JP6604759B2 - カーボンナノチューブウェブの製造方法、カーボンナノチューブ集合体の製造方法およびカーボンナノチューブウェブの製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、カーボンナノチューブウェブの製造方法、カーボンナノチューブ集合体の製造方法およびカーボンナノチューブウェブの製造装置に関する。

カーボンナノチューブは、優れた機械強度、熱伝導性および電気伝導性を有していることが知られている。また、そのようなカーボンナノチューブは高い紡績性能を有するために、複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイをウェブ状に引き出すことが検討されている。

例えば、基板上に、複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイを成長させた後、基板上のカーボンナノチューブアレイから、複数のカーボンナノチューブを引き出して、カーボンナノチューブフィルムを形成するカーボンナノチューブフィルムの製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

そのカーボンナノチューブフィルムの製造方法では、カーボンナノチューブアレイにおいて互いに隣接するカーボンナノチューブが、連続して基板から引き出され、カーボンナノチューブの引き出しに伴なって、カーボンナノチューブアレイが基板から順次剥離される。

特開２００９−９１２４０号公報

しかし、特許文献１に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法では、カーボンナノチューブの引き出しにおいて、カーボンナノチューブアレイの一部（つまり、複数のカーボンナノチューブ）が、基板から剥離されずに、基板上に残存してしまう場合がある。

この場合、カーボンナノチューブがカーボンナノチューブアレイから一様に引き出されないため、カーボンナノチューブフィルムの各部において密度差が生じ、カーボンナノチューブフィルムの均一性を確保できないという不具合がある。

また、カーボンナノチューブアレイの一部が基板上に残存するので、カーボンナノチューブアレイの一部をカーボンナノチューブフィルムの製造に利用できず、カーボンナノチューブフィルムの生産性が低下してしまうという不具合がある。

そこで、本発明の目的は、カーボンナノチューブウェブの均一性の向上を図ることができながら、生産効率の向上を図ることができるカーボンナノチューブウェブの製造方法、カーボンナノチューブ集合体の製造方法およびカーボンナノチューブウェブの製造装置を提供することにある。

［１］本発明は、基板上に配置され、前記基板に対して垂直に配向される複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイを準備する工程と、前記カーボンナノチューブアレイから、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されるように引き出されてなるカーボンナノチューブウェブを引き出す工程と、を含み、前記カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、前記基板の厚み方向および前記カーボンナノチューブウェブの引出方向の両方向と交わる方向に揺動させる、カーボンナノチューブウェブの製造方法である。

このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを、基板の厚み方向およびカーボンナノチューブウェブの引出方向の両方向と交わる方向に揺動させながら、カーボンナノチューブアレイから引き出すので、カーボンナノチューブウェブの揺動が、複数のカーボンナノチューブ単糸を介して、カーボンナノチューブウェブのカーボンナノチューブアレイからの引出位置に作用する。

すると、カーボンナノチューブウェブの引出位置において、カーボンナノチューブアレイの複数のカーボンナノチューブが、周囲に隣接するカーボンナノチューブと確実に接触する。

これによって、カーボンナノチューブウェブの引出位置において、互いに隣接するカーボンナノチューブが相互に近接し合うように作用し、複数のカーボンナノチューブをカーボンナノチューブアレイから安定して引き出すことができる。

そのため、カーボンナノチューブウェブの均一化を図ることができるとともに、基板上にカーボンナノチューブアレイが残存することを抑制でき、カーボンナノチューブウェブの生産効率の向上を図ることができる。

［２］本発明は、前記カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、接触部材に接触させ、前記接触部材を揺動させることにより、前記カーボンナノチューブウェブを揺動させる、上記［１］に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法を含む。

このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、カーボンナノチューブウェブを、接触部材に接触させた後、接触部材を揺動させるので、カーボンナノチューブウェブを安定して確実に揺動させることができる。

［３］本発明は、前記カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、接触部材に接触させ、前記基板を揺動させることにより、前記カーボンナノチューブウェブを揺動させる、上記［１］に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法を含む。

このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、カーボンナノチューブウェブが接触部材に接触した状態で、基板を揺動させるので、カーボンナノチューブウェブを安定して確実に揺動させることができる。

［４］本発明は、接触部材における、前記カーボンナノチューブウェブと接触する表面が、凹凸形状を有している、上記［２］または［３］に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法を含む。

しかるに、カーボンナノチューブウェブが接触部材に接触した状態で、接触部材または基板が揺動すると、接触部材上のカーボンナノチューブウェブが横滑りしてしまい、カーボンナノチューブウェブの各部において密度差が生じてしまう場合がある。

一方、上記の方法によれば、接触部材の表面が凹凸形状を有しているので、カーボンナノチューブウェブが接触部材に接触した状態で、接触部材または基板が揺動しても、接触部材の表面の凹凸形状により、接触部材上のカーボンナノチューブウェブが横滑りすることを抑制できる。そのため、カーボンナノチューブウェブの均一性を確実に確保できる。

［５］本発明は、前記接触部材における、前記カーボンナノチューブウェブとの接触部分が、前記揺動方向の内側に向かうにつれて、前記カーボンナノチューブウェブとの接触方向外側に向かって傾斜する傾斜面を有する、上記［２］〜［４］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法を含む。

しかるに、カーボンナノチューブウェブが接触部材に接触した状態で、接触部材または基板が揺動すると、カーボンナノチューブウェブが、揺動がより拘束される揺動方向の内側に集まるように移動する場合がある。

しかし、上記の方法によれば、接触部材の接触部分が傾斜面を有しているので、カーボンナノチューブウェブが接触部材に接触した状態で、接触部材または基板が揺動しても、接触部分の傾斜面により、接触部材上のカーボンナノチューブウェブが、揺動方向の内側に向かって集まることを抑制できる。そのため、カーボンナノチューブウェブの均一性をより一層確実に確保できる。

［６］本発明は、前記接触部材が、円柱形状を有するローラである、上記［２］〜［５］のいずれ一項に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法を含む。

このような方法によれば、接触部材が円柱形状を有するローラであるので、カーボンナノチューブウェブを、ローラの周面に沿うように接触させることができる。

そのため、カーボンナノチューブウェブとローラとの接触面積の向上を図ることができる。その結果、カーボンナノチューブウェブがローラに接触した状態で、ローラまたは基板が揺動しても、ローラ上のカーボンナノチューブウェブが横滑りしてしまうことを確実に抑制できる。

［７］本発明は、上記［２］〜［６］のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法により製造されるカーボンナノチューブウェブを、前記接触部材上を通過させた後、加工する工程を含んでいる、カーボンナノチューブ集合体の製造方法である。

このような方法によれば、上記のように引き出されたカーボンナノチューブウェブが、加工されることなく、接触部材上を通過した後、加工される。

つまり、カーボンナノチューブウェブおける複数のカーボンナノチューブ単糸は、カーボンナノチューブウェブの引出位置とローラとの間において、カーボンナノチューブ単糸の延びる方向と交わる方向に並列配置される状態が維持されている。

しかるに、カーボンナノチューブウェブの引出位置と接触部材との間において、カーボンナノチューブウェブが、例えば、撚り合わされるなど加工されると、その加工に起因する力が、複数のカーボンナノチューブ単糸を介して、カーボンナノチューブウェブの引出位置に作用する。すると、カーボンナノチューブウェブの引き出しが不安定となる場合がある。

一方、上記の方法によれば、カーボンナノチューブウェブは、接触部材上を通過した後、加工されるので、その加工に起因する力が、カーボンナノチューブウェブの引出位置に作用することを、接触部材により抑制できる。そのため、カーボンナノチューブウェブの安定した引き出しを確保できる。

［８］本発明は、前記カーボンナノチューブウェブを加工する工程において、前記カーボンナノチューブウェブを撚り合わせて撚糸とする、上記［７］に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法を含む。

このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを撚り合わせるという簡易な方法により、カーボンナノチューブウェブを円滑に加工でき、撚糸を製造できる。そのため、撚糸の生産性の向上を図ることができる。

［９］本発明は、前記カーボンナノチューブウェブを加工する工程は、円柱形状を有する巻回軸を準備する工程と、前記カーボンナノチューブウェブを、前記巻回軸の周面に複数周巻き付ける工程と、前記巻回軸の周面に複数周巻き付けられた前記カーボンナノチューブウェブを、前記巻回軸の軸線方向に切断して、シート形状に形成する工程と、を含む、上記［７］に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法を含む。

このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブを巻回軸に複数周巻き付け、切断するという簡易な方法により、カーボンナノチューブウェブを円滑に加工でき、複数のカーボンナノチューブウェブが積層されるシート（以下、カーボンナノチューブ積層シートとする。）を製造できる。そのため、カーボンナノチューブ積層シートの生産性の向上を図ることができる。

［１０］本発明は、前記カーボンナノチューブウェブを加工する工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、揮発性の液体に浸漬する、上記［７］に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法を含む。

このような方法によれば、カーボンナノチューブウェブが揮発性の液体に浸漬されるので、揮発性の液体が気化することにより、各カーボンナノチューブ単糸において、複数のカーボンナノチューブが互いに凝集するとともに、複数のカーボンナノチューブ単糸が互いに凝集する。そのため、カーボンナノチューブウェブの密度の向上を図ることができる。

