JP6627181B1 - 蒸発源及び蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
Description
内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第1装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第1線状部材が接続される少なくとも一つの第1接続部と、
前記床下に設けられた第2装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第2線状部材が接続される少なくとも一つの第2接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第1接続部は、全ての前記第2接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向上方に設けられると共に、
全ての前記第1線状部材と全ての前記第2接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする。
内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第1装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第1線状部材が接続される少なくとも一つの第1接続部と、
前記床下に設けられた第2装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第2線状部材が接続される少なくとも一つの第2接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第2接続部は、全ての前記第1接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向下方に設けられると共に、
全ての前記第1線状部材と全ての前記第2接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする。
前記チャンバと、
前記蒸発源と、
を備えることを特徴とする。
図1〜図4を参照して、本発明の実施例1に係る蒸発源及び蒸着装置について説明する。
図1及び図2を参照して、本実施例に係る蒸発源を備える蒸着装置について説明する。図1は本発明の実施例1に係る蒸発源を備える蒸着装置の概略構成図である。なお、図1においては、蒸着装置の概略構成について断面的な図にて示している。図2は本発明の実施例1に係る蒸発源を備える蒸着装置の内部構成図であり、蒸着装置のチャンバの内部を上方から見た概略構成を示している。
特に、図3及び図4を参照して、本実施例に係る蒸発源100について、より詳細に説明する。図3は本発明の実施例に係る蒸発源の平面図である。なお、図3においては、各部材の構成を分かり易くするために、一部を透視して示している。図中、点線が透視した部分である。図4は本発明の実施例に係る蒸発源の設置状態を示す模式的断面図である。なお、図4中の蒸発源の断面図は、図3中のAA断面図に相当する。
る固定台110と、固定台110に対して回転可能に設けられる回転台120と、回転台120に備えられる複数の蒸発源ユニット150とを備えている。
20を回転させることで、蒸着に用いる蒸発源ユニット150を交換することができる。従って、本実施例に係る回転式の蒸発源100によれば、長期間、連続的に蒸着を行うことができる。
上記の通り、第1フロアーF1に設置された冷却液循環装置300から伸びる複数の第1線状部材としての第1配管L11と、電源400から伸びる複数の第2線状部材としての第1配線L21が蒸発源100に接続される。第1配管L11は、複数の蒸発源ユニット150にそれぞれ備えられる流路152aに循環させる冷却液を供給及び排出させるための配管である。また、第1配線L21は、ヒータ153に電気を供給するための電線である。そして、複数の第1配管L11は、各蒸発源ユニット150に備えられたケース152の流路152aにそれぞれ接続された第2配管L12と、第1接続部160によって、それぞれ接続される。また、複数の第1配線L21は、各蒸発源ユニット150に備えられたヒータ153にそれぞれ接続された第2配線L22と、第2接続部170によって、それぞれ接続される。なお、第2接続部170は、配線同士を接続するコネクタである。
が回転した際に、ガイド部材180と第1配管L11、及びガイド部材180と第1配線L21とは摺動し得る。そこで、ガイド部材180は、摺動抵抗を低減させて摩耗しにくくするために、摺動材である樹脂材料(例えば、ナイロンモノマー、PA6(6ナイロン))により構成されるのが望ましい。また、ガイド部材180の表面にフッ素加工を施すことで、ガイド部材180の表面にフッ素コーティング層を設けることも好適である。
本実施例に係る蒸発源100によれば、ガイド部材180によって、複数の第1配管L11と複数の第2接続部170との間が仕切られている。従って、複数の第1配管L11と複数の第1配線L21とが絡まってしまうことを抑制することができる。また、第1配管L11が第2接続部170に衝突することも避けられるため、第2接続部170に支障を来すことも抑制することができる。以上のことから、第1配管L11や第1配線L21の配置スペースを狭くすることができるため、蒸着装置1の小型化に対応することができる。また、蒸着装置1の配置の自由度も大きくなる。
図5には、本発明の実施例2が示されている。本実施例においては、第1接続部と第2接続部の配置に関する構成が、上記実施例1の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例1と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
上記実施例1及び2においては、第1配管L11,第1接続部160,第1配線L21及び第2接続部170が、一つの蒸発源100に対して、それぞれ複数設けられる場合の構成を示した。しかしながら、本発明においては、第1配管L11及び第1接続部160が一つの蒸発源100に対して一つのみ設けられる場合、及び第1配線L21及び第2接続部170が一つの蒸発源100に対して一つのみ設けられる場合も含まれる。つまり、複数の蒸発源ユニット150にそれぞれ接続された第2配管L12は、回転台120の内部で一つの配管(集合管)に集約させることができる。この場合、第1配管L11と第1接続部160は、一つの蒸発源100に対して一つのみ設ければよい。また、複数の蒸発源ユニット150にそれぞれ接続された第2配線L22についても、同様に、回転台120の内部で一つの配線に集約させることができる。この場合、第1配線L21と第2接続部170は、一つの蒸発源100に対して一つのみ設ければよい。
Claims (12)
- 内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第1装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第1線状部材が接続される少なくとも一つの第1接続部と、
前記床下に設けられた第2装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第2線状部材が接続される少なくとも一つの第2接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第1接続部は、全ての前記第2接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向上方に設けられると共に、
全ての前記第1線状部材と全ての前記第2接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする蒸発源。 - 前記ガイド部材は、その内側に全ての前記第1線状部材が通り、その外側に全ての前記第2接続部が配置されるように備えられる筒状部材であることを特徴とする請求項1に記載の蒸発源。
- 内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第1装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第1線状部材が接続される少なくとも一つの第1接続部と、
前記床下に設けられた第2装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第2線状部材が接続される少なくとも一つの第2接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第2接続部は、全ての前記第1接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向下方に設けられると共に、
全ての前記第1線状部材と全ての前記第2接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする蒸発源。 - 前記ガイド部材は、その外側に全ての前記第1線状部材が通り、その内側に全ての前記第2接続部が配置されるように備えられる筒状部材であることを特徴とする請求項3に記載の蒸発源。
- 内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
第1装置から伸びる少なくとも一つの第1線状部材が接続される少なくとも一つの第1接続部と、
第2装置から伸びる少なくとも一つの第2線状部材が接続される少なくとも一つの第2接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第1接続部は、全ての前記第2接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置に設けられると共に、
全ての前記第1線状部材と全ての前記第2接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする蒸発源。 - 前記ガイド部材の下端は、前記第2接続部の下端よりも鉛直方向下方に位置することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記回転台は、前記固定台に対して、正方向と逆方向に1回転ずつ繰り返すように構成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記ガイド部材は、摺動材である樹脂材料により構成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記ガイド部材の表面には、フッ素コーティング層が設けられていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記第1線状部材は、複数の前記蒸発源ユニットにそれぞれ備えられる流路に循環させる冷却液を供給及び排出させるための配管であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記第2線状部材は、前記ヒータに電気を供給するための電線であることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記チャンバと、
請求項1〜11のいずれか一つに記載の蒸発源と、
を備えることを特徴とする蒸着装置。
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