JP6617775B2 - 異物検出装置及び異物検出方法 - Google Patents
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Description
前記被処理体に供給される流体が流れる流路を構成する複数の流路部と、
レーザー光源からのレーザー光を前記流路部における流体の流れ方向と交差する方向に長くなるように扁平化する光学系を備えると共に、前記各流路部における流体の流れ方向と光路が交差するように配置されると共に前記複数の流路部に共用され、当該流路部内にレーザー光を照射するためのレーザー光照射部と、
前記流路部を透過した光路上に配置され、光路の横断面における長手方向に配列された複数の受光素子を含むと共に前記複数の流路部に共用される光検出部と、
前記複数の受光素子の各々にて受光した光の強度に対応する電気信号の信号レベルに応じた信号レベルと前記流体中の異物により干渉縞が発生したときの電気信号の信号レベルに対応する閾値とを比較し、比較結果に基づいて前記異物を検出する異物検出部と、
前記複数の流路部のうち選択された流路部における異物を検出するために、前記レーザー光照射部及び前記光検出部を当該複数の流路部に対して移動させる移動機構と、
を備えたことを特徴とする。
レーザー光源からのレーザー光を前記流路部における流体の流れ方向と交差する方向に長くなるように光学系により扁平化して、前記流路部における流体の流れ方向と光路が交差するように当該流路部内にレーザー光を照射する工程と、
前記流路部を透過したレーザー光を、光路の横断面における長手方向に配列された複数の受光素子の各々にて受光する工程と、
前記複数の受光素子の各々にて受光した光の強度に対応する電気信号の信号レベルに応じた信号レベルと前記流体中の異物により干渉縞が発生したときの電気信号の信号レベルに対応する閾値とを比較し、比較結果に基づいて異物を検出する工程と、
前記光学系を備えて前記レーザー光を照射すると共に複数の前記流路部に共用されるレーザー光照射部と、前記複数の受光素子を含むと共に前記複数の流路部に共用される光検出部と、を当該複数の流路部のうち選択された流路部における流体中の異物を検出するために、移動機構によって当該複数の流路部に対して移動させる工程と、
を含むことを特徴とする。
続いて、本発明に関連して行われた評価試験について説明する。
評価試験1
評価試験1−1として上記の異物検出ユニット4の1つのキュベット15に、異物が含まれている割合及び当該異物の粒径が既知の試験液を供給し、キュベット15を流れる全ての粒子に対して検出される粒子の割合(計数効率)を調べた。ただし、この異物検出ユニット4におけるレーザー光照射部51の光学系53は、キュベット15内の集光領域における光路の横断面が1.2μmの概ね真円のスポットとなるように構成されている。上記の試験液としては、含まれている異物の粒径が、各々60nm、46nm、29nmである3種類の試験液を用い、上記の計数効率は試験液ごとに測定した。
評価試験2として異物検出ユニット4において、含まれるポリマーの濃度が互いに異なる薬液をキュベット15に供給し、各チャンネルの回路部46から出力される信号強度を測定した。この異物検出ユニット4では、発明の実施の形態で説明したように、キュベット15内の集光領域における光路の横断面が、左右方向に沿った長径を持つ楕円形のスポットとなるようにレーザー光照射部51の光学系53が構成されている。ただし、このスポット内の各部ではエネルギー分布に比較的大きな差が有り、スポットの中心部に向かうほどエネルギーが高いという点で既述の構成例と異なっている。つまり、図13で説明した検出領域50中の各分割集光領域間で、エネルギーの分布が異なる。薬液としては、所定の濃度のポリマーを含有するレジストと、ポリマーであるポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA)を夫々5%、1.25%、0.5%、0%含有する第1の薬液、第2の薬液、第3の薬液、第4の薬液と、を用いた。上記の信号強度の測定は、使用する薬液毎に行った。
評価試験3として、発明の実施の形態で説明した異物検出ユニット4のキュベット15に、29nmを中心粒径として所定のばらつきを有する異物を多数含む試験液を供給し、当該異物についての検出を行った。図18のグラフは、この検出の際に1つのチャンネルの回路部46から出力された信号の波形を示しており、グラフの横軸は時間(単位:μ秒)、グラフの縦軸は信号電圧(単位:V)である。グラフ中13μ秒〜14μ秒にて出現している比較的大きなピークを持つ波形は、異物によって発生した干渉縞に起因する波形である。図19のグラフは、各チャンネルの回路部46から得られる波形について、ノイズフロアよりも大きなピークの値をプロットしたものである。図19のグラフの横軸、縦軸は、図18のグラフと同様に時間、信号電圧を夫々示している。グラフに示すように付されたプロットは多数であった。なおグラフ中の鎖線は上記のノイズフロアを示している。
1A レジスト塗布モジュール
12A〜12K 薬液供給管
15 キュベット
16 流路アレイ
17 流路
21 光源
4 異物検出ユニット
45 受光素子
46 回路部
50 検出領域
51 光照射部
52 受光部
6 制御部
Claims (10)
- 被処理体に供給される流体中の異物を検出する異物検出装置において、
前記被処理体に供給される流体が流れる流路を構成する複数の流路部と、
レーザー光源からのレーザー光を前記流路部における流体の流れ方向と交差する方向に長くなるように扁平化する光学系を備えると共に、前記各流路部における流体の流れ方向と光路が交差するように配置されると共に前記複数の流路部に共用され、当該流路部内にレーザー光を照射するためのレーザー光照射部と、
前記流路部を透過した光路上に配置され、光路の横断面における長手方向に配列された複数の受光素子を含むと共に前記複数の流路部に共用される光検出部と、
前記複数の受光素子の各々にて受光した光の強度に対応する電気信号の信号レベルに応じた信号レベルと前記流体中の異物により干渉縞が発生したときの電気信号の信号レベルに対応する閾値とを比較し、比較結果に基づいて前記異物を検出する異物検出部と、
前記複数の流路部のうち選択された流路部における流体中の異物を検出するために、前記レーザー光照射部及び前記光検出部を当該複数の流路部に対して移動させる移動機構と、を備えたことを特徴とする異物検出装置。 - 前記流路部内の集光領域における流体の流れ方向と交差する方向の長さ寸法は、10μm〜200μmであることを特徴とする請求項1記載の異物検出装置。