［１１］本発明は、垂直に配向される複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイが配置される基板と、前記カーボンナノチューブアレイから、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されるように引き出されてなるカーボンナノチューブウェブと、前記基板に対して、前記カーボンナノチューブウェブの引き出し方向の下流に配置される接触部材と、を備え、前記接触部材または前記基板は、前記基板の厚み方向および前記カーボンナノチューブウェブの引出方向の両方向と交わる方向に揺動可能である、カーボンナノチューブウェブの製造装置である。

このような構成によれば、カーボンナノチューブウェブと接触する接触部材または基板が、基板の厚み方向およびカーボンナノチューブウェブの引出方向の両方向と交わる方向に揺動する。

そのため、接触部材にカーボンナノチューブウェブを接触させることで、カーボンナノチューブウェブが、接触部材または基板の揺動方向に揺動されながら、カーボンナノチューブアレイから連続して引き出される。

そのため、均一化されたカーボンナノチューブウェブが連続して製造できるとともに、基板上にカーボンナノチューブアレイが残存することを抑制でき、カーボンナノチューブウェブの生産効率の向上を図ることができる。

本発明のカーボンナノチューブウェブの製造方法では、カーボンナノチューブウェブの均一性の向上を図ることができながら、生産効率の向上を図ることができる。

本発明のカーボンナノチューブ集合体の製造方法では、カーボンナノチューブウェブを円滑に加工することができ、生産効率の向上を図ることができる。

本発明のカーボンナノチューブウェブの製造装置では、均一化されたカーボンナノチューブウェブを連続して製造でき、カーボンナノチューブウェブの生産効率の向上を図ることができる。

図１は、本発明のカーボンナノチューブウェブの製造装置の第１実施形態としての紡績装置の斜視図である。 図２Ａは、図１に示すカーボンナノチューブアレイの調製工程の一実施形態を説明するための説明図であって、基板上に触媒層を形成する工程を示す。図２Ｂは、図２Ａに続いて、基板を加熱して、触媒層を複数の粒状体に凝集させる工程を示す。図２Ｃは、図２Ｂに続いて、複数の粒状体に原料ガスを供給して、複数のカーボンナノチューブを成長させる工程を示す。図２Ｄは、図２Ｃに続いて、複数のカーボンナノチューブを引き出して、カーボンナノチューブウェブを調製する工程を示す。 図３Ａは、図１に示す紡績装置の概略構成図である。図３Ｂは、図３Ａに示す紡績装置の平面図であり、テンションローラが左側に移動した状態を示す。図３Ｃは、図３Ａに示す紡績装置の平面図であり、テンションローラが右側に移動した状態を示す。 図４Ａは、本発明のカーボンナノチューブウェブの製造装置の第２実施形態としての紡績装置の概略構成図である。図４Ｂは、図４Ａに示す紡績装置の平面図であり、基板が左側に移動した状態を示す。図４Ｃは、図４Ａに示す紡績装置の平面図であり、基板が右側に移動した状態を示す。 図５Ａは、本発明のカーボンナノチューブウェブの製造装置の第３実施形態としてのシート製造装置の概略構成図である。図５Ｂは、図５Ａに示すシート製造装置により製造されるカーボンナノチューブ積層シートの斜視図である。 図６は、本発明のカーボンナノチューブウェブの製造装置の第４実施形態の概略構成図である。 図７Ａは、図１に示すテンションローラの第１の変形例の概略構成図である。図７Ｂは、図１に示すテンションローラの第２の変形例の概略構成図である。図７Ｃは、図１に示すテンションローラの第３の変形例の概略構成図である。図７Ｄは、図１に示すテンションローラの第４の変形例の概略構成図である。図７Ｅは、図７Ｄに示すテンションローラの正面図である。 図８Ａは、図１に示すカーボンナノチューブウェブの揺動方向が、前右側および後左側を結ぶ方向である場合のベクトル成分を説明するための説明図である。図８Ｂは、図１に示すカーボンナノチューブウェブの揺動方向が、右上側および左下側を結ぶ方向である場合のベクトル成分を説明するための説明図である。 図９Ａは、図１に示すカーボンナノチューブウェブの揺動方向を説明するための説明図であって、カーボンナノチューブウェブの揺動方向を基板の厚み方向から見た図である。図９Ｂは、図１に示すカーボンナノチューブウェブの揺動方向を説明するための説明図であって、カーボンナノチューブウェブの揺動方向をカーボンナノチューブウェブの引出方向から見た図である。 図１０は、図１に示すカーボンナノチューブ撚糸あるいは集合体を備えるウェアラブルセンサの概略構成図である。

１．第１実施形態
（１）カーボンナノチューブウェブの製造方法
本発明のカーボンナノチューブウェブの製造方法の第１実施形態は、例えば、図１に示すように、基板１上に配置されるカーボンナノチューブアレイ２を準備する工程（調製工程）と、カーボンナノチューブアレイ２からカーボンナノチューブウェブ３を引き出す工程（引出工程）とを含んでいる。

このような製造方法では、まず、基板１上に配置されるカーボンナノチューブアレイ２を準備する。

カーボンナノチューブアレイ２を準備するには、例えば、図２Ａ〜図２Ｃに示すように、化学気相成長法（ＣＶＤ法）により、基板１上に、垂直に配向される複数のカーボンナノチューブ４を成長させる。

より詳しくは、図２Ａに示すように、まず、基板１を準備する。基板１は、特に限定されず、例えば、ＣＶＤ法に用いられる公知の基板が挙げられ、市販品を用いることができる。基板１としては、例えば、シリコン基板や、二酸化ケイ素膜７が積層されるステンレス基板８などが挙げられ、好ましくは、二酸化ケイ素膜７が積層されるステンレス基板８が挙げられる。

基板１は、図１に示すように、後述するカーボンナノチューブアレイ２の連続供給の観点から、好ましくは、長尺かつ平帯形状を有しており、かつ、後述する基板１の巻き取りの観点から、好ましくは、可撓性を有している。

第１実施形態では、基板１は、図１〜図２Ｄに示すように、二酸化ケイ素膜７が積層されるステンレス基板８であり、可撓性を有する長尺かつ平帯形状を有している。

なお、以下の説明において、基板１の厚み方向を上下方向とし、基板１の長尺方向を前後方向とし、基板１の幅方向を左右方向とする。具体的には、各図に示す方向矢印を基準とする。

基板１が、二酸化ケイ素膜７が積層されるステンレス基板８である場合、ステンレス基板８の厚みは、例えば、２０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下であり、二酸化ケイ素膜７の厚みは、例えば、１０ｎｍ以上、好ましくは、１００ｎｍ以上、例えば、１μｍ以下、好ましくは、５００ｎｍ以下である。

そして、図２Ａに示すように、基板１上、好ましくは、二酸化ケイ素膜７上に触媒層９を形成する。基板１上に触媒層９を形成するには、金属触媒を、公知の成膜方法により、基板１（好ましくは、二酸化ケイ素膜７）上に成膜する。

金属触媒としては、例えば、鉄、コバルト、ニッケルなどが挙げられ、好ましくは、鉄が挙げられる。このような金属触媒は、単独使用または２種類以上併用することができる。成膜方法としては、例えば、真空蒸着およびスパッタリングが挙げられ、好ましくは、真空蒸着が挙げられる。

これによって、基板１上に触媒層９が配置される。なお、基板１が、二酸化ケイ素膜７が積層されるステンレス基板８である場合、二酸化ケイ素膜７および触媒層９は、例えば、特開２０１４−９４８５６号公報に記載されるように、二酸化ケイ素前駆体溶液と金属触媒前駆体溶液とが混合される混合溶液を、ステンレス基板８に塗布した後、その混合液を相分離させ、次いで、乾燥することにより、同時に形成することもできる。

触媒層９の厚み（上下方向寸法）は、例えば、１ｎｍ以上、好ましくは、２ｎｍ以上、例えば、１０ｎｍ以下、好ましくは、４ｎｍ以下である。

次いで、触媒層９が配置される基板１を、図２Ｂに示すように、例えば、７００℃以上９００℃以下に加熱する。これにより、触媒層９が、凝集して、複数の粒状体９Ａとなる。

そして、加熱された基板１に、図２Ｃに示すように、原料ガスを供給する。原料ガスは、炭素数１〜４の炭化水素ガス（低級炭化水素ガス）を含んでいる。炭素数１〜４の炭化水素ガスとしては、例えば、メタンガス、エタンガス、プロパンガス、ブタンガス、エチレンガス、アセチレンガスなどが挙げられ、好ましくは、アセチレンガスが挙げられる。

また、原料ガスは、必要により、水素ガスや、不活性ガス（例えば、ヘリウム、アルゴンなど）、水蒸気などを含むこともできる。

原料ガスが水素ガスや不活性ガスを含む場合、原料ガスにおける炭化水素ガスの濃度は、例えば、１体積％以上、好ましくは、３０体積％以上、例えば、９０体積％以下、好ましくは、５０体積％以下である。原料ガスの供給時間としては、例えば、１分以上、好ましくは、５分以上、例えば、６０分以下、好ましくは、３０分以下である。

