JP6603955B2 - スローアウェイチップ - Google Patents

Description

本発明は、スローアウェイチップに関し、より特定的には、ダイヤモンドを含む刃部を備えるスローアウェイチップに関する。

スローアウェイチップには、切削時の切屑処理性を高めるために、ブレーカ溝やブレーカ壁などのチップブレーカが形成されている。

たとえば、特開平４−２１７４０４（特許文献１）、特開平４−２１７４０５（特許文献２）及び特開平４−２１７４０６（特許文献３）には、チップブレーカの表面粗さを規定することにより、切屑を渦巻き状にカールさせる技術が開示されている。

特開平４−２１７４０４ 特開平４−２１７４０５ 特開平４−２１７４０６

特許文献１〜３では、チップブレーカを放電加工あるいは研磨加工により形成するため、チップブレーカの形状は単純な溝状の形状となる。このため、加工条件によっては、切屑を渦巻き状にカールさせることができず、所望の切屑処理性を得ることができない。また、チップブレーカを放電加工で形成した場合、チップブレーカの刃部のすくい面が放電加工面となるため、刃部の切れ刃をシャープに形成することができない。したがって、特許文献１〜３に開示されたスローアウェイチップを用いた場合、被削材の仕上げ面粗さが悪化するという問題があった。

また、スローアウェイチップの強度と耐摩耗性の向上のために、刃部にダイヤモンドを用いる。しかし、ダイヤモンドは高硬度であるため、加工が難しく、切屑処理性に優れたチップブレーカを形成することが困難であるという問題がある。

そこで、本目的は、ダイヤモンドを含む刃部を備え、切屑処理性の優れたスローアウェイチップを提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るスローアウェイチップは、本体と、前記本体に設けられた、切れ刃を有する刃部とを備え、前記刃部は、ダイヤモンドを８０体積％以上含み、前記刃部は、前記切れ刃に沿って延在するランド面と、前記ランド面から見て前記切れ刃と反対側に位置する凹部を有するチップブレーカとを含み、前記凹部の側面は、前記ランド面からの距離の大きさに伴って連続的に後退する、回転体形状の側面の一部と同一形状のすくい面を有する。

上記態様によれば、ダイヤモンドを含む刃部を備え、切屑処理性の優れたスローアウェイチップを提供することが可能となる。

本発明の一態様にかかるスローアウェイチップの代表的な構成例を説明する図である。 図１に示すスローアウェイチップの刃部の拡大図である。 図１に示すスローアウェイチップの刃部の上面図である。 図３のＡ−Ａ’線における断面図である。 図３のＢ−Ｂ’線における断面図である。

［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。

本発明の一態様に係るスローアウェイチップは、（１）本体と、前記本体に設けられた、切れ刃を有する刃部とを備え、前記刃部は、ダイヤモンドを８０体積％以上含み、前記刃部は、前記切れ刃に沿って延在するランド面と、前記ランド面から見て前記切れ刃と反対側に位置する凹部を有するチップブレーカとを含み、前記凹部の側面は、前記ランド面からの距離の大きさに伴って連続的に後退する、回転体形状の側面の一部と同一形状の傾斜面を有する、スローアウェイチップである。

本発明の一態様に係るスローアウェイチップは、刃部が凹部を有するチップブレーカを含み、凹部の側面が、ランド面からの距離の大きさに伴って連続的に後退する、回転体形状の側面の一部と同一形状のすくい面を有することにより、被削材の切削時に、切屑がチップブレーカのすくい面に沿ってすくい面の底部に向かって流出するため、切屑に大きな歪を与えることができる。したがって、本発明の一態様に係るスローアウェイチップは、様々な切削条件下において、優れた切屑処理性を発揮することが可能となる。また、本発明の一態様に係るスローアウェイチップは、刃部がダイヤモンドを８０体積％以上含むため、刃部の強度および耐摩耗性が優れている。

（２）前記ランド面に対する前記すくい面の傾斜角は１５°以上５０°以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に切屑がすくい面に沿って流出しやすいため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。さらに、刃部の刃先の強度を維持することができるため、スローアウェイチップの工具寿命も長くなる。本明細書において、ランド面に対するすくい面の傾斜角とは、ランド面を凹部の上部まで延長した場合に想定される面（以下、「凹部の天面」ともいう）と、すくい面とのなす角のうち、鋭角のものを意味する。

（３）前記ランド面は、前記切れ刃に対して垂直方向の幅が、１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に切屑がランド面に乗り上げることを防止できるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。さらに、刃部の刃先の強度を維持することができるため、スローアウェイチップの工具寿命も長くなる。ここで、切れ刃に対して垂直方向とは、切れ刃に対して垂直、かつ、ランド面上に位置する直線に沿う方向を意味する。なお、切れ刃が曲線の場合は、曲線の接線に対して垂直で、かつ、ランド面上に位置する直線に沿う方向を意味する。

（４）前記凹部は、最大深さが６０μｍ以上３００μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に切屑に効果的に歪を与えることができるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

（５）前記凹部は、前記切れ刃に対して垂直方向の幅が、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、刃部の上面に乗り上げることなく、チップブレーカの凹部のすくい面の後端から刃部の上面に向かって立ち上がる傾斜面（以下、「ブレーカ壁面」ともいう）に衝突し、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

（６）前記刃部はコーナを有し、前記凹部は、前記凹部の側面に、前記コーナ角の二等分線に沿って形成された凸部を有し、前記凸部の高さは、前記凹部の最大深さに対して２０％以上８０％以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、凸部に乗り上げることなく凸部に衝突し、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

（７）前記凸部は、前記コーナ角の二等分線を法線とする断面で見た場合に、前記凹部の深さ方向に伴って幅が広がる断面形状を有し、前記断面形状の幅方向の最小値は、５μｍ以上４０μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、凸部に乗り上げることなく凸部に衝突し、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

（８）前記凸部は、前記コーナ角の二等分線に沿う方向の長さが、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、凸部に衝突しやすく、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

（９）前記ランド面の表面粗さは、０．０５μｍ以上０．２μｍ以下の範囲であり、前記すくい面の表面粗さは、２μｍ以上７μｍ以下の範囲であることが好ましい。ランド面の表面粗さを０．０５μｍ以上０．２μｍ以下の範囲とすることで、刃部の切れ刃をシャープに形成することができるため、被削材の仕上げ面粗さが良好となる。また、すくい面の表面粗さを２μｍ以上７μｍ以下の範囲とすることで、切削時に流出した切屑が、すくい面の表面を擦過する際の抵抗が増大するため、切屑がカールしやすくなり、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

（１０）前記ダイヤモンドは、気相合成法により合成された単結晶ダイヤモンドであることが好ましい。単結晶ダイヤモンドは強度および耐摩耗性に優れているため、スローアウェイチップは優れた耐摩耗性および刃先の鋭利さ（刃立性）を有することができる。

（１１）前記単結晶ダイヤモンドは、波長が１９０ｎｍ以上１１０００ｎｍ以下のレーザ光に対する吸収係数が２ｃｍ^−１以上９０ｃｍ^−１以下の範囲であることが好ましい。単結晶ダイヤモンドの吸収係数が２ｃｍ^−１以上９０ｃｍ^−１以下の範囲であると、単結晶ダイヤモンドがレーザ光を吸収しやすい。したがって、単結晶ダイヤモンドのレーザ加工が容易であり、刃部に所望の形状のチップブレーカを形成することができ、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態にかかるスローアウェイチップの具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

図１は、本発明の一実施形態のスローアウェイチップ１の斜視図である。図２は、図１に示すスローアウェイチップ１の刃部３の拡大斜視図である。図３は、図１に示すスローアウェイチップ１の刃部３の拡大上面図である。図４は、図３のＡ−Ａ’線における断面図である。図５は、図３のＢ−Ｂ’線における断面図である。

図１を参照して、本実施形態のスローアウェイチップ１は、本体２と、本体２に設けられた刃部３とを備える。図１のスローアウェイチップ１は、平面視形状が平行四辺形であるが、形状は特に限定されない。図１のスローアウェイチップでは、本体２の複数のコーナのうち、１つのコーナに刃部３が設けられているが、２つ以上のコーナに刃部３を設けてもよい。本体２の材質は、たとえば鋼や超硬合金を用いることができる。本体２の上面のコーナには、刃部３を固着するための切欠き部が形成されている。切欠き部は、コーナの上方および側方を開口させて形成されている。切欠き部は、上面視形状が三角形の底面と、底面から垂直に立ち上がる側壁を有している。

本体２の切欠き部には、刃部３が固着されている。刃部３は、上面視形状が切欠き部の底面と同一の略三角形の上面３１と、上面３１に対向する上面３１と同一形状の底面と、上面３１の外周と底面３１の外周とをつなぐ側面３２とを有する。側面３２のうち、本体のコーナの上方に位置する面は、スローアウェイチップの逃げ面３３を構成する。

刃部３の上面３１の外周を構成する辺のうち、刃部３の上面３１と側面３２とが交差した位置の稜線によって形成された辺は、切れ刃４を構成する。

刃部３には、チップブレーカ９が、刃部３の上面３１と側面３２とが交差した位置の稜線に沿って延在して形成されている。チップブレーカ９は、切れ刃４に沿って形成された凹部７を含む。

刃部３は、ダイヤモンドを８０体積％以上含む。ダイヤモンドは強度および耐摩耗性に優れているため、ダイヤモンドを含む刃部は、強度および耐摩耗性が優れ、チップブレーカの工具寿命を向上させることができる。刃部３のダイヤモンドの含有量は、９０体積％以上が好ましく９５体積％以上がさらに好ましい。

ダイヤモンドとしては、ダイヤモンド粉末を焼結させたダイヤモンド焼結体や、気相合成法（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｎｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）により合成された単結晶ダイヤモンドを用いることができる。ダイヤモンド焼結体を刃部３に用いると、特に非鉄金属の加工において、刃部は優れた耐摩耗性を有し、良好な仕上げ面を得ることができる。一方、気相合成法により合成された単結晶ダイヤモンドを刃部３に用いると、刃部は優れた耐摩耗性および刃先の鋭利さ（刃立性）を有することができる。

単結晶ダイヤモンドは、レーザ波長が１９０ｎｍ以上１１０００ｎｍ以下の波長領域において、吸収係数が２ｃｍ^−１以上９０ｃｍ^−１以下の範囲であることが好ましい。単結晶ダイヤモンドの吸収係数が前記の範囲であると、レーザ光を吸収しやすいため、刃部３のレーザ加工が容易である。したがって、刃部３の外形を所望の形状に加工したり、刃部３にチップブレーカを精度よく成形することができる。レーザ波長が１０６４ｎｍの場合、単結晶ダイヤモンドの吸収係数は、５ｃｍ^−１以上２０ｃｍ^−１以下の範囲がさらに好ましい。レーザ波長が５３２ｎｍの場合、単結晶ダイヤモンドの吸収係数は、３０ｃｍ^−１以上７０ｃｍ^−１以下の範囲がさらに好ましい。レーザ波長が３５５ｎｍの場合、単結晶ダイヤモンドの吸収係数は、６０ｃｍ^−１以上９０ｃｍ^−１以下の範囲がさらに好ましい。

刃部３の上面３１には、切れ刃４に沿って延在するランド面５が形成されている。図５を参照して、ランド面５は、切れ刃４に対して垂直かつ上面３１の中央方向へ、一定の幅Ｗ１を有している。ランド面５の幅Ｗ１は、１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲であることが好ましい。ランド面５の幅Ｗ１が１０μｍ以上であると、刃部の刃先の強度を維持することができるため、刃先の欠け（チッピング）を防止でき、スローアウェイチップの工具寿命が長くなる。ランド面５の幅Ｗ１が１００μｍ以下であると、切削時に切屑がランド面に乗り上げ、切屑が長くなることを防止できるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。ランド面５の幅Ｗ１は、１０μｍ以上７０μｍ以下がさらに好ましい。

ランド面５は、表面粗さが、０．０５μｍ以上０．２μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、刃部の切れ刃をシャープに形成することができるため、被削材の仕上げ面粗さが良好となる。ここで、表面粗さとは、十点平均高さ（Ｒｚ）である。具体的には、断面曲線から基準長さだけを抜き取った部分において、最高から５番目までの山頂の標高の平均値と、最深から５番目までの谷底の標高の平均値との差の値をマイクロメートル(μｍ)で表わした値である。ランド面５の表面粗さは、０．０８μｍ以上０．１５μｍ以下の範囲がさらに好ましい。

刃部３の上面３１には、ランド面５から見て切れ刃４と反対側に、凹部７を有するチップブレーカ９が形成されている。ここで、凹部７とは、チップブレーカ９のうち、コーナ付近の切れ刃４に沿って形成された部分のことを示す。凹部７の外延を形成する側面は、ランド面５から、刃部３の中央方向に向かう距離の大きさに伴って連続的に後退するすくい面６と、すくい面６の後端から刃部３の上面３１に向けて立ち上がるブレーカ壁面１６とを含む。これによると、被削材の切削時に流出した切屑は、初めにすくい面６に沿ってすくい面６の底部に向かって流出する。この時、切屑に歪が与えられ、切屑は細断されやすくなる。その後、すくい面６の底部に到達した切屑は、ブレーカ壁面１６に衝突する。この時、切屑は衝突により、細断される。または、切り屑により歪が与えられることにより細断される。

すくい面６は、回転体形状の側面の一部と同一形状である。これによると、刃部３の凹部７において、被削材の切削時に、切屑がチップブレーカのすくい面６に沿ってすくい面６の底部に向かって流出するため、切屑に大きな歪を与えることができる。ここで、回転体形状とは、平面図形をその平面上の一直線を軸として、その周りに一回転してできる立体のことを意味する。回転体形状としては、たとえば、球、円錐などが挙げられる。回転体形状の軸は、刃部３のコーナ角の二等分線上にあると、切屑がコーナ角の二等分線の下方に位置する底部の最大深さ方向に流出するため、切屑により大きな歪を与えることができる。すくい面６の形状は、円錐の側面の一部と同一形状であることが好ましい。これによると、刃先の強度を維持することができる。

図５を参照して、ランド面５に対するすくい面６の傾斜角αは１５°以上５０°以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に切屑がすくい面に沿って流出しやすいため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。さらに、刃部の刃先の強度を維持することができるため、スローアウェイチップの工具寿命も長くなる。ここで、ランド面５に対するすくい面６の傾斜角αとは、ランド面５を凹部の上部まで延長した場合に想定される面１５（以下、「凹部の天面」ともいう）と、すくい面６とのなす角のうち、鋭角のものを意味する。ランド面５に対するすくい面６の傾斜角αは、２０°以上４０°以下がさらに好ましい。

すくい面６の表面粗さは、２μｍ以上７μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、すくい面の表面を擦過する際の抵抗が増大するため、切屑がカールしやすくなり、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。ここで、表面粗さとは、十点平均高さ（Ｒｚ）である。すくい面６の表面粗さは、３．０μｍ以上６．０μｍ以下の範囲であることがさらに好ましい。

