JP6587462B2 - Sheet sticking device and sheet sticking method - Google Patents
Sheet sticking device and sheet sticking method Download PDFInfo
- Publication number
- JP6587462B2 JP6587462B2 JP2015174399A JP2015174399A JP6587462B2 JP 6587462 B2 JP6587462 B2 JP 6587462B2 JP 2015174399 A JP2015174399 A JP 2015174399A JP 2015174399 A JP2015174399 A JP 2015174399A JP 6587462 B2 JP6587462 B2 JP 6587462B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adherend
- holding
- sheet
- holding means
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method.
従来から、第1被着体を保持する第1保持手段と第2被着体を保持する第2保持手段との間に環状の中間部材を備え、第1被着体と第2被着体との間で押圧手段が落ち込むのを抑制できるシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, an annular intermediate member has been provided between a first holding means for holding a first adherend and a second holding means for holding a second adherend, and the first adherend and the second adherend. There is known a sheet sticking device that can prevent the pressing means from falling between the two (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載の粘着テープ貼付け部2(シート貼付装置)では、半導体ウエハ(以下「ウエハ」という場合がある)W(第2被着体)の厚さに合わせた規制部材79(中間部材)の位置を調整できるものの、ウエハWおよびリングフレームf(第1被着体)の両方の厚さに合わせたフレーム保持台72(第1保持手段)、ウエハ支持台71(第2保持手段)および規制部材79の位置を調整することができないという不都合がある。 However, in the adhesive tape attaching part 2 (sheet attaching apparatus) described in Patent Document 1, a regulating member 79 (in accordance with the thickness of a semiconductor wafer (hereinafter sometimes referred to as “wafer”) W (second adherend) is used. Although the position of the intermediate member can be adjusted, the frame holding base 72 (first holding means) and the wafer support base 71 (second holding) that match the thicknesses of both the wafer W and the ring frame f (first adherend). Means) and the position of the regulating member 79 cannot be adjusted.
本発明の目的は、第1被着体および第2被着体の両方の厚みに合わせた第1保持手段、第2保持手段および中間部材の位置調整を行い、第1被着体と第2被着体との間に押圧手段が落ち込むのを抑制できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。 The object of the present invention is to adjust the positions of the first holding means, the second holding means and the intermediate member in accordance with the thicknesses of both the first adherend and the second adherend, and to adjust the first adherend and the second adherend. An object of the present invention is to provide a sheet sticking device and a sheet sticking method capable of suppressing the pressing means from falling between the adherend and the adherend.
上述の課題を解決するために、本発明は、環状部材の第1被着体と、板状の第2被着体とに接着シートを貼付することでそれらを一体化するシート貼付装置であって、前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記第1被着体および第2被着体を保持する保持手段と、前記第1被着体および第2被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記保持手段は、前記第1被着体を保持する第1保持手段と、前記第2被着体を保持する第2保持手段と、前記第1保持手段と第2保持手段との間の間隙に設けられた中間部材と、前記第1保持手段と第2保持手段と中間部材とを各々独立して前記第2被着体の厚み方向に移動可能な駆動機器とを備え、前記第1被着体と第2被着体との間で前記押圧手段が落ち込むことを抑制可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置である。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is a sheet sticking device that attaches an adhesive sheet to a first adherend of a ring member and a plate-like second adherend to integrate them. A feeding means for feeding out the adhesive sheet; a holding means for holding the first adherend and the second adherend; and pressing and adhering the adhesive sheet to the first adherend and the second adherend. Pressing means, and the holding means includes a first holding means for holding the first adherend, a second holding means for holding the second adherend, the first holding means, and a second An intermediate member provided in a gap between the holding means, and a driving device capable of independently moving the first holding means, the second holding means, and the intermediate member in the thickness direction of the second adherend. Provided so that the pressing means can be prevented from falling between the first adherend and the second adherend. It is a sheet sticking apparatus according to claim is.
前記第1被着体および前記第1被着体の開口内に配置された前記第2被着体に前記接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記中間部材は、前記押圧手段を受ける中間保持面を有し、当該中間保持面の外縁が前記第1被着体の被着面内縁に接近可能かつ、当該中間保持面の内縁が前記第2被着体の被着面外縁に接近可能に傾斜することを特徴としてもよい。 The first a sheet sticking apparatus for sticking the adhesive sheet to the second adherend disposed in the opening of the adherend and the first adherend, the intermediate member undergoes the pressing means Having an intermediate holding surface, the outer edge of the intermediate holding surface being accessible to the inner edge of the first adherend, and the inner edge of the intermediate holding surface being closer to the outer edge of the second adherend It may be characterized by tilting as possible.
