JP6608962B2 - マイクロマシン式のばねデバイス及びマイクロマシン式のばねデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
マイクロマシン式の各振動装置はしばしば共振して作動し、この場合は装置のばねデバイスが共振駆動され、共振周波数で振動する。これにより、例えばマイクロミラー又は別のアクチュエータを、所望の形式で変位させることができる。
本発明は、特許請求項1記載の特徴を有するマイクロマシン式の装置、及び特許請求項10記載の特徴を有する、マイクロマシン式の装置の製造方法を開示するものである。
本発明の根底を成す認識は、共振するマイクロマシン式の装置の(略してモードとも云われる)振動モードに影響を及ぼすことにより適合されたばね及び質量体の構成に基づき、装置のより小さな非線形性が達成可能である、という点にある。これにより、有利に低減されたモード結合が得られることになる。
図1には、本発明の1つの実施形態によるマイクロマシン式の装置10を上から見た概略図が示されている。
Claims (12)
- マイクロマシン式の装置(10)であって、
ばねデバイス(16)を備えており、該ばねデバイス(16)の複数の結合点(24−i)は、フレームデバイス(14)に可動に結合可能である又は結合されており、
前記ばねデバイス(16)は、前記結合点(24−i)のそれぞれを起点として延在している複数のウェブ(18−i)を有しており、
該複数のウェブ(18−i)はそれぞれ、構造化されていて、
延在方向を変える変向部を有するU字状の第1の部分(20−i;220−i)と、
該U字状の第1の部分(20−i)の幅に比べて拡幅された、前記ばねデバイス(16)の非線形性を低減するための拡幅部分(22−i)とを有し、
前記拡幅部分(22−i)は、前記ウェブ(18−i)の変向部に設けられていることを特徴とする、マイクロマシン式の装置。 - 前記少なくとも1つの拡幅部分(22−i)は、前記第1の部分(20−i)よりも大きな横断面を有している、請求項1記載の装置。
- 前記少なくとも1つの拡幅部分(22−i)は、少なくとも部分的に、前記ウェブ(18−i)に前記ばねデバイス(16)の部分として形成された質量デバイス(26−i)により形成されている、請求項1又は2記載の装置。
- 前記質量デバイス(26−i)は、前記ばねデバイス(16)の剛性を変化させることがない、請求項3記載の装置。
- 前記質量デバイス(26−i)は、少なくとも部分的に、前記ウェブ(18−i)と一体的に形成されている、請求項3又は4記載の装置。
- 前記質量デバイス(26−i)は、ディスク状に形成されている、請求項3から5までのいずれか1項記載の装置。
- 前記ばねデバイス(16)は、それぞれ前記第1の部分(20−i)と前記少なくとも1つの拡幅部分(22−i)とを備えた少なくとも2つのウェブ(18−i)を有しており、これらの少なくとも2つのウェブ(18−i)は、対称軸線(S1)に対して互いに対称的に形成されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。
- 前記ばねデバイス(16)には、当該マイクロマシン式の装置(10)のマイクロミラー(12)が結合されている、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。
- マイクロマシン式の装置(10)であって、
ばねデバイス(516)を備えており、該ばねデバイス(516)の複数の結合点(124)は、フレームデバイス(14)に可動に結合可能である又は結合されており、
前記ばねデバイス(516)は、前記複数の結合点(124)のそれぞれを起点として延在している複数のウェブ(518−1,518−2)を有しており、
該複数のウェブ(518−1,518−2)は構造化されていて、前記複数のウェブ(518−1,518−2)のうちの一方のウェブ(518−1;518−2)は、延在方向に対して交差する方向に延びる、前記一方のウェブ(518−1;518−2)から突出した、前記ばねデバイス(516)の非線形性を低減するための少なくとも1つの拡幅部分(522)を有していることを特徴とする、マイクロマシン式の装置。 - 前記少なくとも1つの拡幅部分(522)は、少なくとも部分的に、前記ウェブ(518−1,518−2)に前記ばねデバイス(516)の部分として形成された直方体状の質量デバイス(526)により形成されている、請求項9記載のマイクロマシン式の装置。
- マイクロマシン式の装置(10)の製造方法であって、
フレームデバイス(14)に、複数の結合点(24−i)において可動に結合可能である又は結合されているばねデバイス(16)を形成するステップを有しており、
前記ばねデバイス(16)は、前記複数の結合点(24−i)のそれぞれを起点として延在している複数のウェブ(18−i)を有しており、
該複数のウェブ(18−i)は構造化されていて、
延在方向を変える変向部を有するU字状の第1の部分(20−i;220−i)と、
該U字状の第1の部分(20−i)の幅に比べて拡幅された、前記ばねデバイス(16)の非線形性を低減するための拡幅部分(22−i;426)とを有し、
前記拡幅部分(22−i;426)は、前記ウェブ(18−i)の変向部に設けられていることを特徴とする、マイクロマシン式の装置(10)の製造方法。 - マイクロマシン式の装置(10)の製造方法であって、
フレームデバイス(14)に、複数の結合点(124)において可動に結合可能である又は結合されているばねデバイス(516)を形成するステップを有しており、
前記ばねデバイス(516)は、前記複数の結合点(124)のそれぞれを起点として延在している複数のウェブ(518−1,518−2)を有しており、
該複数のウェブ(518−1,518−2)は構造化されていて、前記複数のウェブ(518−1,518−2)のうちの一方のウェブ(518−1;518−2)は、延在方向に対して交差する方向に延びる、前記一方のウェブ(518−1;518−2)から突出した、前記ばねデバイス(516)の非線形性を低減するための少なくとも1つの拡幅部分(522)を有していることを特徴とする、マイクロマシン装置(10)の製造方法。
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