JP6584005B2 - 封止容器及び加工ユニット - Google Patents
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Description
(1)上記実施形態では、グローブポート11d及びグローブ12を有するグローブボックスBとしたが、本発明はこれに限定されない。グローブポート11d及びグローブ12を備えず、封止状態を維持するチャンバとしてもよい。
10 筐体本体
10A 側壁
10a 搬出入ポート
10b パネル取付面
10c 配管挿入開口
11 グローブパネル(パネル)
11a パネル部
11b パネルフレーム部
11c 取手
11d グローブポート
11e 被固定板
12 グローブ
13 グローブパネル差込部
14 トグルクランプ(固定部)
14a 押し当て部
14b トグル機構
14c レバー
14d 押さえ板
2 配管挿入部
20 差込部
20a 基礎部
20b 蛇腹部押さえ板
20c シール部押さえ板
21 蛇腹部(可撓性支持部)
22 シール部
A 加工ユニット
B グローブボックス(封止容器)
C 切断機(加工機)
X 配管
Claims (7)
- 既設装置が挿入される接続開口を有する封止容器であって、
前記接続開口を有する差込部と、
前記接続開口の内面に設けられるシール部と、
前記既設装置の被挿入領域を収容する筐体部と、
前記筐体部と差込部との間を封止しかつ前記差込部を移動可能に支持する可撓性支持部とを備え、
前記シール部は、前記既設装置の挿入方向において前記可撓性支持部よりも前記筐体部の奥側に位置することを特徴とする封止容器。 - 前記可撓性支持部は、前記接続開口の径方向に凹凸が繰り返されてなる蛇腹部であることを特徴とする請求項1記載の封止容器。
- 前記筐体部は、筐体本体と、前記筐体本体に脱着可能なパネルと、前記パネルを前記筐体本体に固定する固定部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の封止容器。
- 前記固定部は、前記パネルを前記筐体本体に押し当てて固定する押し当て部と、前記押し当て部に接続されたトグル機構と、前記トグル機構を操作するレバーとを有するトグルクランプであることを特徴とする請求項3に記載の封止容器。
- 前記パネルの少なくとも一部は、透明であることを特徴とする請求項3または4に記載の封止容器。
- 前記筐体部は、前記パネルに気密に取り付けられたグローブを備えることを特徴とした請求項3〜5のいずれか一項に記載の封止容器。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の封止容器と、
前記封止容器の筐体内部に設置される加工機と
を有する加工ユニット。
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JP2015210041A JP6584005B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 封止容器及び加工ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015210041A JP6584005B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 封止容器及び加工ユニット |
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JP6584005B2 true JP6584005B2 (ja) | 2019-10-02 |
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Family Applications (1)
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JP2015210041A Active JP6584005B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 封止容器及び加工ユニット |
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