前記中間部材は、前記押圧手段を受ける中間保持面を有し、当該中間保持面の外縁および内縁の角部に前記第1被着体および第2被着体を前記第1保持手段および第2保持手段に案内する案内部を有することを特徴としてもよい。 The intermediate member has an intermediate holding surface that receives the pressing means, and the first and second adherends are disposed at corners of an outer edge and an inner edge of the intermediate holding surface. It may be characterized by having a guide part for guiding to the holding means.
本発明の他の態様は、環状部材の第1被着体と、板状の第2被着体とに接着シートを貼付することでそれらを一体化するシート貼付方法であって、第1保持手段および第2保持手段によりそれぞれ、前記第1被着体および第2被着体を保持する保持工程と、前記第1保持手段と第2保持手段と当該第1保持手段および第2保持手段の間の間隙に設けられた中間部材とを各々独立して前記第2被着体の厚み方向に移動させる移動工程と、前記第1被着体および第2被着体に前記接着シートを押圧手段で押圧して貼付する押圧工程とを含み、移動工程において、前記第1被着体と第2被着体との間に前記押圧手段が落ち込むことを抑制するように前記第1保持手段と第2保持手段と中間部材とを移動させることを特徴とするシート貼付方法である。 Another aspect of the present invention is a sheet affixing method in which an adhesive sheet is affixed to a first adherend of a ring member and a plate-shaped second adherend, and the first holding is performed. A holding step for holding the first adherend and the second adherend, respectively, and the first holding means, the second holding means, the first holding means, and the second holding means, respectively. A moving step of independently moving an intermediate member provided in a gap therebetween in the thickness direction of the second adherend, and a means for pressing the adhesive sheet to the first adherend and the second adherend The first holding means and the first holding means so as to prevent the pressing means from falling between the first adherend and the second adherend in the moving step. 2 It is a sheet sticking method characterized by moving a holding means and an intermediate member
以上のように、本発明によれば、第1保持手段と第2保持手段と中間部材とを各々独立して第2被着体の厚み方向に移動可能な駆動機器を設けたことで、第1被着体および第2被着体の両方の厚みに合わせた第1保持手段、第2保持手段および中間部材の位置調整を行い、第1被着体と第2被着体との間に押圧手段が落ち込むのを抑制できる。 As described above, according to the present invention, the first holding means, the second holding means, and the intermediate member are provided with the driving device that can move independently in the thickness direction of the second adherend. The position of the first holding means, the second holding means and the intermediate member is adjusted according to the thicknesses of both the first adherend and the second adherend, and between the first adherend and the second adherend. It can suppress that a press means falls.
以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, a sheet sticking device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when indicating the direction, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, “ “Left” is the arrow direction of the X axis, “Right” is the opposite direction, “Front” is the front direction orthogonal to the page, and “Rear” is the opposite direction of the Y axis arrow direction.
