JP6594807B2 - 超音波探触子 - Google Patents
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- 二次元的に配列された複数の振動素子からなる二次元アレイ振動子と、
前記二次元アレイ振動子の背面側に設けられ、前記複数の振動素子に電気的に接続される複数のリードを備えるバッキング部材と、
前記バッキング部材の背面に設けられ、前記複数のリードに電気的に接続される複数のリード電極と、
前記バッキング部材側の表面を有し、その表面に複数の信号電極が設けられた基板と、前記基板の背面に硬化収縮材により接続された電気回路と、
前記複数の信号電極上に設けられ、前記複数のリード電極と前記複数の信号電極とを電気的に接続する複数のバンプと、
を有し、
前記基板の表面が反っており、これにより前記複数のリード電極と前記複数の信号電極との間の距離が前記基板における中央部分から端部分にかけて変化しており、
前記複数のバンプの高さが、前記複数のリード電極と前記複数の信号電極との間の距離の変化に応じて変化している、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記各バンプは、前記各リード電極側に先細りの凸形状である、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記複数のバンプのうちの少なくとも一つがそれに接触したリード電極に突き刺さって当該リード電極に電気的に接続される、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記複数のバンプのうちの少なくとも一つがそれに接触したリード電極に押し潰されて当該リード電極に電気的に接続される、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記各バンプの前記各リード電極側に設けられ、前記各バンプと前記各リード電極とを電気的に接続する導電性ペーストをさらに有する、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記バッキング部材の背面と前記信号処理層の表面との間に充填され、前記バッキング部材と前記基板とを構造的に接続する硬化収縮材をさらに有する、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項6に記載の超音波探触子において、
前記硬化収縮材は、音響減衰用充填材と音響散乱用充填材の少なくとも一方が添加された樹脂である、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 二次元アレイ振動子を構成する複数の振動素子に電気的に接続される複数のリードを内蔵し、前記複数のリードに電気的に接続される複数のリード電極を背面に備えたバッキング部材を製作する工程と、
基板の表面に対して複数の信号電極を設ける工程と、
前記基板の背面に対して硬化収縮材により電気回路を接合する工程と、
前記複数の信号電極の表面に均一の高さを有する複数のバンプを形成する工程と、
前記複数のリード電極と前記複数の信号電極とを前記複数のバンプを介して接合する工程と、
を有し、
前記接合する工程において、前記基板の表面が反っており、前記複数のリード電極への前記複数のバンプの接触により前記複数のバンプの高さが非均一となる、
ことを特徴とする超音波探触子の製造方法。
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CN113558776B (zh) * | 2021-07-31 | 2023-06-20 | 绍兴市人民医院 | 一种急救车内超声仪器稳定器 |
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