JP5978744B2 - 液体吐出装置、検査方法、及び、プログラム - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出装置、検査方法、及び、プログラムに関す。

液体吐出装置の一例として、ヘッドに設けられたノズルからインク滴を吐出して用紙に画像を印刷するインクジェットプリンター（以下、プリンター）が挙げられる。具体的には、駆動素子の駆動により圧力室内のインクに圧力変化が生じることにより、その圧力室に連通するノズルからインク滴が吐出される。このようなプリンターでは、ノズルからのインク溶媒の蒸発によりノズル内のインクが増粘したり、ノズル内に気泡が混入したりして、ノズルからのインク吐出不良が発生する場合がある。そこで、駆動素子の駆動により圧力室内のインクに圧力変化を生じさせた後の残留振動に基づいて、吐出不良が発生するノズルを検査する方法が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。

特開２００５−３０５９９２号公報

一般的に、ヘッドは、圧力室が形成された流路形成基板とノズルが形成されたノズルプレートが接着することで構成されている。そのため、経年劣化により流路形成基板の一部（圧力室の隔壁）がノズルプレートから剥離してしまうことがある。そうすると、駆動素子を駆動して圧力室の容積を変化させても、圧力室内のインクが隣の圧力室に逃げてしまい、吐出不良が発生してしまう。
また、上記特許文献１に記載の検査方法のように、検査対象のノズルに対応する駆動素子のみを駆動して残留振動を検出する検査方法では、流路形成基板がノズルプレートから剥離している場合と、インクの増粘により吐出不良が発生する場合とで、残留振動の発生の仕方が同じになってしまう。そのため、流路形成基板がノズルプレートから剥離している場合にも、インクの増粘による吐出不良と判定されてしまい、ヘッドのクリーニング処理が無駄に実施されてしまう。

そこで、本発明では、ヘッドの故障（基板とノズルプレートの剥離）を検査することを目的とする。

前記課題を解決する為の主たる発明は、液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドと、駆動信号を印加して前記駆動素子を駆動させることにより、当該駆動素子に対応する前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる制御部であって、検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第１の駆動により駆動させて得られる第１検出結果と、前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第２の駆動により駆動させて得られる第２検出結果と、に基づいて、前記ヘッドを検査する制御部と、を有し、前記検査対象ノズルの隣のノズルの前記圧力室内の圧力変化は、前記第１の駆動と前記第２の駆動とで異なる液体吐出装置である。

本発明の他の特徴は、本明細書、及び添付図面の記載により、明らかにする。

印刷システムの全体構成を示すブロック図である。 図２Ａはプリンターの概略斜視図であり、図２Ｂはヘッド（一部）を媒体の搬送方向から見た断面図である。 図３Ａは駆動信号を説明する図であり、図３Ｂはヘッド制御部を説明する図である。 図４Ａは残留振動の一例を示す図であり、図４Ｂは残留振動検出回路の説明図である。 単独駆動検査のフローである。 単独駆動検査におけるスイッチの制御を説明する図である。 ヘッドの故障を説明する図である。 単独駆動検査の検出結果の一例を示す図である。 同時駆動検査のフローである。 同時駆動検査におけるスイッチの制御を説明する図である。 同時駆動検査を説明する図である。 同時駆動検査の検出結果の一例を示す図である。 実施例２におけるヘッドの検査フローである。 図８Ａは実施例３における駆動信号を説明する図であり、図８Ｂは実施例３におけるヘッド制御部を説明する図である。 実施例４におけるヘッドの検査フローである。 第１の駆動と第２の駆動の変形例を示す表である。

＝＝＝開示の概要＝＝＝
本明細書の記載、及び添付図面の記載により、少なくとも次のことが明らかとなる。

即ち、液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドと、駆動信号を印加して前記駆動素子を駆動させることにより、当該駆動素子に対応する前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる制御部であって、検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第１の駆動により駆動させて得られる第１検出結果と、前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第２の駆動により駆動させて得られる第２検出結果と、に基づいて、前記ヘッドを検査する制御部と、を有し、前記検査対象ノズルの隣のノズルの前記圧力室内の圧力変化は、前記第１の駆動と前記第２の駆動とで異なる液体吐出装置である。
このような液体吐出装置によれば、気泡混入や液体（インク）の増粘により吐出不良が発生するノズルを検出すると共に、ヘッドの故障（圧力室の隔壁とノズルプレートの剥離）を検査することができる。

かかる液体吐出装置であって、前記制御部は、前記第１検出結果と前記第２検出結果とに基づいて、前記ノズルからの液体吐出不良を回復させるクリーニング処理により前記ヘッドが回復するか否かを検査すること。
このような液体吐出装置によれば、気泡混入や液体（インク）の増粘により吐出不良が発生するノズルを検出すると共に、ヘッドの故障（圧力室の隔壁とノズルプレートの剥離）を検査することができる。

かかる液体吐出装置であって、前記隣のノズルは、前記検査対象ノズルの両隣のノズルであること。
このような液体吐出装置によれば、圧力室の隔壁が剥離している場合にも圧力室内の液体を確実に加圧することができる。よって、圧力室の隔壁が剥離している故障ノズルと液体（インク）が増粘している増粘ノズルをより精度よく判別することができる。

かかる液体吐出装置であって、前記制御部は、同じノズルに対して、前記第１の駆動と前記第２の駆動とを連続して実施することにより得られる前記第１検出結果と前記第２検出結果とに基づいて、前記ヘッドを検査すること。
このような液体吐出装置によれば、圧力室の隔壁が剥離している故障ノズルと液体（インク）が増粘している増粘ノズルをより精度よく判別することができる。

かかる液体吐出装置であって、前記制御部は、前記複数のノズルに対して順に前記第１の駆動を実施して得られる検出結果に基づいて、液体吐出不良が発生する不良ノズルを検出した後に、検出した前記不良ノズルを前記検査対象ノズルとして、前記第１検出結果と前記第２検出結果とを取得し、前記ヘッドを検査すること。
このような液体吐出装置によれば、制御部の制御が容易となり、ヘッドの検査時間を出来る限り短縮することができる。

かかる液体吐出装置であって、前記制御部は、所定方向に連続して並ぶ複数の前記ノズルが前記不良ノズルとして検出された場合に、前記所定方向に連続して並ぶ複数の前記不良ノズルのうち前記所定方向の中央部に位置する前記不良ノズルを最初に前記検査対象ノズルに設定すること。
このような液体吐出装置によれば、ヘッドの検査時間を出来る限り短縮することができる。

かかる液体吐出装置であって、前記制御部は、前記第１の駆動により、前記隣のノズルから液体を吐出させず、前記第２の駆動により、前記隣のノズルから液体を吐出させること。
このような液体吐出装置によれば、第１の駆動と第２の駆動とで、検査対象ノズルの隣のノズルの圧力室内の圧力変化を異ならせることができる。

また、液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドの検査方法であって、検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第１の駆動により駆動させ、第１検出結果を取得することと、前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第２の駆動により駆動させ、第２検出結果を取得することと、前記第１検出結果と前記第２検出結果とに基づいて、前記ヘッドを検査することと、を有し、前記検査対象ノズルの隣のノズルの前記圧力室内の圧力変化は、前記第１の駆動と前記第２の駆動とで異なる検査方法である。
このような検査方法によれば、気泡混入や液体（インク）の増粘により吐出不良が発生するノズルを検出すると共に、ヘッドの故障（圧力室の隔壁とノズルプレートの剥離）を検査することができる。

また、液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドをコンピューターに検査させるためのプログラムであって、検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第１の駆動により駆動させ、第１検出結果を取得する機能と、前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、第２の駆動により駆動させ、第２検出結果を取得する機能と、前記第１検出結果と前記第２検出結果とに基づいて、前記ヘッドを検査する機能と、をコンピューターに実現させ、前記検査対象ノズルの隣のノズルの前記圧力室内の圧力変化を、前記第１の駆動と前記第２の駆動とで異ならせるプログラムである。
このようなプログラムによれば、気泡混入や液体（インク）の増粘により吐出不良が発生するノズルを検出すると共に、ヘッドの故障（圧力室の隔壁とノズルプレートの剥離）を検査することができる。

＝＝＝印刷システム＝＝＝
「液体装置」をインクジェットプリンター（以下、プリンターと呼ぶ）とし、プリンターとコンピューターが接続された印刷システムを例に挙げて、実施形態を説明する。
図１は、印刷システムの全体構成を示すブロック図である。図２Ａは、プリンター１の概略斜視図であり、図２Ｂは、ヘッド４１（一部）を媒体Ｓの搬送方向から見た断面図である。

プリンター１は、コントローラー１０と、搬送ユニット２０と、キャリッジユニット３０と、ヘッドユニット４０と、検出器群５０と、を有する。プリンター１はコンピューター６０と通信可能に接続されており、コンピューター６０内にインストールされているプリンタードライバーが、コンピューター６０内のハードウェア資源を利用して、プリンター１に画像を印刷させるための印刷データを作成したり、印刷データをプリンター１に出力したりする。

プリンター１内のコントローラー１０は、プリンター１における全体的な制御を行うためのものである。インターフェース部１１は、外部装置であるコンピューター６０との間でデータの送受信を行う。ＣＰＵ１２は、プリンター１の全体的な制御を行うための演算処理装置であり、ユニット制御回路１４を介して各ユニットを制御する。メモリー１３は、ＣＰＵ１２のプログラムを格納する領域や作業領域等を確保するためのものである。検出器群５０は、プリンター１内の状況を監視し、その検出結果をコントローラー１０に出力するためのものである。

搬送ユニット２０は、用紙、布、フィルム等の媒体Ｓを印刷可能な位置に給紙し、媒体Ｓを搬送方向に搬送するためのものである。
キャリッジユニット３０は、キャリッジ３１に搭載されたヘッド４１を媒体Ｓの搬送方向と交差する方向（一般的には直交する方向）に移動するためのものである。