- 前記流路部を透過した光路上において前記複数の受光素子の前段側に設けられ、前記複数の受光素子の各々と、前記流路部内の集光領域を長さ方向に複数分割した分割集光領域と、を対応付けるように構成された集光レンズを備えたことを特徴とする請求項1記載の異物検出装置。
- 前記分割集光領域の各々における流体の流れ方向と交差する方向の長さ寸法は、1μm〜10μmである請求項3記載の異物検出装置。
- 前記レーザー光照射部から照射されるレーザー光について前記流体の流れ方向に見たときの一方側である第1のレーザー光の受光領域にて、光路の横断面における長手方向に配列された複数の第1の受光素子と、前記レーザー光照射部から照射されるレーザー光について前記流体の流れ方向に見たときの他方側である第2のレーザー光の受光領域にて、光路の横断面における長手方向に配列された複数の第2の受光素子と、を備え、
前記複数の受光素子の各々にて受光した光強度に対応する電気信号の信号レベルに応じた信号レベルは、前記複数の第1の受光素子の各々にて受光した光強度に対応する電気信号の信号レベルと前記複数の第2の受光素子の各々にて受光した光強度に対応する電気信号の信号レベルとの差分であることを特徴とする請求項1記載の異物検出装置。 - 前記異物検出部は、検出した異物を計数する計数部を備えていることを特徴とする請求項1記載の異物検出装置。
- 流路部を流れ、被処理体に供給される流体中の異物を検出する異物検出方法において、
レーザー光源からのレーザー光を前記流路部における流体の流れ方向と交差する方向に長くなるように光学系により扁平化して、前記流路部における流体の流れ方向と光路が交差するように当該流路部内にレーザー光を照射する工程と、
前記流路部を透過したレーザー光を、光路の横断面における長手方向に配列された複数の受光素子の各々にて受光する工程と、
前記複数の受光素子の各々にて受光した光の強度に対応する電気信号の信号レベルに応じた信号レベルと前記流体中の異物により干渉縞が発生したときの電気信号の信号レベルに対応する閾値とを比較し、比較結果に基づいて異物を検出する工程と、
前記光学系を備えて前記レーザー光を照射すると共に複数の前記流路部に共用されるレーザー光照射部と、前記複数の受光素子を含むと共に前記複数の流路部に共用される光検出部と、を当該複数の流路部のうち選択された流路部における流体中の異物を検出するために、移動機構によって当該複数の流路部に対して移動させる工程と、
を含むことを特徴とする異物検出方法。 - 前記流路部を透過した光路上において前記複数の受光素子の前段側に設けられ、前記複数の受光素子の各々と、前記流路部内の集光領域を長さ方向に複数分割した分割集光領域と、を対応付けるように構成された集光レンズを用いることを特徴とする請求項7記載の異物検出方法。
- 前記レーザー光照射部から照射されるレーザー光について、前記流体の流れ方向に見たときの一方側を第1のレーザー光、他方側を第2のレーザー光とすると、
前記複数の受光素子は、前記第1のレーザー光の受光領域にて、光路の横断面における長手方向に配列された複数の第1の受光素子と、前記第2のレーザー光の受光領域にて、光路の横断面における長手方向に配列された複数の第2の受光素子と、を備え、
前記複数の受光素子の各々にて受光した光強度に対応する電気信号の信号レベルに応じた信号レベルは、前記複数の第1の受光素子の各々にて受光した光強度に対応する電気信号の信号レベルと前記複数の第2の受光素子の各々にて受光した光強度に対応する電気信号の信号レベルとの差分であることを特徴とする請求項7記載の異物検出方法。 - 前記流体は、被処理体に塗布膜を形成するための薬液であって、ポリマーを含むことを特徴とする請求項7記載の異物検出方法。
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US4577964A (en) * | 1978-09-06 | 1986-03-25 | Ortho Diagnostics, Inc. | Apparatus and method for detecting platelets in whole blood |
FI63296C (fi) * | 1980-07-11 | 1983-05-10 | Eflab Oy | Fotometer |
JPS61126448A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-13 | Teijin Ltd | ポリマ−中の異物検出方法 |
US5317380A (en) * | 1991-02-19 | 1994-05-31 | Inspex, Inc. | Particle detection method and apparatus |
JP3151036B2 (ja) * | 1992-02-06 | 2001-04-03 | ミクニキカイ株式会社 | サブミクロン粒子の検出方法および装置 |
JP3145487B2 (ja) * | 1992-06-12 | 2001-03-12 | シスメックス株式会社 | 粒子分析装置 |
JPH06186156A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-07-08 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 粒子分析装置 |
US5534999A (en) * | 1993-03-05 | 1996-07-09 | Shinmikuni Kikai Ltd. | Monitoring sub-micron particles |
JP3301658B2 (ja) * | 1993-08-04 | 2002-07-15 | ミクニキカイ株式会社 | 流体中の微粒子の粒径計測方法および装置 |
JP3066519B2 (ja) * | 1993-11-12 | 2000-07-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム及び処理方法 |
EP0716299A4 (en) * | 1994-06-27 | 1998-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd | DEVICE FOR DETECTING FOREIGN BODIES IN A LIQUID |
JPH0815146A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 流体濃度制御装置 |
JPH09196842A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Mikuni Kikai Kk | Fi値の計測方法と計測装置 |