これによって、複数の粒状体９Ａのそれぞれを起点として、複数のカーボンナノチューブ４が成長する。なお、図２Ｃでは、便宜上、１つの粒状体９Ａから、１つのカーボンナノチューブ４が成長するように記載されているが、これに限定されず、１つの粒状体９Ａから、複数のカーボンナノチューブ４が成長してもよい。

このような複数のカーボンナノチューブ４は、基板１上において、互いに略平行となるように、基板１の厚み方向（上下方向）に延びている。つまり、複数のカーボンナノチューブ４は、基板１に対して直交するように配向（垂直に配向）されている。

カーボンナノチューブ４は、単層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブのいずれであってもよく、好ましくは、多層カーボンナノチューブである。これらカーボンナノチューブ４は、単独使用または２種類を併用することができる。

カーボンナノチューブ４の平均外径は、例えば、１ｎｍ以上、好ましくは、５ｎｍ以上、例えば、１００ｎｍ以下、好ましくは、５０ｎｍ以下、さらに好ましくは、２０ｎｍ以下である。

カーボンナノチューブ４の平均長さ（平均軸線方向寸法）は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上、さらに好ましくは、２００μｍ以上、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、５００μｍ以下、さらに好ましくは、４００μｍ以下である。なお、カーボンナノチューブ４の層数、平均外径および平均長さは、例えば、ラマン分光分析や、電子顕微鏡観察などの公知の方法により測定される。

これによって、複数のカーボンナノチューブ４を備えるカーボンナノチューブアレイ２が、基板１上に形成される。

カーボンナノチューブアレイ２は、図１に示すように、上下方向に厚みを有し、上下方向と直交する面方向（前後方向および左右方向）に沿って延びる略シート形状を有している。詳しくは、カーボンナノチューブアレイ２は、複数のカーボンナノチューブ４が前後方向に直線的に並ぶ列２Ａを、左右方向に複数備えている。

カーボンナノチューブアレイ２において、複数の列２Ａは、左右方向に、例えば、１００ｎｍ〜２００ｎｍの間隔を隔てて配置されており、各列２Ａにおいて、複数のカーボンナノチューブ４は、前後方向に、例えば、１００ｎｍ〜２００ｎｍの間隔を隔てて配置されている。つまり、カーボンナノチューブアレイ２において、複数のカーボンナノチューブ４は、前後左右方向に密集している。

また、カーボンナノチューブアレイ２の左右方向寸法Ｌ１は、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、例えば、５ｍｍ以上、好ましくは、１０ｍｍ以上、さらに好ましくは、１５０ｍｍ以上、例えば、５００ｍｍ以下、好ましくは、４５０ｍｍ以下である。

カーボンナノチューブアレイ２の嵩密度は、例えば、１０ｍｇ／ｃｍ^３以上、好ましくは、２０ｍｇ／ｃｍ^３以上、例えば、６０ｍｇ／ｃｍ^３以下、好ましくは、５０ｍｇ／ｃｍ^３以下である。なお、カーボンナノチューブアレイ２の嵩密度は、例えば、単位面積当たり質量（目付量：単位 ｍｇ／ｃｍ^２）と、カーボンナノチューブの長さ（ＳＥＭ（日本電子社製）または非接触膜厚計（キーエンス社製）により測定）とから算出される。

次いで、図１に示すように、カーボンナノチューブアレイ２から、カーボンナノチューブウェブ３を、左右方向に揺動させながら、後側から前側に向かう引出方向Ｄに引き出す。

カーボンナノチューブアレイ２からカーボンナノチューブウェブ３を揺動させながら引き出すには、例えば、まず、接触部材の一例としてのテンションローラ２２を準備する。

テンションローラ２２は、左右方向に延びる円柱形状を有している。テンションローラ２２の外径は、特に制限されず、例えば、１ｃｍ以上２０ｃｍ以下である。

テンションローラ２２の左右方向の寸法は、カーボンナノチューブアレイ２の左右方向寸法Ｌ１と同等であれば、特に制限されず、好ましくは、カーボンナノチューブアレイ２の左右方向寸法Ｌ１よりも大きい。

そして、テンションローラ２２は、カーボンナノチューブアレイ２に対して、前側に間隔を隔てて配置されている。つまり、テンションローラ２２は、基板１（カーボンナノチューブアレイ２）に対して、カーボンナノチューブウェブ３の引出方向Ｄの下流側に配置されている。

テンションローラ２２とカーボンナノチューブアレイ２との間の間隔は、例えば、１０ｃｍ以上２０ｃｍ以下である。

また、テンションローラ２２は、図１に示すように、その軸線を中心として、左側面視時計回り方向に回転可能であり、かつ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、左右方向に往復移動可能（揺動可能）である。

より具体的には、テンションローラ２２は、停止時において、図３Ｂおよび図３Ｃに仮想線で示す初期位置に位置される。テンションローラ２２が初期位置にある状態において、テンションローラ２２の左右方向（軸線方向）中央と、カーボンナノチューブアレイ２の左右方向中央とは、上下方向から見て、前後方向に沿って並んでおり、前後方向に沿って延びる同一の仮想線Ｉ上に位置する。

そして、テンションローラ２２は、駆動時において、左側面視時計回り方向に回転しながら、初期位置よりも左側に位置し、相対的に最も左側に位置する第１位置（図３Ｂの実線参照）と、初期位置よりも右側に位置し、相対的に最も右側に位置する第２位置（図３Ｃの実線参照）との間を、所定の移動速度で往復するように連続して移動する。

つまり、テンションローラ２２は、駆動時において、初期位置に対して左右両側のそれぞれに移動量Ｌ２（揺動幅Ｌ２）を移動する。

テンションローラ２２の移動量Ｌ２は、カーボンナノチューブアレイ２における複数の列２Ａの間の間隔以上、カーボンナノチューブアレイ２の左右方向寸法Ｌ１以下であれば特に制限されないが、例えば、１μｍ以上、制御の観点から好ましくは、１ｍｍ以上、例えば、１０ｍｍ以下、カーボンナノチューブウェブ３の引き出し安定性の観点から、好ましくは、５ｍｍ以下である。

また、テンションローラ２２の移動量Ｌ２は、好ましくは、カーボンナノチューブアレイ２の左右方向寸法Ｌ１に対して、例えば、１／５０以上、好ましくは、１／３０以上、さらに好ましくは、１／２５以上、例えば、１／２以下、好ましくは、１／１０以下、さらに好ましくは、１／２０以下である。

また、テンションローラ２２は、好ましくは、初期位置にあるテンションローラ２２の左右方向中央を通過する仮想線Ｉに対して、対称となるように往復移動する。この場合、テンションローラ２２の左右両側の移動量Ｌ２は、互いに同一である。

テンションローラ２２の移動速度は、例えば、０．１ｍ／分以上、好ましくは、０．５ｍ／分以上、さらに好ましくは、１ｍ／分以上、例えば、１００ｍ／分以下、好ましくは、１０ｍ／分以下、さらに好ましくは、５ｍ／以下である。

また、テンションローラ２２の移動速度は、後述するカーボンナノチューブウェブ３の引出速度に対して、例えば、１／１０００以上、好ましくは、１／１００以上、さらに好ましくは、１／１０以下、例えば、１／１以下、好ましくは、１／２以下、さらに好ましくは、１／５以下である。

また、テンションローラ２２の振動数（単位時間当たりの往復回数）は、例えば、５回／分以上、好ましくは、１０回／分以上、さらに好ましくは、１００回／分以上、とりわけ好ましくは、１５０回／分以上、例えば、５００回／分以下、好ましくは、２５０回／分以下である。

次いで、カーボンナノチューブウェブ３を、図１に示すように、カーボンナノチューブアレイ２から引き出して、テンションローラ２２に接触させる。

カーボンナノチューブウェブ３をカーボンナノチューブアレイ２から引き出すには、カーボンナノチューブアレイ２のうち、各列２Ａの前端部に位置するカーボンナノチューブ４を、図示しない引出具により一括して保持し、基板１の厚み方向と交差する（交わる）方向、好ましくは、前側に向かって引っ張る。

すると、引っ張られたカーボンナノチューブ４は、図２Ｄに示すように、対応する粒状体９Ａから引き抜かれる。このとき、引き抜かれるカーボンナノチューブ４に前後方向に隣接するカーボンナノチューブ４は、引き抜かれるカーボンナノチューブ４との摩擦力およびファンデルワ―ルス力などにより、そのカーボンナノチューブ４の一端（下端）が、引き抜かれるカーボンナノチューブ４の一端（下端）に付着され、対応する粒状体９Ａから引き抜かれる。

このとき、一端（下端）にカーボンナノチューブ４が付着されたカーボンナノチューブ４は、その一端（下端）が引出方向Ｄの下流に引っ張られることにより、カーボンナノチューブ４の他端（上端）が引出方向Ｄの上流に向かうように傾倒し、隣接するカーボンナノチューブ４の他端（上端）に付着する。