ヘッドユニット４０は、媒体Ｓにインクを吐出するヘッド４１と、ヘッド制御部４２と、残留振動検出回路４３と、キャップ４４と、を有する。図２Ｂに示すように、ヘッド４１内には、インクの流路として、インク滴を吐出する多数のノズルＮｚと、ノズルＮｚ毎に設けられ、対応するノズルＮｚに連通する圧力室４１１と、インクの色毎に設けられ、インクカートリッジからのインクが供給される共通インク室４１２と、同色のインクを充填する複数の圧力室４１１と共通インク室４１２とを繋ぐインク供給口４１３と、が形成されている。

また、ヘッド４１の下面では、多数のノズルＮｚがインクの色毎に搬送方向に沿って所定の間隔おきに並んでノズル列を形成している。一般的には、ブラックインクを吐出するブラックノズル列、シアンインクを吐出するシアンノズル列、マゼンタインクを吐出するマゼンタノズル列、イエローインクを吐出するイエローノズル列等が形成されている。

また、ヘッド４１では、圧力室４１１や共通インク室４１２等が形成された流路形成基板４１５の下面に、ノズルＮｚが形成されたノズルプレート４１４が接着され、流路形成基板４１５の上面に、振動板４１６が接着されており、振動板４１６が圧力室４１１の天井部を構成している。また、振動板４１６の上面に、圧力室４１１毎に（ノズルＮｚ毎に）駆動素子４１７が取り付けられている。図２Ｂに示す駆動素子４１７は、二つの電極４１７ａ，４１７ｃで圧電素子４１７ｂを挟むことにより構成されているが、これに限らず、積層型圧電アクチュエーターを駆動素子に適用してもよい。

そして、コントローラー１０（制御部）が、駆動信号生成回路１５で生成した駆動信号ＣＯＭを駆動素子４１７に印加し、その駆動信号ＣＯＭの電位に応じて、上下方向に駆動素子４１７の撓み量を変化させる。その結果、振動板４１６が上下方向に変位し、圧力室４１１の容積が変動し（膨張・収縮し）、圧力室４１１に連通するノズルＮｚからインク滴が吐出される。

ヘッド制御部４２は、ヘッド４１の駆動を制御するためのものであり、印刷データに応じて選択的に駆動信号ＣＯＭを駆動素子４１７に印加する。残留振動検出回路４３は、駆動素子４１７の駆動により圧力室４１１内のインクに圧力変化を生じさせた後の残留振動を検出するためのものである（詳細は後述）。

キャップ４４は、ホームポジション（移動方向における右側端部の非印刷領域）であり、移動方向に移動するヘッド４１の下面と対向可能な位置に配置されている。キャップ４４は、ヘッド４１のクリーニング時にはノズルＮｚから吐出されたインク滴を受けたり、印刷停止時にはヘッド４１の下面に密着してノズルＮｚを封止することでノズルＮｚからのインク溶媒の蒸発を抑制したりする。

このような構成のプリンター１において、コントローラー１０は、キャリッジ３１によりヘッド４１を移動方向に移動させつつノズルからインク滴を吐出さる吐出動作と、搬送ユニット２０により媒体Ｓを搬送方向に搬送する搬送動作と、を交互に繰り返す。その結果、先の吐出動作で形成されたドットの位置とは異なる位置に、後の吐出動作でドットが形成されるため、媒体Ｓに２次元の画像が印刷される。

＝＝＝ヘッド４１の駆動＝＝＝
図３Ａは、駆動素子４１７を駆動するための駆動信号ＣＯＭを説明する図であり、図３Ｂは、ヘッド制御部４２を説明する図である。本実施形態では、各ノズルＮｚが１種類のサイズのドットを形成し、媒体Ｓ上の１画素（１ドットが形成される単位領域）が２階調で表現されるとする。ノズルＮｚが媒体Ｓ上の１画素と対向する期間を「繰り返し周期ｔ」と呼び、ラッチ信号ＬＡＴの立ち上がりパルスにより繰り返し周期ｔが規定される。そして、駆動信号ＣＯＭでは、繰り返し周期ｔの駆動期間ｔａにて吐出波形Ｗａが発生し、検査期間ｔｂにて待機電位Ｖｓが保持される。

吐出波形Ｗａは、ノズルＮｚからインク滴を吐出させるための波形である。具体的に説明すると、待機電位Ｖｓから最低電位Ｖｌまで電位を下降させる波形部により、圧力室４１１が膨張し、圧力室４１１内のインクの圧力が低下する。その後、最低電位Ｖｌから最高電位Ｖｈまで電位を上昇させる波形部により、圧力室４１１が収縮して圧力室４１１内のインクの圧力が高まり、ノズルＮｚからインク滴が吐出される。最後に、最高電位Ｖｈから待機電位Ｖｓまでに電位を下降させる波形部により、圧力室４１１の容積が元に戻る。

ヘッド制御部４２は、図３Ｂに示すように、駆動素子４１７毎に（ノズルＮｚ毎に）、シフトレジスター４２１と、ラッチ回路４２２と、レベルシフター４２３と、スイッチ４２４と、を有する。以下、ヘッド制御部４２により駆動信号ＣＯＭが駆動素子４１７に印加されるまでの流れについて説明する。

まず、或る繰り返し周期ｔにおける画素データＳＩ（印刷データ）がコントローラー１０からヘッド制御部４２にシリアル転送される。なお、画素データＳＩは、例えば、画素にドットを形成することを示すデータ［１］であったり、画素にドットを形成しないことを示すデータ［０］であったりする。そして、各駆動素子４１７に割り当てられる画素データＳＩが、その駆動素子４１７に対応するシフトレジスター４２１によって保持される。

次に、ラッチ回路４２２がラッチ信号ＬＡＴに基づいて、シフトレジスター４２１に格納されている画素データＳＩを保持し、画素データＳＩに応じた論理信号をレベルシフター４２３に出力する。レベルシフター４２３は、ラッチ回路４２２から出力される論理信号と切替信号ＣＨに基づいて、スイッチ４２４のオン・オフ動作を制御するためのスイッチ制御信号ＳＷを出力する。なお、切替信号ＣＨでは、繰り返し周期ｔ内の期間ｔａ，ｔｂが切り替わるタイミングで立ち上がりパルスが発生する。よって、レベルシフター４２３は切替信号ＣＨの立ち上がりパルスが発生するタイミングでスイッチ制御信号ＳＷの内容を切り替える。また、複数のスイッチ４２４の一端側の端子は共通接続され、駆動信号生成回路１５で生成された共通の駆動信号ＣＯＭが各スイッチ４２４に入力されている。また、各スイッチ４２４の他端側の端子は、対応する駆動素子４１７の一端側の電極にそれぞれ接続され、駆動素子４１７の他端側の電極は共通接続されて（グランド端ＨＧＮＤ）、残留振動検出回路４３に接続されている。よって、スイッチ４２４がオン（接続）している期間は駆動信号ＣＯＭが駆動素子４１７に印加され、スイッチ４２４がオフ（非接続）している期間は駆動信号ＣＯＭが駆動素子４１７に印加されない。

例えば、画素にドットを形成することを示す画素データＳＩ［１］が割り当てられている場合、繰り返し周期ｔの駆動期間ｔａにスイッチ４２４がオンし、駆動期間ｔａに駆動信号ＣＯＭが駆動素子４１７に印加されるため、吐出波形ＷａによりノズルＮｚからインク滴が吐出される。逆に、画素にドットを形成しないことを示す画素データＳＩ［０］が割り当てられている場合、駆動期間ｔａにスイッチ４２４がオフし、駆動期間ｔａに駆動信号ＣＯＭが駆動素子４１７に印加されないため、ノズルＮｚからインク滴が吐出されない。このように、画素データＳＩに応じて各ノズルＮｚからのインク滴の吐出が制御される。

＝＝＝吐出不良ノズルとクリーニング処理＝＝＝
＜＜吐出不良ノズル＞＞
印刷中の使用頻度が低いノズルＮｚからは比較的に長い時間に亘ってインク滴が吐出されず、その間にノズルＮｚからインクの溶媒が蒸発し、ノズルＮｚや圧力室４１１内のインクが増粘して、ノズルＮｚが目詰まりする場合がある。そうすると、ノズルＮｚから規定量のインクが吐出されなかったり、ノズルＮｚから吐出されたインク滴の飛翔方向がずれたりと、吐出不良が発生してしまう。

また、圧力室４１１内に気泡が混入する場合がある。この場合、駆動素子４１７に駆動信号ＣＯＭを印加して圧力室４１１を膨張・収縮しても、圧力室４１１内のインクを適切に加圧することができず、吐出不良が発生してしまう。このように増粘インクや気泡混入により吐出不良が発生するノズルを使用して画像を印刷すると、印刷画像の画質が劣化してしまう。

＜＜クリーニング処理＞＞
そこで、プリンター１では、インクの増粘や気泡の混入により吐出不良ノズルが発生した場合、吐出不良ノズルから正常にインク滴が吐出されるように、ヘッド４１のクリーニング処理を実施する。本実施形態のプリンター１は、ヘッド４１のクリーニング処理として、フラッシング処理とポンプ吸引処理を実施する。

フラッシング処理とは、ヘッド４１をホームポジションに移動し、キャップ４４に向けてノズルＮｚから強制的にインク滴を吐出させる処理である。具体的には、図３Ａに示す吐出波形Ｗａを連続して駆動素子４１７に印加する。そうすることで、ノズルＮｚから増粘インクや気泡が排出され、吐出不良ノズルを正常なノズルに回復させることができる。

