JP6613840B2 - 液体吐出ヘッドの検査方法、および液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体吐出ヘッドの検査方法、および液体吐出装置に関し、特に、ノズルに連通する圧力室内の液体にアクチュエーターの駆動により圧力振動を生じさせることでノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドの検査方法、および液体吐出装置に関するものである。

液体吐出装置は、液体を液滴としてノズルから吐出可能な液体吐出ヘッドを備え、この液体吐出ヘッドから各種の液体を吐出する装置である。この液体吐出装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクをインク滴として吐出させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンター）等の画像記録装置を挙げることができる。また、この他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタに用いられる色材、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイに用いられる有機材料、電極形成に用いられる電極材等、様々な種類の液体の吐出に液体吐出装置が用いられている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを吐出し、ディスプレイ製造装置用の色材吐出ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を吐出する。また、電極形成装置用の電極材吐出ヘッドでは液状の電極材料を吐出し、チップ製造装置用の生体有機物吐出ヘッドでは生体有機物の溶液を吐出する。

上記液体吐出ヘッドは、ノズルが開設されたノズルプレート、圧力室が形成された基板、圧力室の一部を区画する弾性膜、圧力室に圧力振動を生じさせるアクチュエーター等、複数の部材を積層して構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。例えば、上記ノズルプレートや圧力室が形成された基板等の構成部材は、接着剤により接合されている。この接着剤が劣化して部材間の剥離が生じた場合、特に、圧力室を区画している隔壁の上下において剥離が生じた場合、この剥離した部分から液体が漏れたり、液体を吐出させる際に圧力損失が生じてノズルから液体が正常に吐出されなかったり等、不具合が生じる虞がある。このため、特許文献１の構成では、ノズルプレートが流路形成基板から剥離することを抑制する構成が提案されている。

特開２０１１−２０１１７０号公報

しかしながら、従来においては、液体の増粘や気泡等による液体の吐出の不具合を検出することができるのに対して、経年変化等により剥離等が発生した場合、上記の液体の増粘等による吐出の不具合と区別して当該剥離を検出することが難しいという問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力室を区画する隔壁とこれに接合された構成部材の剥離を検出することが可能な液体吐出ヘッドの検査方法、および液体吐出装置を提供することにある。

本発明の液体吐出装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの駆動によって前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記アクチュエーターの駆動によって生じる圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、を備える液体吐出ヘッドの検査方法であって、
検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、
前記第１の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、
前記第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、
前記第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、
前記第１の検出工程における検出結果と前記第２の検出工程における検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する剥離検出工程と、
を含む検査処理を実行することを特徴とする。

上記構成によれば、検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、第１の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、第１の検出工程における検出結果と第２の検出工程における検出結果との差異に基づき隔壁に接合された部材の剥離を検出するので、従来においては増粘による吐出の不具合と区別して検出することが難しかった部材の剥離をより確実に検出することが可能となる。
上記成において、前記剥離の発生に係る累積負荷が、予め定められた判定値を超えた場合に前記検査処理を実行することが望ましい。

この構成によれば、剥離の発生に係る累積負荷が、予め定められた判定値を超えた場合に前記検査処理を実行するように構成することで、剥離の発生の可能性が比較的少ない初期の段階においては検査処理が実行されないようにすることができ、その分の処理時間を削減することができる。また、検査処理でノズルから液体を吐出させる場合においては液体の無駄な消費を低減することができる。

また、上記構成において、前記累積負荷が大きいほど、前記第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることが望ましい。

この構成によれば、検査処理でノズルから液体を吐出させる場合においては液体の無駄な消費を抑えつつ、剥離の検出を効率よく行うことができる。すなわち、累積負荷が小さいほど剥離の発生の可能性は少ないので、第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を抑えることで、その分、検査処理で消費する液体の量を低減することができる。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まる。このため、第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることで、第１のアクチュエーターを駆動させたときに検査対象ノズルに対応する圧力室を区画する隔壁の撓みをより抑えることができるので、剥離の検出精度を向上させることができる。

上記構成において、前記累積負荷が小さいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、前記累積負荷が大きいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことが望ましい。

この構成によれば、累積負荷が小さいほど剥離が生じている可能性が低いので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく設定されることで、誤検出が抑制される。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まるので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さく設定されることで、剥離の検出精度を向上させることができる。

上記各構成において、前記剥離検出工程において剥離が検出された場合に使用者に対して警告を行う警告工程を含むことが望ましい。

この構成によれば、剥離が生じたことを使用者が速やかに把握することができ、より迅速な修理や交換等の対応が可能となる。

上記各構成において、前記第１の駆動工程および前記第２の駆動工程においてアクチュエーターを駆動させた際に、対応するノズルから液体が吐出されることが望ましい。

この構成によれば、第１の駆動工程および第２の駆動工程においてアクチュエーターを駆動させた際に、対応するノズルから液体が吐出されるようにすることで、圧力室内の液体により大きい振動を付与することができるので、検出精度が向上する。

そして、本発明の液体吐出装置は、並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
前記アクチュエーターの駆動によって生じる圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、
前記アクチュエーターを駆動させてノズルからの液体の吐出を制御する制御回路と、
を備える液体吐出装置であって、
前記制御回路は、
検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第１の検出結果として検出し、
第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第２の検出結果として検出し、
前記第１の検出結果と前記第２の検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出することを特徴とする。
また、上記目的を達成するために提案される本発明の液体吐出ヘッドの検査方法は、以下の工程を経るものであってもよい。
すなわち、並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの駆動によって前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記アクチュエーターの駆動によって生じる前記圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、を備える液体吐出ヘッドの検査方法であって、
検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、
前記第１の駆動工程における駆動により前記検査対象ノズルに対応する前記圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、
前記第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、
前記第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、
前記第１の検出工程における検出結果と前記第２の検出工程における検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する剥離検出工程と、
を含む検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
前記累積負荷が小さいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、
前記累積負荷が大きいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことを特徴とする。
この構成によれば、検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、第１の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、第１の検出工程における検出結果と第２の検出工程における検出結果との差異に基づき隔壁に接合された部材の剥離を検出するので、従来においては増粘による吐出の不具合と区別して検出することが難しかった部材の剥離をより確実に検出することが可能となる。
また、剥離の発生に係る累積負荷が、予め定められた判定値を超えた場合に前記検査処理を実行するように構成することで、剥離の発生の可能性が比較的少ない初期の段階においては検査処理が実行されないようにすることができ、その分の処理時間を削減することができる。また、検査処理でノズルから液体を吐出させる場合においては液体の無駄な消費を低減することができる。
さらに、累積負荷が小さいほど剥離が生じている可能性が低いので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく設定されることで、誤検出が抑制される。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まるので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さく設定されることで、剥離の検出精度を向上させることができる。
また、本発明の液体吐出ヘッドの検査方法は、以下の工程を経るものであってもよい。
すなわち、並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの駆動によって前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記アクチュエーターの駆動によって生じる前記圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、を備える液体吐出ヘッドの検査方法であって、
検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、
前記第１の駆動工程における駆動により前記検査対象ノズルに対応する前記圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、
前記第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、
前記第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、
前記第１の検出工程における検出結果と前記第２の検出工程における検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する剥離検出工程と、
を含む検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
前記累積負荷が大きいほど、前記第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることを特徴とする。
この構成によれば、検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、第１の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、第１の検出工程における検出結果と第２の検出工程における検出結果との差異に基づき隔壁に接合された部材の剥離を検出するので、従来においては増粘による吐出の不具合と区別して検出することが難しかった部材の剥離をより確実に検出することが可能となる。
また、剥離の発生に係る累積負荷が、予め定められた判定値を超えた場合に前記検査処理を実行するように構成することで、剥離の発生の可能性が比較的少ない初期の段階においては検査処理が実行されないようにすることができ、その分の処理時間を削減することができる。また、検査処理でノズルから液体を吐出させる場合においては液体の無駄な消費を低減することができる。
さらに、検査処理でノズルから液体を吐出させる場合においては液体の無駄な消費を抑えつつ、剥離の検出を効率よく行うことができる。すなわち、累積負荷が小さいほど剥離の発生の可能性は少ないので、第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を抑えることで、その分、検査処理で消費する液体の量を低減することができる。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まる。このため、第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることで、第１のアクチュエーターを駆動させたときに検査対象ノズルに対応する圧力室を区画する隔壁の撓みをより抑えることができるので、剥離の検出精度を向上させることができる。
上記構成において、前記累積負荷が小さいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、前記累積負荷が大きいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことが望ましい。
この構成によれば、累積負荷が小さいほど剥離が生じている可能性が低いので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく設定されることで、誤検出が抑制される。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まるので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さく設定されることで、剥離の検出精度を向上させることができる。
また、上記各構成において、前記剥離検出工程において剥離が検出された場合に使用者に対して警告を行う警告工程を含むことが望ましい。
この構成によれば、剥離が生じたことを使用者が速やかに把握することができ、より迅速な修理や交換等の対応が可能となる。
さらに、上記各構成において、前記第１の駆動工程および前記第２の駆動工程においてアクチュエーターを駆動させた際に、対応するノズルから液体が吐出されることが望ましい。
この構成によれば、第１の駆動工程および第２の駆動工程においてアクチュエーターを駆動させた際に、対応するノズルから液体が吐出されるようにすることで、圧力室内の液体により大きい振動を付与することができるので、検出精度が向上する。
また、本発明の液体吐出装置は、以下の構成を備えるものであっても良い。
すなわち、並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
前記アクチュエーターの駆動によって生じる圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、
前記アクチュエーターを駆動させてノズルからの液体の吐出を制御する制御回路と、
を備える液体吐出装置であって、
前記制御回路は、
検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第１の検出結果として検出し、
第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第２の検出結果として検出し、
前記第１の検出結果と前記第２の検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
前記累積負荷が小さいほど剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、前記累積負荷が大きいほど剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことを特徴とする。
さらに、本発明の液体吐出装置は、以下の構成を備えるものであっても良い。
すなわち、並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
前記アクチュエーターの駆動によって生じる圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、
前記アクチュエーターを駆動させてノズルからの液体の吐出を制御する制御回路と、
を備える液体吐出装置であって、
前記制御回路は、
検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第１の検出結果として検出し、
第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第２の検出結果として検出し、
前記第１の検出結果と前記第２の検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
前記累積負荷が大きいほど、検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることを特徴とする。