図４を参照して、凹部７は最大深さＤが６０μｍ以上３００μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に切屑に効果的に歪を与えることができるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。ここで、凹部７の最大深さＤとは、ランド面５を凹部の上部まで延長した場合に想定される面１５（凹部の天面）から、凹部の底部までの距離の最大値を意味する。凹部７の最大深さＤは、６０μｍ以上２００μｍ以下の範囲がさらに好ましい。

図５を参照して、凹部７は、切れ刃４に対して垂直方向の幅（以下、「凹部の幅」ともいう）Ｗ２が、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、刃部３の上面３１に乗り上げることなく、ブレーカ壁面１６に衝突し、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。ここで、切れ刃４に対して垂直方向の幅Ｗ２とは、切れ刃４に対して垂直で、かつ、凹部の天面上に位置する直線に沿う方向における、凹部の開口部のランド面側の端部から刃部の中央側の端部の間の距離を意味する。なお、切れ刃が曲線の場合は、曲線の接線に対して垂直で、かつ、凹部の天面上に位置する直線に沿う方向における、凹部の開口部のランド面側の端部から刃部の中央側の端部の間の距離を意味する。凹部７は、切れ刃４に対して垂直方向の幅Ｗ２が、０．２５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下の範囲がさらに好ましい。

図３〜図５を参照して、凹部７の側面上には、刃部３のコーナ角の二等分線（Ｂ−Ｂ’）に沿って、凸部８が形成されていることが好ましい。これにより、被削材の切削時に流失した切屑が凸部８に衝突して切屑が細断されたり、切屑により歪が与えられて細断される。凸部８が刃部３のコーナ角の二等分線に沿って形成されていると、切屑が流出する経路上に凸部８が存在することになるため、より効果的に切屑を細断することができる。凸部８の高さＨは、凹部の最大深さＤに対して２０％以上８０％以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、凸部８に乗り上げることなく凸部に衝突し、切屑が細断されやすくなる。また、凸部８の高さＨが、凹部の最大深さＤに対して８０％以下であると、切削時の凸部８の摩耗を防止することができるため、スローアウェイチップの工具寿命が長くなる。なお、凸部８の高さＨとは、凸部を、コーナ角の二等分線（Ｂ−Ｂ’）を法線とする断面であって、凹部が最大深さＤを示す位置を通る断面で見た場合の、凸部の高さを意味する。

凸部８は、コーナ角の二等分線を法線とする断面で見た場合に、凹部の深さ方向に伴って幅が広がる断面形状を有することが好ましい。凸部８の断面形状は、たとえば、三角形や台形とすることができる。凸部の断面形状の幅方向Ｗ３の最小値（以下、「凸部の最小幅」ともいう）は、５μｍ以上４０μｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、凸部に乗り上げることなく凸部に衝突し、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。凸部の断面形状の幅方向Ｗ３の最小値は、１０μｍ以上２０μｍ以下がさらに好ましい。

凸部８は、コーナ角の二等分線に沿う方向の長さＷ５が、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。これによると、切削時に流出した切屑が、凸部に衝突しやすく、切屑が細断されやすくなるため、スローアウェイチップの切屑処理性が向上する。凸部８のコーナ角の二等分線に沿う方向の長さＷ５は、０．２５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下がさらに好ましい。

本実施の形態のスローアウェイチップの製造方法の一例を説明する。切欠き部を有する本体２と、ダイヤモンドを８０体積％以上含む刃部３とを準備する。本体の切欠き部に刃部をロウ付けし、ダイヤモンド砥石により刃付け研磨を行う。その後、高出力パルスレーザにて、刃部３の表面を加工して、チップブレーカ９を形成する。従来は、ダイヤモンドを含む刃部の加工を放電加工や研磨により行っていたため、チップブレーカの形状は、単純な形状に限られていた。一方、本実施の形態では刃部３の加工をレーザ照射により正確に位置決めをして行うため、チップブレーカの形状を所望の形状とすることが可能である。特に、切れ刃に４沿って存在するチップブレーカの凹部７の形状を精密に調整できるため、スローアウェイチップの切屑処理性能を向上させることができる。

本発明を実施例によりさらに具体的に説明する。ただし、これらの実施例により本発明が限定されるものではない。

［実施例１］
本実施例では、凹部のすくい面の形状が、切削加工時における切屑処理性と逃げ面摩耗量に及ぼす影響を調べた。

平均粒子径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体からなる刃部を、図１に示すように本体のコーナーにロウ付けし、その後、＃１５００のダイヤモンド砥石により刃付け研磨を行った。

その後、ガルバノメータミラーにより集光性を高めた高出力パルスＹＶＯ_４：Ｎｄレーザ（波長１，０６４ｎｍ）を用い、出力１．５Ｗ、発振周波数２２ｋＨｚ、加工ピッチ１μｍの条件にて等高線状に一定の加工量で彫り進むことにより、刃部のすくい面上面に３次元形状の凹凸形状を有するチップブレーカ形状を形成した。すくい面形状を表１のように変化させた種々の試料を作製し、切屑処理性を評価した。切削条件および工具形状を以下に示す。この評価では、長さ５ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲の切屑を良好と判断した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミニウム合金（ＡＤＣ１２）
切削方法：直径１００〜９５（ｍｍ）×長さ５００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１０ｋｍ
被削材の周表面速度：４００（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．３０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１０（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＤＣＭＴ１１Ｔ３０４
工具材質：平均粒径０．５μｍのダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体ホルダー型番：ＳＤＪＣＬ２５２５Ｍ１１
すくい面形状：表１のすくい面形状に示す形状の一部と同一
ランド面の幅（Ｗ１）：０．０３（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）：０．１（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．３（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ３．２（μｍ）
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ０．０６（μｍ）
ブレーカ加工条件：ＹＶＯ_４：Ｎｄレーザ（波長１，０６４ｎｍ）、周波数２２ｋＨｚ、出力１．５Ｗ、加工ピッチ１μｍ
評価結果を表１に示す。