ポンプ吸引処理とは、キャップ４４の上面に形成されている凹部でノズルＮｚを囲うようにキャップ４４とヘッド４１を密着させた後に、キャップ４４の凹部とヘッド４１のノズル面との間に形成された密閉空間内の空気をポンプで吸引する処理である。そうすることで、密閉空間内が負圧となり、ノズルＮｚから増粘インクや気泡が排出され、吐出不良ノズルを正常なノズルに回復させることができる。

＝＝＝残留振動検出回路４３＝＝＝
図４Ａは、駆動素子４１７の駆動により圧力室４１１内のインクに圧力変化を生じさせた後の残留振動の一例を示す図であり、図４Ｂは、残留振動を検出する残留振動検出回路４３の説明図である。図４Ａに示すグラフでは、縦軸が残留振動の振幅を示し、横軸が時間を示す。また、図４Ａには、ノズルＮｚから正常にインク滴が吐出される場合の残留振動（正常）と、ノズルＮｚや圧力室４１１内に気泡が混入した場合の残留振動（気泡）と、ノズルＮｚや圧力室４１１内のインクが増粘した場合の残留振動（増粘）と、が示されている。駆動素子４１７に駆動信号ＣＯＭ（吐出波形Ｗａ）を印加して駆動素子４１７を駆動させて、その駆動素子４１７に対応する圧力室４１１内のインクに圧力変化を生じさせると、その後に、圧力室４１１内のインクや振動板４１６に残留振動（自由振動）が発生する。この残留振動の発生の仕方によって、ノズルＮｚや圧力室４１１内の状態を知ることができる。

振動板４１６の残留振動を想定した単振動の計算モデルに圧力Ｐを与えた時のステップ応答を体積速度ｕについて計算すると、次式（１）〜（３）が得られる。

なお、流路抵抗ｒは、インク供給口４１３や圧力室４１１、ノズルＮｚ等の流路形状やこれら流路におけるインクの粘度により決定し、イナータンスｍは、インク供給口４１３や圧力室４１１、ノズルＮｚ等の流路内におけるインク重量により決定し、コンプライアンスＣは、振動板４１６の柔軟性によって決定する。

圧力室４１１やノズルＮｚ内に気泡が混入した場合、気泡が混入した分だけインク重量（イナータンスｍ）が減少するため、上記の式（２）で示されるように角速度ωが大きくなり、振動周期が短くなる（振動周波数が高くなる）。従って、図４Ａに示すように、気泡混入時の残留振動の周期Ｔｂは、正常時の残留振動の周期Ｔｇよりも短くなる（Ｔｂ＜Ｔｇ）。

一方、圧力室４１１やノズルＮｚ内のインクが乾燥により増粘した場合、流路抵抗ｒが増加するため、振幅が小さくなる（減衰率が大きくなる）。また、上記の式（２），（３）で示されるように角速度ωが小さくなり、振動周期が長くなる（振動周波数が低くなる）。従って、図４Ａに示すように、増粘時の残留振動の周期Ｔｖは、正常時の残留振動の周期Ｔｇよりも長くなる（Ｔｖ＞Ｔｇ）。

以上のように、残留振動の周期によって、ノズルＮｚや圧力室４１１内の状態を知ることができる。そこで、本実施形態のプリンター１では、残留振動検出回路４３が、駆動素子４１７の駆動により圧力室４１１内のインクに圧力変化を生じさせた後の残留振動を検出し、コントローラー１０が、その検出結果（残留振動の周期）に基づいて、吐出不良ノズルと吐出不良の原因（気泡混入やインクの増粘）を特定する。

吐出不良ノズルを検出するだけでなく、吐出不良の原因まで特定することで、吐出不良の原因に応じた処理を実施することができる。例えば、気泡混入による吐出不良ノズルを回復させるためには、インク消費量の多いポンプ吸引処理を実施する必要があるが、増粘インクによる吐出不良ノズルは、インク消費量の少ないフラッシング処理で回復させることができるとする。このような場合、吐出不良の原因に応じた処理を実施することで、無駄なインクの消費を抑制することができる。

残留振動検出回路４３（図４Ｂ）は、振動板４１６の残留振動による圧電素子４１７ｂ（駆動素子４１７）の機械的変位を、圧電素子４１７ｂの起電圧の変化として検出する。なお、図３Ｂに示すように、複数の駆動素子４１７に対して残留振動検出回路４３が共通に設けられており、各駆動素子４１７のグランド側の電極が共通接続されて（グランド端ＨＧＮＤ）、残留振動検出回路４３に接続されている。

そして、残留振動検出回路４３は、駆動素子４１７のグランド端ＨＧＮＤを接地または開放するスイッチ４３３（Ｎチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ）と、スイッチ４３３と電気的に並列に接続された抵抗Ｒ１と、駆動素子４１７（圧電素子４１７ｂ）の起電圧のうち交流成分を増幅する交流増幅器４３１と、交流増幅器４３１からの出力電圧ＶａＯＵＴと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する比較器４３２と、を有する。このうち、交流増幅器４３１は、直流成分を除去するコンデンサーＣと、基準電圧Ｖｒｅｆを基準として抵抗Ｒ２，Ｒ３で決まる増幅率で反転増幅する演算器ＡＭＰとで構成されている。

例えば、ある検査ノズルの残留振動を検出する場合、繰り返し周期ｔの駆動期間ｔａにおいて、その検査ノズルに対応するヘッド制御部４２（図３Ｂ）内のスイッチ４２４をオンにする。また、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにし、残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにする。そうすることで、駆動素子４１７のグランド端ＨＧＮＤが接地された状態となり、検査ノズルに対応する駆動素子４１７に駆動信号ＣＯＭ（吐出波形Ｗａ）が印加され、検査ノズルに対応する圧力室４１１内のインクに圧力変化が生じる。

その後、繰り返し周期ｔの検査期間ｔｂにおいて、駆動信号ＣＯＭの電圧を一定（Ｖｓ）にし、検査ノズルに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにする。また、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにし、駆動素子４１７のグランド端ＨＧＮＤをグランドから切り離す。そうすることで、検査ノズルに対応する駆動素子４１７の起電圧（残留振動に応じた起電圧）が、残留振動検出回路４３で取り出される。

駆動素子４１７の起電圧は、交流増幅器４３１で増幅された後に（ＶａＯＵＴ）、比較器４３２に入力されて基準電圧Ｖｒｅｆと比較される。基準電圧Ｖｒｅｆが駆動素子４１７の起電圧ＶａＯＵＴよりも大きいときには、Ｈレベルのパルス信号ＰＯＵＴが出力され、基準電圧Ｖｒｅｆが駆動素子４１７の起電圧ＶａＯＵＴよりも小さいときには、Ｌレベルのパルス信号ＰＯＵＴが出力される。従って、このパルス信号ＰＯＵＴは、駆動素子４１７の起電圧の変化に応じた信号、即ち、検査ノズルの残留振動に応じた信号となる。コントローラー１０は、残留振動検出回路４３からパルス信号ＰＯＵＴを取得し、パルス信号ＰＯＵＴの周期を検査ノズルの残留振動の周期として求め、検査ノズル及び圧力室４１１内の状態を判定する。

以下、残留振動検出回路４３から出力される検出結果（パルス信号ＰＯＵＴ）に基づき、コントローラー１０（制御部，コンピューター）が、例えば、メモリー１３に記憶されているヘッド４１の検査プログラムに従って、ヘッド４１を検査する方法について説明する。

＝＝＝実施例１：ヘッド４１の検査方法＝＝＝
実施例１では、検査対象のノズルＮｚに対応する駆動素子４１７のみを駆動して残留振動を検出する「単独駆動検査」を実施した後に、検査対象のノズルＮｚとその隣のノズルＮｚに対応する駆動素子４１７を駆動して残留振動を検出する「同時駆動検査」を実施することにより、ヘッド４１を検査する。また、実施例１では、印刷停止時に（例えば印刷開始前に）、ヘッド４１が検査されるとする。

＜＜単独駆動検査＞＞
図５Ａは、単独駆動検査のフローであり、図５Ｂは、単独駆動検査におけるスイッチ４２４（図３Ｂ）の制御を説明する図であり、図５Ｃは、ヘッド４１の故障を説明する図であり、図５Ｄは、単独駆動検査による検出結果（残留振動）の一例を示す図である。なお、図５Ｃは、圧力室４１１の一部をヘッド４１の移動方向から見た断面図であり、図５Ｄのグラフでは、縦軸が残留振動の振幅を示し、横軸が時間を示す。以下、ヘッド４１の下面に形成された１ノズル列を検査する方法を例に挙げて説明する。また、１ノズル列に属するノズル数を１８０個とし、搬送方向上流側に位置するノズルＮｚから順に小さい番号を付す（＃１，＃２…＃１８０）。

まず、コントローラー１０は、ヘッド４１の下面をホームポジションのキャップ４４に対向させた状態で、ノズル列に属するノズル＃１〜＃１８０の中から検査対象となる検査ノズル＃Ｎを設定する（Ｓ００１）。例えば、１番ノズル＃１から順に検査ノズルに設定する。

そして、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７のみを駆動する「単独駆動」を実施する（Ｓ００２）。即ち、図５Ｂに示すように、繰り返し周期ｔの駆動期間ｔａにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７には駆動信号ＣＯＭ（吐出波形Ｗａ）を印加するが、非検査ノズル（＃Ｎ以外のノズル）に対応する駆動素子４１７には駆動信号ＣＯＭを印加しない。そのために、駆動期間ｔａにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２（図３Ｂ）内のスイッチ４２４がオン（接続状態）となり、非検査ノズルに対応するスイッチ４２４がオフ（非接続状態）となるように、コントローラー１０はヘッド制御部４２に画素データＳＩを送信する。また、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにし、残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにする。

その結果、検査ノズル＃Ｎが正常であれば、吐出波形Ｗａによって検査ノズル＃Ｎに対応する圧力室４１１内のインクに圧力変化が生じ、検査ノズル＃Ｎからキャップ４４に向けてインク滴が吐出される。なお、ヘッド検査時の画素データＳＩは、コントローラー１０が作成するようにしてもよいし、プリンタードライバーが作成するようにしてもよい。