プリンターの内部構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する図である。 プリンターの電気的構成を説明するブロック図である。 検査用駆動パルスの構成を説明する波形図である。 記録ヘッドの故障を検出する回路構成を説明する図である。 記録ヘッドの故障を検出する回路構成を説明する図である。 検査処理について説明するフローチャートである。 逆起電力信号の波形を示したグラフである。 本発明の第２の実施形態における検査処理について説明するイメージ図である。 第２の実施形態における検査処理の具体例を示す表である。 振動検出回路から出力される第１の逆起電力信号および第２の逆起電力信号の波形を示したグラフである。 微振動駆動パルスの波形の一例を示す波形図である。 スモールドット駆動パルスの波形の一例を示す波形図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体吐出装置として、インクジェット式記録装置（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。

図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体吐出ヘッドの一種である記録ヘッド２が取り付けられると共に、液体供給源の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録動作時の記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構７と、主走査方向に直交する副走査方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８と、を備えて概略構成されている。なお、インクカートリッジ３がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド２に供給される構成を採用することもできる。

キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号がプリンターコントローラー３１のＣＰＵ３５（図３参照）に送信される。リニアエンコーダー１０は、記録ヘッド２の走査位置に応じたエンコーダーパルスを主走査方向における位置情報として出力する。このため、ＣＰＵ３５は、受信したエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ４に搭載された記録ヘッド２の走査位置を認識できる。これにより、ＣＰＵ３５はこのリニアエンコーダー１０からのエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ４（記録ヘッド２）の走査位置を認識しながら、記録ヘッド２による記録動作を制御することができる。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙６上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。

図２は、本実施形態の記録ヘッド２の構成を示す図であり、（ａ）は記録ヘッド２の平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ′線断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ′線断面図である。なお、図２（ｃ）では保護基板１９の図示が省略されている。また、図２ではノズル３つ分の構成を例示しているが、残りの他のノズルに対応する構成も同様である。本実施形態における記録ヘッド２は、圧力室基板１４、ノズルプレート１５、弾性膜１６、絶縁膜１７、圧電素子１８、及び、保護基板１９等を積層して構成されている。

圧力室基板１４は、例えば、シリコン単結晶基板から成る板材である。この圧力室基板１４には、複数の圧力室２０が、隔壁１３を間に挟んでその幅方向（ノズル列方向）に並設されている。本実施形態においては、１インチあたり３６０個の圧力室２０が形成されている。圧力室基板１４の圧力室２０の長手方向（ノズル列方向に直交する方向）におけるノズル２３と連通する側とは反対側の外側に外れた領域には連通部２１が形成され、連通部２１と各圧力室２０とが、圧力室２０毎に設けられたインク供給路２２を介して連通されている。なお、連通部２１は、後述する保護基板１９のリザーバー部２９と連通して各圧力室２０の共通のインク室となるリザーバー２７の一部を構成する。インク供給路２２は、圧力室２０よりも狭い幅で形成されており、連通部２１から圧力室２０に流入するインクに対して流路抵抗を付与する。圧力室基板１４におけるこれらの圧力室２０やインク供給路２２等の流路は、異方性エッチングにより形成されている。

圧力室基板１４の下面には、各圧力室２０に対応して複数のノズル２３が列状に開設されたノズルプレート１５が接着剤１２により接合されている。これにより、圧力室２０の下面側の開口がノズルプレート１５により封止されて圧力室２０の底部が画成される。圧力室基板１４の上面には、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）からなる弾性膜１６が形成されている。この弾性膜１６における圧力室２０の開口を封止する部分は、作動面として機能する。また、この弾性膜１６上には酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）からなる絶縁膜１７が形成され、さらに、この絶縁膜１７上には下電極２４と、圧電体２５と、上電極２６とが形成され、これらが積層状態で圧電素子１８（本発明におけるアクチュエーターの一種）が構成されている。

一般的には、圧電素子１８の何れか一方の電極が複数の圧電素子１８に共通の電極とされ、他方の電極（個別電極）及び圧電体２５が圧力室２０毎にパターニングされて構成される。そして、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分が圧電体能動部として機能する。なお、本実施形態では、下電極２４が圧電素子１８の共通電極とされ、上電極２６が圧電素子１８の個別電極とされているが、圧電体２５の分極方向や駆動回路や配線の都合等によってこれらを全体的に逆にする構成とすることもできる。何れの場合においても、圧力室２０毎に圧電体能動部が形成されていることになる。

圧力室基板１４上の圧電素子１８側の面には、圧電素子１８に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持部２８を有する保護基板１９が接合されている。さらに、保護基板１９には、圧力室基板１４の連通部２１に対応する領域にリザーバー部２９が設けられている。このリザーバー部２９は、圧力室２０の並設方向に沿って長尺な矩形の開口形状を有する貫通穴として保護基板１９に形成されており、上述したように圧力室基板１４の連通部２１と連通されてリザーバー２７を画成する。このリザーバー２７は、インクの種類毎（色毎）に設けられ、複数の圧力室２０に共通のインクが貯留される。

上記構成の記録ヘッド２では、インクカートリッジ３からインクを取り込み、リザーバー２７からノズル２３に至るまでインクで満たされる。そして、プリンター本体側からの駆動信号の供給により、圧力室２０に対応するそれぞれの下電極２４と上電極２６との間に両電極の電位差に応じた電界が付与され、圧電素子１８および作動面（弾性膜１６）が撓み変形することにより、圧力室２０内に圧力変動が生じる。この圧力変動を制御することで、ノズル２３からインクを吐出させたり、或いは、インクが吐出されない程度にノズル２３におけるメニスカスを微振動させたりする。