JP3280878B2 (ja) * | 1997-01-16 | 2002-05-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置およびそれに用いるパーティクル測定装置 |
JPH10125575A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Sony Corp | 薬液処理装置およびその薬液供給方法 |
JPH10177940A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Sony Corp | 薬液供給装置 |
EP1562035B1 (en) * | 1997-01-31 | 2017-01-25 | Xy, Llc | Optical apparatus and method |
JPH10335222A (ja) * | 1997-06-02 | 1998-12-18 | Matsushita Electron Corp | 半導体製造方法および半導体製造装置 |
JPH11147068A (ja) * | 1997-06-03 | 1999-06-02 | Sony Corp | 処理装置及び処理方法 |
KR19990041379U (ko) * | 1998-05-18 | 1999-12-15 | 김영환 | 포토레지스트 공급장치 |
JP3745947B2 (ja) * | 2000-08-23 | 2006-02-15 | ミクニキカイ株式会社 | 流体中の微粒子粒径測定方法および装置 |
JP2003130784A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-08 | Mikuni Kikai Kk | 流体中の微粒子検出装置 |
US6794671B2 (en) * | 2002-07-17 | 2004-09-21 | Particle Sizing Systems, Inc. | Sensors and methods for high-sensitivity optical particle counting and sizing |
US6859277B2 (en) * | 2002-08-27 | 2005-02-22 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle counter with strip laser diode |
JP2004327638A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜塗布装置 |
US7692773B2 (en) * | 2003-08-05 | 2010-04-06 | Luminex Corporation | Light emitting diode based measurement systems |
JP3917601B2 (ja) * | 2004-04-14 | 2007-05-23 | 株式会社東芝 | 薬液の認定方法および半導体装置の製造方法 |
EP1796824A4 (en) | 2004-05-02 | 2016-10-19 | Fluidigm Corp | DEVICE FOR THERMAL REACTIONS AND METHOD FOR THEIR USE |
KR100868624B1 (ko) * | 2004-12-23 | 2008-11-13 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 파티클 검출 장치 |
US7355696B2 (en) * | 2005-02-01 | 2008-04-08 | Arryx, Inc | Method and apparatus for sorting cells |
US20070296937A1 (en) * | 2006-06-26 | 2007-12-27 | International Business Machines Corporation | Illumination light in immersion lithography stepper for particle or bubble detection |
CN100552422C (zh) * | 2006-12-30 | 2009-10-21 | 清华大学 | 一种对单一颗粒物进行多功能检测的微流控芯片装置 |
CN101029863B (zh) * | 2007-03-29 | 2010-05-19 | 上海大学 | 水中微小颗粒在线测量方法及装置 |
JP2008281392A (ja) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Olympus Corp | 測光装置及び自動分析装置 |
CN101796389A (zh) * | 2007-06-28 | 2010-08-04 | 派瑞设备公司 | 用于远程监测流体中的污染物的***和方法 |
JP4525725B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2010-08-18 | ソニー株式会社 | 光学測定部、光学測定用部材、及びこれらを配設した微小粒子測定装置、並びに微小粒子の光学測定方法 |
JP5285916B2 (ja) * | 2008-01-09 | 2013-09-11 | 東レ株式会社 | 塗布ノズル検査装置および検査方法ならびに塗液の塗布方法 |
JP5298684B2 (ja) * | 2008-07-25 | 2013-09-25 | 住友電気工業株式会社 | 異物の検出装置及び検出方法 |
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US20100220315A1 (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Beckman Coulter, Inc. | Stabilized Optical System for Flow Cytometry |
WO2010104993A2 (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | The Regents Of The University Of California | Fluidic flow cytometry devices and particle sensing based on signal-encoding |
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