その後、コントローラー１０は、検査期間ｔｂにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみがオンとなり、非検査ノズルに対応するスイッチ４２４がオフとなるように、ヘッド制御部４２に画素データＳＩを送信する。また、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにし、残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにする。その結果、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７の起電圧（残留振動）に応じたパルス信号ＰＯＵＴが、残留振動検出回路４３からコントローラー１０に出力される。こうして、コントローラー１０は、吐出波形Ｗａによって検査ノズル＃Ｎに対応する圧力室４１１内のインクに圧力変化が生じた後の残留振動を取得する（Ｓ００３）。

その後、コントローラー１０は、検査期間ｔｂに取得したパルス信号ＰＯＵＴに基づいて残留振動の周期Ｔｃを求め、その検出周期Ｔｃと第１閾値Ｔ１とを比較する。検出周期Ｔｃが第１閾値Ｔ１以下である場合（Ｓ００４→Ｎｏ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎが、気泡の混入が原因で吐出不良が発生する吐出不良ノズル（気泡ノズル）であると判定する（Ｓ００８）。

一方、検出周期Ｔｃが第１閾値Ｔ１よりも大きい場合（Ｓ００４→Ｙｅｓ）、コントローラー１０は、検出周期Ｔｃと第２閾値Ｔ２とを比較し、検出周期Ｔｃが第２閾値Ｔ２未満である場合（Ｓ００５→Ｙｅｓ）、検査ノズル＃Ｎが吐出不良を発生しない正常なノズルであると判定する（Ｓ００６）。これに対して、検出周期Ｔｃが第２閾値Ｔ２以上である場合（Ｓ００５→Ｎｏ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎが、インクの増粘が原因で吐出不良が発生している可能性が有るノズル（再検査ノズル）であると判定する（Ｓ００７）。以上で、検査ノズル＃Ｎの検査が終了する。そして、コントローラー１０は、未検査のノズルが無くなるまで（Ｓ００９→Ｙｅｓ）、新たなノズルＮｚを検査ノズル＃Ｎに設定して上記の処理を繰り返し、単独駆動検査を終了する。なお、第１閾値Ｔ１や第２閾値Ｔ２等の各閾値は、正常ノズルや吐出不良ノズルの残留振動に基づき、インクの種類や吐出波形Ｗａ等に応じて予め設定されており、メモリー１３に記憶されているとする。

ところで、ノズル列では、多数のノズルＮｚが搬送方向に微小な間隔（例えば１８０ｄｐｉの間隔）で並んでいる。従って、図５Ｃに示すように、搬送方向に並ぶ圧力室４１１を区切る隔壁４１５ａ（流路形成基板４１５の一部）の厚さは極めて薄い。そのため、経年劣化により圧力室の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離してしまう場合がある。圧力室の隔壁４１５ａが剥離している場合、駆動素子４１７に駆動信号（吐出波形Ｗａ）を印加して圧力室４１１（Ｎ）を収縮しても、隔壁４１５ａが剥離している部位から隣の圧力室４１１（Ｎ−１），４１１（Ｎ＋１）にインク（圧力）が逃げてしまう。よって、圧力室４１１内のインクを適切に加圧することができず、ノズルＮｚから規定量のインクを吐出することができない。

つまり、気泡の混入やインクの増粘だけでなく、圧力室の隔壁４１５ａとノズルプレート４１４の剥離によっても、ノズルＮｚに吐出不良が発生してしまう。そのため、圧力室の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離しているか否か（即ち、ヘッド４１が故障しているか否か）を検査する必要がある。

一方、図５Ｄに示すように、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズルＮｚに対して単独駆動を実施したときと、インクが増粘しているノズルＮｚに対して単独駆動を実施したときとで、残留振動の発生の仕方が同じになるという実験結果が得られた。つまり、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している場合、正常時に比べて、残留振動の振幅が小さくなり、振動周期が長くなる。このことは、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している場合には、前述の式（２）におけるコンプライアンスＣが大きくなり、角速度ωが小さくなることからも分かる。

従って、図５Ａに示す単独駆動検査において、残留振動の検出周期Ｔｃが第２閾値Ｔ２以上であった再検査ノズルは、インクの増粘が原因で吐出不良が発生している可能性もあるが、圧力室の隔壁４１５ａが剥離していることが原因で吐出不良が発生している可能性もある。そのため、仮に、単独駆動検査（図５Ａ）しか実施せず、残留振動の検出周期Ｔｃが第２閾値Ｔ２以上であるノズルを増粘ノズルと判定し、ヘッド４１のクリーニング処理（フラッシング処理やポンプ吸引処理）を実施するようにしても、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している場合には、吐出不良は解消されない。それにも拘らず、吐出不良が解消するまでヘッド４１のクリーニング処理が繰り返し実施されると、インクが無駄に消費されてしまう。

そこで、実施例１では、単独駆動検査（図５Ａ）において、残留振動の検出周期Ｔｃが第２閾値Ｔ２以上である再検査ノズル（不良ノズルに相当）が検出された場合に、その再検査ノズルにおける吐出不良の原因が、インクの増粘によるものなのか、それとも、圧力室の隔壁４１５ａの剥離によるものなのかを特定する。そのために、下記に示す同時駆動検査を実施する。

＜＜同時駆動検査＞＞
図６Ａは、同時駆動検査のフローであり、図６Ｂは、同時駆動検査におけるスイッチ４２４（図３Ｂ）の制御を説明する図であり、図６Ｃは、同時駆動を説明する図であり、図６Ｄは、同時駆動検査による検出結果（残留振動）の一例を示す図である。まず、同時駆動検査では、コントローラー１０は、単独駆動検査（図５Ａ）において再検査ノズルが検出されたか否かを判断し、再検査ノズルが検出されていない場合（Ｓ１０１→Ｎｏ）、同時駆動検査を終了する。

一方、単独駆動検査において再検査ノズルが検出された場合（Ｓ１０１→Ｙｅｓ）、コントローラー１０は、再検査ノズルの中から検査対象となる検査ノズル＃Ｎを設定する（Ｓ１０２）。そして、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対して単独駆動を実施する（Ｓ１０３）。即ち、コントローラー１０は、図５Ｂに示すように、駆動期間ｔａにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにし、非検査ノズル（＃Ｎ以外のノズル）に対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにして、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７にのみ駆動信号（吐出波形Ｗａ）を印加する。

その後、コントローラー１０は、検査期間ｔｂにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにし、非検査ノズルに対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにする。そうすることで、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７の起電圧に応じたパルス信号ＰＯＵＴ、即ち、単独駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動を、残留振動検出回路４３から取得する（Ｓ１０４）。

次に、コントローラー１０は、残留振動検出回路４３からのパルス信号ＰＯＵＴに基づいて残留振動の周期Ｔｃ１を求め、その検出周期Ｔｃ１と第２閾値Ｔ２とを比較し、検出周期Ｔｃ１が第２閾値Ｔ２未満である場合（Ｓ１０５→Ｙｅｓ）、検査ノズル＃Ｎを正常ノズルと判定する（Ｓ１１１）。このように、前述の単独駆動検査時（図５Ａ）には再検査ノズルとして検出されたとしても、その後の処理（後述の同時駆動Ｓ１０６）で、再検査ノズルから増粘インクが排出され、再検査ノズルが正常ノズルに回復する場合がある。この場合、検査ノズル＃Ｎの検査を終了し、未検査の再検査ノズルを新たに検査ノズル＃Ｎに設定する（Ｓ１０２）。

これに対して、検出周期Ｔｃ１が第２閾値Ｔ２以上である場合（Ｓ１０５→Ｎｏ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対して同時駆動を実施する（Ｓ１０６）。同時駆動では、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７と、検査ノズル＃Ｎに対して搬送方向上流側に位置する隣接ノズル＃Ｎ−１に対応する駆動素子４１７と、検査ノズル＃Ｎに対して搬送方向下流側に位置する隣接ノズル＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７とを、同時に駆動する。そのために、コントローラー１０は、図６Ｂに示すように、繰り返し周期ｔの駆動期間ｔａにおいて、検査ノズル＃Ｎと隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４をオンにし、それ以外の非駆動ノズルに対応するスイッチ４２４をオフにし、また、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにする。その結果、検査ノズル＃Ｎと隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７に駆動信号（吐出波形Ｗａ）が印加される。

その後、コントローラー１０は、検査期間ｔｂにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにし、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１を含む非検査ノズルに対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにする。そうすることで、コントローラー１０は、同時駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動を残留振動検出回路４３から取得する（Ｓ１０７）。

検査ノズル＃Ｎだけでなく、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７も駆動することで、隣接ノズルに対応する圧力室４１１（Ｎ−１），４１１（Ｎ＋１）内のインクにも圧力がかかる。そのため、図６Ｃに示すように、検査ノズル＃Ｎに対応する圧力室４１１（Ｎ）の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離している場合にも、その圧力室４１１（Ｎ）が収縮する際に、圧力室４１１（Ｎ）内のインク（圧力）が隣接する圧力室４１１（Ｎ−１），４１１（Ｎ＋１）に移動しようとする力が抑制される。従って、同時駆動時には、単独駆動時に比べて、隔壁４１５ａが剥離している圧力室４１１内のインクを強く加圧することができる。