図1において、シート貼付装置10は、第1被着体であって環状部材としてのリングフレームRFと当該リングフレームRFの開口内に配置された第2被着体であって板状部材としてのウエハWFとに接着シートASを貼付することでそれらを一体化するシート貼付装置であって、接着シートASを繰り出す繰出手段20と、リングフレームRFおよびウエハWFを保持する保持手段30と、リングフレームRFおよびウエハWFに接着シートASを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ40と、保持手段30と押圧ローラ40とを相対移動させる移動手段50と、リングフレームRFおよびウエハWFの厚さ等の情報を入力する入力手段60と、を備えている。
In FIG. 1, a sheet sticking device 10 is a first adherend, a ring frame RF as an annular member, and a second adherend disposed within an opening of the ring frame RF, and serves as a plate-like member. A sheet sticking device that attaches an adhesive sheet AS to a wafer WF so as to integrate them, a feeding means 20 for feeding the adhesive sheet AS, a
繰出手段20は、接着シートASが帯状の剥離シートRL上に仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板23と、駆動機器としての回動モータ24Aによって回転駆動される駆動ローラ24と、剥離シートRLを駆動ローラ24との間に挟み込むピンチローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備えている。
The feeding means 20 folds back the release sheet RL by folding the release sheet RL, the support roller 21 that supports the original fabric RS on which the adhesive sheet AS is temporarily attached onto the strip-shaped release sheet RL, and the
保持手段30は、リングフレームRFを保持する第1保持手段としての外側テーブル31Dと、ウエハWFを保持する第2保持手段としての内側テーブル32Dと、外側テーブル31Dと内側テーブル32Dとの間に設けられた環状の中間部材33Dと、外、内側テーブル31D、32Dと中間部材33Dとを各々独立してウエハWFの厚み方向に移動可能な駆動機器としての複数の直動モータ31A、32A、33Aとを備え、リングフレームRFとウエハWFとの間で押圧ローラ40が落ち込むことを抑制可能に設けられている。
外側テーブル31Dは、直動モータ31Aの出力軸31Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームRFを吸着保持する第1保持面31Cを備えている。
内側テーブル32Dは、直動モータ32Aの出力軸32Bに支持され、図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持する第2保持面32Cを備えている。
中間部材33Dは、直動モータ33Aの出力軸33Bに支持され、押圧ローラ40を受ける中間保持面33Cを備えている。
The
The outer table 31D is supported by the
The inner table 32D is supported by the
The
移動手段50は、駆動機器としてのリニアモータ51のスライダ51Aに支持され、保持手段30を支持する支持テーブル52を備えている。
The moving
入力手段60は、操作パネルやパーソナルコンピュータ等から構成されており、支持テーブル52に設けられた配線を介して直動モータ31A、32A、33Aに電気的に接続されている。また、回動モータ24Aやリニアモータ51等にも電気的に接続されている。
The
次に、本実施形態におけるシート貼付装置10の動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図のようにセットした後、リングフレームRFおよびウエハWFの厚さ等の情報を入力手段60に入力すると、入力手段60が入力情報に基づきリングフレームRFおよびウエハWFの被着面(上面)と中間部材33Dの中間保持面33Cとを同一平面内に位置させるための第1、第2保持面31C、32Cと中間保持面33Cとの位置を算出する。そして、入力手段60の算出結果に基づき、保持手段30が直動モータ31A、32A、33Aを駆動し、リングフレームRFとウエハWFとの間に押圧ローラ40が落ち込むことを抑制するように外、内側テーブル31D、32Dと中間部材33Dとを各々独立してウエハWFの厚み方向に移動させ、第1、第2保持面31C、32Cと中間保持面33Cとの位置を調整する。この保持手段30の調整は、外側テーブル31Dおよび内側テーブル32DにリングフレームRFおよびウエハWFが載置されたときに、リングフレームRFおよびウエハWFにおける接着シートASの被着面と、中間部材33Dの中間保持面33Cとが同一平面内に位置するように調整される。
Next, operation | movement of the sheet sticking apparatus 10 in this embodiment is demonstrated.
First, with respect to the sheet sticking apparatus 10 indicated by the solid line in FIG. 1 in which each member stands by at the initial position, the operator sets the original fabric RS as shown in the figure, and then the thickness of the ring frame RF and the wafer WF, etc. When the information is input to the
次いで、作業者が入力手段60を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20が回動モータ24Aを駆動し、原反RSを繰り出す。そして、先頭の接着シートASの先端が、所定位置に達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がリングフレームRFを第1保持面31C上に載置した後、ウエハWFを第2保持面32C上に載置する。その後、保持手段30が図示しない減圧手段を駆動し、第1、第2保持面31C、32CでリングフレームRFおよびウエハWFをそれぞれ吸着保持する。
Next, when the operator inputs a signal for starting automatic operation via the input means 60, the feeding means 20 drives the
次いで、移動手段50がリニアモータ51を駆動し、保持手段30を左方に移動してリングフレームRFが所定位置で図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20が回動モータ24Aを駆動し、保持手段30の移動速度に合わせて原反RSを繰り出すことで、先頭の接着シートASが剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ40によって押圧されてリングフレームRFおよびウエハWFに貼付され一体物WK1が形成される。なお、先頭の接着シートASがリングフレームRFおよびウエハWFに貼付された後、次の接着シートASの先端縁が検出手段に検出されると、繰出手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
Next, when the moving
一体物WK1が形成されると、移動手段50がリニアモータ51の駆動を停止した後、保持手段30が図示しない減圧手段の駆動を停止する。次いで、図示しない搬送手段が、一体物WK1を次工程に搬送する。そして、移動手段50がリニアモータ51を駆動し、保持手段30を初期位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。
When the integrated object WK1 is formed, after the
以上のような本実施形態によれば、外、内側テーブル31D、32Dと中間部材33Dとを各々独立してウエハWFの厚み方向に移動可能な直動モータ31A、32A、33Aを設けたことで、ウエハWFおよびリングフレームRFの両方の厚みに合わせた外、内側テーブル31D、32Dおよび中間部材33Dの位置調整を行い、リングフレームRFとウエハWFの間で押圧ローラ40が落ち込むのを抑制できる。
According to the present embodiment as described above, the
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、接着シートを繰り出すことが可能なものであれば何でもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。 The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps. The process is not limited at all. For example, the feeding means may be anything as long as it can feed out the adhesive sheet, and is not limited insofar as it is within the scope in light of the technical common sense at the beginning of the application (other means and processes). Will be omitted).