次いで、他端（上端）にカーボンナノチューブ４が付着されたカーボンナノチューブ４は、その他端（上端）が引出方向Ｄの下流に引っ張られることにより、その一端（下端）が対応する粒状体９Ａから引き抜かれ、隣接するカーボンナノチューブ４の一端（下端）に付着する。

これによって、複数のカーボンナノチューブ４が、順次連続して、カーボンナノチューブアレイ２から引き出され、複数のカーボンナノチューブ４が直線状に連続的に繋がるカーボンナノチューブ単糸１０を形成する。

より詳しくは、カーボンナノチューブ単糸１０において、連続するカーボンナノチューブ４は、それらカーボンナノチューブ４の一端（下端）同士または他端（上端）同士が付着されており、カーボンナノチューブ単糸１０の延びる方向に沿うように配向されている。

なお、図１および図２Ｄでは、便宜上、カーボンナノチューブ４が１本ずつ連続的に繋がり、カーボンナノチューブ単糸１０を形成するように記載されているが、実際には、複数のカーボンナノチューブ４からなる束（バンドル）が連続的に繋がり、カーボンナノチューブ単糸１０を形成している。

このようなカーボンナノチューブ単糸１０は、撚り合わされていない無撚糸であって、糸形状（線形状）を有している。つまり、カーボンナノチューブ単糸１０の撚り角度は、略０°である。

カーボンナノチューブ単糸１０の外径は、例えば、５ｎｍ以上、好ましくは、８ｎｍ以上、例えば、１００ｎｍ以下、好ましくは、８０ｎｍ以下、さらに好ましくは、５０ｎｍ以下である。

このようなカーボンナノチューブ単糸１０は、図１の拡大図に示すように、各列２Ａのカーボンナノチューブ４が、同時かつ平行に一括して引き出されるため、カーボンナノチューブ単糸１０の延びる方向と交差する（交わる）方向に複数並列配置されている。

具体的には、複数のカーボンナノチューブ単糸１０は、前後方向に延びており、左右方向に並列配置されている。これによって、並列配置される複数のカーボンナノチューブ単糸１０は、略シート形状を有しており、カーボンナノチューブウェブ３として形成される。

つまり、カーボンナノチューブウェブ３は、複数のカーボンナノチューブ単糸１０が並列配置されるように引き出されてなる。

そして、カーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２に接触させる。具体的には、カーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２の周面２２Ａ（表面の一例）に位置するように、初期位置にあるテンションローラ２２の周方向に引き回す。

このとき、カーボンナノチューブウェブ３は、図３Ａに示すように、テンションローラ２２における中心角が、例えば、５°〜１８０°の範囲、好ましくは、１０°〜１５０°の範囲、さらに好ましくは、６０〜１２０°の範囲のテンションローラ２２の周面２２Ａに接触する。

なお、カーボンナノチューブウェブ３におけるテンションローラ２２の周面２２Ａと接触する部分において、その移動方向上流端部（左側面視時計回り方向の上流端部）を、接触上流端部Ｘとする。

カーボンナノチューブウェブ３の接触上流端部Ｘは、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐに対して、前側に間隔を隔てて配置されている。

カーボンナノチューブウェブ３の接触上流端部Ｘと、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐとの前後方向の間の間隔Ｌ３は、例えば、１０ｃｍ以上２０ｃｍ以下である。

また、テンションローラ２２が初期位置にある状態の、引出位置Ｐと接触上流端部Ｘとの間に位置するカーボンナノチューブウェブ３を、基準カーボンナノチューブウェブ３Ａ（図３Ｂおよび図３Ｃの仮想線参照）とする。基準カーボンナノチューブウェブ３Ａ（つまり、複数のカーボンナノチューブ単糸１０）は、上下方向から見て、前後方向に沿うように延びている。

次いで、基板１の左右方向への移動を規制した状態で、テンションローラ２２を、左右方向に往復移動させる。このとき、好ましくは、テンションローラ２２を、左側面視時計回り方向に回転させることにより、カーボンナノチューブアレイ２とテンションローラ２２との間において、カーボンナノチューブウェブ３に張力がかかるように、カーボンナノチューブウェブ３を引っ張る。

すると、カーボンナノチューブウェブ３が、テンションローラ２２の周面２２Ａとカーボンナノチューブウェブ３との摩擦により左右方向に揺動（オシレーション）しながら、カーボンナノチューブアレイ２から連続して引き出される。

つまり、テンションローラ２２は、揺動（左右方向に往復移動）することにより、カーボンナノチューブウェブ３を、カーボンナノチューブウェブ３の幅方向である左右方向（基板１の厚み方向およびカーボンナノチューブウェブ３の引出方向Ｄの両方向と直交方向）に揺動させる。よって、左右方向は、カーボンナノチューブウェブ３の揺動方向の一例である。

なお、テンションローラ２２が第１位置または第２位置にある状態の、引出位置Ｐと接触上流端部Ｘとの間に位置するカーボンナノチューブウェブ３を、揺動カーボンナノチューブウェブ３Ｂ（図３Ｂおよび図３Ｃの実線参照）とする。

揺動カーボンナノチューブウェブ３Ｂのカーボンナノチューブ単糸１０は、前後方向に対して傾斜するように、引出位置Ｐを支点として、基準カーボンナノチューブウェブ３Ａのカーボンナノチューブ単糸１０から揺動している。

基準カーボンナノチューブウェブ３Ａのカーボンナノチューブ単糸１０と、揺動カーボンナノチューブウェブ３Ｂのカーボンナノチューブ単糸１０とがなす揺動角θの角度は、ａｒｃｔａｎ（テンションローラ２２の移動量Ｌ２／接触上流端部Ｘと引出位置Ｐとの間の間隔Ｌ３）であって、例えば、０．０００３°以上、好ましくは、０．０１°以上、さらに好ましくは、０．１°以上、例えば、６°以下、好ましくは、３°以下、さらに好ましくは、１°以下である。

以上によって、カーボンナノチューブウェブ３が、基板１上のカーボンナノチューブアレイ２から、左右方向に揺動されながら連続して引き出される。

カーボンナノチューブウェブ３の引出速度としては、例えば、１０ｍｍ／分以上、好ましくは、１００ｍｍ／分以上、さらに好ましくは、３００ｍｍ／分以上、例えば、１００００ｍｍ／分以下、好ましくは、１０００ｍｍ／分以下、さらに好ましくは、７００ｍｍ／分以下である。

また、カーボンナノチューブウェブ３がカーボンナノチューブアレイ２から引き出されると、図２Ｄに示されるように、複数のカーボンナノチューブ４がカーボンナノチューブアレイ２から引き出されるため、カーボンナノチューブアレイ２は、カーボンナノチューブウェブ３の引き出しに伴なって、基板１から順次剥離される。すると、カーボンナノチューブウェブ３のカーボンナノチューブアレイ２からの引出位置Ｐは、基板１に対して、引出方向Ｄの上流に向かって移動する。

そのため、カーボンナノチューブウェブ３の引出工程において、好ましくは、基板１を、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐにおいて、引出方向Ｄの下流に移動するように搬送して、引出位置Ｐにカーボンナノチューブアレイ２を連続して供給する。

基板１の引出位置Ｐにおける移動速度は、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐが、引出方向Ｄにおいて実質的に同一の位置に維持されるように適宜調整され、例えば、０．５ｍｍ／分以上１．５ｍｍ／分以下である。

そして、引出位置Ｐを通過し、カーボンナノチューブアレイ２が剥離された基板１は、図１に示すように、好ましくは、巻き取られる。より具体的には、巻取軸２５が、引出位置Ｐを通過した基板１を巻き取り回収する。

巻取軸２５は、左右方向に延びる円柱形状を有している。巻取軸２５は、その軸線を中心として回転可能である。巻取軸２５は、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐに対して、下側に間隔を空けて配置されている。

そして、巻取軸２５は、引出位置Ｐを通過した基板１が固定された後、左側面視時計回り方向に回転することにより、基板１に駆動力を供給して、基板１を上記の移動速度で搬送するとともに巻き取る。

なお、基板１は、図示しないが、好ましくは、カーボンナノチューブアレイ２が形成された基板１をロール軸に巻回し、ロール軸から送り出される基板１を、巻取軸２５に巻き取ることにより搬送できる。

また、ロールツーロール方式により、搬送される基板１上に、カーボンナノチューブアレイ２を順次形成することもできる。詳しくは、カーボンナノチューブアレイ２が形成されていない基板１をロール軸に巻回し、基板１をロール軸から巻取軸２５に向かって搬送し、ロール軸と巻取軸２５との間において、搬送される基板１上に、カーボンナノチューブアレイ２を順次形成することもできる。

以上によって、カーボンナノチューブウェブ３が連続して製造されるとともに、カーボンナノチューブアレイ２が剥離された基板１が連続して回収される。

（２）カーボンナノチューブ集合体の製造方法
このようなカーボンナノチューブウェブ３は、各種産業製品、例えば、カーボンナノチューブ撚糸５、カーボンナノチューブ積層シート６（図５Ｂ参照）などに加工される。