試料１Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断せず被削材に切屑が巻き付いた。一方、試料１Ｂ〜１Ｇは、すくい面の形状がボール形状（球状）または円錐形状の一部であり、切屑長さが３００ｍｍ以下となり、良好な切屑処理性が得られた。中でも、試料１Ｄ〜１Ｆは、すくい面の形状が円錐形状で、ランド面に対するすくい面の傾斜角が１５°以上５０°以下であり、切屑長さが３０〜５０ｍｍとなり、切屑処理性が特に良好であった。試料１Ｇは、すくい面の形状が円錐形状で、ランド面に対するすくい面の傾斜角が６０°であり、切屑長さが３０〜５０ｍｍと良好であるが、切削距離１０ｋｍ時点において、刃先にチッピングが発生した。試料１Ｂは、すくい面の形状がボール形状であり、切屑長さが５０〜１００ｍｍと良好であるが、切削距離１０ｋｍ時点において、刃先にチッピングが発生した。

以上より、すくい面が形状がボール形状や円錐形状のような回転体形状の一部と同一であると、切屑長さが３００ｍｍ以下となり、良好な切屑処理性が得られることが分かった。中でも、スローアウェイチップのすくい面形状が円錐形状の一部と同一であり、ランド面に対するすくい面の傾斜角が１５°〜５０°の範囲であると、切屑長さが３０〜５０ｍｍの長さになり、良好な切屑処理性を示し、切削距離１０ｋｍ時点でもチッピングが発生することなく、工具寿命が長くなることが分かった。

［実施例２］
ランド面の幅Ｗ１が、切削加工時における切屑処理性および逃げ面摩耗量に及ぼす影響を調べた。工具の作製は実施例１と同様の方法で作製した。ランド面の幅を表２のように変化させた種々の試料を作製し、切屑処理性を評価した。切削条件および工具形状を以下に示す。この評価では、長さ５ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲の切屑を良好と判断した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材（Ａ６０６１）
切削方法：直径１００〜９５（ｍｍ）×長さ５００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１０ｋｍ
被削材の周表面速度：４００（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．３０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１０（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＤＣＭＴ１１Ｔ３０４
工具材質：平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％以上含有する多結晶硬質焼結体
ホルダー型番：ＳＤＪＣＬ２５２５Ｍ１１
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：表２凹部の最大深さ（Ｄ）：０．１（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．４（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ ３．５（μｍ）
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ ０．０９（μｍ）
ブレーカ加工条件：ＹＡＧレーザ（波長１，０６４ｎｍ）、周波数２０ｋＨｚ、出力１．５Ｗ、加工ピッチ１μｍ
評価結果を表２に示す。

試料２Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断せず被削材に切屑が巻き付いた。一方、試料２Ｂ〜２Ｆは、チップブレーカを有し、切屑は長さ３００ｍｍ以下に分断された。中でも、試料２Ｂ〜試料２Ｅは、ランド面の幅が５〜１００μｍの範囲であり、切屑長さが５０〜１５０ｍｍとなり、切屑処理性が特に良好であった。しかし、試料２Ｂは、ランド面の幅が５μｍであり、切削距離１０ｋｍ時点で、刃先にチッピングが発生した。

以上より、すくい面がチップブレーカを有することで切屑は長さ３００ｍｍ以下に分断されることが分かった。特にランド面の幅が１０〜１００μｍの範囲であると、スローアウェイチップは良好な切屑処理性と安定した耐久性を発揮することが分かった。

［実施例３］
凹部の最大深さ（Ｄ）および凹部の幅（Ｗ２）が、切削加工時における切屑処理性と逃げ面摩耗量に及ぼす影響を調べた。表３に示す各試料を実施例１と同様の方法で作製した。凹部の最大深さと幅の影響のみを調査するため、各試料のチップブレーカの凹部形状は相似形とした。凹部の最大深さと幅を表３のように変化させた種々の試料を作製し、切屑処理性を評価した。切削条件および工具形状を以下に示す。この評価では、長さ５ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲の切屑を良好と判断した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材（Ａ５０５２）
切削方法：直径１００〜９５（ｍｍ）×長さ５００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１０ｋｍ
被削材の周表面速度：４００（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．６（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１５（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＤＣＭＴ１１Ｔ３０８
工具材質：平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
ホルダー型番：ＳＤＪＣＬ２５２５Ｍ１１
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：０．０３０（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）：表３
凹部の幅（Ｗ２）:表３
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ３．１（μｍ）
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ０．１０（μｍ）
ブレーカ加工条件：ＹＡＧ（波長５３２ｎｍ）、周波数６０ｋＨｚ、出力２．５Ｗ、加工ピッチ１．８μｍ
評価結果を表３に示す。