原反RSは、剥離シートRLの一方の面に帯状の接着シートが仮着されたものであってもよく、この場合、リングフレームRFおよびウエハWFに帯状の接着シートを貼付した後に接着シートを所定形状に切断して接着シートASを形成する切断手段を備えていてもよいし、剥離板23に対して原反RSの繰出方向上流側で帯状の接着シートに剥離シートRLまで達する閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側に接着シートASを形成する切断手段を備えていてもよい。
切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用することができる。
繰出手段は、剥離シートRL上に仮着されていない接着シートASを繰り出して供給する構成のものでもよい。
剥離手段は、ローラ等による剥離部材を用いてもよい。
The raw fabric RS may be one in which a strip-shaped adhesive sheet is temporarily attached to one surface of the release sheet RL. In this case, the adhesive sheet is attached after the strip-shaped adhesive sheet is attached to the ring frame RF and the wafer WF. A cutting means for forming the adhesive sheet AS by cutting into a predetermined shape may be provided, or a closed loop shape reaching the release sheet RL to the strip-like adhesive sheet upstream of the release plate 23 in the feed direction of the original fabric RS. You may provide the cutting | disconnection means which provides an incision and forms the adhesive sheet AS inside the incision.
The cutting means may employ a cutting member such as a cutter blade, a cutter roller, a laser cutter, a heating wire, or a spray of gas or liquid.
The feeding means may be configured to feed and supply the adhesive sheet AS that is not temporarily attached onto the release sheet RL.
As the peeling means, a peeling member such as a roller may be used.
中間部材は、中間保持面33Cの外縁がリングフレームRFの被着面内縁に接近可能かつ、中間保持面33Cの内縁がウエハWFの被着面外縁に接近可能に傾斜する構成を採用してもよい。この場合、図2(A)に示すように、複数の直動モータ33AをウエハWFの外周方向に並べて設置し、当該複数の直動モータ33Aを駆動し複数の出力軸33Bの高さを調整することで中間部材33Dを傾斜させてもよい。また、図2(B)に示すように、出力軸35Bを有する回動モータ35Aおよびブラケットや継手等の連結部材35Cを直動モータ33Aと中間部材33Dとの間に設け、直動モータ33Aを駆動し出力軸33Bを上昇または下降させるとともに、回動モータ35Aを駆動し出力軸35Bを回動させて中間部材33Dを傾斜させてもよい。これにより、リングフレームRFおよびウエハWFの被着面の位置が異なる場合であっても外、内側テーブル31D、32Dの間で押圧ローラ40が落ち込むのを抑制できる。なお、載置されるリングフレームRFの被着面が、載置されるウエハWFの被着面よりも上方に位置していてもよいし、下方に位置していてもよい。
The intermediate member may adopt a configuration in which the outer edge of the
中間部材は、図2(C)に示すように、中間保持面36Cの外縁および内縁の角部にリングフレームRFおよびウエハWFを外側テーブル31Dおよび内側テーブル32Dに案内する案内部としての傾斜面36Eを有する中間部材36Dを採用してもよい。この場合、リングフレームRFおよびウエハWFを保持手段30に載置する際は、傾斜面36EでリングフレームRFおよびウエハWFをそれぞれ第1、第2保持面31C、32Cの正規位置に案内することができ、接着シートASをリングフレームRFおよびウエハWFに貼付する際は、外、内側テーブル31D、32Dとの間で押圧ローラ40が落ち込むことを抑制できる。なお、傾斜面36Eは、平面状の傾斜面であってもよいし、凹状または凸状に湾曲した曲面状の傾斜面であってもよい。
As shown in FIG. 2C, the intermediate member has an
第1、第2保持面31C、32Cおよび中間保持面33Cには弾性部材が設けられていてもよいし、第1、第2保持面31C、32Cおよび中間保持面33C自体が弾性部材で形成されていてもよい。
第1保持面31Cに凹部を設け、この凹部にリングフレームRFが嵌め込まれることで、位置決めが行われるように構成してもよい。
中間保持面33Cには、フッ素やシリコン等を含むコーティング層を積層していてもよいし、中間保持面33C自体をフッ素樹脂やシリコン樹脂等で形成してもよいし、微細凹凸を形成してもよい。これにより、中間保持面33Cに接着シートASが貼り付くことを防止することができる。