第１実施形態では、カーボンナノチューブウェブ３が、カーボンナノチューブ集合体の一例としてのカーボンナノチューブ撚糸５に加工される態様について詳述する。

カーボンナノチューブウェブ３をカーボンナノチューブ撚糸５に加工するには、図１に示すように、テンションローラ２２上に引き回されたカーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２上を通過させるように、テンションローラ２２から引き出す。

そして、カーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２上を通過した後、回転させて、複数のカーボンナノチューブ単糸１０を撚り合わせる（加工工程）。これによって、カーボンナノチューブ撚糸５が製造される。

カーボンナノチューブ撚糸５の外径は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上、例えば、８０μｍ以下、好ましくは、６０μｍ以下、さらに好ましくは、４０μｍ以下である。

また、カーボンナノチューブ撚糸５の嵩密度は、例えば、０．６ｇ／ｃｍ^３以上、好ましくは、０．６ｇ／ｃｍ^３を超過し、さらに好ましくは、０．８ｇ／ｃｍ^３以上、例えば、２．０ｇ／ｃｍ^３以下である。

（３）カーボンナノチューブウェブの製造装置
カーボンナノチューブ撚糸５の製造方法は、例えば、図１に示すように、カーボンナノチューブウェブの製造装置の一例としての紡績装置２０により連続的に実施される。紡績装置２０は、ウェブ製造ユニット２１と、紡績ユニット２３とを備えている。

ウェブ製造ユニット２１は、紡績装置２０の後側部分に配置されており、カーボンナノチューブアレイ２からカーボンナノチューブウェブ３を連続して引き出すように構成されている。

ウェブ製造ユニット２１は、カーボンナノチューブアレイ２が配置される基板１と、図示しない引出具と、上記の巻取軸２５と、上記のテンションローラ２２とを備えている。

基板１は、可撓性を有しており、長尺かつ平帯形状を有している。カーボンナノチューブアレイ２は、基板１上において、前後方向に延びるように配置されている。なお、基板１は、ウェブ製造ユニット２１において、左右方向への移動が規制されている。

巻取軸２５は、基板１の前端部の下側に配置されている。巻取軸２５の周面には、基板１の前端部が固定されている。

テンションローラ２２は、カーボンナノチューブアレイ２の前端部に対して、前側に間隔を空けて配置されている。

紡績ユニット２３は、テンションローラ２２に対して下側に間隔を空けて配置されており、収束部２６と、回収部２４とを備えている。

収束部２６は、テンションローラ２２に対して下側に間隔を空けて配置されており、支持板２７と、１対の軸２８とを備えている。

支持板２７は、左右方向に延びる正面視略矩形形状の板形状を有している。１対の軸２８は、支持板２７の前面において、左右方向に互いに僅かな間隔を隔てて配置されている。軸２８は、前後方向に延びる略円柱形状を有しており、支持板２７に、軸芯周りに相対回転可能に支持されている。

回収部２４は、収束部２６に対して下側に間隔を空けて配置されている。回収部２４は、回転部３０と、糸巻軸２９と、回転軸３１とを備えている。

回転部３０は、上側に向かって開放される正面視略コ字状を有している。糸巻軸２９は、回転部３０の左右両側壁の間に配置されている。糸巻軸２９は、左右方向に延びる略円柱形状を有し、回転部３０の左右両側壁に回転可能に支持されている。

回転軸３１は、回転部３０に対して下側に配置されている。回転軸３１は、上下方向に延びる略円柱形状を有しており、その上端部が、回転部３０の下壁の左右方向中央に固定されている。これによって、回転部３０は、回転軸３１、つまり、上下方向に沿う軸線を回転中心として回転可能である。

このような紡績装置２０では、カーボンナノチューブアレイ２から、図示しない引出具により、各列２Ａのカーボンナノチューブ４を同時かつ平行に、前側に向かって引き出す。これにより、複数のカーボンナノチューブ単糸１０が、左右方向に並列配置される略シート形状のカーボンナノチューブウェブ３として、カーボンナノチューブアレイ２から引き出される。つまり、紡績装置２０は、駆動時において、カーボンナノチューブウェブ３を備えている。

次いで、カーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２の周方向に、テンションローラ２２の上端部から前端部に向かって略１／４周引き回す。その後、カーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２上を通過するように、テンションローラ２２から下側に引き出し、１対の軸２８の間を通過させる。

これによって、カーボンナノチューブウェブ３、つまり、複数のカーボンナノチューブ単糸１０が、線形状（糸形状）に束ねられる。そして、束ねられた複数のカーボンナノチューブ単糸１０の下端部を、回収部２４の糸巻軸２９に固定する。

このとき、カーボンナノチューブウェブ３は、カーボンナノチューブアレイ２とテンションローラ２２との間、および、テンションローラ２２と回収部２４との間のそれぞれにおいて、テンションローラ２２により張力がかけられている。

次いで、テンションローラ２２、巻取軸２５、糸巻軸２９および回転軸３１に駆動力を入力する。すると、テンションローラ２２、巻取軸２５および糸巻軸２９のそれぞれは、左側面視時計回り方向に回転し、回転部３０は、平面視時計回り方向に回転する。

すると、カーボンナノチューブウェブ３が、テンションローラ２２および糸巻軸２９の回転により引っ張られて、上記の引出速度で、カーボンナノチューブアレイ２から引き出され、搬送されるとともに、基板１が、巻取軸２５の回転により、上記の移動速度で搬送される。つまり、テンションローラ２２および糸巻軸２９は、カーボンナノチューブウェブ３を引き出し、搬送する搬送ユニットとして機能する。

これにより、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐが、引出方向Ｄにおいて、同一の位置に維持される。

そして、基板１は、引出位置Ｐにカーボンナノチューブアレイ２を連続して供給し、引出位置Ｐを通過した後、巻取軸２５に巻き取られる。なお、巻取軸２５は、基板１の巻き取りの進行に伴なって、下側に移動するように構成されている。

一方、カーボンナノチューブウェブ３は、引出位置Ｐにおいて、カーボンナノチューブアレイ２から連続して引き出される。

そして、カーボンナノチューブウェブ３は、テンションローラ２２上を通過した後、テンションローラ２２から下側に送り出され、１対の軸２８を通過して収束部２６に束ねられた後、回転軸３１の回転により、平面視時計回り方向に回転し撚り合わされながら、下側に向かって移動し、糸巻軸２９に巻き取られる。

このとき、回転部３０の回転速度（周速度）は、例えば、１０００ｒｐｍ以上、好ましくは、２０００ｒｐｍ以上、例えば、５０００ｒｐｍ以下、好ましくは、４０００ｒｐｍ以下である。

以上によって、カーボンナノチューブウェブ３が連続して製造された後、カーボンナノチューブ撚糸５に加工される。

このようなカーボンナノチューブ撚糸５は、例えば、炭素繊維が用いられる織物（シート）、電気機器（例えば、モータ、トランス、センサーなど）の導電線材など各種産業製品に利用される。

具体的には、カーボンナノチューブ撚糸５は、図１０に示されるように、ウェアラブルセンサ５０に利用される。ウェアラブルセンサ５０は、検知対象者の手の動作（例えば、指の曲げ伸ばし）を検知するように構成されており、装着部５２と、カーボンナノチューブ撚糸５を有するセンサユニット５１と、センサ本体（図示せず）とを備えている。

装着部５２は、伸縮性を有する樹脂材料あるいはニット素材から、手袋状に形成されている。そして、装着部５２は、検知対象者の手に装着可能である。

センサユニット５１は、検知対象者の手指の関節に対応して、複数個備えられている。センサユニット５１は、１対の電極パッド５３と、カーボンナノチューブ撚糸５とを備えている。

１対の電極パッド５３は、装着部５２の各部において、互いに間隔を隔てて配置されている。１対の電極パッド５３のそれぞれは、ウェアラブルセンサ５０が検知対象者の手に装着された状態で、検知対象者の手指と接触するように、装着部５２に設けられている。なお、電極パッド５３は、図示しないが、配線を介して、センサ本体と電気的に接続されている。

カーボンナノチューブ撚糸５は、１対の電極パッド５３の間に架設されており、１対の電極パッド５３を電気的に接続している。

これにより、手を動かすと、指の曲げ伸ばしが、１対の電極パッド５３およびカーボンナノチューブ撚糸５を介して、１対の電極パッド５３間の抵抗変化として配線を介してセンサ本体（図示せず）に検知される。

２．作用効果
［１］カーボンナノチューブウェブ３は、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、左右方向に揺動されながら、前側に向かってカーボンナノチューブアレイ２から引き出される。

しかるに、触媒層９の粒状体９Ａの極大化や、基板１の局所的な汚れなどに起因する触媒層９の濡れ性不良などにより、カーボンナノチューブアレイ２の各部において、密度差が生じる場合がある。

すると、カーボンナノチューブアレイ２の相対的に密度が小さい部分では、互いに隣接するカーボンナノチューブ４の間の間隔が大きくなるため、カーボンナノチューブウェブ３が良好に引き出されず、カーボンナノチューブアレイ２の一部が、基板１から剥離されずに、基板１上に残存する場合がある。

この場合、カーボンナノチューブウェブ３の各部において、均一な密度を確保できず、また、基板１上に残存したカーボンナノチューブアレイ２が、引き出されたカーボンナノチューブウェブ３に付着してしまうなどの不具合がある。

