JP6583525B2 - 顕微分析装置 - Google Patents
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Description
a) 測定領域の試料から発せられる測定光を第1集光点に集光する集光光学系と、
b) 前記第1集光点に位置する開口を有するアパーチャ板と、
c) 前記開口を通過した測定光を反射して第2集光点に集光する楕円凹面鏡と、
d) 前記第2集光点の前に配置され、該位置における測定光の光束の横断面の形状に合致する形状の端面を有する貫通孔が形成された遮蔽板と、
e) 前記第2集光点に設けられた光検出器と
を備えることを特徴とする。
また、前記楕円凹面鏡は、前記第1集光点と前記第2集光点を2つの焦点とする回転楕円体面を有する凹面鏡である。
試料2の上方に設けられた結像レンズ10及び撮像部11は、図示しない可視光源から試料2の表面に可視光を照射してその状態を確認するために用いられる。
1b…反射測定用赤外光源
2…試料
20…ミラー
21…ハーフミラー
3…凹面鏡
4…凸面鏡
5…カセグレン鏡
6…アパーチャ
7…ハーフミラー
8…楕円凹面鏡
9、9’…赤外検出器
9a、9a’…コールドアパーチャ
10…結像レンズ
11…撮像部
Claims (3)
- a) 測定領域の試料から発せられる測定光を第1集光点に集光する集光光学系と、
b) 前記第1集光点に位置する開口を有するアパーチャ板と、
c) 前記開口を通過した測定光を反射して第2集光点に集光する楕円凹面鏡と、
d) 前記第2集光点の前に配置され、該位置における測定光の光束の横断面の形状に合致する形状の断面を有する貫通孔が形成された遮蔽板と、
e) 前記第2集光点に設けられた光検出器と
を備え、
前記遮蔽板が、前記試料から発せられ前記集光光学系により集光される光の中心線により規定される該測定光の光軸に垂直に配置されている
ことを特徴とする顕微分析装置。 - a) 測定領域の試料から発せられる測定光を第1集光点に集光する集光光学系と、
b) 前記第1集光点に位置する開口を有するアパーチャ板と、
c) 前記開口を通過した測定光を反射して第2集光点に集光する楕円凹面鏡と、
d) 前記第2集光点の前に配置され、断面が真円である貫通孔が形成された遮蔽板と、
e) 前記第2集光点に設けられた光検出器と
を備え、
前記試料から発せられ前記集光光学系により集光される光の中心線により該測定光の光軸が規定され、前記楕円凹面鏡に入射する前記測定光の光軸と該楕円凹面鏡により反射された該測定光の光軸を含む面内において、該楕円凹面鏡により反射された測定光のうち該光軸の一方の側で該光軸から最も離れた位置で該楕円凹面鏡により反射される光の進行方向と該光軸が成す角がθa、該光軸の他方の側で該光軸から最も離れた位置で該楕円凹面鏡により反射される光の進行方向と該光軸が成す角がθbと規定され、前記貫通孔の中心軸が前記光軸に対して|θb-θa|/2傾くように前記遮蔽板が配置されている
ことを特徴とする顕微分析装置。 - 前記測定光が赤外光であることを特徴とする請求項1に記載の顕微分析装置。
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