別し、認識された特性によって示される撓んだ基板の形状に従って異なる補正を適用するように構成される、条項3に記載の装置。
5.前記パターニングシステムが、撓み誘導特性の観察された振幅に基づく振幅を用いて前記補正を適用するように構成される、条項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
6.前記パターニングシステムが、認識された特性がサドル形状基板の平坦化を示す場合に、前記補正の配向を調整するように構成される、条項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
7.前記パターニングシステムが、(i)基板にわたって測定された位置に少なくとも部分的に基づいて、撓んだ基板の1つまたは複数の形状特性を推論すること、(ii)推論された形状特性に少なくとも部分的に基づいて、前記クランプに応答して撓んだ基板の変形をシミュレーションするためにクランプモデルを適用すること、および、(iii)シミュレーションされた変形に少なくとも部分的に基づいて前記補正を計算することによって、前記補正を生成するように構成される、条項1〜6のいずれか一項に記載の装置。
8.前記パターニングシステムが、基板にわたって測定された位置に少なくとも部分的に基づいて、ルックアップテーブルを取り調べ、前記補正を少なくとも部分的に定義するデータを回収することによって、前記補正を生成するように構成される、条項1〜7のいずれか一項に記載の装置。
9.前記パターニングシステムが、前記補正の生成の前に、撓んだ基板の平坦化以外の因子の影響を低減するために追加の情報を考慮するように構成される、条項1〜8のいずれか一項に記載の装置。
10.クランプされた基板にわたるトポグラフィカル変動を測定するための高さセンサをさらに含む装置であって、前記追加の情報が、前記トポグラフィカル変動を表すデータを含む、条項9に記載の装置。
11.前記追加の情報が、同じ基板上の以前の層において行われた位置測定、基板の処理履歴、前記基板サポートの摩耗状態、基板および/または基板サポートの温度、アライメントセンサによって行われた測定の信頼性、適用されたクランプ行動、プロセス補正のうちの1つまたは複数を表す、条項9または10に記載の装置。
12.適用される補正が、主に基板のエッジ領域におけるパターンの位置決めに影響を及ぼす、条項1〜11のいずれか一項に記載の装置。
13.適用される補正が、基板の平面に平行な1つまたは複数の方向におけるパターンの位置決めに影響を及ぼす、条項1〜12のいずれか一項に記載の装置。
14.前記補正が、基板の平面に垂直な方向におけるパターンの位置決めに影響を及ぼす、条項1〜13のいずれか一項に記載の装置。
15.前記パターニングシステムが、パターンの適用の前に、認識された特性に応答して前記基板テーブルのクランプ特性を変動するようにさらに構成される、条項1〜14のいずれか一項に記載の装置。
16.前記パターニングシステムが、使用されたクランプ特性と認識された特性と関連付けられたクランプ特性とを比較することによって、クランプ特性を変動するかどうかを判断するように構成される、条項15に記載の装置。
17.クランプ特性が、基板の異なる領域で加えられたクランプ力の相対的強度および/または基板の異なる領域でクランプ力を加える相対的タイミングの観点から変動可能である、条項15または16に記載の装置。
18.認識された撓み誘導特性が1つまたは複数の警告基準を満たしている際にオペレータに警告するための警告ジェネレータをさらに含む、条項1〜17のいずれか一項に記載の装置。
19.基板上の1つまたは複数の層にパターンを適用することと、機能デバイスフィーチャを生成するために基板を処理することとを含むデバイス製造方法であって、前記層の少なくとも1つにパターンを適用するステップが、(a)基板を基板サポート上にクランプすることと、(b)クランプされた基板にわたって分散されたフィーチャの位置を測定することと、(c)ステップ(b)において測定された位置のいくつかまたはすべてに少なくとも部分的に基づいて、適用パターンを位置決めしながら、クランプされた基板に前記パターンを適用することを含み、前記パターニングステップ(c)が、ステップ(b)において基板にわたって測定された位置のいくつかまたはすべてにおける撓み誘導特性の認識に基づいて、基板の1つまたは複数の領域における適用パターンの位置決めに補正を適用することを含む、デバイス製造方法。