一方、カーボンナノチューブウェブ３が、左右方向に揺動されながら、カーボンナノチューブアレイ２から引き出されると、カーボンナノチューブウェブ３の揺動が、複数のカーボンナノチューブ単糸１０を介して、カーボンナノチューブウェブ３のカーボンナノチューブアレイ２からの引出位置Ｐに作用する。

すると、例え、カーボンナノチューブアレイ２が、局所的に密度が小さい部分を含んでいても、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐにおいて、複数のカーボンナノチューブ４が、周囲、とりわけ、左右方向に隣接するカーボンナノチューブ４と確実に接触する。

これによって、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐにおいて、互いに隣接するカーボンナノチューブ４が相互に近接し合うように作用し、複数のカーボンナノチューブ４をカーボンナノチューブアレイ２から安定して引き出すことができる。

そのため、カーボンナノチューブウェブ３の均一化を図ることができるとともに、基板１上にカーボンナノチューブアレイ２が残存することを抑制でき、カーボンナノチューブウェブ３の生産効率の向上を図ることができる。

［２］また、カーボンナノチューブウェブ３を、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、テンションローラ２２に接触させた後、テンションローラ２２を左右方向に揺動させる。これにより、カーボンナノチューブウェブ３を安定して確実に揺動させることができる。

［３］また、テンションローラ２２は、円柱形状を有するローラである。そのため、図３Ａに示すように、カーボンナノチューブウェブ３を、テンションローラ２２の周面に沿うように接触させることができる。

その結果、カーボンナノチューブウェブ３と、テンションローラ２２との接触面積の向上を図ることができる。これによって、カーボンナノチューブウェブ３がテンションローラ２２に接触した状態で、テンションローラ２２が揺動しても、テンションローラ２２上のカーボンナノチューブウェブ３が移動することを確実に抑制できる。

［４］カーボンナノチューブウェブ３は、図１に示すように、加工されることなく、テンションローラ２２上を通過した後、加工される。

つまり、カーボンナノチューブウェブ３おける複数のカーボンナノチューブ単糸１０は、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐとテンションローラ２２との間において、カーボンナノチューブ単糸１０の延びる方向と交差する（交わる）方向に並列配置される状態が、実質的に維持されている。

そして、カーボンナノチューブウェブ３は、テンションローラ２２上を通過した後、加工されるので、その加工に起因する力が、カーボンナノチューブウェブ３の引出位置Ｐに作用することを、テンションローラ２２により抑制できる。その結果、カーボンナノチューブウェブ３の安定した引き出しを確保できる。

［５］カーボンナノチューブウェブ３は、図１に示すように、撚り合わせるという簡易な方法により、円滑にカーボンナノチューブ撚糸５に加工される。そのため、カーボンナノチューブ撚糸５の生産性の向上を図ることができる。

［６］紡績装置２０では、図１に示すように、カーボンナノチューブウェブ３と接触するテンションローラ２２が、左右方向に往復移動するとともに、糸巻軸２９がカーボンナノチューブウェブ３を引っ張る。

これによって、カーボンナノチューブウェブ３が、テンションローラ２２の移動方向に揺動されながら、カーボンナノチューブアレイ２から連続して引き出される。

そのため、均一化されたカーボンナノチューブウェブ３が連続して製造できるとともに、基板１上にカーボンナノチューブアレイ２が残存することを抑制でき、カーボンナノチューブウェブ３の生産効率の向上を図ることができる。

３．第２実施形態
次に、図４Ａ〜図４Ｃを参照して、本発明の第２実施形態について説明する。なお、第２実施形態では、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第１実施形態では、図１に示すように、基板１が、長尺かつ平帯形状を有し、カーボンナノチューブウェブ３の引出工程において、引出位置Ｐを通過後に、巻取軸２５により巻き取られているが、これに限定されず、第２実施形態では、基板１は、カーボンナノチューブウェブ３の引出工程において、巻き取られなくてもよい。

この場合、基板１の形状は、特に制限されず、基板１は、可撓性を有していなくてもよい。

また、第１実施形態では、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、カーボンナノチューブウェブ３の引出工程において、基板１が左右方向への移動が規制され、テンションローラ２２が、左右方向に往復移動されるが、これに限定されず、第２実施形態では、図４Ｂおよび図４Ｃに示すように、カーボンナノチューブウェブ３の引出工程において、テンションローラ２２が左右方向への移動が規制され、基板１が左右方向に往復移動される。

詳しくは、基板１は、相対的に最も左側に位置する第１位置（図４Ｂの実線参照）と、相対的に最も右側に位置する第２位置（図４Ｃの実線参照）との間を、上記の移動量Ｌ２かつ移動速度で往復するように連続して移動する。

つまり、カーボンナノチューブウェブ３を引き出す工程において、カーボンナノチューブウェブ３がテンションローラ２２に接触した状態で、基板１を左右方向に揺動させる。

これによっても、カーボンナノチューブウェブ３を安定して確実に揺動させることができる。

このような第２実施形態に係る紡績装置２０は、ウェブ製造ユニット２１と、紡績ユニット２３とを備えている。ウェブ製造ユニット２１は、カーボンナノチューブアレイ２を支持する基板１と、図示しない引出具と、テンションローラ２２とを備えている。

基板１は、上記のように、その形状が特に制限されず、左右方向に往復移動可能（揺動可能）である。テンションローラ２２は、ウェブ製造ユニット２１において、左右方向の移動が規制されている。

そして、紡績装置２０では、カーボンナノチューブウェブ３がテンションローラ２２に接触した状態で、基板１が左右方向に往復移動するとともに、糸巻軸２９およびテンションローラ２２が、カーボンナノチューブウェブ３を搬送する。

そのため、カーボンナノチューブウェブ３が、左右方向に揺動されながら、カーボンナノチューブアレイ２から連続して引き出される。

その結果、均一化されたカーボンナノチューブウェブ３が連続して製造できるとともに、基板１上にカーボンナノチューブアレイ２が残存することを抑制でき、カーボンナノチューブウェブ３の生産効率の向上を図ることができる。

このような第２実施形態によっても、上記の第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

４．第３実施形態
次に、図５Ａおよび図５Ｂを参照して、本発明の第３実施形態について説明する。なお、第３実施形態では、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第１実施形態では、図１に示すように、カーボンナノチューブウェブ３がカーボンナノチューブ撚糸５に加工されるが、第３実施形態では、カーボンナノチューブウェブ３が、図５Ｂに示すように、カーボンナノチューブ集合体の一例としてのカーボンナノチューブ積層シート６に加工される。

カーボンナノチューブウェブ３を、カーボンナノチューブ積層シート６に加工するには、図５Ａに示すように、まず、搬送部材の一例としての巻回軸３４を準備する。

巻回軸３４は、左右方向に延びる円柱形状を有している。巻回軸３４は、テンションローラ２２よりも、カーボンナノチューブウェブ３の搬送方向の下流側に配置されている。

そして、カーボンナノチューブウェブ３を、左右方向に揺動させながら、カーボンナノチューブアレイ２から引き出した後、テンションローラ２２上を通過させ、次いで、カーボンナノチューブウェブ３の前端部（遊端部）を、巻回軸３４の周面に固定する。その後、巻回軸３４を左側面視時計回り方向に回転させる。

すると、カーボンナノチューブウェブ３が、上記の引出速度で、カーボンナノチューブアレイ２から引き出されるとともに搬送される。その後、カーボンナノチューブウェブ３は、巻回軸３４の周面に順次巻き付けられる。

次いで、巻回軸３４に巻き付けられたカーボンナノチューブウェブ３を、切断刃（例えば、剃刀、カッター刃など）により、左右方向に切断し、巻回軸３４から離脱させる。

これによって、図５Ｂに示すように、シート形状を有するカーボンナノチューブ積層シート６が製造される。

カーボンナノチューブ積層シート６は、厚み方向に、複数のカーボンナノチューブウェブ３が積層されている。カーボンナノチューブウェブ３の積層数は、例えば、５層以上、好ましくは、１０層以上、例えば、１０００層以下、好ましくは、５００層以下である。

また、カーボンナノチューブ積層シート６の厚みは、例えば、０．０１μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、２００μｍ以下である。

このようなカーボンナノチューブ積層シート６は、図５Ａに示すように、シート製造装置３３により連続的に製造することができる。なお、シート製造装置３３は、紡績ユニット２３に代えて、巻回軸３４を備える点以外は、紡績装置２０と同様である。すなわち、シート製造装置３３は、ウェブ製造ユニット２１と、巻回軸３４とを備えている。巻回軸３４は、テンションローラ２２に対して下側に間隔を空けて配置されている。

このような第３実施形態によれば、カーボンナノチューブウェブ３を巻回軸３４に複数周巻き付け、切断するという簡易な方法により、カーボンナノチューブウェブ３を円滑に加工でき、複数のカーボンナノチューブウェブ３が積層されるカーボンナノチューブ積層シート６を製造できる。そのため、カーボンナノチューブ積層シート６の生産性の向上を図ることができる。