図３は、プリンター１の電気的な構成を示すブロック図である。本実施形態におけるプリンター１は、プリンターコントローラー３１とプリントエンジン３２とで概略構成されている。プリンターコントローラー３１は、ホストコンピューター等の外部装置からの印刷データ等が入力される外部インタフェース（外部Ｉ／Ｆ）３３と、各種制御のための制御プログラム等や各種データ等を記憶したメモリー３４と、メモリー３４に記憶されている制御プログラムに従って各部の統括的な制御を行うＣＰＵ３５と、記録ヘッド２へ供給する駆動信号を発生する駆動信号発生回路３６と、を備えている。また、プリントエンジン３２は、記録ヘッド２、キャリッジ移動機構７、紙送り機構８、リニアエンコーダー１０、および振動検出回路３８等を有している。

駆動信号発生回路３６は、駆動電圧供給源と定電圧供給源とから構成され（何れも図示せず）、駆動電圧供給源から駆動信号ＣＯＭを出力するとともに、定電圧供給源から直流電圧ＶＢＳを出力する。駆動電圧供給源は、圧電素子１８毎に設けられたパルス選択スイッチ３７（図５または図６参照）を介して圧電素子１８の駆動電極である上電極２６に電気的に接続されている。また、定電圧供給源は、同一ノズル列に属する各圧電素子１８に対して共通に設けられたスイッチ３９および当該スイッチ３９と並列に接続されている検出抵抗器４０を介して圧電素子１８の共通電極である下電極２４に電気的に接続されている（図５または図６参照）。

記録ヘッド２のヘッドコントローラー３０は、プリンターコントローラー３１から送られてくる階調データＳＩに基づいてインク（本発明における液体の一種）の吐出制御を行う。本実施形態では、２ビットで構成された階調データＳＩがクロック信号に同期して送信され、ヘッドコントローラー３０の図示しないシフトレジスターおよびラッチ回路に順次入力される。そして、ラッチされた階調データＳＩは図示しないデコーダーへ出力される。このデコーダーは、記録データの上位ビット群及び下位ビット群に基づいて、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを選択するためのパルス階調データを生成する。

また、ヘッドコントローラー３０には、駆動信号発生回路３６からの駆動信号ＣＯＭが供給される。この駆動信号ＣＯＭは、ヘッドコントローラー３０のパルス選択スイッチ３７に入力される（図５または図６参照）。このパルス選択スイッチ３７の出力側には、圧電素子１８の上電極２６が接続されている。そして、このパルス選択スイッチ３７は、上記のパルス階調データに基づき駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを圧電素子１８へ選択的に印加する。このような動作をするパルス選択スイッチ３７は、選択供給手段の一種として機能する。また、このパルス選択スイッチ３７は、後述する検査処理を行う場合に、駆動信号発生回路３６に対する圧電素子１８の接続状態または切断状態を切り替える切替機構の一種としても機能する。検査処理におけるパルス選択スイッチ３７の動作については後述する。

圧電素子１８の下電極２４側には、スイッチ３９を介して振動検出回路３８が接続されている。スイッチ３９は、ＣＰＵ３５から出力される切替信号ＣＳに応じて切替制御される。振動検出回路３８は、検査用駆動パルスＰｄ（図４参照）によって圧電素子１８が駆動されたときの圧力室内のインクに生じる振動（残留振動）に基づく圧電素子１８の逆起電力信号を検出信号としてプリンターコントローラー３１側に出力するように構成されている。プリンターコントローラー３１のＣＰＵ３５は、振動検出回路３８から出力される逆起電力信号に基づき記録ヘッド２の故障の有無を検査する。したがって、振動検出回路３８およびプリンターコントローラー３１は、本発明における検出回路として機能し、圧電素子１８を振動センサーとして用いて圧力室内のインクの振動を検出する。

本発明に係るプリンター１は、所定の検査実行条件が満たされたことを契機として、検査処理に入り、記録ヘッド２の検査処理を実行する。記録ヘッド２の故障とは、具体的には圧力室２０が形成された圧力室基板１４と、この圧力室基板１４に接合された他の部材、すなわち、本実施形態においてはノズルプレート１５または弾性膜１６との剥離が生じた状態を意味する。また、「剥離が生じた状態」には、完全に剥離に至らなくともインクの吐出に影響を及ぼす程度に接着力が著しく低下した状態が含まれる。そして、特に、圧力室２０同士を隔てている隔壁１３の上端面（ノズルプレート側とは反対側）または下端面（ノズルプレート側）で剥離が生じた場合、剥離前の状態では動きが拘束されていた隔壁１３の上端面または下端面が解放されるので、圧力室２０の内圧が変化したときにこれに応じて隔壁１３が変位しやすく、あるいは撓みやすくなる。これにより、ノズル２３からインクを吐出させる際の圧力の一部が隔壁１３の変位に使われてしまい、その結果、ノズル２３から吐出されるインクの量や飛翔速度が目標値に対して著しく低下し、最悪の場合にはインクが吐出されない等の吐出不良が生じる虞がある。このような状態が故障とされる。

上記の検査実行条件としては、任意に設定することが可能である。具体的には、上記の剥離の発生に直接または間接的に関連する負荷の累積値（本発明における累積負荷）、より具体的にはプリンター１の使用時間（例えば、ノズル２３からインクを吐出する動作をしている時間の積算値）、吐出回数（例えば、全ノズルの吐出回数の和あるは平均値の積算値）、または、記録媒体の総印刷枚数等が、予め定められた判定値を超えたことを条件とすることができる。これらの累積負荷は、その値が大きいほど剥離の発生の可能性がより高まるものである。これらの累積負荷に対しては、使用環境、すなわち、環境温度や湿度により重みづけをすることが望ましい。例えば、環境温度や湿度が比較的高い環境下で使用される場合では、実際の使用時間や吐出回数の積算値等の累積負荷に重みを付ける（実際の値よりも増加させる）ことで、より早い段階で検査処理が実行されるように設定することが望ましい。あるいは、重みづけを行う替わりに、使用環境に応じて判定値を変えるようにすることもできる。その他、この種のプリンターでは、インクの増粘による吐出不良についての検査が行われることがあるが、この増粘による吐出不良の検査結果が、剥離が疑われるような結果となったときを検査実行条件とすることもできる（吐出不良検査は従来から種々の方式で行われているものであり、その詳細な説明については省略する。）。また、プリンタードライバー等を介してユーザーにより検査処理の実行指示がされたときを条件とすることも可能である。以下、検査実行条件が満たされた場合の記録ヘッド２の検査処理について説明する。

上記の検査実行条件が成立した、すなわち、累積負荷が予め定められた判定値を超えたと判定した場合、プリンターコントローラー３１は、検査処理に移行し、記録ヘッド２の全ノズル２３の中から検査対象ノズルを選択して、当該検査対象ノズルに対応する圧電素子１８に対して図５に示す検査用駆動パルスを印加したときに当該圧電素子１８に生じる逆起電力に基づいて検査処理を行う。検査対象ノズルの選択は、例えば、ノズル列の一方の端に位置するノズルから他方の端に向かって順次選択していってもよいし、上述したように、増粘による吐出不良の検査における結果に基づいて剥離が疑われる位置のノズルを選択してもよい。検査用駆動パルスとしては、圧力室２０内のインクに圧力変化を与えることが可能なものであれば種々の波形のものを採用することができるが、本実施形態においては、図４に示す検査用駆動パルスＰｄが使用される。