そのため、同時駆動時（図６Ｄ）は、単独駆動時（図５Ｄ）に比べて、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズルの残留振動を、正常なノズルの残留振動に近付けることができる。具体的には、同時駆動時の方が、単独駆動時に比べて、残留振動の振幅が大きくなり、また、振動周期が短くなる。これに対して、インクが増粘しているノズルの残留振動は、単独駆動時と同時駆動時とで差が生じない。そのため、単独駆動時は、インクが増粘しているノズルと圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズルとで残留振動の発生の仕方が同じになるのに対して、同時駆動時には、インクが増粘しているノズルに比べて、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズルの方が、残留振動の振幅が大きく、また、残留振動の周期が短くなる。つまり、単独駆動による検査と同時駆動による検査とで隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１の圧力室４１１内の圧力変化を異ならせることにより、得られる検出結果（残留振動）を異ならせることができる。

そこで、コントローラー１０は、単独駆動（Ｓ１０３）による検査ノズル＃Ｎの残留振動の検出周期Ｔｃ１と、同時駆動（Ｓ１０６）による検査ノズル＃Ｎの残留振動の検出周期Ｔｃ２とを、比較する。そして、２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２がほぼ同じである場合（Ｓ１０８→Ｙｅｓ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎが、インクの増粘が原因で吐出不良を発生する増粘ノズルであると判定する（Ｓ１０９）。一方、２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２が異なる場合（詳しくは、単独駆動の検出周期Ｔｃ１よりも同時駆動の検出周期Ｔｃ２の方が短い場合）（Ｓ１０８→Ｎｏ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎが、圧力室の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離していることが原因で吐出不良を発生する故障ノズルであると判定する（Ｓ１１０）。なお、２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２の差を閾値と比較し、差が閾値以下である場合には検査ノズル＃Ｎを増粘ノズルと判定し、差が閾値よりも大きい場合には検査ノズル＃Ｎを故障ノズルと判定するとよい。

こうして、コントローラー１０は、単独駆動による残留振動と同時駆動による残留振動とに基づいて、再検査ノズルの吐出不良の原因を特定する。即ち、インクが増粘しているのか、それとも、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているのかを特定する。コントローラー１０は、未検査の再検査ノズルが無くなるまで（Ｓ１１２→Ｙｅｓ）、上記の処理を繰り返し、同時駆動検査を終了する。

そして、上記の検査において、例えば、気泡ノズルが検出された場合には、ポンプ吸引処理を実施し、気泡ノズルは検出されなかったが増粘ノズルが検出された場合には、フラッシング処理を実施するとよい。そうすることで、インクの消費を抑制しつつ、気泡ノズルや増粘ノズルを正常なノズルに回復させることができ、印刷画像の画質劣化を抑制できる。また、圧力室の隔壁４１１が剥離している故障ノズルが検出された場合には、例えば、故障ノズルの情報をプリンタードライバーに送信し、故障ノズルを使用しない印刷データを作成するようにするとよい。そうすることで、故障ノズルを使用せずに画像を印刷することができ、印刷画像の画質劣化を抑制できる。ただし、これに限らず、例えば、ヘッド４１が故障していることをユーザーに報知し、ヘッド４１を交換するように指示してもよい。

＜＜まとめ＞＞
以上のように、実施例１では、コントローラー１０（制御部）は、検査ノズル＃Ｎ（検査対象ノズル）に対応する駆動素子４１７には駆動信号（吐出波形Ｗａ）を印加するが、検査ノズルの隣のノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７には駆動信号を印加しない単独駆動（第１の駆動）により得られる残留振動（第１検出結果）と、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７、及び、隣接ノズル（隣のノズル）＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７に駆動信号を印加する同時駆動（第２の駆動）により得られる残留振動（第２検出結果）とを、取得する。つまり、単独駆動による検査と同時駆動による検査とで、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１の圧力室４１１内の圧力変化を異ならせて、残留振動を取得する。そして、取得した残留振動に基づいて、ノズルＮｚからのインク吐出不良を回復させるヘッド４１のクリーニング処理（フラッシング処理やポンプ吸引処理）により、ヘッド４１が回復するか否かを検査する。

そうすることで、気泡混入やインクの増粘により吐出不良が発生するノズルを検出すると共に、ヘッド４１の故障、即ち、圧力室の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離しているノズルを検出することができ、吐出不良ノズルによる印刷画像の画質劣化を抑制することができる。また、単独駆動と同時駆動の両方を実施することで、インクの増粘による吐出不良と、圧力室の隔壁４１５ａの剥離による吐出不良とを、区別して特定することができる。そのため、吐出不良の各原因に応じた処理を施すことができ、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している場合にヘッド４１のクリーニング処理が実施され、無駄にインクが消費されてしまうことを防止できる。

なお、単独駆動時には、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１からインクを吐出させず、同時駆動時には、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１からインクを吐出させる。そうすることで、単独駆動と同時駆動とで、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１の圧力室４１１内の圧力変化を異ならせることができる。

また、実施例１では、同時駆動時に、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７と、検査ノズルの両隣のノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７とを、駆動する。そうすることで、圧力室４１１の何れの側の隔壁４１５ａが剥離している場合にも、同時駆動時には、剥離している側に隣接する圧力室４１１内のインクを加圧することができる。そのため、隔壁４１５ａが剥離している圧力室４１１内のインクをより確実に加圧することができ、単独駆動による残留振動と同時駆動による残留振動との差を大きくすることができる。よって、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している故障ノズルと増粘ノズルをより精度よく判別することができる。

また、実施例１では、コントローラー１０は、複数のノズルに対して順に単独駆動（第１の駆動）を実施して得られる残留振動（検出結果）に基づいて、再検査ノズル（不良ノズル）を検出した後に、検出した再検査ノズルを検査対象のノズルとして、単独駆動により得られる残留振動（第１検出結果）と同時駆動により得られる残留振動（第２検出結果）とを取得し、ヘッドを検査する。なお、複数のノズルに対して順に単独駆動を実施して得られる残留振動に基づいて不良ノズルを検出するとは、検査対象である複数ノズルの中の或るノズルを検査対象ノズルに設定して単独駆動を実施した後であって、そのノズルに対して同時駆動を実施する前に、別のノズルを検査対象ノズルに設定して単独駆動を実施するということである。

そうすることで、全ノズルに対して先に単独駆動のみが実施されるため、コントローラー１０の制御を容易にすることができる。また、単独駆動検査（図５Ａ）において再検査ノズルが検出されなかった場合には、同時駆動検査（図６Ａ）が実施されないため、ヘッド４１の検査時間を出来る限り短縮することができる。また、上記の実施例では、１ノズル列のみを検査する場合を例に挙げているが、これに限らない。例えば、ヘッド４１に属する全ノズルに対して単独駆動検査を実施した後に同時駆動検査を実施するようにしてもよいし、あるノズル列に対して単独駆動検査を実施して同時駆動検査を実施した後に、他のノズル列に対して単独駆動検査を実施して同時駆動検査を実施するようにしてもよい。

また、コントローラー１０は、同じ検査ノズル＃Ｎに対して単独駆動（第１の駆動、図６ＡのＳ１０３）と同時駆動（第２の駆動、Ｓ１０６）を連続して実施することによりそれぞれ得られる残留振動に基づいて、ヘッド４１を検査する（故障ノズルか増粘ノズルかを判別する）。なお、同じ検査ノズル＃Ｎに対して単独駆動と同時駆動とを連続して実施するとは、検査対象である複数ノズルの中の或るノズルを検査対象ノズルに設定して単独駆動を実施した後であって、別のノズルを検査対象ノズルに設定して単独駆動を実施する前に、或るノズルに対して同時駆動を実施するということである。

仮に、単独駆動と同時駆動のタイミングが大きくずれてしまうと、検査ノズルの状態が変わってしまう虞がある。例えば、単独駆動時に圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているために検出されたノズル内のインクが増粘し、単独駆動による残留振動と同時駆動による残留振動（周期）の差が小さくなり、ヘッド４１の故障（圧力室の隔壁４１５ａの剥離）を検出することができなくなってしまう虞がある。そのため、同じ検査ノズル＃Ｎに対して単独駆動と同時駆動を連続して実施することで、故障ノズルと増粘ノズルをより精度よく判別することができる。

また、同時駆動検査（図６Ａ）では、検査ノズル＃Ｎだけでなく、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１からもインク滴が吐出される。そのため、単独駆動検査（図５Ａ）でインクが増粘していた再検査ノズルから同時駆動検査の途中で増粘インクが排出され、再検査ノズルが正常ノズルに回復している可能性がある。そこで、実施例１では、同時駆動検査（図６Ａ）において、検査ノズル＃Ｎ（再検査ノズル）に対して単独駆動（Ｓ１０３）を実施した後であり、同時駆動（Ｓ１０６）を実施する前に、単独駆動による残留振動の検出周期Ｔｃ１と第２閾値Ｔ２とを比較する（Ｓ１０５）。そうすることで、同時駆動検査の途中で回復した再検査ノズルに対する同時駆動の処理（Ｓ１０６）を省略することができ、ヘッド４１の検査時間を出来る限り短縮することができる。

＝＝＝実施例２：ヘッド４１の検査方法＝＝＝
図７は、実施例２におけるヘッド４１の検査フローである。前述の実施例１では、検査対象となる全ノズルに対して単独駆動検査（図５Ａ）を実施した後に、再検査ノズルと判定されたノズルに対して同時駆動検査（図６Ａ）を実施する。これに対して、実施例２では、単独駆動検査の途中で、検査ノズル＃Ｎが再検査ノズルと判定された場合に、その検査ノズル＃Ｎに対して同時駆動検査を連続して実施する。

図７のフローに従って具体的に説明すると、まず、コントローラー１０は、ノズル列（又はヘッド４１）に属するノズルの中から検査ノズル＃Ｎを設定し（Ｓ２０１）、検査ノズル＃Ｎに対して単独駆動を実施する（Ｓ２０２）。即ち、コントローラー１０は、図５Ｂに示すように、駆動期間ｔａにおいて、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにし、非検査ノズル（＃Ｎ以外のノズル）に対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにして、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７にのみ駆動信号（吐出波形Ｗａ）を印加する。