20.前記撓み誘導特性が、前記クランプによる撓んだ基板の変形を示すものである、条項19に記載の方法。
21.ステップ(c)が、ボウル形状、ドーム形状およびサドル形状の少なくとも1つを有する撓んだ基板の平坦化を示す撓み誘導特性を認識することを含む、条項20に記載の方法。
22.ステップ(c)が、異なる形状の撓んだ基板の平坦化を示す撓み誘導特性を区別し、認識された特性によって示される撓んだ基板の形状に従って異なる補正を適用することを含む、条項21に記載の方法。
23.ステップ(c)が、撓み誘導特性の観察された振幅に基づく振幅を用いて前記補正を適用することを含む、条項19〜22のいずれか一項に記載の方法。
24.ステップ(c)が、認識された特性がサドル形状基板の平坦化を示す場合に、前記補正の配向を調整することを含む、条項19〜23のいずれか一項に記載の方法。
25.ステップ(c)が、(i)基板にわたって測定された位置に少なくとも部分的に基づいて、撓んだ基板の1つまたは複数の形状特性を推論すること、(ii)推論された形状特性に少なくとも部分的に基づいて、前記クランプに応答して撓んだ基板の変形をシミュレーションするためにクランプモデルを適用すること、および、(iii)シミュレーションされた変形に少なくとも部分的に基づいて前記補正を計算することによって、前記補正を生成することを含む、条項19〜24のいずれか一項に記載の方法。
26.ステップ(c)が、基板にわたって測定された位置に少なくとも部分的に基づいて、ルックアップテーブルを取り調べ、前記補正を少なくとも部分的に定義するデータを回収することによって、前記補正を生成することを含む、条項19〜25のいずれか一項に記載の方法。
27.ステップ(c)において、前記補正の生成の前に、撓んだ基板の平坦化以外の因子の影響を低減するために追加の情報が考慮される、条項19〜26のいずれか一項に記載の方法。
28.ステップ(b)が、クランプされた基板にわたるトポグラフィカル変動を測定することをさらに含み、前記追加の情報が、前記トポグラフィカル変動を表すデータを含む、条項27に記載の方法。
29.前記追加の情報が、同じ基板上の以前の層において行われた位置測定、基板の処理履歴、前記基板サポートの摩耗状態、基板および/または基板サポートの温度、アライメントセンサによって行われた測定の信頼性、適用されたクランプ行動、プロセス補正のうちの1つまたは複数を表す、条項27または28に記載の方法。
30.適用される補正が、主に基板のエッジ領域におけるパターンの位置決めに影響を及ぼす、条項19〜29のいずれか一項に記載の方法。
31.適用される補正が、基板の平面に平行な1つまたは複数の方向におけるパターンの位置決めに影響を及ぼす、条項19〜30のいずれか一項に記載の方法。
32.前記補正が、基板の平面に垂直な方向におけるパターンの位置決めに影響を及ぼす、条項19〜31のいずれか一項に記載の方法。
33.ステップ(c)が、パターンの適用の前に、認識された特性に応答して前記基板テーブルのクランプ特性を変動することをさらに含む、条項19〜32のいずれか一項に記載の方法。
34.ステップ(c)が、使用されたクランプ特性と認識された特性と関連付けられたクランプ特性とを比較することによって、クランプ特性を変動するかどうかを判断することを含む、条項33に記載の方法。
35.クランプ特性が、基板の異なる領域で加えられたクランプ力の相対的強度および/または基板の異なる領域でクランプ力を加える相対的タイミングの観点から変動可能である、条項33または34に記載の方法。
36.認識された撓み誘導特性が1つまたは複数の警告基準を満たしている際にオペレータに警告するための警告ジェネレータをさらに含む、条項19〜35のいずれか一項に記載の方法。
37.条項1〜18のいずれか一項に記載の、特性を認識するためおよび補正を適用するためのリソグラフィ装置のパターニングシステムの制御を1つまたは複数のプロセッサに行わせるための機械可読命令を含むコンピュータプログラム製品。