このような第３実施形態によっても、上記の第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

５．第４実施形態
次に、図６を参照して、本発明の第４実施形態について説明する。なお、第４実施形態では、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

第４実施形態では、図６に示すように、カーボンナノチューブウェブ３が、テンションローラ２２上を通過した後、揮発性の液体に浸漬される。

揮発性の液体として、例えば、水、有機溶媒などが挙げられ、好ましくは、有機溶媒が挙げられる。有機溶媒として、例えば、低級（Ｃ１〜３）アルコール類（例えば、メタノール、エタノール、プロパノールなど）、ケトン類（例えば、アセトンなど）、エーテル類（例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなど）、アルキルエステル類（例えば、酢酸エチルなど）、ハロゲン化脂肪族炭化水素類（例えば、クロロホルム、ジクロロメタンなど）、極性非プロトン類（例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミドなど）などが挙げられる。

このような揮発性の液体のなかでは、好ましくは、低級アルコール類、さらに好ましくは、エタノールが挙げられる。このような揮発性の液体は、単独使用または２種類以上併用することができる。

なお、揮発性の液体には、微粒子を分散することができ、また、樹脂材料を溶解することもできる。

微粒子としては、例えば、有機微粒子（例えば、シリコーン微粒子、アクリル微粒子、ウレタン微粒子など）、無機微粒子（例えば、シリカ、酸化チタン、炭酸カルシウムなど）、金属微粒子（例えば、金微粒子、銀微粒子、銅微粒子など）、炭素微粒子（例えば、カーボンブラックなど）などが挙げられる。

樹脂材料としては、例えば、熱可塑性樹脂（例えば、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、フッ素樹脂など）、熱硬化樹脂（例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂など）などが挙げられる。

このような場合、紡績装置２０は、テンションローラ２２と、収束部２６との間において、浸漬部４０を備えている。

浸漬部４０は、浸漬槽４１と、複数の軸部材４２とを備えている。浸漬槽４１は、上側に向かって開放される略ボックス形状を有しており、その内部に、上記の揮発性の液体が貯留されている。

複数の軸部材４２は、カーボンナノチューブウェブ３が、浸漬槽４１内の揮発性の液体に浸漬されるように配置されている。

このような第４実施形態によれば、カーボンナノチューブウェブ３が、テンションローラ２２上を通過した後、カーボンナノチューブウェブ３が揮発性の液体に浸漬される。そして、揮発性の液体が気化することにより、各カーボンナノチューブ単糸１０において、複数のカーボンナノチューブ４が互いに凝集するとともに、複数のカーボンナノチューブ単糸１０が互いに凝集する。その結果、カーボンナノチューブウェブ３の密度の向上を図ることができる。

また、このような第４実施形態によっても、上記の第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

なお、シート製造装置３３が、浸漬部４０を備えることもできる。

６．変形例
第１実施形態〜第４実施形態では、テンションローラ２２の周面２２Ａは、凹凸がない平滑面であるが、好ましくは、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、凹凸形状を有する。

具体的には、テンションローラ２２の周面２２Ａに、複数の突起４５が設けられることにより、テンションローラ２２の周面２２Ａが、凹凸形状に形成されている。

複数の突起４５は、テンションローラ２２の周面２２Ａのうち、カーボンナノチューブウェブ３が配置される部分に対応して配置される。

例えば、複数の突起４５は、図７Ａに示すように、カーボンナノチューブウェブ３の左右方向全体に対応するように、テンションローラ２２の周面２２Ａのうち、左右両端部を除く部分（左端部と右端部との間の部分）に、全周にわたって一様に配置される。

この場合、複数の突起４５は、複数の突起４５がテンションローラ２２の周方向に並ぶ列４５Ａを、左右方向に間隔を空けて複数含んでいる。

複数の列４５Ａの間の間隔は、テンションローラ２２の移動量Ｌ２に対して、例えば、１／１００以上１／１０以下である。

また、複数の突起４５は、図７Ｂに示すように、カーボンナノチューブウェブ３の左右両端に対応するように、複数の突起４５が、列４５Ａを左右方向に間隔を空けて１対のみ含むこともできる。

複数の突起４５のそれぞれは、テンションローラ２２の周面２２Ａから径方向の外側に向かって突出しており、略半球形状を有している。突起４５の高さは、例えば、０．５ｍｍ以上１ｍｍ未満である。

このようにテンションローラ２２の周面２２Ａに複数の突起４５が設けられていると、テンションローラ２２の周面２２Ａ上に、カーボンナノチューブウェブ３が配置されたときに、複数の突起４５が、カーボンナノチューブウェブ３における複数のカーボンナノチューブ単糸１０の間に入り込む。

これにより、テンションローラ２２または基板１が揺動しても、テンションローラ２２上のカーボンナノチューブウェブ３が横滑りすることを抑制できる。そのため、カーボンナノチューブウェブ３の均一性を確実に確保できる。

また、テンションローラ２２の周面２２Ａは、図７Ｃに示すように、カーボンナノチューブウェブ３が配置される部分において、傾斜面４６を有していてもよい。

傾斜面４６は、テンションローラ２２の周面２２Ａのうち、左右両端部を除く部分（左端部と右端部との間の部分）に全周にわたって配置される。傾斜面４６は、テンションローラ２２の左右方向中央に向かうにつれて、テンションローラ２２の径方向外側に傾斜している。つまり、傾斜面４６は、左右方向内側に向かうにつれて、カーボンナノチューブウェブ３との接触方向外側に向かうように傾斜している。これにより、テンションローラ２２は、左右方向中央部から、左右方向外側に向かうにつれて小径となるテーパ形状を有している。

しかるに、カーボンナノチューブウェブ３がテンションローラ２２に接触した状態で、テンションローラ２２または基板１が揺動すると、カーボンナノチューブウェブ３が、揺動のより拘束される左右方向の内側に集まる場合がある。

しかし、本変形例では、テンションローラ２２が傾斜面４６を有しているので、テンションローラ２２または基板１が揺動したときに、カーボンナノチューブウェブ３が、テンションローラ２２の左右方向中央に向かって集まることを抑制できる。

また、テンションローラ２２の周面２２Ａに、図７Ｄおよび図７Ｅに示すように、カーボンナノチューブウェブ３との接触面積を適宜調整できる調整部材を設けることができる。

例えば、テンションローラ２２の周面２２Ａに、調整部材の一例としての複数の突条４７を設けることができる。

複数の突条４７は、カーボンナノチューブウェブ３の左右方向全体に対応するように、テンションローラ２２の周面２２Ａのうち、左右両端部を除く部分（左端部と右端部との間の部分）に、全周にわたって配置される。

複数の突条４７のそれぞれは、図７Ｄに示すように、テンションローラ２２の周面２２Ａから径方向の外側に向かって突出しており、側面視略円弧形状を有している。また、複数の突条４７は、左右方向に沿って延び、テンションローラ２２の周方向に互いに間隔を空けて配置されている。

これにより、テンションローラ２２の周面２２Ａに、カーボンナノチューブウェブ３が引き回されたときに、テンションローラ２２と、カーボンナノチューブウェブ３との接触面積を適宜調整でき、カーボンナノチューブウェブ３がテンションローラ２２に固着してしまうことを抑制できる。

また、第１実施形態〜第４実施形態において、テンションローラ２２は、接触部材の一例であるが、接触部材はこれに限定されない。例えば、接触部材は、板状の部材であってもよい。

また、第１実施形態〜第４実施形態では、カーボンナノチューブウェブ３の引出工程において、カーボンナノチューブウェブ３は、テンションローラ２２に接触され、テンションローラ２２が左右方向に往復移動することにより、左右方向に揺動されるが、これに限定されない。

例えば、カーボンナノチューブアレイ２のカーボンナノチューブ４を、図示しない引出具により保持し、図示しない引出具を左右方向に往復移動させながら、前側に向かって引っ張ることによっても、カーボンナノチューブウェブ３を左右方向に揺動させながら、カーボンナノチューブアレイ２から引き出せる。

また、第１実施形態〜第４実施形態では、引出工程において、テンションローラ２２が左右方向に往復移動され、カーボンナノチューブウェブ３が、左右方向に揺動するが、カーボンナノチューブウェブ３の揺動方向は、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、基板１の厚み方向およびカーボンナノチューブウェブ３の引出方向Ｄの両方向と交差すれば（交われば）、特に制限されない。

つまり、カーボンナノチューブウェブ３の揺動方向は、少なくとも左右方向へのベクトル成分を含んでいる。

例えば、図８Ａに示すように、テンションローラ２２が、右前側と左後側とを結ぶ方向に往復移動して、カーボンナノチューブウェブ３が、右前側と左後側とを結ぶ方向に揺動する場合、カーボンナノチューブウェブ３の揺動方向Ｓ１（詳しくは、カーボンナノチューブウェブ３の揺動によるベクトル）は、左右方向に沿うベクトル成分Ｖ１と、前後方向に沿うベクトル成分Ｖ２とに分解されるため、この揺動方向Ｓ１は、左右方向に沿うベクトル成分Ｖ１を含んでいる。

