JP6615634B2 - 増圧回路を備える液体材料吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、増圧回路を備える液体材料吐出装置に関し、特に、増圧作用に優れた増圧回路を備え、高粘性材料を高タクトで吐出することができる液体材料吐出装置に関する。

従来、往復移動するプランジャーを用いて少量の液体材料を吐出口から液滴状に吐出させる吐出装置（ディスペンサーともいう）は、種々提案されており、出願人も多くの吐出装置を提案している。

例えば、出願人に係る特許文献１には、エア圧力によるプランジャーロッドの退行動作により吐出口を開き、スプリングの弾性力あるいは空気圧による前記プランジャーロッドの進出動作により液滴を前記吐出口より吐出する液滴の吐出方法が開示される。

出願人に係る特許文献２には、プランジャーを後退方向に付勢する弾性体を有し、加圧室に供給された加圧気体がピストンに推進力を与えることによりプランジャーを進出移動させる液体材料吐出装置が開示される。

出願人に係る特許文献３には、ピストンと連結され、液室内を進退動するプランジャーと、プランジャーに付勢力を与える弾性体と、ピストンが配設されるピストン室と、加圧気体をピストン室に供給し、またはピストン室から加圧気体を排出する電磁弁とを備え、前記電磁弁が、ピストン室に並列接続された複数の電磁弁からなる液体材料吐出装置が開示される。

特開２００２−２８２７４０号公報 特開２０１３−０８１８８４号公報 国際公開第２０１３／１１８６６９号パンフレット

近年、生産現場では吐出作業の生産性を上げることが求められており、プランジャーを往復動作して吐出を行う吐出装置においては、一定時間内により多くの吐出作業を行うこと、すなわち吐出装置の高タクト化が求められている。高タクトな連続吐出を実現するためには、吐出装置を駆動させるための吐出周波数を上げることが必要となる。しかしながら、既存の吐出装置において吐出周波数を上昇させると、駆動用エアの消費量も増加するため、エア圧の回復が間に合わず、プランジャーの動作が一様でなくなるという課題があった。
特に、高粘性材料を吐出する場合は駆動用エアを高圧にする必要があるため、エア消費はさらに大きくなり、タクトタイムを短縮できないという課題が顕著であった。

そこで、本発明は、タクトタイムを短くすることができる液体材料吐出装置を提供することを目的とする。

本発明の液体材料吐出装置は、吐出口と連通し、液体材料が供給される液室と、ピストンが形成され、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、プランジャーに付勢力を与える弾性部材と、ピストンが配設され加圧気体が供給されるピストン室と、ピストン室に弾性部材の付勢力を上回る加圧エアを供給し、またはピストン室内の加圧エアを排出する圧力供給装置と、を備え、前記プランジャーを進出移動させて液体材料に慣性力を印可することにより前記吐出口から液体材料を吐出する液体材料吐出装置であって、前記圧力供給装置とエア源とを連通する増圧回路を備え、前記増圧回路が、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第一の増圧系統と、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第二の増圧系統と、第一の増圧系統および第二の増圧系統を合流させる合流部と、を備え、さらに、前記合流部と前記圧力供給装置との間に圧力調整弁を備えることを特徴とする。
上記液体材料吐出装置において、前記第一の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第一の逆止弁を有し、前記第二の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第二の逆止弁を有することを特徴としてもよく、この場合、前記第一の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有し、前記第二の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有することを特徴とすることが好ましく、前記第一の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成され、前記第二の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成されることを特徴とすることがより好ましい。

上記液体材料吐出装置において、前記増圧回路が、前記エア源から供給された加圧エアを第一の増圧系統および第二の増圧系統に分岐する分岐部を備えることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記第一の増圧系統が、第一のエア源に接続され、
前記第二の増圧系統が、第二のエア源に接続されることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記圧力調整弁が、前記エア源の供給圧力と比べ高圧の加圧エアを前記圧力供給装置に供給することを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記弾性部材が前記ピストンを上方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを下方に移動させる加圧エアを供給すること、または、前記弾性部材が前記ピストンを下方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを上方に移動させる加圧エアを供給することを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記圧力供給装置が、電磁弁により構成されることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、さらに、前記液室と連通される貯留容器と、前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通または遮断する開閉弁と、を備えることを特徴としてもよい。