図４は、検査用駆動パルスＰｄの波形図である。本実施形態における検査用駆動パルスＰｄは、予備膨張要素ｐ１１と、膨張ホールド要素ｐ１２と、収縮要素ｐ１３と、収縮ホールド要素ｐ１４と、復帰要素ｐ１５と、からなる。予備膨張要素ｐ１１は、基準電位ＶＢから膨張電位ＶＬまで電位が接地電位ＧＮＤ側に変化する波形要素である。膨張ホールド要素ｐ１２は、予備膨張要素ｐ１１の終端電位である膨張電位ＶＬを一定時間維持する波形要素である。収縮要素ｐ１３は、膨張電位ＶＬから基準電位ＶＢを超えて収縮電位ＶＨまで電位がプラス側に比較的急峻な勾配で変化する波形要素である。本実施形態において、膨張電位ＶＬから収縮電位ＶＨまでの電位差Ｖｄ１および収縮要素ｐ１３の電位変化の勾配は、ノズル２３からインクを吐出し得るように設定されている。収縮ホールド要素ｐ１４は、収縮電位ＶＨを所定時間維持する波形要素である。復帰要素ｐ１５は、収縮電位ＶＨから基準電位ＶＢまで電位が復帰する波形要素である。なお、検査用駆動パルスＰｄとしては、印刷用の駆動パルスを流用することもできるし、検査処理に専用のものを使用することもできる。

上記のように構成された検査用駆動パルスＰｄが圧電素子１８に印加されると、まず、予備膨張要素ｐ１１によって圧電素子１８は圧力室２０の外側（ノズルプレート１５から離隔する側）に撓み、これに伴って圧力室２０が基準電位ＶＢに対応する基準容積から膨張電位ＶＬに対応する膨張容積まで膨張する。この膨張により、ノズル２３におけるインクのメニスカスが、待機位置（圧力室２０が基準容積に維持されているときのメニスカスの位置）から圧力室２０側にノズル軸方向に沿って引き込まれる。そして、この圧力室２０の膨張状態は、膨張ホールド要素ｐ１２によって一定時間維持される。膨張ホールド要素ｐ１２によるホールドの後、収縮要素ｐ１３により圧電素子１８が圧力室２０の内側（ノズルプレート１５に近接する側）に撓む。これに伴い、圧力室２０は膨張容積から収縮電位ＶＨに対応する収縮容積まで急激に収縮される。これにより、圧力室２０内のインクが加圧されて、圧力室２０側に引き込まれていたメニスカスが、当該圧力室２０側とは反対側の吐出側にノズル軸方向に沿って待機位置を越えて押し出される。これにより、ノズル２３からインク滴が吐出される。続いて、復帰要素ｐ１５が印加されることにより、圧電素子１８が基準電位ＶＢに対応する定常位置まで戻る。これに伴い、圧力室２０は、収縮容積から基準電位ＶＢに対応する基準容積まで膨張して復帰する。これにより、メニスカスが圧力室側に再度引き込まれる。なお、本実施形態における検査用駆動パルスＰｄは、圧力室２０内のインクに比較的大きい圧力変動を生じさせるように構成されているのでノズル２３からインクが吐出されるが、必ずしもノズル２３からインクが吐出されなくてもよい。ただし、後述する検査処理における駆動工程においては、検査用駆動パルスＰｄにより圧電素子１８を駆動させた際に、対応するノズル２３からインクが吐出されるようにすることで、圧力室内のインクにより大きい振動を付与することができるので、検出精度が向上する。

図５および図６は、圧電素子１８の逆起電力信号に基づいて記録ヘッド２の故障を検出する回路構成を説明する図である。なお、図５は検査対象ノズルのみを駆動する単独検査の場合、図６は検査対象ノズルとこれに隣接するノズル（アシストノズル）を駆動するアシスト検査の場合をそれぞれ示している。また、図５および図６では、ノズル３つ分の構成を例示し、他のノズル２３に対応する構成は便宜上省略しているが、圧電素子１８およびパルス選択スイッチ３７は同一ノズル列を構成するノズル２３の数分だけ設けられる。そして、同図では、中央の圧電素子１８が、検査対象ノズルに対応する圧電素子１８ａ（第１アクチュエーター）であり、その両隣は、検査対象ノズルに隣接するアシストノズルに対応する圧電素子１８ｂ（第２アクチュエーター）である。

上述したように、駆動信号発生回路３６の駆動電圧供給源は、圧電素子１８毎のパルス選択スイッチ３７を介して圧電素子１８の上電極２６にそれぞれ接続され、定電圧供給源は、スイッチ３９および当該スイッチ３９と並列に接続されている検出抵抗器４０を介して圧電素子１８の下電極２４に電気的に接続されている。このスイッチ３９は、例えばＭＯＳ−ＦＥＴから構成され、検査用駆動パルスＰｄの印加中（圧力振動発生区間）においてはオンに切り替えられる（図５（ａ）、図６（ａ））。この場合、電流（高周波成分）は、スイッチ３９側を流れる。一方、期間Ｔ２の期間ｔ６における検出区間においてはオフに切り替えられる（図５（ｂ）、図６（ｂ））。この場合、電流Ｉｄは、検出抵抗器４０側を流れる。

ここで、検査用駆動パルスＰｄによって圧電素子１８が駆動された後には、圧力室２０内のインクに生じた圧力振動に応じて当該圧力室２０の上面側開口を封止する作動面（弾性膜１６）が振動する。これに伴って圧電素子１８にも減衰振動（残留振動）が生じ、この残留振動に基づく逆起電力が生じる。振動検出回路３８は、上記の検出抵抗器４０の両端の電位差を増幅および２値化することで圧電素子１８の逆起電力信号Ｓｃ（検出信号）を得る。ノズル２３からインクが吐出されない所謂ドット抜けの場合や、ノズル２３からインクが吐出されるとしても正常なノズル２３と比較してインクの量や飛翔速度が極端に低下している場合などの異常時には、上記の検出信号の周期成分、振幅成分、および位相成分が、正常時のものと比較して異なる。この逆起電力信号Ｓｃに基づく吐出不良の検出は従来から周知であるため詳細な説明は省略するが、この検出方法によりインクの増粘や気泡による吐出不良を検出することが可能である。

ところで、圧力室基板１４と、この圧力室基板１４に接合された他の部材、すなわち、本実施形態においてはノズルプレート１５または弾性膜１６との剥離が生じた場合、あるいは、剥離に至らないまでも接合力が著しく低下した場合においても、インクの増粘時や気泡混入時と同様に、正常なノズル２３の場合と比較してインクの量や飛翔速度が低下する。しかしながら、この剥離等が生じた場合の検査結果と、インクの増粘や気泡による吐出不良が発生した場合の検査結果との違いが分かりにくく、従来では剥離の発見が困難であるという問題があった。この点に関し、本発明に係るプリンター１は、検査対象ノズルに対応する圧電素子１８ａを単独で駆動したときの検出信号と、当該検査対象ノズル２３ａおよび少なくとも検査対象ノズル２３ａに対して隣り合うノズル（アシストノズル）２３ｂに対応する圧電素子１８ｂとを同時に駆動したときの検出信号との差分に基づいて上記の剥離を検出することに特徴を有している。ここで、アシストノズルとは、後述するアシスト検査において、検査対象ノズル２３ａと同時に駆動、すなわち、対応する圧電素子１８ｂに検査用駆動パルスＰｄが印加されて駆動されるノズル２３ｂを意味するものであり、必ずしも検査対象ノズル２３ａと隣り合うノズルのみを意味するものではない。

上述したように、本発明に係るプリンター１では、検査対象ノズル２３ａのみを駆動（単独駆動）して検査を行う単独検査と、この検査対象ノズル２３ａおよびアシストノズル２３ｂも同時に駆動（アシスト駆動）するアシスト検査が行われる。なお、ノズル列の端に位置するノズル２３が検査対象ノズル２３ａとして選択された場合、この検査対象ノズル２３ａの一方にしか隣り合うノズル２３が存在しないため、この場合には、この一方のノズル２３がアシストノズル２３ｂとされる。要は、検査対象ノズル２３ａに対してノズル列方向に隣り合う少なくとも一方のノズル２３がアシストノズル２３ｂとされる。なお、以下においては、検査対象ノズルに対応する圧電素子１８と、その両隣のアシストノズルに対応する圧電素子１８の合計３つの圧電素子１８を駆動して検査が行われるが、４つ以上のアシストノズルが駆動される場合もある。この点については後述する。