また、図８Ｂに示すように、テンションローラ２２が、右上側と左下側とを結ぶ方向に往復移動して、カーボンナノチューブウェブ３が、右上側と左下側とを結ぶ方向に揺動する場合、カーボンナノチューブウェブ３の揺動方向Ｓ２（詳しくは、カーボンナノチューブウェブ３の揺動によるベクトル）は、左右方向に沿うベクトル成分Ｖ１と、上下方向に沿うベクトル成分Ｖ２とに分解されるため、この揺動方向Ｓ２は、左右方向に沿うベクトル成分Ｖ１を含んでいる。

このようなカーボンナノチューブウェブ３の揺動方向として、具体的には、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、左右方向（基板１の厚み方向およびカーボンナノチューブウェブ３の引出方向Ｄの両方向と直交する方向）、右上側と左下側とを結ぶ方向、左上側と右下側とを結ぶ方向、右後側と左前側とを結ぶ方向、左後側と前右側とを結ぶ方向などが挙げられる。

また、第１実施形態では、図１に示すように、紡績装置２０が、ウェブ製造ユニット２１および紡績ユニット２３を有し、カーボンナノチューブウェブ３のカーボンナノチューブアレイ２からの引き出しと、カーボンナノチューブウェブ３のカーボンナノチューブ撚糸５への加工とを連続して実施しているが、これに限定されない。

カーボンナノチューブウェブ３のカーボンナノチューブアレイ２からの引き出しと、カーボンナノチューブウェブ３の加工（紡績）とを別工程で実施してもよい。

例えば、図５Ａに示すように、カーボンナノチューブアレイ２から引き出されたカーボンナノチューブウェブ３を、巻回軸３４に巻回した後、巻回軸３４から引き出したカーボンナノチューブウェブ３を、別途加工してもよい。

また、第１実施形態では、図１に示すように、カーボンナノチューブウェブ３をカーボンナノチューブ撚糸５に加工するが、これに限定されず、カーボンナノチューブウェブ３を、カーボンナノチューブ集合体の一例としてのカーボンナノチューブ無撚糸に加工することもできる。

この場合、例えば、特開２０１４−１６９５２１号公報に記載の方法などにより、カーボンナノチューブウェブ３（複数のカーボンナノチューブ単糸１０）を穴部を有するダイに通過させる。

これら変形例によっても、上記の第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

これら第１実施形態〜第４実施形態および変形例は、適宜組み合わせることができる。

以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、それらに限定されない。以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限値(「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。

実施例１
ステンレス製の基板（ステンレス基板）に二酸化ケイ素膜を積層した後、二酸化ケイ素膜上に、触媒層として鉄を蒸着した。なお、基板は、長尺かつ平帯形状を有しており、基板の長尺方向（縦方向）の長さは、１０ｍ、基板の幅方向（横方向）の長さは、２０ｍｍである。また、基板の厚みは、５０μｍである。

次いで、基板を所定の温度に加熱して、触媒層に原料ガス（アセチレンガス）を供給した。これにより、基板上において、平面視略矩形形状のカーボンナノチューブアレイを形成した（調製工程）。

カーボンナノチューブアレイにおいて、複数のカーボンナノチューブは、互いに略平行となるように延び、基板に対して直交するように配向（垂直配向）されていた。カーボンナノチューブは、多層カーボンナノチューブであり、カーボンナノチューブの平均外径は、約１２ｎｍ、カーボンナノチューブの平均長さは、約３００μｍ、カーボンナノチューブアレイの嵩密度は、約４０ｍｇ／ｃｍ^３であった。

次いで、カーボンナノチューブアレイの前端部に配置される複数のカーボンナノチューブを、引出具により、全幅にわたって一括して保持し、前側に向かって引っ張った。

これによって、基板上のカーボンナノチューブアレイから、カーボンナノチューブウェブが引き出された。なお、カーボンナノチューブウェブにおいて、複数のカーボンナノチューブ単糸が、左右方向に並列配置されていた。カーボンナノチューブ単糸の平均径は、約６０ｎｍ〜８０ｎｍであった。

次いで、カーボンナノチューブウェブを前側に移動させて、周面に凹凸形状を有するテンションローラの周面に、左側面視時計回り方向に引き回した。このとき、カーボンナノチューブウェブは、テンションローラにおける中心角が、９０°の範囲の周面上に配置された。

カーボンナノチューブウェブの接触上流端部と、カーボンナノチューブウェブの引出位置との間の間隔は、１５ｃｍであった。

次いで、テンションローラを、左側面視時計回り方向に回転させるとともに、１００ｍｍ／分の速度で左右方向に往復移動（揺動）させた。なお、テンションローラの移動量は、左右両側にそれぞれ１ｍｍずつであり、テンションローラの往復回数は、２５回／分であった。

これにより、カーボンナノチューブウェブを、左右方向に揺動させながら、５００ｍｍ／分の速度で引き出した。（引出工程）。

このとき、カーボンナノチューブアレイの全てが、カーボンナノチューブウェブとして、基板から剥離されたことが、目視により確認された。

比較例１
引出工程において、テンションローラを揺動させず、カーボンナノチューブウェブを揺動させずに引き出したこと以外は、実施例１と同様にして、カーボンナノチューブウェブを調製した。

なお、引出工程において、カーボンナノチューブアレイの一部が、基板上に残存したことが、目視により確認された。

１ 基板
２ カーボンナノチューブアレイ
３ カーボンナノチューブウェブ
４ カーボンナノチューブ
５ カーボンナノチューブ撚糸
６ カーボンナノチューブ積層シート
１０ カーボンナノチューブ単糸
２０ 紡績装置
２２ テンションローラ
２２Ａ テンションローラの周面
３３ シート製造装置
３４ 巻回軸

Claims (11)

1. 基板上に配置され、前記基板に対して垂直に配向される複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイを準備する工程と、
   前記カーボンナノチューブアレイから、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されるように引き出されてなるカーボンナノチューブウェブを引き出す工程と、を含み、
   前記複数のカーボンナノチューブ単糸のそれぞれは、複数のカーボンナノチューブが直線状に連続的に繋がって形成され、前記カーボンナノチューブウェブにおいて、前記複数のカーボンナノチューブ単糸は、前記カーボンナノチューブ単糸の延びる方向と交差する方向に並列配置され、
   前記カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、
   前記カーボンナノチューブウェブを、前記基板の厚み方向および前記カーボンナノチューブウェブの引出方向の両方向と交わる方向に揺動させることを特徴とする、カーボンナノチューブウェブの製造方法。
2. 前記カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、
   前記カーボンナノチューブウェブを、接触部材に接触させ、
   前記接触部材を揺動させることにより、前記カーボンナノチューブウェブを揺動させることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法。
3. 前記カーボンナノチューブウェブを引き出す工程において、
   前記カーボンナノチューブウェブを、接触部材に接触させ、
   前記基板を揺動させることにより、前記カーボンナノチューブウェブを揺動させることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法。
4. 前記接触部材における、前記カーボンナノチューブウェブと接触する表面は、凹凸形状を有していることを特徴とする、請求項２または３に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法。
5. 前記接触部材における、前記カーボンナノチューブウェブとの接触部分は、前記揺動方向の内側に向かうにつれて、前記カーボンナノチューブウェブとの接触方向外側に向かって傾斜する傾斜面を有していることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法。
6. 前記接触部材は、円柱形状を有するローラであることを特徴とする、請求項２〜５のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法。
7. 請求項２〜６のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブウェブの製造方法により製造されるカーボンナノチューブウェブを、前記接触部材上を通過させた後、加工する工程を含んでいることを特徴とする、カーボンナノチューブ集合体の製造方法。
8. 前記カーボンナノチューブウェブを加工する工程において、前記カーボンナノチューブウェブを撚り合わせて撚糸とすることを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
9. 前記カーボンナノチューブウェブを加工する工程は、
   円柱形状を有する巻回軸を準備する工程と、
   前記カーボンナノチューブウェブを、前記巻回軸の周面に複数周巻き付ける工程と、
   前記巻回軸の周面に複数周巻き付けられた前記カーボンナノチューブウェブを、前記巻回軸の軸線方向に切断して、シート形状に形成する工程と、を含むことを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
10. 前記カーボンナノチューブウェブを加工する工程において、前記カーボンナノチューブウェブを、揮発性の液体に浸漬することを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
11. 垂直に配向される複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイが配置される基板と、
    前記カーボンナノチューブアレイから、複数のカーボンナノチューブ単糸が並列配置されるように引き出されてなるカーボンナノチューブウェブと、
    前記基板に対して、前記カーボンナノチューブウェブの引き出し方向の下流に配置される接触部材と、を備え、
    前記複数のカーボンナノチューブ単糸のそれぞれは、複数のカーボンナノチューブが直線状に連続的に繋がって形成され、前記カーボンナノチューブウェブにおいて、前記複数のカーボンナノチューブ単糸は、前記カーボンナノチューブ単糸の延びる方向と交差する方向に並列配置され、
    前記接触部材または前記基板は、前記基板の厚み方向および前記カーボンナノチューブウェブの引出方向の両方向と交わる方向に揺動可能であることを特徴とする、カーボンナノチューブウェブの製造装置。

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