上記液体材料吐出装置において、さらに、前記液室と連通される貯留容器と、前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通する第一の位置および前記貯留容器と外界とを連通する第二の位置を有する切換弁と、を備えることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、上記液体材料吐出装置において、前記貯留容器用減圧弁と前記エア源とを連通する分岐部を備えることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記貯留容器用減圧弁が、前記増圧回路とは異なるエア源に接続されることを特徴としてもよい。
本発明の塗布装置は、上記液体材料吐出装置と、被塗布物を載置するワークテーブルと、液体材料吐出装置と被塗布物とを相対移動させる相対移動装置と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、増圧作用に優れた増圧回路を備え、高タクトでの吐出作業ができる液体材料吐出装置を提供することが可能となる。

実施形態例１の液体材料吐出装置の構成図である。 実施形態例２の液体材料吐出装置の構成図である。 実施形態例３の液体材料吐出装置の構成図である。 実施形態例４の液体材料吐出装置の構成図である。

本発明の実施形態を例示する液体材料吐出装置を説明する。以下では、説明の都合上、液体材料の吐出方向を「下」または「前」、その反対方向を「上」または「後」とよぶ場合がある。

《実施形態例１》
図１に示す実施形態例１の吐出装置１は、先端部３１が液室内を進退動するプランジャー３と、プランジャーを前進方向に付勢する弾性部材４と、プランジャー３の後端部に形成されたピストン３３が配設されるピストン室２０と、ピストン室２０に供給する駆動用エアを増圧する増圧回路８０と、を備え、ピストン３３が弾性部材４の付勢力により推進力を得ることによりプランジャー３が進出移動し、液体材料を吐出する。

調圧される前の駆動用エアは、エア源７１から供給される。エア源７１は、例えば、工場に設置されたコンプレッサーによって供給される工場圧（例えば、０．４〜０．７［ＭＰａ］）、ボンベ等により供給されるガス圧により構成される。吐出装置１は、生産現場に設置されたエア源７１と増圧回路８０とを着脱自在なコネクタ（図示せず）により接続して使用されることが多い。なお、本明細書では「エア」の用語を空気に限定した意味で用いず、他のガス（例えば窒素ガス）も含んだ意味で用いるものとする。

増圧回路８０は、並列に設けられた第一の増圧系統（８１ａ〜８４ａ）と、第二の増圧系統（８１ｂ〜８４ｂ）とから構成される。エア源７１からの駆動用エアは、分岐部を有する接続管７２を介して第一の増圧系統（８１ａ〜８４ａ）および第二の増圧系統（８１ｂ〜８４ｂ）に供給される。エア源７１から第一の増圧系統（８１ａ〜８４ａ）および第二の増圧系統（８１ｂ〜８４ｂ）までの流路長は同一長である（但し、必ずしも同一長としなくともよい。）。第一の増圧系統（８１ａ〜８４ａ）および第二の増圧系統（８１ｂ〜８４ｂ）は、同一の機器および同一長の管により構成されている。第一の増圧系統（８１ａ〜８４ａ）および第二の増圧系統（８１ｂ〜８４ｂ）の終端部は合流管７３と連通しており、合流管７３により各系統からのエアが合流されエア圧調整弁９１に供給される。

実施形態例１では、エア源７１から第一の増圧系統（８１ａ〜８４ａ）を通ってエア圧調整弁９１に到達するまでの流路長と、エア源７１から第二の増圧系統（８１ｂ〜８４ｂ）を通ってエア圧調整弁９１に到達するまでの流路長とは、実質的に同一の長さとしている。図１では、一つのエア源７１からの駆動用エアを接続管７２により二つの系統に分岐しているが、二つのエア源を設け、各エア源と各増圧系統を一対一で接続してもよい。

増圧弁８１ａ、８１ｂは、エア源７１から供給されるエアを増圧する（すなわち、加圧する）。実施形態例１では、二つの増圧弁８１ａ、８１ｂでエアを増圧することにより、一つの増圧弁で増圧する場合と比べ例えば二倍の増圧作用を実現することが可能である。増圧（加圧）されたエアは、下流に設けられた減圧弁８３ａ、８３ｂで所望の圧力に調圧される。エア源７１から供給されたエアの圧力を高めた後に減圧弁８３ａ、８３ｂで調圧することにより、エア源７１より高い所望の圧力値（例えば、１．０ＭＰａ）に精度よく保持されたエアを供給することが可能となる。増圧弁８１ａ、８１ｂは、コンプレッサーでは作ることができない高い圧力が必要な場合に特に効果的である。実施形態例１では増圧系統を２つ設けているが、例えば、３〜５つ或いは４〜６つ設けてもよい。同様に、増圧系統と一対一で対応する個数（例えば、３〜５つ或いは４〜６つ）のエア源を設けてもよい。

増圧弁８１ａ、８１ｂと減圧弁８３ａ、８３ｂとの間には、貯留タンク８２ａ、８２ｂが設けられている。貯留タンク８２ａ、８２ｂは、増圧弁増圧弁８１ａ、８１ｂで増圧したエアを保持するバッファタンクであり、駆動用エアが連続的に消費された際の供給エアの不足を防止し、一定圧力のエアを安定して供給することを可能とする。吐出動作をしていないときに増圧弁８１ａ、８１ｂを作動させ、高圧エアをストックさせておくことが好ましい。

各系統の終端部付近には、逆止弁８４ａ、８４ｂが設けられている。逆止弁８４ａ、８４ｂは、一の系統から他の系統へエアが逆流することを防止する。逆止弁８４ａ、８４ｂが無いと、各系統に配置された減圧弁８３ａ、８３ｂの二次圧に差が生じた場合に、系統間で不要なエアの流れが発生する。逆止弁８４ａ、８４ｂが設けられていることにより、エア源７１から合流管７３までの流れの方向が正方向になることが担保される。合流管７３の終端は、エア圧調整弁９１と接続されている。

エア圧調整弁９１は、例えば減圧弁により構成され、供給管７４を介して圧力供給装置５１のエア供給口５２と連通される。エア圧調整弁９１は、合流管７３から供給されたエアの圧力を、ピストン３３の駆動に最適なエア圧に整える。すなわち、エア源７１から供給されたエアは、増圧回路８０およびエア圧調整弁９１を通過することにより、ピストン３３の駆動に最適なエア圧に整えられる。エア圧調整弁９１から圧力供給装置５１に供給されるエアの圧力は、エア源７１の供給圧力より常に高くなるのが通常であるが、エア源７１の供給圧力より低い圧力を供給することも可能である。

圧力供給装置５１は、前方ピストン室２２とエア供給口５２とを連通する第一の位置と、前方ピストン室２２とエア排出口５３とを連通する第二の位置を取ることができる切換弁である。圧力供給装置５１が第一の位置を取ると、エア供給口５２から前方ピストン室２２にエアが供給され、ピストン３３（すなわち、プランジャー３）が後退移動する。圧力供給装置５１が第二の位置を取ると、前方ピストン室２２のエアがエア排出口５３から外部に排出され、ピストン３３（すなわち、プランジャー３）が弾性部材４の作用により進出移動する。ここで、エア排出口５３に管を連結して所望位置に排出させるようにしてもよい。

圧力供給装置５１は、例えば、電磁弁、三方弁により構成される。圧力供給装置５１は、制御装置５０に電気的に接続されており、制御装置５０から所定の吐出周波数で出力される位置切換信号に基づき第一の位置と第二の位置を切り換える。

ピストン室２０は、環状シール部材を有するピストン３３により気密に分断されており、ピストン３３の上方が後方ピストン室２１となり、ピストン３３の下方が前方ピストン室２２となる。
後方ピストン室２１には、ピストン３３の後端（後方当接部）と当接し、ピストン３３の最後退位置を規定する後方ストッパー４１が配設されている。なお、ピストン３３の後端は必ずしも図示の形状に限られず、例えば、後方ストッパー４１と対向する突起を設けてもよい。

後方ストッパー４１は、本体２の後端部を挿通して配設されるマイクロメータ４２と連結されており、これらがストローク調節機構として機能する。すなわち、マイクロメータ４２を回し、後方ストッパー４１の先端の位置を上下方向に移動させることにより、プランジャーのストロークを調節することが可能である。