試料３Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断しなかった。一方、試料３Ｂ〜３Ｇは、チップブレーカを有し、切屑長さは３００ｍｍ以下であった。中でも、試料３Ｃ〜３Ｆは、凹部の最大深さが０．０６ｍｍ〜０．３０ｍｍ、凹部の幅が０．２０ｍｍ〜１．００ｍｍであり、切屑長さは２００ｍｍ以下となり、切屑処理性が特に良好であった。

以上より、凹部の最大深さが０．０６ｍｍ〜０．３０ｍｍ、凹部の幅が０．２０ｍｍ〜１．００ｍｍの範囲のとき、切屑処理性が特に良好となることが分かった。

［実施例４］
凸部８の高さ（Ｈ）が、切削加工時における切屑処理性に及ぼす影響を調べた。表４に示す各試料を実施例１と同様の方法で作製した。下記の切削条件および工具形状で性能評価を実施した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材（Ａ６０６３）
切削方法：直径５０（ｍｍ）×長さ１００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：乾式切削
切削距離：１０（ｋｍ）
被削材の周表面速度：２５０（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．１０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１０（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＶＣＭＴ１６０４０４
工具材質：平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
ホルダー型番：ＳＶＪＣＬ２５２５Ｍ１６
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：０．０３０（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）:０．１（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．４（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：表４
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ ４．０（μｍ）
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ ０．１（μｍ）
ブレーカ加工条件：ＹＡＧ（波長５３２ｎｍ）、周波数５０ｋＨｚ、出力３．０Ｗ、加工ピッチ２μｍ
評価結果を表４に示す。

試料４Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断しなかった。一方、試料４Ｂ〜４Ｆは、チップブレーカを有し、切屑長さは３００ｍｍ以下であった。中でも、試料４Ｃ〜４Ｆは、凸部の高さ（Ｈ）が０．０２〜０．１０ｍｍであり、切屑長さは２００ｍｍ以下となり、切屑処理性が特に良好であった。しかし、４Ｆは切削距離１０ｋｍ時点で凸部が磨滅した。

以上より、凹部の最大深さ（Ｄ）が０．１ｍｍのとき、凸部の高さ（Ｈ）が０．０２〜０．０８ｍｍの範囲において特に良好な切屑処理性が得られたことから、凸部の高さ（Ｈ）が凹部の最大深さ（Ｄ）に対して２０〜８０％の範囲にあるとき切屑処理性は良好になることが分かった。

［実施例５］
凸部の断面形状が、切削加工時における切屑処理性に及ぼす影響を調べた。表５に示す各試料を実施例１と同様の方法で作製した。下記の切削条件および工具形状で性能評価を実施した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材(Ａ６０６３)
切削方法：直径５０（ｍｍ）×長さ１００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１５０（ｍ）
被削材の周表面速度：２５０（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．８０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１５（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＣＣＭＴ０９Ｔ３０８
工具材質：平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
ホルダー型番：ＳＣＬＣＬ２５２５Ｍ０９
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：０．０６（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）:０．１２（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．６（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：表５
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ ４．５（μｍ）
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ ０．１２（μｍ）
ブレーカ加工条件：ＹＶＯ_４レーザ（波長１０６４ｎｍ）周波数７５ｋＨｚ、出力１．２Ｗ、加工ピッチ０．７μｍ
評価結果を表５に示す。

試料５Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断しなかった。一方、試料５Ｂ〜５Ｇは、チップブレーカを有し、切屑長さは３００ｍｍ以下であった。中でも、試料５Ｄ〜５Ｆは、凸部断面形状が台形で、その上面の幅（Ｗ３）が５μｍ〜４０μｍであり、切屑は長さ５０〜１５０ｍｍとなり、切屑処理性が特に良好であった。

凸部の形状は工具コーナー角２等分線方向に同一の断面形状となる。実施例３に示したように、良好な切屑処理性を発揮するためには、凹部の幅（Ｗ２）は０．２０〜１．０ｍｍの範囲にある必要があり、かつ実施例４に示したように、凸部の高さ（Ｈ）は凹部の最大深さ（Ｄ）に対して、２０〜８０％の高さとなる必要がある。よって、凸部のコーナー角２等分線方向の長さ（Ｗ５）は凹部の幅（Ｗ２）と同等もしくはそれ以下となる必要がある。

以上より、凸部は断面形状が台形形状となり、その幅方向最小値（Ｗ３）が５μｍ〜４０μｍの範囲にあり、さらに凸部のコーナー角２等分線方向の長さ（Ｗ５）は０．２０〜１．０ｍｍの範囲のとき特に良好な切屑処理を発揮することが分かった。