外、内側テーブル31D、32Dはそれぞれ、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でリングフレームRF、ウエハWFを保持する構成でもよい。
外側テーブル31Dおよび中間部材33Dは、円環状、楕円環状、四角形等の多角形環状、不定形環状等の環状、直線と曲線とが組み合わされた枠状等の連続形状であってもよし、それらの連続形状等が断続された非環状などの不連続形状であってもよい。
内側テーブル32Dは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、不定形、その他の形状の第2保持面32Cを有する板状部材やブロック等であってもよい。
外側テーブル31D、内側テーブル32Dおよび中間部材33Dは、単一の部材で構成されていてもよいし、複数の部材で構成されていてもよい。
The first and second holding surfaces 31C and 32C and the
The
The
The outer and inner tables 31D and 32D may be configured to hold the ring frame RF and the wafer WF by chuck means such as a mechanical chuck and a chuck cylinder, coulomb force, adhesive, adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption, and the like.
The outer table 31D and the
The inner table 32D may be a plate-like member or block having the
The outer table 31D, the inner table 32D, and the
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
押圧手段は、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、繰出手段20で繰り出された接着シートASを減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって吸着保持し、リングフレームRFおよびウエハWFに押圧して貼付する構成のものでもよい。
As the pressing means, a pressing member made of a blade material, rubber, resin, sponge, or the like may be employed, or a structure of pressing by blowing air such as air or gas may be employed.
The pressing means is supported by an output shaft of a linear motor as a driving device, and adsorbs and holds the adhesive sheet AS fed by the feeding means 20 by a suction means such as a decompression pump or a vacuum ejector. The thing of the structure which presses and sticks may be sufficient.
移動手段50は、保持手段30を移動させずに押圧部材を保持手段30に向けて移動させてもよいし、押圧部材と保持手段30との両方を互いに移動させてもよい。
保持手段30を他の装置で移動する場合、シート貼付装置10において移動手段50はあってもよいしなくてもよい。
The moving means 50 may move the pressing member toward the holding means 30 without moving the holding means 30, or may move both the pressing member and the holding means 30 to each other.
When the holding
シート貼付装置10は、第1、第2保持面31C、32Cで吸着保持したリングフレームRFおよびウエハWFの被着面と中間部材33Dの中間保持面33Cとの位置(高さ)を検出する撮像手段や光学センサ等の検出手段を備え、保持手段30が検出手段の検出結果に基づき直動モータ31A、32A、33Aを駆動し、外、内側テーブル31D、32Dと中間部材33Dとを各々独立してウエハWFの厚み方向に移動させ、リングフレームRFおよびウエハWFの被着面と中間部材の中間保持面33Cとが同一平面内に位置するように位置調整を行うようにしてもよい。この場合、入力手段60は必要に応じて採用すればよくあってもよいしなくてもよい。
シート貼付装置10は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、リングフレームRFおよびウエハWFに接着シートASを貼付するように構成してもよい。
The sheet sticking apparatus 10 detects the position (height) of the ring frame RF and the attachment surface of the wafer WF that are sucked and held by the first and second holding surfaces 31C and 32C and the
The sheet sticking device 10 may be configured so as to stick the adhesive sheet AS to the ring frame RF and the wafer WF by placing it upside down or placing it horizontally.