後方ピストン室２１には弾性部材４が配設される。弾性部材４内には、プランジャーのロッド部３２が挿通されている。弾性部材４は、圧縮コイルばねであり、一端が後方ピストン室２１の天部と当接または固定され、他端がピストン３３に当接または固定される。弾性部材４が、弾性エネルギーによりピストン３３を進出移動させることにより後方ピストン室２１の圧縮エアは短時間で放出されるので、タクトタイムを短縮することが可能である。

プランジャーのロッド部３２は、ガイド５に挿通されており、左右にぶれないようにガイドされている。ガイド５の下方には、環状のシール７が設けられており、液体材料の侵入を防止している。ロッド部３２の先端が先端部３１を構成し、先端部３１よりも幅広（大径）の液室１３内を進退動する。先端部３１が進行方向に存在する液体材料に慣性力を与えることで、吐出口１１から液体材料が液滴の状態で吐出される。なお、プランジャーの先端部３１の形状は図示の砲弾形以外の任意の形状とすることができ、例えば、平面、球状または先端に突起が設けられた形状とすることが開示される。

液室１３は、液送路１２と連通しており、液送管９を介して貯留容器８から液体材料が液室１３に供給される。実施形態例１の貯留容器８は、内部の液体材料が加圧されないシリンジであり、自重で液室１３内に液体材料が供給される。液送管９は本体と貯留容器を流体的に接続することができれば任意の部材を用いることができ、円管状でなくてもよく、例えば、ブロック状の部材に流路を穿って形成してもよい。

本体２の下端には、液室１３が形成されたノズル部材１０が螺挿される。ノズル部材１０の底面の中心には、下方に開口する吐出口１１が設けられている。進出移動するプランジャーの先端部３１が液室１３の底面（すなわち弁座）に着座することで、プランジャー３の進出移動が停止される。なお、実施形態例１とは異なり、吐出時にプランジャーの先端部３１が液室１３の底面に着座しない構成の吐出装置においても、本発明の技術思想は適用可能である。

本発明は、クリーム半田のようなインクジェットでの吐出に適さない高粘度の液体を微量吐出する用途にも適用することができる。ここで、高粘度の液体とは、例えば、粘度１，０００〜５００，０００ｍＰａ・ｓの液体をいい、特に、粘度１０，０００ｍＰａ・ｓ〜５００，０００ｍＰａ・ｓの液体または粘度１０，０００ｍＰａ・ｓ〜１００，０００ｍＰａ・ｓの液体をいう。
また、微量吐出とは、例えば、着弾径が数十〜数百μｍの液滴、或いは、体積が１ｎｌ以下（好ましくは、０．１〜０．５ｎｌ以下）の液滴の吐出のことをいう。本発明は数十μｍ以下（好ましくは３０μｍ以下）の吐出口径でも、液滴を形成できる。

液体材料吐出装置１は、塗布装置の塗布ヘッドに搭載され、塗布ヘッド（吐出装置１）とワークテーブル１０３とをＸＹＺ軸駆動装置により相対移動させ、ワーク上に液体材料を塗布する作業に用いられる。ＸＹＺ駆動装置は、例えば、公知のＸＹＺ軸サーボモータとボールネジとを備えて構成され、液体材料吐出装置１の吐出口をワークの任意の位置に、任意の速度で移動させることが可能である。

以上に説明した実施形態例１の吐出装置１によれば、高粘度な液体を用いて、例えば、３００ショット／秒の高タクトな連続吐出を行った際でも、エア圧の不足が生じることは無い。

《実施形態例２》
実施形態例２に係る液体材料吐出装置１は、貯留容器８を加圧する分岐回路を備える点で、実施形態例１と主に相違する。以下では相違点に係る構成を中心に説明し、一致点については説明を割愛する。

図２に示す実施形態例２の吐出装置１は、接続管７２から分岐された枝管７５を備えている。すなわち、実施形態例２の接続管７２は、３つに分岐されている。枝管７５は貯留容器８に連通されており、枝管７５の途中には減圧弁９２と開閉弁９３とが配置されている。