また、その後の検査期間ｔｂにおいて、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにし、非検査ノズルに対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにする。そうして、単独駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動（パルス信号ＰＯＵＴ）を取得する（Ｓ２０３）。

そして、コントローラー１０は、単独駆動による残留振動の検出周期Ｔｃ１が第１閾値Ｔ１以下である場合（Ｓ２０４→Ｎｏ）、検査ノズル＃Ｎが気泡ノズルであると判定する（Ｓ２０５）。一方、単独駆動による残留振動の周期Ｔｃ１が第１閾値Ｔ１よりも大きい場合（Ｓ２０４→Ｙｅｓ）、コントローラー１０は、単独駆動による残留振動の検出周期Ｔｃ１と第２閾値Ｔ２とを比較し、検出周期Ｔｃ１が第２閾値Ｔ２未満である場合（Ｓ２０６→Ｙｅｓ）、検査ノズル＃Ｎが正常ノズルであると判定する（Ｓ２０７）。

これに対して、検出周期Ｔｃ１が第２閾値Ｔ２以上である場合（Ｓ２０６→Ｎｏ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対して同時駆動を実施する（Ｓ２０８）。即ち、コントローラー１０は、図６Ｂに示すように、駆動期間ｔａにおいて、検査ノズル＃Ｎと隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４をオンにし、非駆動ノズル（＃Ｎ−１〜＃Ｎ＋１以外のノズル）に対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにして、検査ノズル＃Ｎと隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７に駆動信号（吐出波形Ｗａ）を印加する。

また、その後の検査期間ｔｂにおいて、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応するヘッド制御部４２内のスイッチ４２４のみをオンにし、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１も含む非検査ノズルに対応するスイッチ４２４をオフにし、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにして残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにする。そうして、同時駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動（パルス信号ＰＯＵＴ）を取得する（Ｓ２０９）。

そして、コントローラー１０は、同時駆動による残留振動の周期Ｔｃ２を求め、単独駆動による残留振動の周期Ｔｃ１と比較する（Ｓ２１０）。２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２がほぼ同じである場合（Ｓ２１０→Ｙｅｓ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎが増粘ノズルであると判定する（Ｓ２１１）。一方、２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２が異なる場合（詳しくは、単独駆動の検出周期Ｔｃ１よりも同時駆動の検出周期Ｔｃ２の方が短い場合）（Ｓ２１０→Ｎｏ）、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎが、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している故障ノズルであると判定する（Ｓ２１２）。こうして、コントローラー１０は、未検査のノズルが無くなるまで（Ｓ２１３→Ｙｅｓ）、上記の処理を繰り返し、ヘッド４１の検査を終了する。

以上のように、実施例２では、同じ検査ノズル＃Ｎに対して単独駆動（Ｓ２０２）と同時駆動（Ｓ２０８）が連続して実施される。そのため、同じ状態である検査ノズル＃Ｎの検出結果（単独駆動による残留振動と同時駆動による残留振動）に基づいて、検査ノズル＃Ｎの状態を判定することができる。よって、故障ノズルと増粘ノズルをより精度よく判別することができる。

＝＝＝実施例３：ヘッド４１の検査方法＝＝＝
図８Ａは、実施例３における駆動信号ＣＯＭを説明する図であり、図８Ｂは、実施例３におけるヘッド制御部４２（一部）を説明する図である。前述の実施例１では、印刷停止時にヘッド４１の検査を実施している。これに対して、実施例３では、媒体Ｓへの画像の印刷中にヘッド４１の検査を実施する。ただし、印刷中は、印刷データ（画素データＳＩ）に応じてインク滴を吐出するノズルが決定してしまう。即ち、検査ノズル＃Ｎや隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１にドットを形成する画素データＳＩ［１］が割り当てられていなくても、検査のために、それらのノズル＃Ｎ−１〜＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７を駆動する必要がある。そこで、実施例３では、駆動期間ｔａに吐出波形Ｗａが発生する第１駆動信号ＣＯＭ１と、駆動期間ｔａに微振動波形Ｗｂが発生する第２駆動信号ＣＯＭ２を使用する。

また、２種類の駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ２を使用するために、ヘッド制御部４２（図８Ｂ）には、駆動素子４１７毎に２種類のスイッチ４２４（１），４２４（２）が設けられている。そして、一方の第１スイッチ４２４（１）には第１駆動信号ＣＯＭ１が入力され、他方の第２スイッチ４２４（２）には第２駆動信号ＣＯＭ２が入力される。また、レベルシフター４２３は、各スイッチ４２４（１），４２４（２）に応じた２種類のスイッチ制御信号ＳＷ（１），ＳＷ（２）を出力する。

微振動波形Ｗｂは、ノズルＮｚからインク滴を吐出させずに、ノズルＮｚや圧力室４１１内のインクを微振動させるための波形である。具体的には、待機電位Ｖｓから所定の電位Ｖｃまで電位を下降させる波形部により、圧力室４１１が膨張し、ノズルＮｚのメニスカス（ノズル開口から露出しているインクの自由表面）が圧力室４１１側に引き込まれる。その後、所定の電位Ｖｃを保持する波形部が駆動素子４１７に印加されている期間に、メニスカスは自由振動し、ノズルＮｚからインクが吐出されない程度にノズルＮｚ内などのインクが微振動する。よって、ノズルＮｚ内などのインクが攪拌され、インクの増粘を抑制することができる。最後に、所定の電位Ｖｃから待機電位Ｖｓまで電位を上昇させる波形部により、圧力室４１１が元の状態に戻る。つまり、ドットを形成しない画素データＳＩ［０］が割り当てられているノズルＮｚに対応する駆動素子４１７に微振動波形Ｗｂを印加することで、インクを吐出しないときにもインクの増粘（目詰まり）を抑制することができ、また、検査のために駆動素子４１７を駆動することができる。

コントローラー１０は、印刷中に検査ノズル＃Ｎに対して「単独駆動」を実施するために（例：図５ＡのＳ００２，図６ＡのＳ１０３，図７のＳ２０２）、検査ノズル＃Ｎの隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１にドットを形成しない画素データＳＩ［０］が割り当てられている繰り返し周期ｔを選択する。そして、コントローラー１０は、選択した繰り返し周期ｔの駆動期間ｔａにおいて、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応するヘッド制御部４２内の第１スイッチ４２４（１）及び第２スイッチ４２４（２）をオフにする。即ち、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７には何れの駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ１も印加しない。

そして、検査ノズル＃Ｎにドットを形成する画素データＳＩ［１］が割り当てられている場合、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応する第１スイッチ４２４（１）をオンにし、第２スイッチ４２４（２）をオフにし、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７に第１駆動信号ＣＯＭ１（吐出波形Ｗａ）を印加する。一方、検査ノズル＃Ｎにドットを形成しない画素データＳＩ［０］が割り当てられている場合、検査ノズル＃Ｎに対応する第１スイッチ４２４（１）をオフにし、第２スイッチ４２４（２）をオンにし、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７に第２駆動信号ＣＯＭ２（微振動波形Ｗｂ）を印加する。

なお、駆動期間ｔａでは、ゲート信号ＤＳＥＬをＨレベルにし、残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオンにする。また、検査ノズル＃Ｎ及び隣接ノズル＃Ｎ−１以外のノズルに関しては、画素データＳＩに応じてスイッチ４２４（１），４２４（２）を制御する。また、駆動素子４１７に吐出波形Ｗａが印加された場合と微振動波形Ｗｂが印加された場合とでは、ノズルＮｚの状態が同じであっても残留振動の発生の仕方が異なる。そのため、波形Ｗａ，Ｗｂに応じて閾値（残留振動の周期に対する第１閾値Ｔ１，第２閾値Ｔ２）を異ならせるとよい。

そして、その後の検査期間ｔｂにおいて、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応する第１スイッチ４２４（１）（又は第２スイッチ４２４（２））をオンにし、検査ノズル＃Ｎ以外のノズルに対応する第１スイッチ４２４（１）及び第２スイッチ４２４（２）をオフにする。なお、検査期間ｔｂでは、ゲート信号ＤＳＥＬをＬレベルにし、残留振動検出回路４３内のスイッチ４３３をオフにする。そうすることで、吐出波形Ｗａ又は微振動波形Ｗｂにより検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７は駆動するが、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７は駆動しない単独駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動を検出することができる。

これに対して、印刷中に検査ノズル＃Ｎに対して「同時駆動」を実施する場合（例：図６ＡのＳ１０６，図７のＳ２０８）、画素データＳＩに関係なく、何れの繰り返し周期ｔにおいても検査することができる。例えば、検査ノズル＃Ｎや隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１にドットを形成する画素データＳＩ［１］が割り当てられている場合、コントローラー１０は、駆動期間ｔａにおいて、各ノズルに対応する第１スイッチ４２４（１）をオンにし、第２スイッチ４２４（２）をオフにし、駆動素子４１７に第１駆動信号ＣＯＭ１（吐出波形Ｗａ）を印加する。一方、検査ノズル＃Ｎや隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１にドットを形成しない画素データＳＩ［０］が割り当てられている場合、各ノズルに対応する第１スイッチ４２４（１）をオフにし、第２スイッチ４２４（２）をオンにし、駆動素子４１７に第２駆動信号ＣＯＭ２（微振動波形Ｗｂ）を印加する。

そして、その後の検査期間ｔｂにおいて、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎに対応する第１スイッチ４２４（１）（又は第２スイッチ４２４（２））をオンにし、検査ノズル＃Ｎ以外のノズルに対応する第１スイッチ４２４（１）及び第２スイッチ４２４（２）をオフにする。そうすることで、吐出波形Ｗａ又は微振動波形Ｗｂにより検査ノズル＃Ｎ及び隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７を駆動した同軸駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動を検出することができる。