図７は、検査処理を説明するフローチャートである。検査処理では、まず、単独検査が行われる（ステップＳ１）。ここで、図５において、中央の圧電素子１８が、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａであり、その両隣は、アシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ｂである。単独検査では、切替信号によりスイッチ３９がオンとされ、また、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａのパルス選択スイッチ３７のみがオンとされる（図５（ａ））。検査対象ノズル２３ａ以外の他のノズル２３（アシストノズル２３ｂを含む）に対応する圧電素子１８のパルス選択スイッチ３７はオフにされる。

そして、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａには、検査用駆動パルスＰｄが印加される。これにより、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａのみが駆動される（第１の駆動工程（ステップＳ２））。これにより、検査対象ノズルに対応する圧力室２０には圧力変動が生じる。この圧力振動の減衰振動（残留振動）に伴って、当該圧力室２０の作動面および圧電素子１８ａも振動し、この振動により圧電素子１８ａには逆起電力が生じる。検査用駆動パルスＰｄが印加された直後、切替信号によりスイッチ３９がオフに切り替えられる（図５（ｂ））。これにより、検出抵抗器４０には、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａの上記逆起電力に基づく電流Ｉｄ（高周波成分）が流れる。そして、振動検出回路３８は、上記の検出抵抗器４０の両端の電位差から、駆動により生じた振動として第１の逆起電力信号Ｓｃ１を検出する（第１の検出工程（ステップＳ３））。この第１の逆起電力信号Ｓｃ１は、プリンターコントローラー３１のＣＰＵ３５に出力される。ここで、もし検査対象ノズル２３ａの圧力室２０を区画している隔壁１３の上下の少なくとも一方で剥離が生じている場合、当該圧力室２０の内圧が上昇したときに隔壁１３が撓みやすくなっているため、その分の圧力が逃げてしまう。これにより、検査対象ノズルに対応する圧力室２０に生じる圧力振動が正常時（剥離が生じていないとき）の場合と比較して小さくなる。その結果、その影響が第１の逆起電力信号Ｓｃ１の振幅成分等に現れる。

次に、アシスト検査が行われる（ステップＳ４）。アシスト検査では、まずスイッチ３９がオンとされ、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａのパルス選択スイッチ３７および両側のアシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ｂのパルス選択スイッチ３７がそれぞれオンとされる（図６（ａ））。これらの圧電素子１８以外の他の圧電素子１８のパルス選択スイッチ３７はオフにされる。そして、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａには、検査用駆動パルスＰｄが印加される。これと同時に、アシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ｂにも、それぞれ検査用駆動パルスＰｄが印加される。これにより、これらの圧電素子１８が同時に駆動され（第２の駆動工程（ステップＳ５））、検査対象ノズル２３ａに対応する圧力室２０およびアシストノズル２３ｂに対応する圧力室２０には、同じタイミングで圧力変動が生じる。ここで、上記のように、検査対象ノズルの圧力室２０を区画している隔壁１３の上下の少なくとも一方で剥離が生じている場合であっても、検査対象ノズル２３ａの圧力室２０の内圧が変化したときに、これに隣り合う圧力室２０においても同様に内圧が変化するため、隔壁１３が撓むことが抑制される。これにより、上記の単独検査の場合と比較して検査対象ノズル２３ａの圧力室２０における圧力が低下することが抑制されるので、万が一剥離が生じていたとしても、検査対象ノズル２３ａに対応する圧力室２０には正常時の場合と同程度の圧力振動が生じる。

続いて、検査対象ノズル２３ａ側のパルス選択スイッチ３７がオンに維持された状態で、切替信号によりスイッチ３９がオフに切り替えられると共にアシストノズル２３ｂ側の圧電素子１８のパルス選択スイッチ３７がオフに切り替えられる（図６（ｂ））。これにより、検出抵抗器４０には、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａの上記逆起電力に基づく電流Ｉｄのみが流れる。すなわち、検出抵抗器４０には、アシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ｂの逆起電力に基づく電流は流れ込まない。そして、振動検出回路３８は、上記の検出抵抗器４０の両端の電位差から、駆動により生じた振動として第２の逆起電力信号Ｓｃ２を検出し（第２の検出工程（ステップＳ６））、これをプリンターコントローラー３１のＣＰＵ３５に出力する。そして、ＣＰＵ３５は、上記第１の逆起電力信号Ｓｃ１と第２の逆起電力信号Ｓｃ２に基づいて、記録ヘッド２の故障（剥離）の有無を判定する（剥離検出工程（ステップＳ７））。

図８は、振動検出回路３８から出力される第１の逆起電力信号Ｓｃ１および第２の逆起電力信号Ｓｃ２の波形を示したグラフである。図８（ａ）は、インクの増粘や気泡による不具合、または、上記の剥離が生じていない正常時の場合、図８（ｂ）は、インクの増粘により吐出不良が生じている場合、図８（ｃ）は、剥離による故障が生じている場合、をそれぞれ示している。なお、図８における第２の逆起電力信号Ｓｃ２は、アシスト駆動時に検査対象ノズル２３ａの両隣に位置するノズル２３をアシストノズル２３ｂとして駆動したとき（すなわち、３つのノズル２３を同時に駆動したとき）の波形を示している。図８（ａ）に示すように、正常時の場合には、第１の逆起電力信号Ｓｃ１および第２の逆起電力信号Ｓｃ２共に、比較的大きい振幅が得られており、両者の差も小さい。また、図８（ｂ）に示すように、インクが増粘することで吐出不良が生じている場合、正常時と比較して、第１の逆起電力信号Ｓｃ１および第２の逆起電力信号Ｓｃ２の振幅がともに小さくなっている。しかしながら、両者の振幅の差は正常時とあまり変わらない。ところが、図８（ｃ）に示すように、剥離による故障が生じている場合、アシスト駆動時の第２の逆起電力信号Ｓｃ２の振幅の大きさがインク増粘時の第１の逆起電力信号Ｓｃ１および第２の逆起電力信号Ｓｃ２の振幅と同程度であるのに対して、単独駆動時の第１の逆起電力信号Ｓｃ１の振幅の大きさは、上述した理由から第２の逆起電力信号Ｓｃ２に対して大きく低下している。

このため、ステップＳ７において、ＣＰＵ３５は、第１の逆起電力信号Ｓｃ１と第２の逆起電力信号Ｓｃ２との差異、すなわち、振幅の差分Δａに基づいて、記録ヘッド２の故障の有無を判定する。具体的には、例えば、得られた差分Δａと予め設定された閾値とを比較する。そして、Δａが閾値以上となった場合に、故障、つまり、圧力室基板１４と、この圧力室基板１４に接合された他の部材との剥離、あるいは、接着力の低下が生じていると判定する（Ｙｅｓ）。一方、差分Δａが閾値に満たない場合には、剥離等は生じていないと判定する（Ｎｏ）。このような検査処理を、各ノズル２３に対して順次行うことで、第１の逆起電力信号Ｓｃ１と第２の逆起電力信号Ｓｃ２との振幅の差分Δａに基づいて故障箇所を概ね特定することも可能である。なお、第１の逆起電力信号Ｓｃ１と第２の逆起電力信号Ｓｃ２との振幅の差分Δａにのみに限らず、位相の差や周期の差もしくはこれらの組み合わせにより判定してもよい。ステップＳ７において、剥離が検出された場合、ＣＰＵ３５は、例えば、プリンター１の本体に設けられた液晶表示部に故障が検出された旨を表示したり、或は、プリンター１に接続されたコンピューターで実行されるプリンタードライバー等を通じて、その旨を表示したりして使用者に対して警告を行う（警告工程（ステップＳ８））。

以上のように、本発明に係るプリンター１では、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａを単独で駆動したときの当該検査対象ノズル２３ａに対応する圧力室２０内のインクに生じた振動に係る検出信号と、当該検査対象ノズル２３ａおよびアシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ａ，１８ｂとを同時に駆動したときの検査対象ノズル２３ａに対応する圧力室２０内のインクに生じた振動に係る検出信号との差分に基づいて、従来においては増粘による吐出の不具合と区別して検出することが難しかった部材の剥離をより確実に検出することが可能となる。