減圧弁９２は、エア源７１から供給される加圧エアを所望の圧力に減圧し、貯留容器８に供給する。貯留容器８内の液体材料は加圧されるため、高粘性材料であっても液室１３に送り込むことが可能である。開閉弁９３は、吐出作業の間は開状態とされ、貯留容器８を交換する際に閉状態とされる。貯留容器８は、内部の液体材料が加圧される蓋付きシリンジである。液体材料を消費した後にシリンジを交換する際には、減圧弁９２の圧力を大気圧まで落とし、開閉弁９３を閉止することにより、速やかに交換することができる。仮に開閉弁９３がないと、エアが吹き出した状態でシリンジを交換しなければならず、エアが無駄に消費されるし、安全にシリンジ交換作業を行うことができない。

実施形態例２に係る吐出装置１では、圧力供給装置５１が、第一の位置を取るとエア供給口５２から後方ピストン室２１にエアが供給され、ピストン３３（すなわち、プランジャー３）が進出移動する。圧力供給装置５１が、第二の位置を取ると後方ピストン室２１のエアがエア排出口５３から外部に排出され、ピストン３３（すなわち、プランジャー３）が弾性部材４の作用により後退移動する。その他の構成は、実施形態例１と同様である。

実施形態例２に係る液体材料吐出装置１は、エア源７１から供給されるエアを分岐し、減圧弁９２を介して液体貯留容器８内の液体材料を加圧できる構成となっているので、高粘性の液体材料の吐出作業を行う場合に特に有効である。

《実施形態例３》
実施形態例３に係る液体材料吐出装置１は、弾性部材４がピストン３３の上方に配置されている点で、実施形態例２と主に相違する。以下では相違点に係る構成を中心に説明し、一致点については説明を割愛する。

図３に示す実施形態例３に係る吐出装置１では、圧力供給装置５１が、第一の位置を取るとエア供給口５２から前方ピストン室２２にエアが供給され、ピストン３３（すなわち、プランジャー３）が後退移動する。圧力供給装置５１が、第二の位置を取ると前方ピストン室２２のエアがエア排出口５３から外部に排出され、ピストン３３（すなわち、プランジャー３）が弾性部材４の作用により進出移動する。

また、実施形態例３に係る吐出装置１では、プランジャーのロッド部３２が大径部と小径部とから構成されており、ガイド５に挿通される小径部の先端が先端部３１を構成している。その他の構成は、実施形態例２と同様である。

実施形態例３に係る液体材料吐出装置１も、実施形態例２と同様、液体貯留容器８内の液体材料を加圧できる構成となっているので、高粘性の液体材料の吐出作業を行う場合に特に有効である。

《実施形態例４》
実施形態例４に係る液体材料吐出装置１は、貯留容器８を加圧するためのエア源を備える点、増圧回路８０の各系統がそれぞれ二つの貯留タンク（８２、８５）を備えるで、実施形態例２と主に相違する。以下では相違点に係る構成を中心に説明し、一致点については説明を割愛する。

図４に示す実施形態例４の吐出装置１は、貯留容器８に加圧エアを供給するためのエア源７６を備えている。エア源７６は、プランジャー駆動用のエア源７１とは別に設けられており、例えば、エア源７１は通常の工場圧をエア源とし、エア源７６は窒素ガスなどの不活性ガスを供給するエア源により構成することが開示される。エア源７６をエア源７１と分離することにより、貯留容器８内の液体材料の種類に応じてエア源７６から供給するガスを可変とすることが可能となる。

エア源７６は、管７７により貯留容器８に連通されており、管７７の途中には減圧弁９２と切換弁９４とが配置されている。減圧弁９２は、実施形態例２および３と同様であり、加圧エアを所望の圧力に減圧し、貯留容器８に供給する。
切換弁９４は、貯留容器８を減圧弁９２と連通する第一の位置と貯留容器８を排出口７８と連通する第二の位置とを有している。吐出作業時には切換弁９４を第一の位置とし、貯留容器８の交換時には切換弁９４を第二の位置とする。第二の位置とすることで、貯留容器８内のガスを安全に抜いてから、交換作業を行うことができる。

実施形態例４に係る液体材料吐出装置１は、エア源７１とは別のエア源７６から供給されるエアで液体貯留容器８内の液体材料を加圧する構成となっているので、空気などと反応して性質が変わる液体材料の吐出作業を行う場合に特に有効である。