［実施例６］
すくい面の表面粗さ（Ｒｚ１）が切削加工時における切屑処理性に及ぼす影響を調べた。各試料は表６に示すように、種々のレーザ加工条件でチップブレーカを加工することで、すくい面の加工面の面粗度を変化させた。下記の切削条件および工具形状で性能評価を実施した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材（Ａ５０５２）
切削方法：直径１００〜９５（ｍｍ）×長さ５００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１０ｋｍ
被削材の周表面速度：４００（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．３０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１０（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＤＣＭＴ１１Ｔ３０４
工具材質：平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
ホルダー型番：ＳＤＪＣＬ２５２５Ｍ１１
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：０．０１（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）:０．１（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．４（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：表６
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ０．０８μｍ
加工条件：ＹＶＯ_４（波長１０６４ｎｍ）、および表６
評価結果を表６に示す。

試料６Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断しなかった。一方、試料６Ｂ〜６Ｇは、チップブレーカを有し、切屑長さは３００ｍｍ以下であった。中でも、試料６Ｃ〜６Ｇは、すくい面粗さＲｚ１がＲｚ２．０μｍ以上であり、切屑長さは５０〜１５０ｍｍとなり、切屑処理性が特に良好であった。これはすくい面の面粗さＲｚ１が粗くなるほど、切屑が擦過する際の抵抗が増大し、切屑が小さくカールするためである。しかしながら、すくい面の面粗さが大きすぎると、すくい面への被削材溶着も増大するため、試料６Ｇのように、切屑処理性は良好なものの、場合によっては仕上げ面粗さが悪化する。

［実施例７］
ランド面の表面粗さ（Ｒｚ２）が切削加工時における切屑処理性および仕上げ面粗さに及ぼす影響を調べた。各試料は表７に示すように、種々のラップ加工時間でランド面を形成することで、ランド面の加工面の面粗度を変化させた。下記の切削条件および工具形状で性能評価を実施した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材（Ａ５０５２）
切削方法：直径１００〜９５（ｍｍ）×長さ５００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１０ｋｍ
被削材の周表面速度：４００（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．３０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１０（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＤＣＭＴ１１Ｔ３０４
工具材質：平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
ホルダー型番：ＳＤＪＣＬ２５２５Ｍ１１
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：０．０１（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）:０．１（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．４（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
すくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ４．０μｍ
ランド面粗さ（Ｒｚ２）：表７
加工条件：ＹＶＯ_４（波長１０６４ｎｍ）、周波数２０ｋＨｚ、出力５．５Ｗ、加工ピッチ１μｍ
評価結果を表７に示す。

試料７Ａ〜７Ｅは、チップブレーカを有し、切屑長さは１００ｍｍ以下であった。しかしながら、ランド面の面粗さが大きすぎると、切れ刃の刃立性が悪くなるため、試料７Ｅのように、切りくず処理は良好なものの、場合によっては仕上げ面粗さが悪化する。一方、試料７Ａのようにランド面粗さＲｚ２をＲｚ０．０１μｍ程度にしようとすると１０時間以上のラップ加工が必要となり経済的でない。

以上より、すくい面の面粗さＲｚ１がＲｚ２．０〜７．０μｍの範囲で、ランド面の面粗さＲｚ２がＲｚ０．０５〜０．２０μｍの範囲であると、切屑長さは１５０ｍｍ以下となり特に良好となることが分かった。

［実施例８］
工具材質が切削加工時における切屑処理性および逃げ面摩耗に及ぼす影響を調べた。工具材質には表８に示す３種類の材質を用いた。チップブレーカはレーザ加工により下記加工条件にて作製した。下記の切削条件および工具形状で性能評価を実施した。

（切削条件）
被削材：円柱形状のアルミ材（Ａ３９０）
切削方法：直径１００〜９５（ｍｍ）×長さ５００（ｍｍ）の外径旋削
切削形態：湿式切削
切削距離：１０ｋｍ
被削材の周表面速度：８００（ｍ／ｍｉｎ）
工具の切り込み深さ:０．５０（ｍｍ）
工具の送り速さ：０．１５（ｍｍ／ｒｅｖ）
（工具形状）
使用工具型番：ＤＣＭＴ１１Ｔ３０４
工具材質：
試料８Ａ・・・平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
試料８Ｂ・・・平均粒径０．５μｍ以下のダイヤモンドを９０体積％含有する多結晶硬質焼結体
試料８Ｃ・・・気相合成法（ＣＶＤ）により合成された単結晶ダイヤモンド
試料８Ｄ・・・高圧高温合成法により合成された単結晶ダイヤモンド
ホルダー型番：ＳＤＪＣＬ２５２５Ｍ１１
すくい面形状：円錐形状の側面の一部と同一、ランド面に対するすくい面の傾斜角２５°ランド面の幅（Ｗ１）：０．０３（ｍｍ）
凹部の最大深さ（Ｄ）:０．１（ｍｍ）
凹部の幅（Ｗ２）:０．４（ｍｍ）
凸部の高さ（Ｈ）：０．０５（ｍｍ）
凸部の最小幅（Ｗ３）：０．０２０（ｍｍ）
ブレーカすくい面粗さ（Ｒｚ１）：Ｒｚ ２．０〜６．５μｍ
ブレーカランド面粗さ（Ｒｚ２）：Ｒｚ ０．０８〜０．１２（μｍ）
ブレーカ加工条件：
試料８Ｂ・・・ＹＡＧレーザ、波長１０６４ｎｍ、周波数３０ｋＨｚ、出力１．５Ｗ、加工ピッチ１μｍ
試料８Ｃ・・・ＹＡＧレーザ、波長１０６４ｎｍ、周波数５０ｋＨｚ、出力５．５Ｗ、加工ピッチ５μｍ
試料８Ｄ・・・加工不可
表８に評価結果を示す。