図９は、本発明の第２の実施形態における検査処理について説明するイメージ図である。なお、本実施形態において故障を検出する回路構成および記録ヘッド２の構成は第１の実施形態と共通である。本実施形態は、累積負荷が記録ヘッド２の仕様上想定される部品寿命（特に、接着剤１２による接合部分の寿命）に近づくに連れて検出精度が高められることに特徴を有している。検出精度を高めるには、検査対象ノズル２３ａに対応する圧力室２０内のインクに生じさせる振動を大きくすることと、当該検査対象ノズル２３の隔壁１３の撓みを抑えるべくアシストノズル２３ｂに対応する圧力室２０内のインクに生じさせる振動（残留振動）を大きくすること、或は、アシスト駆動時に検査対象ノズル２３と同時に駆動するアシストノズル２３ｂの数を増加させること、またはこれらを組み合わせることが挙げられる。なお、圧力室２０内のインクに生じさせる振動を大きくするには、後述するように、検査用駆動パルスの駆動電圧Ｖｄを上げたり、検査用駆動パルスの波形自体を変えたりすることで実現することができる。

しかしながら、検査時にノズル２３からインクが吐出される構成では、検出精度を上げるために同時に駆動されるアシストノズル２３ｂの数を増加させたり、あるいは圧力室２０内のインクにより大きい振動を発生させたりすると、その分インクを多く消費してしまうという問題がある。このため、本実施形態では、上記の累積負荷が比較的小さい初期の段階では検査処理が行われず、累積負荷が所定の判定値を超えた以降は当該累積負荷に応じて検査処理における検出精度が順次高められる。より具体的には、例えば累積負荷が時間に関するものである場合、図９に示すように、仕様上想定される部品寿命を１００％とした場合の８０％となった時点が第１の判定値とされ、部品寿命の９０％となった時点が第２の判定値とされ、部品寿命の９５％となった時点が第３の判定値とされる。第１の判定値までは検査処理は行われず、累積負荷が上記の各判定値となったことを条件として記録ヘッド２の検査処理が実行される。第１判定値の場合、検出精度が各検査モードのうち最も低く設定された第１検査モードで検査処理が実行され（検出精度：低）、第３判定値の場合、検出精度が各検査モードのうち最も高く設定された第３検査モードで検査処理が実行される。そして、第２判定値の場合、第１検査モードにおける検出精度と第２検査モードにおける検出精度の間の検出精度に設定された第２検査モードで検査処理が行われる。なお、本実施形態においては、第１の判定値〜第３の判定値の合計３つの判定値が設定され、これに応じて第１検査モード〜第３検査モードの合計３つの検査モードが設定されたが、これには限られず、２つまたは４つ以上の判定値が設定され、これに応じて２つまたは４つ以上の検査モードが設けられる構成を採用することも可能である。この構成においても、検出精度が段階的に高められる構成であればよい。

また、上記剥離検出工程における差分Δａに基づく剥離判定の許容誤差についても各検査モードで異なっており、累積負荷が小さいほど許容誤差が相対的に大きく、累積負荷が大きいほど許容誤差が相対的に小さくなっている。具体的には、各検査モードにおいて、それぞれの検査モードで故障（剥離）発生の可能性がある差分Δａ（これ以上であれば剥離が生じている可能性が極めて高いと想定される値）として、故障基準値Ｂｆ１〜Ｂｆ３が、それぞれ試験結果等に基づき予め定められている。そして、第１検査モードにおける閾値Ｔｈ１に関し、当該モードでは検出精度が低いことから故障基準値Ｂｆ１より大きい値に設定されており、Ｔｈ１とＢｆ１の差Ｄ１（＝Ｔｈ１−Ｂｆ１）が各検査モード中で最も大きくなっている。これにより、ある程度の誤差が許容され、実際には故障が発生していないにも拘らず故障として検出される誤検出が低減される。これに対し、第３検査モードでは、閾値Ｔｈ３が故障基準値Ｂｆ３に可及的に近い値に設定されており、Ｔｈ３とＢｆ３の差Ｄ３（＝Ｔｈ３−Ｂｆ３）が各検査モード中で最も小さくなっている。すなわち、第３検査モードでは許容誤差が各モードの中で最も小さく設定されている。これにより、検出精度がより高められている。また、第２検査モードでは、閾値Ｔｈ２と故障基準値Ｂｆ２の差Ｄ２（＝Ｔｈ２−Ｂｆ２）が、第１検査モードにおける差Ｄ１と第３検査モードにおける差Ｄ３との間の値に設定されている。

図１０は、本実施形態における検査処理の具体例を示す表である。また、図１１は、振動検出回路３８から出力される第１の逆起電力信号Ｓｃ１（単独検査・単独駆動時）および第２の逆起電力信号Ｓｃ２（アシスト検査・アシスト駆動時）の波形を示したグラフである。同図において、実線が検査対象ノズル２３ａを単独で駆動したときの波形、破線が上記第１検査モードでのアシスト駆動時の波形を示している。また、同図における一点鎖線が上記第２検査モードでのアシスト駆動時の波形を示し、二点鎖線が上記第３検査モードでのアシスト駆動時の波形を示している。なお、図１１のグラフに関し、図１０における例Ａ〜Ｅの各例で概ね同様な結果が得られる。

図１０においてＡで示される例では、検査対象ノズル２３ａおよびアシストノズル２３ｂの何れについても図４に示す検査用駆動パルスＰｄが用いられる。この検査用駆動パルスＰｄは、後述する他の駆動パルスと比較して圧力室２０のインクに最も大きい振動を生じさせることができ、ノズル２３から吐出されるインク滴が最も大きい駆動パルスである。また、検査対象ノズル２３ａと共に駆動するアシストノズル２３ｂの数は、各検査モードの何れにおいても２つ（検査対象ノズル２３ａの両隣）とされる。そして、この例Ａでは、検査対象ノズル２３ａに対応する圧電素子１８ａに印加される検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄ（図４参照）が各検査モードで異なっている。具体的には、第１検査モードででは駆動電圧Ｖｄが各検査モード中で最も低い値（小）設定され、第３検査モードでは駆動電圧Ｖｄが各検査モード中で最も高い値（大）設定され、第２検査モードでは駆動電圧Ｖｄが第１検査モードにおける駆動電圧Ｖｄと第３検査モードにおける駆動電圧Ｖｄとの間の値（中）に設定されている。

このように例Ａでは、検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが、第１検査モードから第３検査モードまで段階的に高められる。ここで、検査対象ノズル２３ａの圧力室２０を区画している隔壁１３の上下の少なくとも一方で剥離が生じている場合、隔壁１３が撓みやすくなっている。このため、検査対象ノズル２３ａのみを駆動する単独検査では、検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄの高低によらず第１の逆起電力信号Ｓｃ１の振幅等には殆ど変化が生じない。これに対し、アシスト検査では、アシストノズル２３ｂの駆動により検査対象ノズル２３ａの圧力室２０内の圧力が逃げにくくなるので、第２の逆起電力信号Ｓｃ２の振幅が、検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄに応じて第１検査モード、第２検査モード、第３検査モードの順に大きくなる。これにより、第１の逆起電力信号Ｓｃ１と第２の逆起電力信号Ｓｃ２との差分Δについても、第１検査モード、第２検査モード、第３検査モードの順に大きくなる。このため、故障（剥離）の検出精度も第１検査モード、第２検査モード、第３検査モードの順に高められる。

累積負荷が第１判定値の場合、検出精度が各検査モードのうち最も低く設定された第１検査モードで検査処理が実行される。また、第３判定値の場合、検出精度が各検査モードのうち最も高く設定された第３検査モードで検査処理が実行される。そして、第２判定値の場合、第１検査モードにおける検出精度と第３検査モードにおける検出精度の中間の検出精度に設定された第２検査モードで検査処理が行われる。なお、例Ａでは、アシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ｂに印加される検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄは、各検査モードの何れにおいても一定（例えば、中）とされる。