以上のように、コントローラー１０は、単独駆動時には、検査ノズル＃Ｎの隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子を駆動せず、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１からインク滴を吐出させないように制御する。また、同時駆動時には、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７を駆動するが、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に割り当てられる画素データＳＩ（印刷データ）に応じて、隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１からインク滴を吐出させないように制御する。そうすることで、印刷データに応じた画像を印刷することができる。

＝＝＝実施例４：ヘッド４１の検査方法＝＝＝
図９は、実施例４におけるヘッド４１の検査フローである。圧力室の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離する現象は、搬送方向に連続して並ぶ複数の圧力室４１１において発生し易い。そして、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズル群のうち、搬送方向における中央部のノズルにおいて、剥離度合いが高くなる傾向が得られた。

そこで、実施例４では、コントローラー１０は、まず、前述の図５Ａに示す単独駆動検査を実施し、搬送方向に連続して並ぶ複数のノズルＮｚが再検査ノズル（不良ノズルに相当）として検出された場合に、再検査ノズル群（例：ノズル＃１０〜＃３０）のうちの搬送方向中央部のノズル（例：ノズル＃２０）を最初に検査ノズル＃Ｎに設定する（Ｓ３０１）。そして、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎ（中央ノズル）に対して単独駆動を実施し、単独駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動（パルス信号ＰＯＵＴ）を取得する（Ｓ３０２）。その後、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎと隣接ノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１を同時駆動し、同時駆動による検査ノズル＃Ｎの残留振動を取得する（Ｓ３０３）。

そして、単独駆動による残留振動の周期Ｔｃ１と同時駆動による残留振動の周期Ｔｃ２を比較し、２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２がほぼ同じであれば（Ｓ３０４→Ｙｅｓ）、検査ノズル＃Ｎが増粘ノズルであると判定することができる。また、再検査ノズル群の中央ノズル（検査ノズル＃Ｎ）において圧力室の隔壁４１５ａが剥離していない場合、再検査ノズル群の他のノズルにおいても、圧力室の隔壁４１５ａは剥離しておらず、インクが増粘している確率が高い。そこで、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎ（中央ノズル）を増粘ノズルと判定した場合、再検査ノズル群の他のノズルに対して検査（Ｓ３０２，Ｓ３０３）を実施することなく、ヘッド４１のクリーニング処理を実施する（Ｓ３０６）。こうして、再検査ノズル群を正常なノズルに回復させることで、増粘ノズルによる印刷画像の画質劣化を防止することができる。なお、クリーニング処理後に、例えば、再検査ノズル群の中の一部のノズルを検査して、吐出不良が回復したか否かを確認するようにしてもよい。

一方、２つの検出周期Ｔｃ１，Ｔｃ２が異なる場合（Ｓ３０４→Ｎｏ）、検査ノズル＃Ｎが故障ノズル（圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズル）であると判定することができる。再検査ノズル群の中央ノズル（検査ノズル＃Ｎ）において圧力室の隔壁４１５ａが剥離している場合、再検査ノズル群の他のノズルにおいても、圧力室の隔壁４１５ａが剥離している確率が高い。そこで、コントローラー１０は、検査ノズル＃Ｎ（中央ノズル）を故障ノズルと判定した場合、再検査ノズル群の他のノズルに対して検査（Ｓ３０２，Ｓ３０３）を実施することなく、再検査ノズル群に属する全ノズルを故障ノズルとし、故障ノズル群を使用しない印刷データに補正する（Ｓ３０５）。ただし、これに限らず、例えば、故障ノズル群の情報をプリンタードライバーに送信したり、ヘッド４１が故障していることをユーザーに報知し、ヘッド４１の交換を指示したりしてもよい。そうすることで、故障ノズルによる印刷画像の画質劣化を防止することができる。

以上のように、実施例４では、コントローラー１０は、搬送方向（所定方向）に連続して並ぶ複数のノズルＮｚが再検査ノズル（増粘インク又は故障ノズルである）として検出された場合に、再検査ノズル群のうち搬送方向の中央部に位置する再検査ノズルを最初に検査ノズルに設定する。そうすることで、再検査ノズル群のうちの他のノズルに対する検査（Ｓ３０２，Ｓ３０３）を省略することができ、ヘッド４１の検査時間を短縮することができる。なお、再検査ノズル群（搬送方向に連続して並ぶ複数の不良ノズル）のうち搬送方向の「中央部」に位置するノズルとは、再検査ノズル群の中で搬送方向における両端に位置するノズル以外のノズルが該当し、好ましくは、再検査ノズル群を搬送方向に３分割したときの中央の領域に属するノズルとする。

＝＝＝変形例：ヘッド４１の検査方法＝＝＝
＜変形例１＞
前述の実施例では、同時駆動時に（例：図６ＡのＳ１０６，図７のＳ２０８）、検査ノズル＃Ｎと検査ノズル＃Ｎの両隣のノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１に対応する駆動素子４１７、即ち、３個の駆動素子４１７を同時に駆動しているが、これに限らない。例えば、同時駆動時に、検査ノズル＃Ｎと検査ノズル＃Ｎの片側の隣接ノズルに対応する駆動素子４１７、即ち、２個の駆動素子４１７を同時に駆動するようにしてもよい。

また、例えば、同時駆動時に、検査ノズル＃Ｎと検査ノズル＃Ｎから搬送方向の両側にそれぞれ連続して並ぶ複数のノズル（＃Ｎ−１，＃Ｎ−２，＃Ｎ−３…，＃Ｎ＋１，＃Ｎ＋２，＃Ｎ＋３…）に対応する駆動素子４１７を同時に駆動してもよい。圧力室の隔壁４１５ａがノズルプレート４１４から剥離する現象は、搬送方向に連続して並ぶ複数の圧力室４１１において発生し易い。そのため、検査ノズル＃Ｎの両隣のノズル＃Ｎ−１，＃Ｎ＋１だけでなく、検査ノズル＃Ｎ近傍の複数ノズルに対応する駆動素子４１７を駆動することで、隔壁４１５ａが剥離している検査ノズル＃Ｎの圧力室４１１内のインクをより確実に加圧することができる。そのため、単独駆動による残留振動と同時駆動による残留振動の差を大きくすることができ、故障ノズル（圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズル）と増粘ノズルをより精度よく判別することができる。

＜変形例２＞
前述の実施例１では、図６Ａに示す同時駆動検査において、図５Ａに示す単独駆動検査で検出された再検査ノズルに対して、再び、単独駆動を実施して残留振動を取得しているが（Ｓ１０３〜Ｓ１０４）、これに限らない。例えば、図５Ａに示す単独駆動検査時（Ｓ００２〜Ｓ００３）に取得した残留振動と、図６Ａに示す同時駆動検査時（Ｓ１０６〜Ｓ１０７）に取得した残留振動とを比較するようにしてもよい。

＜変形例３＞
前述の実施例１では、図３Ａに示す駆動信号ＣＯＭを例に挙げているが、これに限らない。例えば、吐出波形Ｗａの前に微振動波形Ｗｂが発生する駆動信号ＣＯＭを使用し、ヘッド４１の検査時に、検査ノズル＃Ｎ以外のノズルに対応する駆動素子４１７には微振動波形Ｗｂを印加するようにしてもよい。そうすることで、ヘッド４１の検査時にノズルＮｚ内のインクが増粘してしまうことを抑制できる。また、検査ノズル＃Ｎに対応する駆動素子４１７に微振動波形Ｗｂを印加して残留振動を取得するようにしてもよい。

＜変形例４＞
前述の実施例では、残留振動の周期に基づいてノズルＮｚの状態を判定しているが、これに限らない。例えば、残留振動の位相や振幅などの別のパターメーターに基づいてノズルＮｚの状態を判定するようにしてもよいし、残留振動の周期や位相、振幅の中の複数のパラメーターを組み合わせてノズルＮｚの状態を判定するようにしてもよい。また、残留振動における周期の変化や振幅の変化に基づいて、ノズルＮｚの状態を判定するようにしてもよい。また、残留振動に基づいて、インクの増粘や気泡の混入に限らず、例えば、異物（紙粉，埃）の付着による吐出不良の発生を検出するようにしてもよい。

＜変形例５＞
前述の実施例では、駆動素子４１７の駆動によって圧力室４１１内のインクに圧力変化を生じさせた後の残留振動を、駆動素子４１７（圧電素子）の機械的変位による起電力の変化として検出している。即ち、駆動素子４１７をヘッド４１の検査に使用しているが、これに限らない。例えば、駆動素子４１７の駆動によって圧力室４１１内のインクに生じる振動を検知するためのセンサーを、駆動素子４１７とは別にプリンター１に設けてもよい。例えば、圧力室４１１内のインクに生じる振動（例：圧力変化）を検知するためのセンサー（例：圧力センサー）を、圧力室４１１内やインク供給口４１３内に設けてもよい。この場合には、駆動素子４１７の駆動後の残留振動を検出するに限らず、例えば、駆動素子４１７の駆動と同時に振動を検出したり、駆動素子４１７の駆動中や駆動前から振動を検出したりしてもよい。また、この場合には、発熱素子を用いてノズル内に気泡を発生させ、その気泡によってインクを吐出させるサーマル方式により、ノズルからインク滴を吐出させてもよい。

＜変形例６＞
図１０は、第１の駆動と第２の駆動の変形例を示す表である。前述の実施例では、検査対象ノズルの隣のノズルに対応する圧力室４１１内の圧力変化を、第１の駆動と第２の駆動で異ならせるために、図１０の検査方法１を実施している。即ち、検査対象ノズルに対応する駆動素子４１７には吐出波形Ｗａを印加して圧力室４１１内の圧力を減圧（膨張）及び加圧（収縮）し、隣のノズルに対応する駆動素子４１７には駆動信号ＣＯＭを印加せずに圧力室４１１内の圧力を一定にする第１の駆動（単独駆動）により得られる検出結果（残留振動）と、検査対象ノズル及び隣のノズルに対応する駆動素子４１７に吐出波形Ｗａを印加して圧力室４１１内の圧力を減圧及び加圧する第２の駆動（同時駆動）により得られる検出結果とに基づいて、ヘッドを検査している。なお、微振動波形Ｗｂによって圧力室４１１内の圧力を減圧及び加圧してもよい。