38.条項1〜18のいずれか一項に記載の、撓み誘導特性を認識することおよび補正を適用することによるリソグラフィ装置のパターニングシステムの制御を行うようにプログラムされた1つまたは複数のプロセッサを含むデータ処理システム。
39.条項19〜36のいずれか一項に記載の方法のステップ(c)の実行を1つまたは複数のプロセッサに行わせるための機械可読命令を含むコンピュータプログラム製品。
40.条項19〜36のいずれか一項に記載の方法のステップ(c)を実行するようにプログラムされた1つまたは複数のプロセッサを含むデータ処理システム。
41.基板サポートにクランプされた基板上の1つまたは複数の層にパターンを適用するためのデバイス製造方法であって、基板の領域の高さマップを決定することであって、領域が、基板サポートの特性に基づいて決定されることと、高さマップおよび基板サポートの特性に基づいてデバイス製造方法の補正を決定することとを含む、デバイス製造方法。
42.高さマップが、基板のフリーフォース形状の干渉測定から決定される、条項41に記載の方法。
43.高さマップが、基板上の高さセンサの測定から決定される、条項42に記載の方法。
44.基板が、測定の間に基板サポートにクランプされる、条項43に記載の方法。
45.補正が、基板の領域の面内歪みの計算に基づく、条項41〜44のいずれか一項に記載の方法。
46.補正が、基板の領域の面外歪みの計算に基づく、条項41〜45のいずれか一項に記載の方法。
47.補正が、基板の領域の面内歪みの軽減に基づく、条項45に記載の方法。
48.補正が、基板の領域の面外歪みの軽減に基づく、条項46に記載の方法。
49.基板の位置決めのために補正を使用しながら、基板にパターンを適用するステップをさらに含む、条項41〜48のいずれか一項に記載の方法。
50.投影レンズ設定を調整するために補正を使用しながら、基板にパターンを適用するステップをさらに含む、条項41〜49のいずれか一項に記載の方法。
51.特性が、基板サポートに提供されたサポート構造の拡張と関連付けられる、条項41〜50のいずれか一項に記載の方法。
52.特性が、基板サポートに提供されたサポート構造の分散と関連付けられる、条項41〜51のいずれか一項に記載の方法。
53.基板の領域が、基板サポートへの基板の準最適なクランプと関連付けられる、条項41〜52のいずれか一項に記載の方法。
54.基板の領域が、基板サポートに提供されたサポート構造による基板の準最適な支持と関連付けられる、条項41〜53のいずれか一項に記載の方法。
55.基板の領域が、基板のエッジ領域を含む、条項41〜54のいずれか一項に記載の方法。
56.高さマップと関連付けられた半径方向プロファイルを決定するステップをさらに含む、条項44に記載の方法。
57.高さマップをセグメントにパーティション化し、各セグメントに対して対応する半径方向プロファイルを決定するステップをさらに含む、条項44〜56のいずれか一項に記載の方法。
58.半径方向プロファイルを好ましくは四次の多項式関数に適合させるステップをさらに含む、条項56または57に記載の方法。
59.基板の領域の面内歪みが、半径方向プロファイルまたは多項式関数から計算される、条項56〜58のいずれか一項に記載の方法。
60.基板の領域の面外歪みが、半径方向プロファイルまたは多項式関数から計算される、条項56〜58のいずれか一項に記載の方法。
61.基板サポートの特性が、半径方向プロファイルまたは半径方向プロファイルに適合させた多項式関数から決定される、条項56〜60のいずれか一項に記載の方法。
62.基板上にパターンを適用するためのリソグラフィ装置であって、基板をクランプするための基板サポートと、クランプされた基板の高さマップを測定するための高さセンサと、適用パターンを位置決めしながら、クランプされた基板にパターンを適用するように構成されたパターニングシステムであって、高さマップおよび基板サポートの特性に基づいて、適用パターンの位置決めに補正を適用するように構成される、パターニングシステムとを含む、装置。