第１検査モードでは、インクの無駄な消費を抑えつつ、剥離の検出を効率よく行うことができる。すなわち、累積負荷が小さいほど剥離の発生の可能性は少ないので、検出精度が低く抑えられることで各ノズル２３ａ，２３ｂから吐出されるインクの量を低減することができる。これにより、検査処理で消費するインクの量を低減することができる。また、上述したように第１の逆起電力信号Ｓｃ１と第２の逆起電力信号Ｓｃ２との差分Δについてある程度の誤差が許容されるので誤検出が抑制される。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まる。このため、第２検査モードおよび第３検査モードでは、第１検査モードの場合よりも検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが順に高められることで、剥離の検出精度を向上させることができる。

図１０においてＢで示される例では、検査用駆動パルスが各検査モードでそれぞれ異なる点で例Ａと異なっている。図１２は、検査用駆動パルスとして用いられる微振動駆動パルスＰｖの一例を示す波形図であり、図１３は、同じく検査用駆動パルスとして用いられるスモールドット駆動パルスＰｓの一例を示す波形図である。例Ｂの第１検査モードにおいて、図１２に示す微振動駆動パルスＰｖが検査対象ノズル２３ａの検査用駆動パルスとして用いられる。この微振動駆動パルスＰｖは、予備膨張要素ｐ２１と、膨張ホールド要素ｐ２２と、復帰要素ｐ２３と、からなる。予備膨張要素ｐ２１は、基準電位ＶＢから膨張電位ＶＬｖまで電位が接地電位ＧＮＤ側に変化する波形要素である。膨張ホールド要素ｐ２２は、予備膨張要素ｐ２１の終端電位である膨張電位ＶＬｖを一定時間維持する波形要素である。復帰要素ｐ２３は、膨張電位ＶＬｖから基準電位ＶＢまで電位がプラス側に変化する波形要素である。この微振動駆動パルスＰｖは、ノズル２３からインクが吐出されない程度に圧力室２０内のインクに圧力振動を発生させるように波形や駆動電圧が設定された駆動パルスである。すなわち、微振動駆動パルスＰｖは、圧力室２０内のインクに生じる振動が各検査用駆動パルスのうちで最も小さい駆動パルスとなっている。

例Ｂの第２検査モードにおいては、図１３に示すスモールドット駆動パルスＰｓが検査対象ノズル２３ａの検査用駆動パルスとして用いられる。このスモールドット駆動パルスＰｓは、予備膨張要素ｐ３１と、膨張ホールド要素ｐ３２と、収縮要素ｐ３３と、収縮ホールド要素ｐ３４と、前段膨張要素ｐ３５と、中間ホールド要素ｐ３６と、後段膨張要素ｐ３７と、からなる。予備膨張要素ｐ３１は、基準電位ＶＢから膨張電位ＶＬｓまで電位が接地電位ＧＮＤ側に変化する波形要素である。膨張ホールド要素ｐ３２は、予備膨張要素ｐ３１の終端電位である膨張電位ＶＬｓを一定時間維持する波形要素である。収縮要素ｐ３３は、膨張電位ＶＬｓから基準電位ＶＢを超えて収縮電位ＶＨｓまで電位がプラス側に比較的急峻な勾配で変化する波形要素である。前段膨張要素ｐ３５は、収縮電位ＶＨｓから中間電位ＶＭ（ＶＢ＜ＶＭ＜ＶＨｓ）まで電位が接地電位ＧＮＤ側に変化する波形要素である。中間ホールド要素ｐ３６は、前段膨張要素ｐ３５の終端電位である中間電位ＶＭを一定時間維持する波形要素である。後段膨張要素ｐ３７は、中間電位ＶＭから基準電位ＶＢまで電位が接地電位ＧＮＤ側に変化する波形要素である。このスモールドット駆動パルスＰｓは、ノズル２３から吐出されるインクの量が検査用駆動パルスＰｄの場合よりも少なくなるように設定された駆動パルスである。すなわち、スモールドット駆動パルスＰｓは、圧力室２０内のインクに生じる振動が、微振動駆動パルスＰｖの場合よりも大きく、検査用駆動パルスＰｄの場合よりも小さくなるように設定された駆動パルスである。

例Ｂにおいては、何れのアシストノズル２３ｂについても微振動駆動パルスＰｖが用いられる。また、検査対象ノズル２３ａと共に駆動するアシストノズル２３ｂの数は、例Ａと同様に、各検査モードの何れにおいても２つ（検査対象ノズル２３ａの両隣）とされる。この例Ｂでは、検査対象ノズル２３ａの検査用駆動パルスとして、第１検査モードでは微振動駆動パルスＰｖが、第２検査モードではスモールドット駆動パルスＰｓが、第２検査モードでは検査用駆動パルスＰｄが、それぞれ用いられることにより、検出精度も段階的に高められる。この例Ｂにおいても、例Ａと同様に、インクの無駄な消費を抑えつつ累積負荷に応じて剥離の検出を効率よく行うことが可能となる。

図１０においてＣで示される例では、何れの検査モードにおいても検査対象ノズル２３ａについては駆動電圧Ｖｄが一定の検査用駆動パルスＰｄが用いられる。また、アシストノズル２３ｂについては微振動駆動パルスＰｖが用いられる。なお、検査対象ノズル２３ａと共に駆動するアシストノズル２３ｂの数は、各検査モードの何れにおいても２つ（検査対象ノズル２３ａの両隣）とされる。そして、この例Ｃでは、アシストノズル２３ｂに対応する圧電素子１８ｂに印加される微振動駆動パルスＰｖの駆動電圧Ｖｄｖ（図１２参照）が各検査モードで異なっている。具体的には、第１検査モードでは駆動電圧Ｖｄｖが各検査モード中で最も低い値（小）設定され、第３検査モードでは駆動電圧Ｖｄｖが各検査モード中で最も高い値（大）設定され、第２検査モードでは駆動電圧Ｖｄｖが第１検査モードにおける駆動電圧Ｖｄｖの値と第３検査モードにおける駆動電圧Ｖｄｖの値との間の値（中）に設定されている。このように微振動駆動パルスＰｖの駆動電圧Ｖｄｖが、第１検査モードから第３検査モードまで段階的に高められることにより、アシスト検査の際に検査対象ノズル２３ａの圧力室２０の隔壁１３が変形する（撓む）ことが抑制されて検出精度も段階的に高められる。この例Ｃにおいても、例Ａと同様にインクの無駄な消費を抑えつつ累積負荷に応じて剥離の検出を効率よく行うことが可能となる。

図１０においてＤで示される例では、何れの検査モードにおいても検査対象ノズル２３ａについては検査用駆動パルスＰｄが用いられ、アシストノズル２３ｂについても検査用駆動パルスＰｄが用いられる。また、検査対象ノズル２３ａと共に駆動するアシストノズル２３ｂの数は、各検査モードの何れにおいても２つ（検査対象ノズル２３ａの両隣）とされる。そして、この例Ｄでは、検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄおよびアシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが、各検査モードで異なっている。具体的には、第１検査モードでは、検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄおよびアシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが、各検査モード中で最も低い値（小）設定される。また、第３検査モードでは、検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄおよびアシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが、各検査モード中で最も高い値（大）に設定される。そして、第２検査モードでは、検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄ、および、アシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが、第１検査モードにおける駆動電圧Ｖｄの値と第３検査モードにおける駆動電圧Ｖｄの値との間の値（中）に設定される。この例Ｄでは、検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが第１検査モードから第３検査モードまで段階的に高められることに応じて、アシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが第１検査モードから第３検査モードまで段階的に高められることで、検査対象ノズル２３ａの圧力室２０の隔壁１３の撓みがより確実に抑制されるので、累積負荷に応じて剥離の検出をより精度よく行うことが可能となる。