ただし、これに限らず、例えば、図１０の検査方法２に示すように、第１の駆動では、検査対象ノズルに対応する圧力室４１１を吐出波形Ｗａにより減圧及び加圧し、隣のノズルに対応する圧力室４１１を微振動波形Ｗｂにより減圧及び加圧するのに対して、第２の駆動では、検査対象ノズル及び隣のノズルに対応する圧力室４１１を吐出波形Ｗａにより減圧及び加圧するようにしてもよい。

また、例えば、検査方法３に示すように、第１の駆動では、検査対象ノズルに対応する圧力室４１１を加圧し、隣のノズルに対応する圧力室４１１を減圧するのに対して、第２の駆動では、検査対象ノズル及び隣のノズルに対応する圧力室４１１を加圧するようにしてもよい。なお、圧力室４１１を加圧（収縮）するための波形部（例えば、待機電位Ｖｓから最高電位Ｖｈに電位を上昇させる波形部）を駆動素子４１７に印加することで圧力室４１１内の圧力は加圧され、圧力室４１１を減圧（膨張）するための波形部（例えば、待機電位Ｖｓから最低電位Ｖｌに電位を下降させる波形部）を駆動素子４１７に印加することで圧力室４１１内の圧力は減圧される。

また、例えば、検査方法４に示すように、第１の駆動では、検査対象ノズルに対応する圧力室４１１を加圧し、隣のノズルに対応する圧力室４１１内の圧力は変化させずに一定にするのに対して、第２の駆動では、検査対象ノズル及び隣のノズルに対応する圧力室４１１を加圧するようにしてもよい。なお、駆動素子４１７に駆動信号ＣＯＭを印加しないか、又は、待機電位Ｖｓが保持される波形部を駆動素子４１７に印加することで、圧力室４１１内の圧力は一定に保たれる。

また、例えば、検査方法５に示すように、第１の駆動では、検査対象ノズルに対応する圧力室４１１を吐出波形Ｗａ又は微振動波形Ｗｂにより減圧及び加圧し、隣のノズルに対応する圧力室４１１内の圧力は減圧のみするのに対して、第２の駆動では、検査対象ノズル及び隣のノズルに対応する圧力室４１１を吐出波形Ｗａ又は微振動波形Ｗｂにより減圧及び加圧するようにしてもよい。また、例えば、検査方法６に示すように、第１の駆動では、検査対象ノズルに対応する圧力室４１１を減圧し、隣のノズルに対応する圧力室４１１内の圧力は加圧するのに対して、第２の駆動では、検査対象ノズル及び隣のノズルに対応する圧力室４１１を減圧するようにしてもよい。

圧力室の隔壁４１５ａが剥離していないノズルは、隣のノズルの圧力室４１１内の圧力がどのような変化をしても、その影響を受け難い。そのため、駆動素子を駆動することにより得られる検出結果（残留振動の発生の仕方）は同じとなる。これに対して、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズルでは、隣のノズルの圧力室４１１内の圧力変化が異なると、その影響を受けて検出結果（残留振動の発生の仕方）も異なる。そこで、上記の検査方法１〜６に示すように、第１の駆動と第２の駆動とで検査対象ノズルの隣のノズルに対応する圧力室４１１内の圧力変化を異ならせることにより、圧力室の隔壁４１５ａの剥離を検査することができる。即ち、第１の駆動により得られる第１検出結果と第２の駆動により得られる第２検出結果とに差が生じる場合には、圧力室の隔壁４１５ａが剥離しているノズルであると判定し、第１検出結果と第２検出結果とに差が生じない場合には、圧力室の隔壁４１５ａが剥離していないノズルであると判定することができる。

＝＝＝その他の実施形態＝＝＝
上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはいうまでもない。

上記の実施形態では、ヘッドが移動方向に移動しながらインクを吐出する動作と、媒体が搬送方向に搬送される動作とが繰り返されるプリンターを例に挙げているが、これに限らない。例えば、媒体の幅方向にノズルが並んだ固定されたヘッドの下を、幅方向と交差する方向に媒体が通過する際に、ヘッドから媒体に向けてインクを吐出するプリンターでもよい。また、例えば、印刷領域に搬送された媒体に対して、ヘッドがＸ方向に移動しながら画像を印刷する動作と、ヘッドがＹ方向に移動する動作と、を繰り返して画像を印刷し、その後、未だ画像が印刷されていない媒体の部位を印刷領域に搬送するプリンターでもよい。

上記の実施形態では、液体吐出装置の一例としてインクジェットプリンターを挙げているが、これに限らない。例えば、カラーフィルタ製造装置、染色装置、微細加工装置、半導体製造装置、表面加工装置、三次元造形機、気体気化装置、有機ＥＬ製造装置（特に高分子ＥＬ製造装置）、ディスプレイ製造装置、成膜装置、ＤＮＡチップ製造装置などのインクジェット技術を応用した各種の液体吐出装置に対して、上記の実施形態と同様の技術を適用してもよい。

１ プリンター、１０ コントローラー、１１ インターフェース部、
１２ ＣＰＵ、１３ メモリー、１４ ユニット制御回路、
１５ 駆動信号生成回路、２０ 搬送ユニット、
３０ キャリッジユニット、３１ キャリッジ、
４０ ヘッドユニット、４１ ヘッド、４１１ 圧力室、
４１２ 共通インク室、４１３ インク供給口、４１４ ノズルプレート、
４１５ 流路形成基板、４１６ 振動板、４１７ 駆動素子、
４２ ヘッド制御部、４２１ シフトレジスター、４２２ ラッチ回路、
４２３ レベルシフター、４２４ スイッチ、４３ 残留振動検出回路、
４３１ 交流増幅器、４３２ 比較器、４３３ スイッチ、４４ キャップ、
５０ 検出器群、６０ コンピューター、

Claims (9)

1. 液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドと、
   駆動信号を印加して前記駆動素子を駆動させることにより、当該駆動素子に対応する前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる制御部と
   を有し、
   前記制御部は、
   検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、前記検査対象ノズルの隣のノズルに対応する前記駆動素子とは異なる駆動態様で駆動する第１の駆動により駆動させて、前記検査対象ノズルの残留振動を検出して第１検出結果を取得し、
   前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、前記検査対象ノズルの隣のノズルに対応する前記駆動素子と同じ駆動態様で同時に駆動する第２の駆動により駆動させて、前記検査対象ノズルの前記残留振動を検出して第２検出結果を取得し、
   前記第１検出結果と前記第２検出結果との比較結果に基づいて前記ヘッドの故障を検査する液体吐出装置。
2. 請求項１に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記第１検出結果と前記第２検出結果とに基づいて、前記ノズルからの液体吐出不良を回復させるクリーニング処理により前記ヘッドが回復するか否かを検査する、
   液体吐出装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置であって、
   前記隣のノズルは、前記検査対象ノズルの両隣のノズルである、
   液体吐出装置。
4. 請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、同じノズルに対して、前記第１の駆動と前記第２の駆動とを連続して実施することにより得られる前記第１検出結果と前記第２検出結果とに基づいて、前記ヘッドを検査する、
   液体吐出装置。
5. 請求項４に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、
   前記複数のノズルに対して順に前記第１の駆動を実施して得られる検出結果に基づいて、液体吐出不良が発生する不良ノズルを検出した後に、
   検出した前記不良ノズルを前記検査対象ノズルとして、前記第１検出結果と前記第２検出結果とを取得し、前記ヘッドを検査する、
   液体吐出装置。
6. 請求項５に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、所定方向に連続して並ぶ複数の前記ノズルが前記不良ノズルとして検出された場合に、前記所定方向に連続して並ぶ複数の前記不良ノズルのうち前記所定方向の中央部に位置する前記不良ノズルを最初に前記検査対象ノズルに設定する、
   液体吐出装置。
7. 請求項１から請求項６の何れか１項に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記第１の駆動により、前記隣のノズルから液体を吐出させず、前記第２の駆動により、前記隣のノズルから液体を吐出させる、
   液体吐出装置。
8. 液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドの検査方法であって、
   検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、前記検査対象ノズルの隣のノズルに対応する前記駆動素子とは異なる駆動態様で駆動する第１の駆動により駆動させ、前記検査対象ノズルの残留振動を検出して第１検出結果を取得することと、
   前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、前記検査対象ノズルの隣のノズルに対応する前記駆動素子と同じ駆動態様で同時に駆動する第２の駆動により駆動させ、前記検査対象ノズルの前記残留振動を検出して第２検出結果を取得することと、
   前記第１検出結果と前記第２検出結果との比較結果に基づいて、前記ヘッドの故障を検査することとを有する検査方法。
9. 液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられる圧力室であって、対応する前記ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室毎に設けられる駆動素子と、を備えるヘッドをコンピューターに検査させるためのプログラムであって、
   検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、前記検査対象ノズルの隣のノズルに対応する前記駆動素子とは異なる駆動態様で駆動する第１の駆動により駆動させ、前記検査対象ノズルの残留振動を検出して第１検出結果を取得する機能と、
   前記検査対象ノズルに対応する前記駆動素子を、前記検査対象ノズルの隣のノズルに対応する前記駆動素子と同じ駆動態様で同時に駆動する第２の駆動により駆動させ、前記検査対象ノズルの前記残留振動を検出して第２検出結果を取得する機能と、
   前記第１検出結果と前記第２検出結果との比較結果に基づいて、前記ヘッドの故障を検査する機能と、
   をコンピューターに実現させるプログラム。
   
   

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