試料８Ａおよび８Ｂに用いた多結晶硬質焼結体、ならびに試料８Ｃに用いたＣＶＤにより合成された単結晶ダイヤモンドは吸収率が２ｃｍ^−１以上となるためレーザ加工が可能であった。一方、試料８Ｄの単結晶ダイヤモンドの吸収係数は０．０１ｃｍ^−１以下でありレーザ加工ができなかった。

切削評価の結果、試料８Ａはすくい面にチップブレーカを有さず、切屑が分断しなかった。一方、試料８Ｂおよび８Ｃは、チップブレーカを有し、切屑長さは５０〜１５０μｍであり、切屑処理性が良好であった。また、試料８ＣはＣＶＤ単結晶ダイヤモンドを用い、１０ｋｍ切削時の逃げ面摩耗量は０．００８ｍｍとなり、多結晶硬質焼結体を用いた試料８Ａおよび試料８Ｂと比較して摩耗量は大幅に小さい結果となった。

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本実施の形態のスローアウェイチップは、アルミ合金や非鉄金属の旋削用途およびフライス用途の工具等に用いると有益である。

１ スローアウェイチップ、２ 本体、３ 刃部、４ 切れ刃、５ ランド面、６ すくい面、７ 凹部、８ 凸部、１６ ブレーカ壁面、３１ 刃部の上面、３２ 刃部の側面、３３ 逃げ面。

Claims (11)

1. 本体と、前記本体に設けられた、切れ刃を有する刃部とを備え、
   前記刃部は、ダイヤモンドを８０体積％以上含み、
   前記刃部は、前記切れ刃に沿って延在するランド面と、前記ランド面から見て前記切れ刃と反対側に位置する凹部を有するチップブレーカとを含み、
   前記凹部の側面は、前記ランド面からの距離の大きさに伴って連続的に後退する、回転体形状の側面の一部と同一形状のすくい面を有し、
   前記本体の平面視形状は、複数のコーナを有する形状であり、
   前記本体の上面のコーナには、刃部を固着するための切欠き部が形成され、
   前記切欠き部は、上面視形状が三角形の底面と、底面から垂直に立ち上がる側壁を有し、
   前記刃部は、前記切欠き部に上面視形状が前記切欠き部の底面と同一の三角形の上面と、前記上面に対向する前記上面と同一形状の底面と、前記上面の外周と前記底面の外周とをつなぐ側面とを有し、
   前記刃部の前記上面の外周を構成する辺のうち、前記刃部の前記上面と前記側面とが交差した位置の稜線によって形成された辺は、前記切れ刃を構成し、
   前記凹部は、前記チップブレーカのうち、前記コーナ付近の前記切れ刃に沿って形成された部分であり、
   前記回転体形状の軸は前記刃部のコーナ角の二等分線上にある、スローアウェイチップ。
2. 前記ランド面に対する前記すくい面の傾斜角は１５°以上５０°以下の範囲である、
   請求項１に記載のスローアウェイチップ。
3. 前記ランド面は、前記切れ刃に対して垂直方向の幅が、１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲である、
   請求項１または請求項２に記載のスローアウェイチップ。
4. 前記凹部は、最大深さが６０μｍ以上３００μｍ以下の範囲である、
   請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のスローアウェイチップ。
5. 前記凹部は、前記切れ刃に対して垂直方向の幅が、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲である、
   請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のスローアウェイチップ。
6. 前記刃部はコーナを有し、
   前記凹部は、前記凹部側面上に、コーナ角の二等分線に沿って形成された凸部を有し、
   前記凸部の高さは、前記凹部の最大深さに対して２０％以上８０％以下の範囲である、
   請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のスローアウェイチップ。
7. 前記凸部は、前記コーナ角の二等分線を法線とする断面で見た場合に、前記凹部の深さ方向に伴って幅が広がる断面形状を有し、
   前記断面形状の幅方向の最小値は、５μｍ以上４０μｍ以下の範囲である、
   請求項６に記載のスローアウェイチップ。
8. 前記凸部は、前記コーナ角の二等分線に沿う方向の長さが、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲である、
   請求項６または請求項７に記載のスローアウェイチップ。
9. 前記ランド面の表面粗さは、０．０５μｍ以上０．２μｍ以下の範囲であり、
   前記すくい面の表面粗さは、２μｍ以上７μｍ以下の範囲である、
   請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載のスローアウェイチップ。
10. 前記ダイヤモンドは、気相合成法により合成された単結晶ダイヤモンドである、
    請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載のスローアウェイチップ。
11. 前記単結晶ダイヤモンドは、波長が１９０ｎｍ以上１１０００ｎｍ以下のレーザ光に対する吸収係数が２ｃｍ^−１以上９０ｃｍ^−１以下の範囲である、
    請求項１０に記載のスローアウェイチップ。

Images