63.補正が、条項41〜61のいずれか一項に記載の方法を使用して決定される、条項62に記載のリソグラフィ装置。
64.条項41〜61のいずれか一項に記載の方法を使用した補正の決定を1つまたは複数のプロセッサに行わせるための機械可読命令を含むコンピュータプログラム製品。
65.条項41〜61のいずれか一項に記載の方法を使用して補正を決定することによってリソグラフィ装置のパターニングシステムを制御するようにプログラムされた1つまたは複数のプロセッサを含むデータ処理システム。
[0127] 結論として、本開示は、撓んだウェーハのクランプによって引き起こされる局部的な面内歪みおよび/または高さ変動を高さマップまたはアライメント測定を使用して補正することができるリソグラフィ装置およびリソグラフィ装置を動作させるための方法を提供し、高さマップ測定は、リソグラフィ装置内またはリソグラフィ装置外で実行することができる。
Claims (14)
- 基板サポートにクランプされた基板上の1つまたは複数の層にパターンを適用するためのデバイス製造方法であって、
前記基板の領域の高さマップを決定することであって、前記領域が、前記基板サポートの特性に基づいて決定されることと、
前記高さマップおよび前記基板サポートの前記特性に基づいてデバイス製造方法の補正を決定することと
を含み、
前記基板サポートにサポート構造が提供され、前記サポート構造は前記基板との接触面を提供し、前記特性は前記基板サポートにわたる前記サポート構造の拡張および/またはカバレージと関連付けられる、デバイス製造方法。 - 前記高さマップが、前記基板のフリーフォース形状の干渉測定から決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記高さマップが、前記基板上の高さセンサの測定から決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記補正が、前記基板の前記領域の面内歪みの計算に基づく、請求項1に記載の方法。
- 前記補正が、前記基板の前記領域の面外歪みの計算に基づく、請求項1に記載の方法。
- 前記基板の位置決めのためにおよび/または投影レンズ設定を調整するために前記補正を使用しながら、投影レンズを介して前記基板にパターンを適用するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記サポート構造は複数のバールを含み、前記特性が、前記基板サポートにわたる前記複数のバールの分散と関連付けられる、請求項1に記載の方法。
- 前記基板の前記領域が、前記基板のエッジ領域を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記高さマップと関連付けられた、前記基板の半径方向における高さプロファイルを決定するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基板の前記領域の面内歪みおよび/または面外歪みが、前記高さプロファイルから計算される、請求項9に記載の方法。
- 前記基板サポートの前記特性が、前記高さプロファイルから決定される、請求項9に記載の方法。
- 基板上にパターンを適用するためのリソグラフィ装置であって、
前記基板をクランプするための基板サポートと、
前記クランプされた基板の高さマップを測定するための高さセンサと、
適用される前記パターンを位置決めしながら、前記クランプされた基板に前記パターンを適用するように構成されたパターニングシステムであって、前記高さマップおよび前記基板サポートの特性に基づいて、適用される前記パターンの前記位置決めに補正を適用するように構成される、パターニングシステムと
を含む、装置。 - 請求項1に記載の方法を使用した前記補正の決定を1つまたは複数のプロセッサに行わせるための機械可読命令を含むコンピュータプログラム製品。
- 請求項1に記載の方法を使用して前記補正を決定することによってリソグラフィ装置のパターニングシステムを制御するようにプログラムされた1つまたは複数のプロセッサを含むデータ処理システム。
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