本発明におけるリングフレームRF、ウエハWF、接着シートAS等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、リングフレームRFは、ウエハWFを内縁の内側に配置可能な形状であればどのような形状でもよく、例えば、円環状、楕円環状、四角形等の多角形環状、不定形環状等の環状、直線と曲線とが組み合わされた枠状等であってもよい。ウエハWFは、リングフレームRFを外縁の外側に配置可能な形状であればどのような形状でもよく、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、不定形、その他の形状であってもよい。接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、不定形、その他の形状であってもよい。また、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。ウエハWFとしては、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板または陶器等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができる。なお、接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The material, type, shape, etc. of the ring frame RF, wafer WF, adhesive sheet AS, etc. in the present invention are not particularly limited. For example, the ring frame RF may have any shape as long as the wafer WF can be arranged inside the inner edge. For example, the ring frame RF may be an annular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a quadrangle, an annular shape such as an irregular shape, A frame shape in which straight lines and curved lines are combined may be used. The wafer WF may have any shape as long as the ring frame RF can be disposed outside the outer edge, and may be a circle, an ellipse, a polygon such as a triangle or a rectangle, an indeterminate shape, or other shapes. . The adhesive sheet AS may be a circle, an ellipse, a polygon such as a triangle or a rectangle, an indeterminate shape, or other shapes. Further, the adhesive sheet AS is not limited to an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive is employed, a heating means such as an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet AS or a heating side of a heat pipe may be provided. Such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, a base sheet and an adhesive layer, an intermediate layer between them, and an upper surface of the base sheet. Three or more layers having a cover layer, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet from the adhesive layer may be used. It may be a layer having an intermediate layer or a single layer or a multilayer having no intermediate layer. As the wafer WF, any form of members or articles such as food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, information recording substrates such as circuit boards, electrode substrates, and optical disks, or earthenware are also targeted. be able to. In addition, the adhesive sheet can be replaced with a functional or intended reading, for example, any information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet, etc. A sheet, a film, a tape, etc. may be sufficient.
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。 The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).
10・・・シート貼付装置
20・・・操出手段
30・・・保持手段
31A、32A、33A・・・直動モータ(駆動機器)
31D・・・外側テーブル(第1保持手段)
32D・・・内側テーブル(第2保持手段)
33C・・・中間保持面(保持面)
33D・・・中間部材
36E・・・傾斜面(案内部)
40・・・押圧ローラ(押圧手段)
AS・・・接着シート
RF・・・リングフレーム(第1被着体)
WF・・・ウエハ(第2被着体)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ...
31D ... Outer table (first holding means)
32D ... Inner table (second holding means)
33C: Intermediate holding surface (holding surface)
33D:
40 ... Pressing roller (pressing means)
AS ... Adhesive sheet RF ... Ring frame (first adherend)
WF: Wafer (second adherend)
Claims (4)
前記接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記第1被着体および第2被着体を保持する保持手段と、
前記第1被着体および第2被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記保持手段は、前記第1被着体を保持する第1保持手段と、前記第2被着体を保持する第2保持手段と、前記第1保持手段と第2保持手段との間の間隙に設けられた中間部材と、前記第1保持手段と第2保持手段と中間部材とを各々独立して前記第2被着体の厚み方向に移動可能な駆動機器とを備え、前記第1被着体と第2被着体との間で前記押圧手段が落ち込むことを抑制可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 A sheet sticking device that unifies them by sticking an adhesive sheet to a first adherend of an annular member and a plate-like second adherend,
A feeding means for feeding out the adhesive sheet;
Holding means for holding the first adherend and the second adherend;
Pressing means for pressing and adhering an adhesive sheet to the first adherend and the second adherend,
The holding means includes a first holding means for holding the first adherend, a second holding means for holding the second adherend, and a gap between the first holding means and the second holding means. An intermediate member provided on the first adherence member, and a drive device capable of independently moving the first retainer, the second retainer, and the intermediate member in the thickness direction of the second adherend. A sheet affixing device, wherein the pressing means is provided so as to be able to prevent the pressing means from falling between the adherend and the second adherend.