図１０においてＥで示される例では、何れの検査モードにおいても検査対象ノズル２３ａについては検査用駆動パルスＰｄが用いられ、アシストノズル２３ｂについても検査用駆動パルスＰｄが用いられる。また、検査対象ノズル２３ａと共に駆動するアシストノズル２３ｂの数は、第１検査モードおよび第２検査モードでは２つ（検査対象ノズル２３ａの両隣のノズル２３ｂの合計２つ）、第３検査モードでは４つ（検査対象ノズル２３ａの両隣のノズル２３ｂと、これらのノズル２３ｂのさらに隣のノズル２３ｂの合計４つ）とされる。そして、検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄおよびアシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄに関し、第１検査モードでは各検査モード中で最も低い値（小）設定され、第２検査モードおよび第３検査モードでは最も高い値（大）に設定される。この例Ｅにおいて、第２検査モードでは、第１検査モードの場合と比較して検査対象ノズル２３ａ用の検査用駆動パルスＰｄおよびアシストノズル２３ｂ用の検査用駆動パルスＰｄの駆動電圧Ｖｄが高められることにより、検出精度が高められている。また、第３検査モードでは、アシストノズル２３ｂの数に関して第２検査モードにおける２本から４本に増加されることで剥離の検出精度が高められている。このように、例Ｅにおいても累積負荷に応じて誤検出を抑制しつつ剥離の検出をより精度よく行うことが可能となる。

このように累積負荷に応じて検査用駆動パルスの駆動電圧、検査用駆動パルスの波形、もしくはアシストノズル２３ｂの数を変更し、またはこれらを組み合わせれば、インクの無駄な消費を抑えつつ故障（剥離）の検出を効率よく行うことができる。すなわち、累積負荷が小さいほど剥離の発生の可能性は少ないので、圧力室２０に生じさせる圧力を低く抑えて検査時にノズル２３から吐出されるインクの量を低減する、あるいは、吐出させないことで、インクの無駄な消費を抑制することが可能となる。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まる。このため、検査用駆動パルスの駆動電圧を高めたり、検査用駆動パルスの波形自体を駆動力のより高いもの（圧力室２０内のインクに生じさせる振動がより大きくなるもの）に変更したり、アシストノズル２３ｂの数を増やしたり、これらを組み合わせたりすることで、剥離の検出精度を向上させることができる。また、累積負荷が小さいほど剥離が生じている可能性が低いので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく設定されることで、誤検出が抑制される。一方、累積負荷が大きいほど剥離が生じている可能性が高まるので、剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さく設定されることで、剥離の検出精度を向上させることができる。

また、剥離の発生に係る累積負荷が、予め定められた判定値を超えた場合に検査処理を実行するように構成することで、剥離の発生の可能性が比較的少ない初期の段階においては検査処理が実行されないようにすることができ、その分の処理時間を削減することができる。また、検査処理でノズル２３からインクを吐出させる場合においてはインクの無駄な消費を低減することができる。さらに、剥離検出工程において剥離が検出された場合に使用者に対して警告を行うことで、剥離が生じたことを使用者が速やかに把握することができ、より迅速な修理や交換等の対応が可能となる。

なお、使用時間を累積負荷とする場合に限られず、吐出回数の積算値等を累積負荷とする場合においても同様である。要するに、累積負荷が大きいほど、検査用駆動パルスの駆動電圧を高めたり、検査用駆動パルスの波形自体を駆動力のより高いものに変更したり、アシストノズル２３ｂの数を増やしたり、これらを組み合わせたりすることで、インクの無駄な消費および誤検出を抑制しつつ、剥離の検出をより精度よく行うことが可能となる。

なお、上記実施形態では、圧力室基板１４、すなわち、圧力室２０の隔壁１３の上下に、それぞれ弾性膜１６およびノズルプレート１５が接合された構成を例示したが、これには限られず、圧力室２０の隔壁１３の上下に上記実施形態とは異なる部材が接合される構成においても同様に適用することができる。

さらに、上記実施形態では、アクチュエーターとして圧電素子１８を例示したがこれには限られず、例えば、発熱素子や静電アクチュエーター等の種々のアクチュエーターを採用することができる。

そして、本発明は、アクチュエーターを駆動させることで圧力室内の液体に生じる圧力振動によりノズルから液体を吐出させる構成を有する液体吐出装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体吐出装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。

１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，４…キャリッジ，５…プラテン，６…記録紙，７…キャリッジ移動機構，８…紙送り機構，９…ガイドロッド，１０…リニアエンコーダー，１２…接着剤，１３…隔壁，１４…圧力室基板，１５…ノズルプレート，１６…弾性膜，１７…絶縁膜，１８…圧電素子，１９…保護基板，２０…圧力室，２１…連通部，２２…インク供給路，２３…ノズル，２４…下電極，２５…圧電体，２６…上電極，２７…リザーバー，３０…ヘッドコントローラー，３１…プリンターコントローラー，３２…プリントエンジン，３３…外部インタフェース，３４…メモリー，３５…ＣＰＵ，３６…駆動信号発生回路，３７…パルス選択スイッチ，３８…振動検出回路，３９…スイッチ，４０…検出抵抗器

Claims (7)

1. 並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの駆動によって前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記アクチュエーターの駆動によって生じる前記圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、を備える液体吐出ヘッドの検査方法であって、
   検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、
   前記第１の駆動工程における駆動により前記検査対象ノズルに対応する前記圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、
   前記第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、
   前記第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、
   前記第１の検出工程における検出結果と前記第２の検出工程における検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する剥離検出工程と、
   を含む検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
   前記累積負荷が小さいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、
   前記累積負荷が大きいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。
2. 並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの駆動によって前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記アクチュエーターの駆動によって生じる前記圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、を備える液体吐出ヘッドの検査方法であって、
   検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させる第１の駆動工程と、
   前記第１の駆動工程における駆動により前記検査対象ノズルに対応する前記圧力室内の液体に生じた振動を検出する第１の検出工程と、
   前記第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させる第２の駆動工程と、
   前記第２の駆動工程における駆動により検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を検出する第２の検出工程と、
   前記第１の検出工程における検出結果と前記第２の検出工程における検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する剥離検出工程と、
   を含む検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
   前記累積負荷が大きいほど、前記第２の駆動工程において検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。
3. 前記累積負荷が小さいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、前記累積負荷が大きいほど前記剥離検出工程における剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
4. 前記剥離検出工程において剥離が検出された場合に使用者に対して警告を行う警告工程を含むことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
5. 前記第１の駆動工程および前記第２の駆動工程においてアクチュエーターを駆動させた際に、対応するノズルから液体が吐出されることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
6. 並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
   前記アクチュエーターの駆動によって生じる圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、
   前記アクチュエーターを駆動させてノズルからの液体の吐出を制御する制御回路と、
   を備える液体吐出装置であって、
   前記制御回路は、
   検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第１の検出結果として検出し、
   第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第２の検出結果として検出し、
   前記第１の検出結果と前記第２の検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
   前記累積負荷が小さいほど剥離の判定の許容誤差が相対的に大きく、前記累積負荷が大きいほど剥離の判定の許容誤差が相対的に小さいことを特徴とする液体吐出装置。
7. 並設された複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が隔壁を隔てて形成された基板、および前記圧力室内の液体に圧力振動を生じさせるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
   前記アクチュエーターの駆動によって生じる圧力室内の液体の振動を検出する検出回路と、
   前記アクチュエーターを駆動させてノズルからの液体の吐出を制御する制御回路と、
   を備える液体吐出装置であって、
   前記制御回路は、
   検査対象ノズルに対応する第１のアクチュエーターを駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第１の検出結果として検出し、
   第１のアクチュエーターおよび前記検査対象ノズルと隣り合うノズルのうちの少なくとも１のノズルに対応する第２のアクチュエーターを共に駆動させて、前記検査対象ノズルに対応する圧力室内の液体に生じた振動を第２の検出結果として検出し、
   前記第１の検出結果と前記第２の検出結果との差異に基づき前記隔壁に接合された部材の剥離を検出する検査処理を、前記剥離の発生に係る累積負荷が予め定められた判定値を超えた場合に実行し、
   前記累積負荷が大きいほど、検査対象ノズルの第１のアクチュエーターと共に駆動する第２のアクチュエーターの数を増加させることを特徴とする液体吐出装置。

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