本発明は、液体材料を吐出する作業全般に利用することができ、例えば、液晶パネル製造工程におけるシール塗布装置や液晶滴下装置、プリント基板への半田ペースト塗布装置、銀ペースト塗布装置およびアンダーフィル塗布装置に適用することができる。
本発明は、プランジャー（弁体）を弁座（液室内壁）に衝突させて液体材料をノズルより飛翔吐出させる方式、プランジャーを高速移動させ、プランジャーを弁座に衝突させることなく急激に停止することで液体材料に慣性力を与えてノズルより飛翔吐出させる方式のいずれにも適用することができる。

１：吐出装置、２：本体、３：プランジャー、４：弾性部材、５：ガイド、６：ノズル部材、７：シール、８：貯留容器（シリンジ）、９：液送チューブ、１１：吐出口、１２：液材供給路、１３：液室、１５：弁座、２０：ピストン室、２１：後方ピストン室、２２：前方ピストン室、３１：（プランジャーの）先端、３２：ロッド部、３３：ピストン、４１：後方ストッパー、４２：マイクロメータ、５０：制御装置、５１：圧力供給装置、５２：エア供給口、５３：エア排出口、７１：エア源、７２：接続管、７３：合流管、７４：供給管、７５：枝管、７６：（貯留容器加圧用）エア源、７７：管、７８：排出口、８０：増圧回路、８１：増圧弁、８２：貯留タンク、８３：減圧弁、８４：逆止弁、９１：エア圧調整弁（減圧弁）、９２：（貯留容器加圧用）減圧弁、９３：開閉弁、９４：切換弁

Claims (14)

1. 吐出口と連通し、液体材料が供給される液室と、
   ピストンが形成され、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
   プランジャーに付勢力を与える弾性部材と、
   ピストンが配設され加圧気体が供給されるピストン室と、
   ピストン室に弾性部材の付勢力を上回る加圧エアを供給し、またはピストン室内の加圧エアを排出する圧力供給装置と、を備え、
   前記プランジャーを進出移動させて液体材料に慣性力を印可することにより前記吐出口から液体材料を吐出する液体材料吐出装置であって、
   前記圧力供給装置とエア源とを連通する増圧回路を備え、
   前記増圧回路が、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第一の増圧系統と、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第二の増圧系統と、第一の増圧系統および第二の増圧系統を合流させる合流部と、を備え、
   さらに、前記合流部と前記圧力供給装置との間に圧力調整弁を備えることを特徴とする液体材料吐出装置。
2. 前記第一の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第一の逆止弁を有し、
   前記第二の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第二の逆止弁を有することを特徴とする請求項１に記載の液体材料吐出装置。
3. 前記第一の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有し、
   前記第二の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有することを特徴とする請求項２に記載の液体材料吐出装置。
4. 前記第一の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成され、
   前記第二の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成されることを特徴とする請求項３に記載の液体材料吐出装置。
5. 前記増圧回路が、前記エア源から供給された加圧エアを第一の増圧系統および第二の増圧系統に分岐する分岐部を備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
6. 前記第一の増圧系統が、第一のエア源に接続され、
   前記第二の増圧系統が、第二のエア源に接続されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
7. 前記圧力調整弁が、前記エア源の供給圧力と比べ高圧の加圧エアを前記圧力供給装置に供給することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
8. 前記弾性部材が前記ピストンを上方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを下方に移動させる加圧エアを供給すること、または、
   前記弾性部材が前記ピストンを下方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを上方に移動させる加圧エアを供給することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
9. 前記圧力供給装置が、電磁弁により構成されることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
10. さらに、前記液室と連通される貯留容器と、
    前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、
    前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通または遮断する開閉弁と、を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
11. さらに、前記液室と連通される貯留容器と、
    前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、
    前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通する第一の位置および前記貯留容器と外界とを連通する第二の位置を有する切換弁と、を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
12. 前記貯留容器用減圧弁と前記エア源とを連通する分岐部を備えることを特徴とする請求項１０または１１に記載の液体材料吐出装置。
13. 前記貯留容器用減圧弁が、前記増圧回路とは異なるエア源に接続されることを特徴とする請求項１０または１１に記載の液体材料吐出装置。
14. 請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体材料吐出装置と、被塗布物を載置するワークテーブルと、液体材料吐出装置と被塗布物とを相対移動させる相対移動装置と、を備える塗布装置。