JP6593413B2 - ウエハ加熱用ヒータユニット - Google Patents
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Description
図1に示すような下方に冷却ユニット30が設けられたウエハ加熱用ヒータユニット10を作製してそのウエハ載置面11aの均熱性を評価した。具体的には、先ずウエハ載置台11として直径320mm×厚み3mmの円板状の銅板を準備した。この銅板のウエハ載置面11aとなる面とは反対側の面の後述する中心位置に15個のザグリ穴を形成し、これらザグリ穴の各々に、セラミックス製(W2mm×D2mm×H1mm)の測温素子をシリコーン接着剤を用いて接着固定した。
ウエハ載置台11の材質を銅に代えてSi−SiCにした以外は上記の実施例1の試料1〜3と同様にして其々試料4〜6のヒータユニットを製作し、実施例1と同様の評価を行った。その結果をウエハ載置台11の平面度と併せて下記表3に示す。
11 ウエハ載置台
11a ウエハ載置面
12 支持板
13 発熱モジュール
13a 発熱回路
20 脚部
30 冷却ユニット
31 可動式冷却板
32 固定式冷却ステージ
32a 冷媒流路
33 昇降機構
40 容器
A 円形中央部
A1〜A3 中央部扇状加熱ゾーン
B 環状中間部
B1〜B6 中間部扇状加熱ゾーン
C 環状周縁部
C1〜C6 周縁部扇状加熱ゾーン
LA1、LB1、LC1、LA1B1、LB1C1 線分
OA1、OB1、OC1 中心位置
PA1、PB1、PC1 角部
Q1〜Q3 リフトピン用挿通孔
D 円形中央部
E 環状中間部
F 環状周縁部
F1〜F4 周縁部扇状加熱ゾーン
G 円形中央部
H 内側環状中間部
H1〜H2 内側中間部扇状加熱ゾーン
I 外側環状中間部
I1〜I4 外側中間部扇状加熱ゾーン
J 環状周縁部
J1〜J8 周縁部扇状加熱ゾーン
W 半導体ウエハ
Claims (3)
- 半導体ウエハが載置されるウエハ載置面を備えた円板状のウエハ載置台と、前記ウエハ載置台を支持する円板状の支持板と、前記ウエハ載置台と前記支持板との間に挟持された円形薄膜状の発熱モジュールとを有するウエハ加熱用ヒータユニットであって、
前記発熱モジュールは前記ウエハ載置面に平行に延在する複数の発熱回路と、これら複数の発熱回路を挟み込む耐熱性絶縁シートとで構成され、前記複数の発熱回路によって前記ウエハ載置面に画定される複数の加熱ゾーンは、各々その中心位置に測温センサーを有しており、前記測温センサーは前記ウエハ載置台の下面側に設けられており、前記ウエハ載置面の半径方向において互いに隣接するいずれの加熱ゾーン同士においても、それらの両中心位置の離間距離が其々の加熱ゾーンの中心位置から前記加熱ゾーンの境界までの最長距離の50%以上であるウエハ加熱用ヒータユニット。
- 前記複数の加熱ゾーンは、円形中央部を周方向に3等分した中央部扇状加熱ゾーンと、環状周縁部を周方向に6等分した周縁部扇状加熱ゾーンと、前記円形中央部と前記環状周縁部との間の環状中間部を周方向に6等分した中間部扇状加熱ゾーンとからなる、請求項1に記載のウエハ加熱用ヒータユニット。
- 前記複数の加熱ゾーンのうち周方向に隣接する加熱ゾーン同士の間及び/又は半径方向に隣接する加熱ゾーン同士の間に前記半導体ウエハのリフトピン用の挿通孔が設けられている、請求項1又は請求項2に記載のウエハ加熱用ヒータユニット。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2017196683A JP6593413B2 (ja) | 2017-10-10 | 2017-10-10 | ウエハ加熱用ヒータユニット |
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