第1保持手段および第2保持手段によりそれぞれ、前記第1被着体および第2被着体を保持する保持工程と、
前記第1保持手段と第2保持手段と当該第1保持手段および第2保持手段の間の間隙に設けられた中間部材とを各々独立して前記第2被着体の厚み方向に移動させる移動工程と、
前記第1被着体および第2被着体に前記接着シートを押圧手段で押圧して貼付する押圧工程とを含み、
移動工程において、前記第1被着体と第2被着体との間に前記押圧手段が落ち込むことを抑制するように前記第1保持手段と第2保持手段と中間部材とを移動させることを特徴とするシート貼付方法。 It is a sheet sticking method for integrating them by sticking an adhesive sheet to a first adherend of an annular member and a plate-like second adherend,
A holding step of holding the first adherend and the second adherend by the first holding means and the second holding means, respectively;
A movement for independently moving the first holding means, the second holding means, and the intermediate member provided in the gap between the first holding means and the second holding means in the thickness direction of the second adherend. Process,
A pressing step of pressing and bonding the adhesive sheet to the first adherend and the second adherend by pressing means,
In the moving step, moving the first holding means, the second holding means, and the intermediate member so as to prevent the pressing means from falling between the first adherend and the second adherend. Characteristic sheet sticking method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015174399A JP6587462B2 (en) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | Sheet sticking device and sheet sticking method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015174399A JP6587462B2 (en) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | Sheet sticking device and sheet sticking method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017050481A JP2017050481A (en) | 2017-03-09 |
JP6587462B2 true JP6587462B2 (en) | 2019-10-09 |
Family
ID=58280241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015174399A Active JP6587462B2 (en) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | Sheet sticking device and sheet sticking method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6587462B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019125914A (en) | 2018-01-16 | 2019-07-25 | アラクサラネットワークス株式会社 | Communication device and program |
JP2020194834A (en) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | リンテック株式会社 | Support device and support method |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004047976A (en) * | 2002-05-21 | 2004-02-12 | Nitto Denko Corp | Method and device for bonding protective tape |
JP2007043057A (en) * | 2005-07-07 | 2007-02-15 | Lintec Corp | Table for adhering sheet |
JP4836557B2 (en) * | 2005-11-25 | 2011-12-14 | 株式会社東京精密 | Dicing tape sticking device and dicing tape sticking method |
JP2008066684A (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Takatori Corp | Device for mounting substrate to dicing frame |
JP5112682B2 (en) * | 2006-12-18 | 2013-01-09 | リンテック株式会社 | Sheet sticking device and sticking method |
JP5607965B2 (en) * | 2010-03-23 | 2014-10-15 | 日東電工株式会社 | Semiconductor wafer mounting method and semiconductor wafer mounting apparatus |
JP5829505B2 (en) * | 2011-12-09 | 2015-12-09 | リンテック株式会社 | Sheet sticking device and sticking method |
JP5996347B2 (en) * | 2012-09-24 | 2016-09-21 | リンテック株式会社 | Sheet peeling apparatus and peeling method, and sheet pasting apparatus and pasting method |
-
2015
- 2015-09-04 JP JP2015174399A patent/JP6587462B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017050481A (en) | 2017-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6473359B2 (en) | Sheet peeling device | |
JP2017059582A (en) | Sheet sticking device and sheet sticking method | |
JP6587462B2 (en) | Sheet sticking device and sheet sticking method | |
JP6216655B2 (en) | Sheet sticking device and sticking method | |
JP2016050034A (en) | Sheet bonding apparatus and sheet bonding method | |
JP2017059581A (en) | Sheet sticking device and sheet sticking method | |
JP6445882B2 (en) | Sheet transfer apparatus and transfer method | |
JP6476027B2 (en) | Sheet peeling apparatus, peeling method, and sheet transfer apparatus | |
JP6216606B2 (en) | Sheet pasting device | |
JP3210743U (en) | Sheet pasting device | |
JP6543140B2 (en) | Sheet sticking apparatus and sheet sticking method | |
JP3212700U (en) | Sheet pasting device | |
JP6315784B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP6539558B2 (en) | Processing unit | |
JP7009177B2 (en) | Sheet peeling device and peeling method | |
JP6577813B2 (en) | Processing equipment | |
JP6312472B2 (en) | Sheet sticking device and sticking method | |
JP2015035452A (en) | Sheet sticking apparatus and sheet sticking method | |
JP7250512B2 (en) | Sheet peeling device and sheet peeling method | |
JP2016139755A (en) | Sheet transferring apparatus, sheet cutting apparatus, and cutting method | |
JP7016679B2 (en) | Sheet peeling device and peeling method | |
JP6473356B2 (en) | Sheet sticking device and sticking method | |
JP3210845U (en) | Sheet feeding device | |
JP2021090024A (en) | Sheet pasting device and sheet pasting method | |
JP6177621B2 (en) | Sheet sticking device and sheet sticking method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190910 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6587462 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |