JP6582048B2

JP6582048B2 - 片面金属張積層板の製造方法および製造装置

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Publication number: JP6582048B2
Application number: JP2017525451A
Authority: JP
Inventors: 友洋山岡
Original assignee: Kaneka Corp
Current assignee: Kaneka Corp
Priority date: 2015-06-26
Filing date: 2016-06-24
Publication date: 2019-09-25
Anticipated expiration: 2036-06-24
Also published as: US10654222B2; TW201706138A; CN107735250A; TWI698345B; US20180178458A1; CN107735250B; JPWO2016208730A1; WO2016208730A1; KR20180022827A; KR102441931B1

Description

本発明は、フレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣともいう）等に好適に用いられる片面金属張積層板の製造方法に関する。更に詳しくは、両面金属張積層板を生産するための両面に熱可塑性樹脂層を有した耐熱性フィルムを用いた片面金属張積層板の製造方法および製造装置に関するものである。

従来より、電子電気機器用印刷回路基板として好適な金属張積層板としては、ポリイミドフィルムの表裏両面に金属箔を積層した構造である、両面金属張積層板および片面のみに金属箔を積層した構造のフレキシブル積層板である片面金属張積層板が知られている。

このような片面金属張積層板を熱圧着（以下、熱ラミネートともいう）等の方法により製造する場合、コア層（耐熱性フィルム）の表裏両面に熱可塑性ポリイミド層を配した構造を有する接着シートを用いると、金属箔を積層しない側の表面に存在する熱可塑性ポリイミド層が金属ロールや保護フィルムに融着し、片面金属張積層板の製造自体が困難であるという問題が存在する。そこで、金属箔を貼り付けない側の熱可塑性ポリイミド層に特定の構造のポリイミドを用いる技術が開示されている（例えば、特許文献１）。また、金属箔を積層しない側に剥離フィルムを用い、さらに金属ロールと被積層材料との間の少なくとも一方に保護フィルムを配置する技術が開示されている（例えば、特許文献２）。

日本国公開特許公報「特開２０１３−１７６９３１号公報（２０１３年９月９日公開）」日本国公開特許公報「特開２００７−１０９６９４号公報（２００７年４月２６日公開）」

しかしながら、特許文献１による方法では、特殊なポリイミドを製造し、さらに耐熱性フィルムの両面の表面と裏面に異なる熱可塑性ポリイミド層を積層することになるため、線膨張係数が異なるなど片面金属張積層板全体ではバランスが悪化して、片面金属張積層板として反りが発生するという課題を見出した。特許文献２による方法では、剥離フィルムおよび保護フィルムを剥離する工程において、片面金属張積層板からの剥離フィルムおよび保護フィルムの剥離が不十分であったり、片面金属張積層板にシワが生じるなどの課題が生じることがわかった。

また、両面金属張積層板を用いて、その片面の金属箔のみエッチング処理することにより片面金属張積層板を得ることができる。しかしながら、このような方法においては、エッチング処理のために製造工程が１つ増加する。さらにエッチング処理される不要な金属箔を使用することから供給、コストの課題も存在する。

本発明は、上述課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、コア層である耐熱性フィルムの両面に熱可塑性樹脂層を設けているにも拘らず、金属箔を積層しない側の熱可塑性樹脂層表面が金属ロールや保護フィルムに融着することなく片面金属張積層板を効率よく製造でき、さらに反りの発生が抑制された片面金属積層板を安価および容易に得ることができる片面金属張積層板の製造方法および製造装置を提供することにある。

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下の方法により上記課題を解決して目的の片面金属張積層板（Ｅ）が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法は、耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）を用い、接着シート（Ｃ）の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）を積層し、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）を積層する工程を含む片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法であって、さらに保護材料（Ｇ）を剥離する工程を含み、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満であることを特徴としている。

また、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置は、耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）と、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）とを、熱ラミネートする熱ラミネート部と、その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護材料剥離部とを含む、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置であって、前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されていることを特徴としている。

本発明によれば、従来より生産されている両面金属張積層板用の材料および装置を使用し、容易に片面金属張積層板を生産することができるうえに、片面の金属箔をエッチングする必要もなく安価に生産性を向上させることができる。本発明の製造方法は、特に、熱ラミネート法で連続的に片面金属張積層板を製造する場合に顕著な効果を発現する。

本発明の一実施形態によって製造される片面金属張積層板（Ｅ）の熱圧着時における模式的な拡大断面図の一例である。熱圧着後、保護材料（Ｇ）は片面金属張積層板（Ｅ）から剥離される。本発明の一実施形態によって製造される片面金属張積層板（Ｅ）の熱圧着時における模式的な拡大断面図の一例である。熱圧着後、保護フィルム（Ｆ）および保護材料（Ｇ）は片面金属張積層板（Ｅ）から剥離される。本発明に用いられる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法（装置）の好ましい一例を示す概念断面図である。従来技術である両面金属張積層板の製造方法（装置）の一例を示す概念断面図である。本発明に用いられる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法（装置）の好ましい一例を示す概念断面図である。本発明の比較例となる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法（装置）の一例を示す概念断面図である。本発明の比較例となる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法（装置）の一例を示す概念断面図である。従来技術である両面金属張積層板の製造方法（装置）の一例を示す概念断面図である。本発明に用いられる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法（装置）の一例を示す概念断面図である。片面金属張積層板（Ｅ）の引き剥がし強度の測定方法を説明する図である。片面金属張積層板（Ｅ）の引き剥がし強度の測定方法を説明する図である。本発明に用いられる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法（装置）の一例を示す概念断面図である。

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、記述した範囲内で種々の変形を加えた態様で実施できる。

なお、本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「Ａ〜Ｂ」は、「Ａ以上（Ａを含みかつＡより大きい）、Ｂ以下（Ｂを含みかつＢより小さい）」を意味する。

＜耐熱性フィルム（Ａ）＞
本発明において「耐熱性」とは、熱ラミネート時の加熱温度での使用に耐え得ることを意味する。従って、耐熱性フィルム（Ａ）としては、上記性質を満たすフィルムであれば特に制限はなく、例えば、ポリイミドフィルムやポリエチレンナフタレートなどの公知の各種フィルムを用いることができる。中でも、耐熱性のみならず電気特性等の物性にも優れている点から、耐熱性フィルム（Ａ）は耐熱性ポリイミドフィルムであることが好ましい。

前記「耐熱性ポリイミドフィルム」は、非熱可塑性ポリイミドを９０重量％以上含有して形成されていればよく、非熱可塑性ポリイミドの分子構造、厚みは特に限定されない。耐熱性ポリイミドフィルムの形成に用いられる非熱可塑性ポリイミドは、一般にポリアミド酸（ポリアミック酸ともいう）を前駆体として用いて製造されるものであるが、前記非熱可塑性ポリイミドは、完全にイミド化していてもよいし、イミド化されていない前駆体すなわちポリアミド酸を一部に含んでいてもよい。ここで、非熱可塑性ポリイミドとは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドをいう。本発明では、フィルムの状態で４５０℃、２分間加熱を行い、シワが入ったり伸びたりせず、形状を保持しているポリイミド、若しくは実質的にガラス転移温度を有しないポリイミドをいう。なお、ガラス転移温度は動的粘弾性測定装置（ＤＭＡ）により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。また、「実質的にガラス転移温度を有しない」とは、ガラス転移状態になる前に熱分解が開始するものをいう。

一般にポリイミドフィルムは、ポリアミド酸を前駆体として用いて製造されうる。ポリアミド酸の製造方法としては公知のあらゆる方法を用いることができ、通常、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンを、実質的等モル量有機溶媒中に溶解させて、制御された温度条件下で、上記芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造されうる。これらのポリアミド酸溶液は通常５重量％〜３５重量％、好ましくは１０重量％〜３０重量％の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に好適な分子量と溶液粘度を得ることができる。

重合方法としてはあらゆる公知の方法およびそれらを組み合わせた方法を用いることができる。ポリアミド酸の重合における重合方法の特徴はそのモノマーの添加順序にあり、このモノマー添加順序を制御することにより得られるポリイミドの諸物性を制御することができる。従い、本発明においてポリアミド酸の重合にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として次のような方法が挙げられる。すなわち、
１）芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。
２）芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
３）芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
４）芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解および／または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
５）実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
などのような方法である。これら方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。

本発明においては、上記のいかなる重合方法を用いて得られたポリアミド酸を用いても良く、重合方法は特に限定されるものではない。

上記芳香族ジアミンとしては、これに限定されるものではないが、例えば、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、２，２−ビス｛４−（４−アミノフェノキシ）フェニル｝プロパン、２，２−ビス｛４−（４−アミノフェノキシ）フェニル｝ヘキサフルオロプロパン、ビス｛４−（３−アミノフェノキシ）フェニル｝スルホン、ビス｛４−（４−アミノフェノキシ）フェニル｝スルホン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジクロロベンジジン、３，３’−ジメチルベンジジン、２，２’−ジメチルベンジジン、３，３’−ジメトキシベンジジン、２，２’−ジメトキシベンジジン、１，４−ジアミノベンゼン（ｐ−フェニレンジアミン）、１，３−ジアミノベンゼン（ｍ−フェニレンジアミン）、４、４’−ジアミノジフェニルスルフォン、３、３’−ジアミノジフェニルスルフォン、９、９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン、４、４’−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、４、４’−（１，３−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、４、４’−ジアミノベンズアニリド等、またはこれらの２種類以上の組み合わせを挙げることができる。

また、上記芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、これに限定されるものではないが、例えば、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、４，４’−オキシジフタル酸二無水物、３，４’−オキシフタル酸二無水物、エチレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、ビスフェノールＡビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、ピロメリット酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−フランテトラカルボン酸二無水物、４，４’−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルプロパン二無水物、４，４’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ｐ−フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル無水物）、ｐ−フェニレンジフタル酸無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等、またはこれらの２種類以上の組み合わせを挙げることができる。

なお、上記芳香族ジアミンと上記芳香族テトラカルボン酸二無水物は、実質的に等モル量となるように反応させればよく、添加の順序、モノマーの組み合わせおよび組成は特に限定されるものではない。

ポリアミド酸を製造するための重合用溶媒として用いられる有機溶媒は、芳香族ジアミン、芳香族テトラカルボン酸二無水物、および得られるポリアミド酸を溶解するものであれば、特に限定されるものではない。上記重合用溶媒として、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等のアミド系溶媒が好ましく、これらを用いれば、得られるポリアミド酸の有機溶媒溶液（ポリアミド酸溶液）をそのまま用いて樹脂溶液を調製することができる。

ポリアミド酸を製造するための反応温度は、−１０℃〜５０℃であることが好ましい。かかる温度範囲内に制御されることにより、良好な反応速度で反応が進み、生産性に優れるため好ましい。また、反応時間も特に限定されるものではないが、通常数分〜数時間である。

本発明において硬化剤とは、脱水剤および触媒の少なくとも一方を含む趣旨である。

ここで脱水剤とは、ポリアミド酸を脱水閉環作用により脱水できれば特に限定されるものではないが、例えば、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物、Ｎ，Ｎ’−ジアルキルカルボジイミド、低級脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪族酸無水物、アリールスルホン酸ジハロゲン化物、チオニルハロゲン化物等を挙げることができる。これらは単独で用いても良いし、２種類以上を適宜組み合わせて用いても良い。これらの中でも、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物を特に好適に用いることができる。

触媒は、ポリアミド酸に対する上記脱水剤の脱水閉環作用を促進する効果を有する成分であれば特に限定されるものではないが、具体的には、例えば、脂肪族３級アミン、芳香族３級アミン、複素環式３級アミン等を挙げることができる。

摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性、ループスティフネス等のフィルムの諸特性を改善する目的で、耐熱性フィルム（Ａ）にはフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としては、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。

＜熱可塑性樹脂層（Ｂ）＞
本発明において、熱可塑性樹脂層（Ｂ）としては、例えば、ポリカーボネート系樹脂、アクリロニトリル・スチレン共重合樹脂、熱可塑性ポリイミド系樹脂等が例示されるが、耐熱性の点から、特に熱可塑性ポリイミド樹脂が好ましく用いられうる。前記熱可塑性ポリイミド樹脂は、金属箔との有意な接着力や好適な線膨張係数など、所望の特性が発現されれば、当該層に含まれる熱可塑性ポリイミド樹脂の含有量、分子構造、厚みは特に限定されるものではない。しかしながら、有意な接着力や好適な線膨張係数などの所望の特性の発現のためには、実質的には熱可塑性ポリイミド樹脂を熱可塑性樹脂層（Ｂ）中に５０重量％以上含有することが好ましい。更に、耐熱性フィルムを介して対向する熱可塑性樹脂層（Ｂ）に含まれる熱可塑性ポリイミド樹脂は、接着シート全体での線膨張係数のバランスや、製造工程を簡略化する等の観点から、同種であることが好ましい。

熱可塑性樹脂層（Ｂ）に含有される熱可塑性ポリイミド樹脂としては、例えば、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。

熱可塑性樹脂層（Ｂ）に含有される熱可塑性ポリイミドは、その前駆体であるポリアミド酸からの転化反応により得ることができる。当該ポリアミド酸の製造方法としては、前記耐熱性フィルム（Ａ）に用いられうる非熱可塑性ポリイミド樹脂の前駆体と同様、公知のあらゆる方法を用いることができる。

金属箔（Ｄ）との有意な接着力を発現し、かつ得られる片面金属張積層板（Ｅ）の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明に用いる熱可塑性ポリイミド樹脂は、１５０℃〜３００℃の範囲にガラス転移温度（Ｔｇ）を有していることが好ましい。なお、Ｔｇは動的粘弾性測定装置（ＤＭＡ）により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。

本発明に用いられうる熱可塑性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸についても、特に限定されるわけではなく、公知のあらゆるポリアミド酸を用いることができる。ポリアミド酸溶液の製造に関しても、前記で例示した原料および前記製造条件等を適宜選択して同様に用いることができる。

熱可塑性ポリイミドは、使用する芳香族テトラカルボン酸二無水物および芳香族ジアミン等の原料を種々組み合わせることにより、諸特性を調節することができるが、一般に剛直構造の芳香族ジアミンの使用比率が大きくなるとガラス転移温度が高くなったり、加熱時の貯蔵弾性率が大きくなり、接着性・加工性が低くなる場合がある。例えば、前記剛直構造の芳香族ジアミンの使用比率は、芳香族ジアミン全量に対して、好ましくは４０ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは３０ｍｏｌ％以下、特に好ましくは２０ｍｏｌ％以下である。

好ましい熱可塑性ポリイミド樹脂に使用される芳香族ジアミンや芳香族テトラカルボン酸二無水物の具体例としては、前述の耐熱性ポリイミドフィルムに使用されうる芳香族ジアミンや芳香族テトラカルボン酸二無水物を使用できる。より好ましくは、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物とアミノフェノキシ基を有する芳香族ジアミンを重合反応せしめたものなどが挙げられる。

さらに、本発明に係る接着シートのすべり性を制御する目的で、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラー、さらにはその他樹脂を添加しても良い。

＜接着シート（Ｃ）の製造方法＞
本発明にかかる接着シート（Ｃ）の製造方法については特に限定されるものではないが、三層構造の接着シート（Ｃ）の場合、コア層となる耐熱性フィルム（Ａ）に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を片面毎に、もしくは両面同時に形成する方法、熱可塑性樹脂層（Ｂ）をシート状に成形し、これを上記コア層となる耐熱性フィルム（Ａ）の表面に貼り合わせる方法等が挙げられる。あるいは、コア層となる耐熱性フィルム（Ａ）と熱可塑性樹脂層（Ｂ）を共押出しして、実質的に一工程で積層体を製膜する接着シート（Ｃ）を作製する方法であってもよい。

また、例えば、熱可塑性樹脂層（Ｂ）に熱可塑性ポリイミド樹脂を用いる場合には、熱可塑性ポリイミド樹脂またはこれを含む樹脂組成物を有機溶媒に溶解または分散して得られる樹脂溶液を耐熱性フィルム（Ａ）の表面に塗布してもよいが、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の溶液を調製して、これを耐熱性フィルムの表面に塗布し、次いでイミド化してもよい。このときのポリアミド酸の合成やポリアミド酸のイミド化の条件等については特に限定されるものではないが、従来公知の原料や条件等を用いることができる。ポリアミド酸を焼成する際、過剰に過熱するとタック性を低くできるが、吸湿率の増加やフィルムの劣化といった問題が生じる場合がある。また、前記ポリアミド酸溶液には、用途に応じて、例えば、カップリング剤などが含まれていてもよい。

また、本発明における接着シート（Ｃ）に係る各層の厚み構成については、用途に応じた総厚みになるように適宜調整すればよいが、接着シート（Ｃ）の状態で反りが生じないように、各層の線膨張係数を考慮しながら、各熱可塑性樹脂層（Ｂ）の厚みバランスを調整するのが好ましい。耐熱性フィルム（Ａ）と、耐熱性フィルム（Ａ）を介して対向する熱可塑性樹脂層（Ｂ）との線膨張係数の差が小さい場合は、厚みバランスを取るのが容易となる。また、接着シート（Ｃ）の総厚みは、好ましくは５μｍ〜５０μｍ、より好ましくは７μｍ〜３０μｍである。この範囲内であれば、ＦＰＣの基材として好適に使用することができる。

本発明における接着シート（Ｃ）としては、株式会社カネカ製ピクシオ（登録商標）を使用することも可能である。

＜金属箔（Ｄ）＞
本発明において、金属箔（Ｄ）としては特に限定されるものではないが、電子機器・電気機器用途に本発明の片面金属張積層板（Ｅ）を用いる場合には、例えば、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金（４２合金も含む）、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔を挙げることができる。一般的な金属張積層板では、圧延銅箔、電解銅箔といった銅箔が多用されるが、本発明においてもこれらの銅箔を金属箔（Ｄ）として好ましく用いることができる。なお、これらの金属箔（Ｄ）の表面には、防錆層や耐熱層あるいは接着層が塗布されていてもよい。また、上記金属箔（Ｄ）の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよい。金属箔（Ｄ）の厚みは、例えば、３μｍ〜３０μｍが好ましく、より好ましくは５μｍ〜２０μｍである。金属箔（Ｄ）の表面粗度（Ｒｚ）は０．０１μｍ〜１μｍであることが好ましい。金属箔（Ｄ）の表面粗度（Ｒｚ）がこの範囲外の場合は熱可塑性樹脂層（Ｂ）との接着性が劣る場合などがある。

＜保護フィルム（Ｆ）＞
本発明においては、得られる片面金属張積層板（Ｅ）の外観を良好なものとするために、金属箔（Ｄ）を積層する側は、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）を積層し、さらに金属箔（Ｄ）に接して保護フィルム（Ｆ）を積層することが好ましい。熱圧着方法を用いる場合は、具体的には、加圧面（例えば、金属ロール）と、接着シート（Ｃ）および金属箔（Ｄ）と、の間に保護フィルム（Ｆ）を積層する。言い換えれば、加圧面（例えば、金属ロール）と金属箔（Ｄ）との間に保護フィルム（Ｆ）を積層する。

保護フィルム（Ｆ）としては、熱圧着工程の加熱温度に耐えうるものであれば特に限定されず、非熱可塑性ポリイミドフィルム等の耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、ＳＵＳ箔等の金属箔等を好適に用いることができる。中でも、耐熱性、リサイクル性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムがより好ましく用いられる。非熱可塑性ポリイミドフィルムとしては各種公知のフィルムを使用することができるが、例えば、株式会社カネカ製アピカル（登録商標）、宇部興産株式会社製ユーピレックス（登録商標）、東レ・デュポン株式会社製カプトン（登録商標）、等が例示される。

保護フィルム（Ｆ）は、保護材料（Ｇ）を剥離する工程において、片面金属張積層板（Ｅ）が保護フィルム（Ｆ）から剥離するなどの不具合が発生しない厚みを有することができれば、特に制限されない。好ましくは２５μｍ〜３００μｍ、より好ましくは５０μｍ〜２５０μｍである。

＜保護材料（Ｇ）＞
本発明においては、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側は、熱可塑性樹脂層（Ｂ）に直接保護材料（Ｇ）を積層する。具体的には、加圧面（例えば、金属ロール）と接着シート（Ｃ）との間に保護材料（Ｇ）を積層する。

保護材料（Ｇ）としては、熱圧着工程の加熱温度に耐えうるものであれば特に限定されず、非熱可塑性ポリイミドフィルム等の耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、ＳＵＳ箔等の金属箔等を好適に用いることができる。中でも、耐熱性、リサイクル性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムがより好ましく用いられる。

保護材料（Ｇ）は、保護フィルム（Ｆ）を剥離する工程において、片面金属張積層板（Ｅ）が保護材料（Ｇ）から剥離するなどの不具合が発生しない厚みを有することができれば、特に制限されない。好ましくは１０μｍ〜３００μｍ、より好ましくは２５μｍ〜３００μｍ、さらに好ましくは５０μｍ〜２５０μｍである。

非熱可塑性ポリイミドフィルムとしては各種公知のフィルムを使用することができるが、例えば、株式会社カネカ製アピカル（登録商標）、宇部興産株式会社製ユーピレックス（登録商標）、東レ・デュポン株式会社製カプトン、等が例示される。

＜保護材料（Ｇ）の線膨張係数＞
本発明においては、接着シート（Ｃ）の線膨張係数をＸ１、保護材料（Ｇ）の線膨張係数をＸ２とするとき、｜Ｘ１−Ｘ２｜≧３ｐｐｍ／℃である保護材料（Ｇ）を使用することが好ましい。保護材料（Ｇ）の線膨張係数Ｘ２が当該関係式を満たす範囲にあれば、巻取工程において保護材料（Ｇ）を剥離した後や、必要に応じて行うエッチング工程後の接着シート（Ｃ）のカールを抑制できる。｜Ｘ１−Ｘ２｜は好ましくは３ｐｐｍ／℃〜１５ｐｐｍ／℃、より好ましくは４ｐｐｍ／℃〜１２ｐｐｍ／℃である。接着シート（Ｃ）全体の線膨張係数制御により、得られる片面金属張積層板（Ｅ）の反りの発生を抑制することが可能となる。｜Ｘ１−Ｘ２｜はさらに好ましくは４．５ｐｐｍ／℃〜８．５ｐｐｍ／℃、特に好ましくは５ｐｐｍ／℃〜８ｐｐｍ／℃である。この範囲内であれば、得られる片面金属張積層板（Ｅ）の反りを抑制することが可能であり、さらに寸法変化率も小さくすることが可能となる。

＜保護材料（Ｇ）の表面粗度＞
本発明においては、保護材料（Ｇ）の表面粗度が０．０１μｍ〜３μｍの範囲内であることが好ましく、０．０１μｍ〜１μｍの範囲内であることがより好ましい。表面粗度がこの範囲内の保護材料（Ｇ）を用いる場合は、接着シート（Ｃ）と保護材料（Ｇ）を剥離させることが容易となり、得られた片面金属張積層板（Ｅ）がカールすることを抑制できる。なお、ここで、保護材料（Ｇ）の表面粗度とは、保護材料（Ｇ）の接着シート（Ｃ）と接する側の表面の表面粗度をいう。

＜片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法＞
本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法は、例えば図１及び図２を参照して説明すれば、耐熱性フィルム（Ａ）１の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）２を有する接着シート（Ｃ）３を用い、接着シート（Ｃ）３の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）２を介して金属箔（Ｄ）４を積層することによる片面金属張積層板（Ｅ）５の製造方法である。金属箔（Ｄ）４を積層する側は、熱可塑性樹脂層（Ｂ）２を介して金属箔（Ｄ）４を積層し、金属箔（Ｄ）４を積層しない側は、熱可塑性樹脂層（Ｂ）２に直接保護材料（Ｇ）７を積層することを特徴とする。金属箔（Ｄ）４を積層する側は、熱可塑性樹脂層（Ｂ）２を介して金属箔（Ｄ）４を積層し、さらに金属箔（Ｄ）４に接して保護フィルム（Ｆ）６を積層することも可能である。

積層する方法としては各種公知の方法を適用可能であるが、熱圧着により上述した層を貼り合わせて得る熱圧着方法が片面金属張積層板（Ｅ）のシワ等の発生を抑制できる点から好ましい。接着シート（Ｃ）と金属箔（Ｄ）の貼り合わせ方法としては、例えば、単板プレスによるバッチ処理による熱圧着方法、熱ロールラミネート装置（熱ラミネート装置ともいう）或いはダブルベルトプレス（ＤＢＰ）装置による連続処理による熱圧着方法などが挙げられるが、生産性、維持費も含めた設備コストの点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を使用した熱圧着方法が好ましい。ここでいう「一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置」とは、材料を加熱加圧するための金属ロールを有している装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。

本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法は、上述した層を積層する前に接着シート（Ｃ）を加熱する工程を含んでいてもよい。接着シート（Ｃ）を加熱する方法は特に限定されるものではないが、例えばヒーターを用いる方法を挙げることができる。前記加熱に用いるヒーターは、接着シート（Ｃ）の保護材料（Ｇ）を積層する側に設置されることがより好ましい。これによりピール強度が適切となり、剥離挙動が良好となるため好ましい。また、前記接着シート（Ｃ）は、２５０℃以上の温度で加熱することが好ましく、より好ましくは３００℃以上であり、さらに好ましくは４００℃以上である。また、上限は好ましくは５５０以下であり、より好ましくは５００℃以下である。接着シート（Ｃ）を上記温度範囲で加熱することにより、保護材用（Ｇ）をさらに容易に剥離することができ、また、片面金属張積層板（Ｅ）が垂れたりシワが発生したりすることをより好適に回避することができる。また、加熱時間も特に限定されるものではないが、例えば、０．１分〜１分である。

熱圧着後には、保護フィルム（Ｆ）または保護材料（Ｇ）の少なくとも一方を片面金属張積層板（Ｅ）に積層したまま次の工程で使用することも可能であるが、ＦＰＣとして使用する場合は、片面金属張積層板（Ｅ）から保護材料（Ｇ）または保護フィルム（Ｆ）或いはこれらの両方を剥離することが工程の簡略化から非常に重要であることを見出した。

したがって、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法の好ましい一実施形態は、図３に示すように、耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）３を用い、接着シート（Ｃ）３の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）４のみを積層し、接着シート（Ｃ）３の金属箔（Ｄ）４を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）７を積層する工程を含み、さらに保護材料（Ｇ）７を剥離する工程を含む。

また、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法の好ましい他の一実施形態は、図５に示すように、耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）３を用い、接着シート（Ｃ）３の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）４を積層し、さらに金属箔（Ｄ）４に接して保護フィルム（Ｆ）６を積層し、接着シート（Ｃ）３の金属箔（Ｄ）４を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）７を積層する工程を含み、さらに保護材料（Ｇ）７および保護フィルム（Ｆ）６を剥離する工程を含む。

特に、保護材料（Ｇ）を先に片面金属張積層板（Ｅ）から剥離し、その後保護フィルム（Ｆ）を剥離する場合は、片面金属張積層板（Ｅ）にシワや反りが生じる頻度が極めて少なく、好ましい。保護材料（Ｇ）と保護フィルム（Ｆ）を同時に片面金属張積層板（Ｅ）から剥離することも可能であるが、その場合は片面金属張積層板（Ｅ）の両面を保護していた保護材料（Ｇ）と保護フィルム（Ｆ）が同時に剥離されることから、片面金属張積層板（Ｅ）の搬送が不安定になり、片面金属張積層板（Ｅ）にシワや反りが発生する場合があり、ＦＰＣの品質不良の原因となることがある。また、保護フィルム（Ｆ）を先に片面金属張積層板（Ｅ）から剥離し、その後保護材料（Ｇ）を剥離する場合は、保護フィルム（Ｆ）を剥離した際、相対的に厚みが薄く、フィルムの剛性にも乏しい保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）との積層状態となるために、その後に保護材料（Ｇ）を剥離する際に、片面金属張積層板（Ｅ）シワや反りが発生しやすくなる。

この機構の詳細は、保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）との接着強度（ピール強度）と、保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）との接着強度（ピール強度）によることが要因の一つと推察している。

加えて、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する順番とともに、剥離角度、つまり保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）とがなす角度、または保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）とがなす角度も、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を剥離した片面金属張積層板（Ｅ）の品質、特にシワや反りに大きな影響を及ぼすことを見出した。すなわち、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αは０より大きく９０°未満であることが好ましい。なお、後述する蛇行するパスラインを採用する場合は、図１２に示すように、αは保護材料（Ｇ）を剥離する直前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度である。αがこの範囲内の場合は、保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）の引き剥がし強度（ピール強度）が小さくなるため好適であり、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から適切に剥離することが可能である。αはより好ましくは１０°以上８０°未満、さらに好ましくは１０°以上７０°未満、特に好ましくは１０°以上６０°未満である。

保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）は、保護材料（Ｇ）を剥離前の片面金属張積層板（Ｅ）に対して上記αの角度で引っ張って引き剥がす場合（後述するＩ法）は、好ましくは、０．０１Ｎ／ｃｍ〜１．８Ｎ／ｃｍであり、より好ましくは０．０５Ｎ／ｃｍ〜０．２Ｎ／ｃｍである。また、片面金属張積層板（Ｅ）、具体的には、接着シート（Ｃ）と金属箔（Ｄ）との積層体を、剥離前の保護材料（Ｇ）に対して上記（１８０°−α）の角度で引っ張って引き剥がす場合（後述するＩＩ法）は、好ましくは、０．０１Ｎ／ｃｍ〜２．０Ｎ／ｃｍであり、より好ましくは０．０５Ｎ／ｃｍ〜０．２Ｎ／ｃｍである。保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）が、上述した上限以下であれば、保護材料（Ｇ）の一部が片面金属張積層板（Ｅ）に残ったり、剥離することができなかったりするなどの不都合が発生することがなく、一方、保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）が、上述した下限以上であれば、保護材料（Ｇ）が片面金属張積層板（Ｅ）から工程中で剥離したり、浮いてしまいシワが生じるなどの不都合が発生しないため好ましい。

また、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する実施形態では、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満であるとともに、保護フィルム（Ｆ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度βが０より大きく９０°未満であることが好ましい。αについては上述したとおりであるので、ここでは説明を省略する。なお、後述する蛇行するパスラインを採用する場合は、図１２に示すように、βは保護フィルム（Ｆ）を剥離する直前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度である。βがこの範囲内であれば、保護材料（Ｇ）を剥離した後であっても保護フィルム（Ｆ）の工程中の剥離が生じない。また、保護フィルム（Ｆ）の剥離時に片面金属張積層板（Ｅ）に保護フィルム（Ｆ）が残存することがない。また、βは鋭角であるほど、得られる片面金属張積層板（Ｅ）の反りが発生しにくいため、好ましい。βはより好ましくは１０°以上８０°未満、さらに好ましくは１０°以上７０°未満、特に好ましくは１０°以上６０°未満である。

保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）は、保護フィルム（Ｆ）を剥離前の片面金属張積層板（Ｅ）に対して上記βの角度で引っ張って引き剥がす場合（後述するＩ法）は、好ましくは、０．０１Ｎ／ｃｍ〜１．８Ｎ／ｃｍであり、より好ましくは０．０５Ｎ／ｃｍ〜０．２Ｎ／ｃｍである。また、片面金属張積層板（Ｅ）、具体的には、接着シート（Ｃ）と金属箔（Ｄ）との積層体を、剥離前の保護フィルム（Ｆ）に対して上記（１８０°−β）の角度で引っ張って引き剥がす場合（後述するＩＩ法）は、好ましくは、０．０１Ｎ／ｃｍ〜２．０Ｎ／ｃｍであり、より好ましくは０．０５Ｎ／ｃｍ〜０．２Ｎ／ｃｍである。保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）が、上述した上限以下であれば、保護フィルム（Ｆ）の一部が片面金属張積層板（Ｅ）に残ったり、剥離することができなかったりするなどの不都合が発生することがなく、一方、保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）が、上述した下限以上であれば、保護フィルム（Ｆ）が片面金属張積層板（Ｅ）から工程中で剥離したり、浮いてしまいシワが生じるなどの不都合が発生しないため好ましい。

片面金属張積層板（Ｅ）におけるシワや反りの発生は、銅箔の種類および厚みにも影響を受けることがある。例えば、圧延銅箔では、αが１０°〜８０°の範囲内であることが好ましい。圧延銅箔は、一般的には、同じ厚みの電解銅箔より柔軟性に優れるものの、その柔軟性のために、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）の剥離時の応力の影響を受けるためと考えられる。

また、熱圧着装置における各フィルムの通し方（パスラインともいう）は種々好適な構成を採用することができる。例えば、図３及び図５に示すように、ロール状態の接着シート（Ｃ）３がロールから繰り出された後、該接着シート（Ｃ）３に金属箔（Ｄ）４、保護材料（Ｇ）７および必要に応じて保護フィルム（Ｆ）６が貼り合わされ、貼り合わされた被積層材料がその後一対以上の金属ロール９を通って熱圧着され、さらに一対以上の剥離ロール１０を通って保護材料（Ｇ）７および必要に応じて保護フィルム（Ｆ）６を剥離して、片面金属張積層板（Ｅ）５とする工程において、接着シート（Ｃ）３、熱圧着された被積層材料、及び、片面金属張積層板（Ｅ）５は、一直線状であってもよく、一対以上の金属ロール９や一対以上の剥離ロール１０などを含む熱圧着装置に備えられた各種ロールの間を蛇行しながら通過してもよい。なお、一直線状であるとは、接着シート（Ｃ）３、熱圧着された被積層材料、及び、片面金属張積層板（Ｅ）５が、蛇行しないで、単一平面上を移動することを意味する。勿論、接着シート（Ｃ）３、熱圧着された被積層材料、及び、片面金属張積層板（Ｅ）５は、パスラインの一部において一直線状であり、他の部分において蛇行していてもよい。

保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離するための、一対の剥離ロールの半径は、保護材料（Ｇ）側の剥離ロールの半径ｒａが、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側（すなわち、金属箔（Ｄ）側または保護フィルム（Ｆ）側）の剥離ロールの半径ｒｂより小さいことが好ましい。

また、保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離するための、一対の剥離ロールの半径は、保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａが、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側（すなわち、接着シート（Ｃ）側または保護材料（Ｇ）側）の剥離ロールの半径ｒｂより小さいことが好ましい。

剥離される保護材料（Ｇ）側、または、剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａが小さいほど、剥離される保護材料（Ｇ）または保護フィルム（Ｆ）の剥離時の曲率半径が小さくなる、言い換えれば、急カーブの形に近づき、剥離角度（剥がれる瞬間の角度）、すなわち上記α、βも９０°未満となる。

言い換えれば、剥離される保護材料（Ｇ）側、または、剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａと、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側の剥離ロールの半径ｒｂとの半径比ｒａ／ｒｂは１未満であることが好ましい。これにより、シワや反りのない片面金属張積層板（Ｅ）を得ることができる。ｒａ／ｒｂは、より好ましくは０．７５未満であり、さらに好ましくは０．４未満である。

保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する速度、すなわち、金属張積層板の搬送スピードは、好ましくは、３．５ｍ／ｍｉｎ以下、より好ましくは２ｍ／ｍｉｎである。前記剥離する速度が３．５ｍ／ｍｉｎ以下であれば、剥離時の均一性を保つことができるため好ましい。

上記熱圧着方法における被積層材料の加熱方式は特に限定されるものではなく、例えば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱し得る従来公知の方式を採用した加熱方法を用いることができる。同様に、上記熱圧着方法における被積層材料の加圧方式も特に限定されるものではなく、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用した加圧方法を用いることができる。

＜圧着温度＞
上記熱圧着の工程における加熱温度、すなわち圧着温度（ラミネート温度）Ｔ１（℃）は、用いる接着シート（Ｃ）の熱可塑性樹脂層（Ｂ）のガラス転移温度（Ｔｇ）Ｔ２（℃）より２０℃〜９０℃高い温度であることが好ましく、接着シート（Ｃ）の熱可塑性樹脂層（Ｂ）のＴｇより５０℃〜８０℃高い温度であることがより好ましい。Ｔ１−Ｔ２がこの範囲であれば、接着シート（Ｃ）と保護材料（Ｇ）とを良好に剥離させることができる。

上記熱圧着の工程におけるラミネート速度、すなわち、金属張積層板の搬送スピードは、０．５ｍ／ｍｉｎ以上であることが好ましく、１．０ｍ／ｍｉｎ以上であることがより好ましい。０．５ｍ／ｍｉｎ以上であれば十分な熱圧着が可能になり、１．０ｍ／ｍｉｎ以上であれば生産性をより一層向上することができる。

上記熱圧着の工程における圧力、すなわちラミネート圧力は、高ければ高いほどラミネート温度を低く、かつラミネート速度を速くすることができる利点がある。一方、一般にラミネート圧力が高すぎると得られる片面金属張積層板（Ｅ）の寸法変化が悪化する傾向がある。逆にラミネート圧力が低すぎると得られる片面金属張積層板（Ｅ）の金属箔の接着強度が低くなる傾向がある。そのためラミネート圧力は、４９Ｎ／ｃｍ〜４９０Ｎ／ｃｍ（５ｋｇｆ／ｃｍ〜５０ｋｇｆ／ｃｍ）の範囲内であることが好ましく、９８Ｎ／ｃｍ〜２９４Ｎ／ｃｍ（１０ｋｇｆ／ｃｍ〜３０ｋｇｆ／ｃｍ）の範囲内であることがより好ましい。この範囲内であれば、ラミネート温度、ラミネート速度およびラミネート圧力の三条件を良好なものにすることができ、生産性をより一層向上することができる。

＜片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置＞
本発明にかかる片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法によって片面金属張積層板（Ｅ）を得るためには、接着シート（Ｃ）に、金属箔（Ｄ）、保護フィルム（Ｆ）、保護材料（Ｇ）などを貼り合わせて得られる、貼り合わされた被積層材料を連続的に加熱しながら圧着する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましい。この熱ラミネート装置では、熱ラミネートを行う熱ラミネート部の後段に、保護材料（Ｇ）および必要に応じて保護フィルム（Ｆ）を、片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する、保護材料等剥離部が設けられている。この熱ロールラミネート装置では、熱ラミネートを行う熱ラミネート部の前段に、被積層材料を繰り出す被積層材料繰出部を設けてもよいし、熱ラミネート部の後段に、被積層材料を巻き取る被積層材料巻取部を設けてもよい。これらの各部を設けることで、上記熱ロールラミネート装置の生産性をより一層向上させることができる。上記被積層材料繰出部および被積層材料巻取部の具体的な構成は特に限定されるものではなく、例えば、接着シート（Ｃ）や金属箔（Ｄ）、あるいは得られる片面金属張積層板（Ｅ）を巻き取ることのできる公知のロール状巻取機等を挙げることができる。

本発明の好ましい一実施形態では、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置は、図３に示すように、耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）３と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）４と、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）７とを、熱ラミネートする熱ラミネート部９と、その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）７を片面金属張積層板（Ｅ）５から剥離する保護材料剥離部とを含む。そして、前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されている。上記構成によれば、保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）の引き剥がし強度（ピール強度）が小さくなるため好適であり、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から適切に剥離することが可能である。また、さらに反りの発生が抑制された片面金属積層板を得ることができる。

また、本発明の好ましい他の一実施形態では、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置は、図５に示すように、耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）３と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）４と、金属箔（Ｄ）４に接して配置されている保護フィルム（Ｆ）６と、接着シート（Ｃ）３の金属箔（Ｄ）４を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）７とを、熱ラミネートする熱ラミネート部９と、その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）７を片面金属張積層板（Ｅ）５から剥離する保護材料剥離部と、保護フィルム（Ｆ）６を片面金属張積層板（Ｅ）５から剥離する保護フィルム剥離部とを含む。そして、前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）７を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）５と、剥離された保護材料（Ｇ）７とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されているとともに、前記保護フィルム剥離部は、保護フィルム（Ｆ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度βが０より大きく９０°未満となるように構成されている。上記構成によれば、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）との引き剥がし強度（ピール強度）が小さくなるため好適であり、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から適切に剥離することが可能である。また、さらに反りの発生が抑制された片面金属積層板を得ることができる。

保護材料剥離部および保護フィルム剥離部が設けられている実施形態では、前記保護材料剥離部の後段に、保護フィルム剥離部が設けられていることがより好ましい。

また、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置では、前記熱ラミネート部の前段に、接着シート（Ｃ）を加熱するためのヒーターが備えられていることがより好ましい。

前記保護材料剥離部、または前記保護材料剥離部および保護フィルム剥離部は、それぞれ、一対の剥離ロールを介して、保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離するようになっていることがより好ましい。一対の剥離ロールを介することにより、例えば単一の剥離ロールを介する場合と比較して、片面金属張積層板（Ｅ）或いは保護材料（Ｇ）または保護フィルム（Ｆ）に引っ張られることがないため、安定した剥離が可能となる。また、剥離される保護材料（Ｇ）側または剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａと、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側の剥離ロールの半径ｒｂとの半径比ｒａ／ｒｂは、上述したように１未満であることが好ましい。

片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置、並びに、前記熱ラミネート部９、保護材料剥離部、および保護フィルム剥離部の構成については、「片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法」に記載した内容を参照することができる。

さらに、本発明の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置には、剥離された保護材料（Ｇ）および剥離された保護フィルム（Ｆ）を巻き取るための巻取部や繰り出すための繰出部を設けることも好ましい。これら巻取部および繰出部を備えていれば、熱圧着の工程で、一度使用された保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を巻き取って繰り出し側に再度設置することで、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を再使用することができる。また、保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を巻き取る際に、これらの両端部を揃えるために、端部位置検出部および巻取位置修正部を設けてもよい。これによって、精度よくこれらの端部を揃えて巻き取ることができるので、再使用の効率を高めることができる。なお、これら巻取部、繰出部、端部位置検出部および巻取位置修正部の具体的な構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種装置を用いることができる。

上述した接着シート（Ｃ）全体の線膨張係数制御により、得られる片面金属張積層板（Ｅ）の反りの発生を抑制することが可能となる。具体的には、７ｃｍ幅×２０ｃｍ長サイズの長方形の片面金属張積層板（Ｅ）を作製した場合、２０℃、６０％Ｒ．Ｈ．の環境下に１２時間放置した後の四隅の反りがいずれも１．０ｍｍ以下となることが好ましい。片面金属張積層板（Ｅ）の反りが上記範囲内であれば、工程中を搬送する際の反りならびにエッチングにより回路形成を行った後のＦＰＣの反りを抑えることができる。

すなわち、本願発明は以下の構成を有するものである。

〔１〕耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）を用い、接着シート（Ｃ）の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）を積層し、
接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）を積層する工程を含む片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法であって、さらに保護材料（Ｇ）を剥離する工程を含み、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満であることを特徴とする、片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔２〕耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）を用い、接着シート（Ｃ）の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）を積層し、さらに金属箔（Ｄ）に接して保護フィルム（Ｆ）を積層し、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）を積層する工程を含む片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法であって、さらに保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を剥離する工程を含み、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満であるとともに、保護フィルム（Ｆ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度βが０より大きく９０°未満である、〔１〕に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔３〕保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する際、保護材料（Ｇ）、その後保護フィルム（Ｆ）の順に剥離する、〔２〕に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔４〕熱圧着方法を用いる、〔１〕〜〔３〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔５〕熱圧着方法が、一対以上の金属ロールを有する熱ラミネート装置を用いる、〔４〕に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔６〕熱圧着する際の圧着温度Ｔ１が、接着シート（Ｃ）の熱可塑性樹脂層（Ｂ）のガラス転移温度Ｔ２より２０〜９０℃高い、〔４〕または〔５〕に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔７〕熱圧着前に、接着シート（Ｃ）を２５０〜５５０℃の温度で加熱する、〔４〕〜〔６〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔８〕接着シート（Ｃ）の線膨張係数をＸ１、保護材料（Ｇ）の線膨張係数をＸ２とするとき、｜Ｘ１−Ｘ２｜≧３ｐｐｍ／℃である保護材料（Ｇ）を使用する、〔１〕〜〔７〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔９〕表面粗度が０．０１μｍ〜３μｍである保護材料（Ｇ）を使用する、〔１〕〜〔８〕のいずれに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔１０〕耐熱性フィルム（Ａ）が、非熱可塑性ポリイミドフィルムである、〔１〕〜〔９〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔１１〕熱可塑性樹脂層（Ｂ）が熱可塑性ポリイミド樹脂を含む、〔１〕〜〔１０〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔１２〕保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する速度が３．５ｍ／ｍｉｎ以下である、〔１〕〜〔１１〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔１３〕保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）は、それぞれ、一対の剥離ロールを介して、片面金属張積層板（Ｅ）から剥離され、剥離される保護材料（Ｇ）側または剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａと、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側の剥離ロールの半径ｒｂとの半径比ｒａ／ｒｂが、１未満である、〔１〕〜〔１２〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。

〔１４〕耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）と、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）とを、熱ラミネートする熱ラミネート部と、その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護材料剥離部とを含む、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置であって、前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されていることを特徴とする、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

〔１５〕耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）と、金属箔（Ｄ）に接して配置されている保護フィルム（Ｆ）と、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）とを、熱ラミネートする熱ラミネート部と、その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護材料剥離部と、保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護フィルム剥離部とを含む、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置であって、前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されているとともに、前記保護フィルム剥離部は、保護フィルム（Ｆ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度βが０より大きく９０°未満となるように構成されている、〔１４〕に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

〔１６〕前記保護材料剥離部の後段に、保護フィルム剥離部が設けられている、〔１５〕に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

〔１７〕前記熱ラミネート部の前段に、接着シート（Ｃ）を加熱するためのヒーターが備えられている、〔１４〕〜〔１６〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

〔１８〕耐熱性フィルム（Ａ）が、非熱可塑性ポリイミドフィルムである、〔１４〕〜〔１７〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

〔１９〕熱可塑性樹脂層（Ｂ）が熱可塑性ポリイミド樹脂を含む、〔１４〕〜〔１８〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

〔２０〕前記保護材料剥離部、または前記保護材料剥離部および保護フィルム剥離部は、それぞれ、一対の剥離ロールを介して、保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離するようになっており、剥離される保護材料（Ｇ）側または剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａと、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側の剥離ロールの半径ｒｂとの半径比ｒａ／ｒｂが、１未満である、〔１４〕〜〔１９〕のいずれかに記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。

以下、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法を実施例により詳しく説明するが、本発明は実施例によって限定されるものではない。

（フィルムの線膨張係数の測定）
線膨張係数の測定は、セイコー電子（株）社製ＴＭＡ１２０Ｃを用いて（サンプルサイズ幅３ｍｍ、長さ１０ｍｍ）、荷重３ｇで１０℃／ｍｉｎで１０℃〜４００℃まで一旦昇温させた後、１０℃まで冷却し、更に１０℃／ｍｉｎで昇温させて、２回目の昇温時の１００℃から２００℃における熱膨張率から平均値として計算した。

（フィルムの表面粗度（Ｒｚ）の測定）
フィルムの表面粗度（Ｒｚ）の測定は、株式会社キーエンス社製ＶＫ−Ｘ２００を用いて、ＪＩＳＢ０６０１１９９４に準拠して測定した。

（引き剥がし強度の測定）
実施例および比較例で得られた引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ａ）および片面金属張積層板（Ｂ）を用いて、１０ｍｍ×１００ｍｍの短冊状にカットして、試験片を作製した。

図１０の（ａ）および（ｂ）に示すように、試験片の引っ張る面の反対側にソニーケミカル株式会社製両面テープＧ９０５２（図中、両面テープ１３）を貼りつけ、当該両面テープ１３を介して上記試験片を基板１４に積層した。剥離角度φ１、φ２およびθ１、θ２を表１に記載の角度に設定し、ＪＩＳＣ６４７１の「８．１引きはがし強さ」に準じて、５０ｍｍ／分の条件で剥離し、その荷重を測定した。

その際、図１０の（ａ）に示すように、引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ａ）から耐熱性両面接着シート３および銅箔４の積層体を剥離角度φ２で剥離するピール強度測定（ＩＩ法）、および引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ａ）から保護材料７を剥離角度φ１で剥離するピール強度測定（Ｉ法）を用いた。

また、図１０の（ｂ）に示すように、引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ｂ）から、耐熱性両面接着シート３および銅箔４の積層体を剥離角度θ２で剥離するピール強度測定（ＩＩ法）、および引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ｂ）から、保護フィルム６を剥離角度θ１で剥離するピール強度測定（Ｉ法）を用いた。

なお、ＪＩＳＣ６４７１では、９０°方向引き剥がしおよび１８０°方向引き剥がしが記載されているが、本測定では、表１に記載の剥離角度での引き剥がし強度を測定した。具体的には、図１１に示すように、試料を台座１５にセットして上方に引っ張ったときに、剥離角度が表１のそれぞれの角度となるように設置された台座１５を用いて行った。なお、台座１５は、試料を上方に引っ張ったときに、剥離角度が一定に保たれるようにスライド可能となっている。なお、図１１は剥離角度が１２０°の場合を例示している。

（保護材料の剥離状況の評価）
保護材料の剥離状況を観察し、剥離後の熱可塑性ポリイミド層が熱ラミネート前と同じ状態である状態に剥離できた場合を◎、剥離可能であって剥離後の熱可塑性ポリイミド層が熱ラミネート前より若干光沢が低下したものの使用上は問題ない状態である場合を○、剥離可能であって剥離後の熱可塑性ポリイミド層に部分的にミクロ的なキズが生じているものの使用上は問題ない状態である場合を△、剥離困難であって剥離できたとしても剥離後の熱可塑性ポリイミド層が全体的に波打つような状態である場合を×と評価した。

（保護フィルムの剥離状況の評価）
保護フィルムの剥離状況を観察し、保護材料の剥離状況の評価と同様の基準で評価を行った。

（片面金属張積層板（Ｅ）の反りの評価）
得られた片面金属張積層板（Ｅ）から、７ｃｍ幅×２０ｃｍ長サイズの評価用試料を切り出した。この試料を２０℃、６０％Ｒ．Ｈ．の環境下に、１２時間放置した後、試料の四隅の反りを測定した。四隅の反りがいずれも１．０ｍｍ以下で反りが無い場合を◎、四隅の反りがいずれも３．０ｍｍ以下の場合を○、四隅の反りがいずれも５．０ｍｍ以下である場合を△、少なくとも１つの隅の反りが５．０ｍｍ以上であり明確に反りがある場合を×と評価した。

（実施例１）
線膨張係数２０ｐｐｍ／℃、熱可塑性樹脂層のＴｇ２９０℃の耐熱性両面接着シート（株式会社カネカ製ピクシオＦＲＳ、幅２５５ｍｍ）に対して、金属箔である厚み１２μｍの圧延銅箔（ＪＸ日鉱日石金属株式会社製ＧＨＹ５−８２Ｆ−ＨＡ、幅２７０ｍｍ）を積層させ、更にこの金属箔を接着シートと挟むようにして保護フィルム（株式会社カネカ製アピカル（登録商標）１２５ＮＰＩ）を配し、接着シートの逆面に保護材料として線膨張係数１６ｐｐｍ／℃、Ｒｚ＝２．２μｍのポリイミドフィルム（株式会社カネカ製アピカル（登録商標）７５ＮＰＩ）を配して、熱ロールラミネート装置の一対の金属ロール間を通すことにより、ラミネート温度３６０℃、ラミネート圧力２４５Ｎ／ｃｍ、ラミネート速度（金属張積層板の搬送スピード）１ｍ／ｍｉｎの条件で熱ラミネートを行った。なお、接着シートは熱ラミネート前に保護材料側から３００℃のヒーター温度で加熱した。用いたヒーターの長さは３００ｍｍであり、加熱時間は０．３分であった。その後、図５の方法で、それぞれ、２本の剥離ロールの半径の比（ｒａ／ｒｂ）が０．３２（４０ｍｍ／１２５ｍｍ）である、一対の剥離ロール間を通して、保護材料および保護フィルムをこの順に剥離することにより、本発明に係る片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。剥離する工程でのαは５５°、βは３０°であった。

保護材料及び保護フィルムの剥離状況、および片面金属張積層板（Ｅ）の反りを評価した。その結果を表１に示す。

片面金属張積層板（Ｅ）の製造工程において、搬送ロール等への接着シートの熱可塑性樹脂の張り付きはなく、得られた片面金属張積層板（Ｅ）に反りも生じなかった。

次に、保護材料を剥離せずに、保護フィルムを剥離し、保護材料、耐熱性両面接着シート、銅箔から構成される引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ａ）を作製した。さらに、保護材料を剥離し、保護フィルムを剥離せずに、耐熱性両面接着シート、銅箔および保護フィルムから構成される引き剥がし強度評価用の片面金属張積層板（Ｂ）を作製した。片面金属張積層板（Ａ）および片面金属張積層板（Ｂ）を用いて引き剥がし強度の測定を行った。結果を表１に示す。

（実施例２）
実施例１において、保護材料として線膨張係数１２ｐｐｍ／℃、Ｒｚ＝０．３μｍのポリイミドフィルム（宇部興産株式会社製ユーピレックス（登録商標）２５Ｓ）を使用したことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

保護材料及び保護フィルムの剥離状況、および片面金属張積層板（Ｅ）の反りを評価した。また、片面金属張積層板（Ａ）および片面金属張積層板（Ｂ）を用いて引き剥がし強度の測定を行った。結果を表１に示す。

（実施例３）
実施例１において、保護材料として線膨張係数３２ｐｐｍ／℃、Ｒｚ＝２．１μｍのポリイミドフィルム（株式会社カネカ製アピカル（登録商標）１２．５ＡＨ）を使用したことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例４）
金属箔として、厚み１２μｍの電解銅箔（三井金属製３ＥＣ−Ｍ３Ｓ―ＨＴＥ）を使用したことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例５）
実施例１において、保護材料および保護フィルムの剥離に、それぞれ２本の剥離ロールの半径の比（ｒａ／ｒｂ）が０．５（５０ｍｍ／１００ｍｍ）である一対の剥離ロールを用いたことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例６）
実施例１において、ラミネート速度（金属張積層板の搬送スピード）３ｍ／ｍｉｎの条件で熱ラミネートを行ったことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

片面金属張積層板（Ｅ）の製造工程において、搬送ロール等への接着シートの熱可塑性樹脂の張り付きはなく、得られた片面金属張積層板（Ｅ）に反りもほぼ生じなかった。

（実施例７）
実施例１において、保護材料を剥離する工程におけるαを８５℃としたことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例８）
実施例１において、接着シートを熱ラミネート前に保護材料側から５００℃のヒーター温度で加熱したことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例９）
実施例１において、保護材料として線膨張係数２０ｐｐｍ／℃、Ｒｚ＝０．５μｍのポリイミドフィルム（宇部興産株式会社製ユーピレックス（登録商標）５０Ｓ）を使用したことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

保護材料及び保護フィルムの剥離状況、および片面金属張積層板（Ｅ）の反りを評価した。また、片面金属張積層板（Ａ）および片面金属張積層板（Ｂ）を用いて引き剥がし強度の測定を行った。結果を表２に示す。

片面金属張積層板（Ｅ）の製造工程において、搬送ロール等への接着シートの熱可塑性樹脂の張り付きはなかった。得られた片面金属張積層板（Ｅ）に少し反りは生じたが許容できる範囲であった。また、接着シート（片面金属張積層板）と保護材料の密着力は実施例１より大きく、剥離しにくい状況であったが、剥離可能な範囲であった。

（実施例１０）
実施例１において、２本の剥離ロールの半径の比（ｒａ／ｒｂ）が１（１００ｍｍ／１００ｍｍ）である一対の剥離ロールを、保護材料の剥離および保護フィルムの剥離にそれぞれ用いたことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

片面金属張積層板（Ｅ）の製造工程において、搬送ロール等への接着シートの熱可塑性樹脂の張り付きはなかった。得られた片面金属張積層板（Ｅ）に少し反りは生じたが許容できる範囲であった。また、保護材料および保護フィルムの剥離状況は、実施例１よりは劣っていたが、剥離可能な範囲であった。

（実施例１１）
実施例１において、ラミネート速度（金属張積層板の搬送スピード）を４ｍ／ｍｉｎの条件で熱ラミネートを行ったことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例１２）
実施例１において、保護材料として線膨張係数２０ｐｐｍ／℃、Ｒｚ＝３．５μｍのポリイミドフィルム（サンドブラスト処理をしたカネカ製ポリイミドフィルムアピカル）を使用したことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

（実施例１３）
実施例１において、接着シートを熱ラミネート前に加熱しなかったことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

片面金属張積層板（Ｅ）の製造工程において、搬送ロール等への接着シートの熱可塑性樹脂の張り付きはなく、得られた片面金属張積層板（Ｅ）に反りも生じなかった。また、保護材料の剥離状況は、実施例１よりは若干劣っていたが、剥離可能な範囲であった。

（比較例１）
図６に示すように、実施例１において、剥離前の保護材料（Ｇ）と片面金属張積層板（Ｅ）がなす角度αを、１６５°としたことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

その結果、搬送ロール等への張り付きはないものの、接着シートと保護材料の密着力は実施例１より大きく剥離しにくい状況であった。また得られた片面金属張積層板（Ｅ）には反りが生じた。

（比較例２）
図７に示すように、実施例１において、剥離前の保護フィルム（Ｆ）と片面金属張積層板（Ｅ）がなす角度βを、１６５°としたことを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

その結果、搬送ロール等への張り付きはないものの、銅箔（片面金属張積層板（Ｅ））と保護フィルムの密着力は実施例１より大きく剥離しにくい状況であった。また得られた片面金属張積層板（Ｅ）には反りが生じた。

（比較例３）
図９に示すように、保護材料を剥離する角度αを９０°、保護フィルムを剥離する角度βを９０°とし、保護材料側および保護フィルム側にそれぞれ１個の剥離ロール１２のみを使用することを除き、他は実施例１と同様にして片面金属張積層板（Ｅ）を製造した。

その結果、搬送ロール等への張り付きはないものの、接着シート（片面金属張積層板（Ｅ））と保護材料の密着力および銅箔（片面金属張積層板（Ｅ））と保護フィルムの密着力は実施例１より大きく剥離困難な状況であった。また得られた片面金属張積層板（Ｅ）には反りが生じた。

本発明に係る片面金属張積層板の製造方法および製造装置は、従来より生産されている両面金属積層板用の材料および装置を使用して、金属箔を積層しない側の熱可塑性樹脂層表面が金属ロールや保護フィルムに融着することなく片面金属張積層板を製造でき、反りの発生が抑制された片面金属積層板を安価および容易に得ることができるので、電子電気機器用印刷回路基板として好適な片面金属張積層板の製造に好適に用いることができる。

１耐熱性フィルム（Ａ）
２熱可塑性樹脂層（Ｂ）
３接着シート（Ｃ）
４金属箔（Ｄ）
５片面金属張積層板（Ｅ）
６保護フィルム（Ｆ）
７保護材料（Ｇ）
８両面金属張積層板
９一対の金属ロール
１０一対の剥離ロール
１１ヒーター
１２剥離ロール
１３両面テープ
１４基板
１５台座

Claims

耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）を用い、接着シート（Ｃ）の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）を積層し、
接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）を積層する工程を含む片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法であって、
熱可塑性樹脂層（Ｂ）は熱可塑性ポリイミド樹脂を含み、
さらに保護材料（Ｇ）を剥離する工程を含み、
保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満であり、
熱圧着方法を用い、
熱圧着前に、接着シート（Ｃ）を２５０〜５５０℃の温度で加熱することを特徴とする、片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）を用い、接着シート（Ｃ）の片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して金属箔（Ｄ）を積層し、さらに金属箔（Ｄ）に接して保護フィルム（Ｆ）を積層し、
接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に、熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して保護材料（Ｇ）を積層する工程を含む片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法であって、
さらに保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を剥離する工程を含み、
保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満であるとともに、保護フィルム（Ｆ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度βが０より大きく９０°未満であることを特徴とする、請求項１に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する際、保護材料（Ｇ）、その後保護フィルム（Ｆ）の順に剥離することを特徴とする、請求項２に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
熱圧着方法が、一対以上の金属ロールを有する熱ラミネート装置を用いることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
熱圧着する際の圧着温度Ｔ１が、接着シート（Ｃ）の熱可塑性樹脂層（Ｂ）のガラス転移温度Ｔ２より２０〜９０℃高いことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
接着シート（Ｃ）の線膨張係数をＸ１、保護材料（Ｇ）の線膨張係数をＸ２とするとき、｜Ｘ１−Ｘ２｜≧３ｐｐｍ／℃である保護材料（Ｇ）を使用することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
表面粗度が０．０１μｍ〜３μｍである保護材料（Ｇ）を使用することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
耐熱性フィルム（Ａ）が、非熱可塑性ポリイミドフィルムであることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する速度が３．５ｍ／ｍｉｎ以下であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）は、それぞれ、一対の剥離ロールを介して、片面金属張積層板（Ｅ）から剥離され、剥離される保護材料（Ｇ）側または剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａと、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側の剥離ロールの半径ｒｂとの半径比ｒａ／ｒｂが、１未満であることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造方法。
耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）と、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）とを、熱ラミネートする熱ラミネート部と、
その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護材料剥離部とを含む、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置であって、
熱可塑性樹脂層（Ｂ）は熱可塑性ポリイミド樹脂を含み、
前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されており、
前記熱ラミネート部の前段に、接着シート（Ｃ）の保護材料（Ｇ）を積層する側を加熱するためのヒーターが備えられていることを特徴とする、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。
耐熱性フィルム（Ａ）の両面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を有する接着シート（Ｃ）と、その片面に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている金属箔（Ｄ）と、金属箔（Ｄ）に接して配置されている保護フィルム（Ｆ）と、接着シート（Ｃ）の金属箔（Ｄ）を積層しない側に熱可塑性樹脂層（Ｂ）を介して配置されている保護材料（Ｇ）とを、熱ラミネートする熱ラミネート部と、
その後段に設けられている、保護材料（Ｇ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護材料剥離部と、保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離する保護フィルム剥離部とを含む、片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置であって、
前記保護材料剥離部は、保護材料（Ｇ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護材料（Ｇ）とがなす角度αが０より大きく９０°未満となるように構成されているとともに、保護フィルム（Ｆ）を剥離する前の片面金属張積層板（Ｅ）と、剥離された保護フィルム（Ｆ）とがなす角度βが０より大きく９０°未満となるように構成されていることを特徴とする、請求項１１に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。
前記保護材料剥離部の後段に、保護フィルム剥離部が設けられていることを特徴とする、請求項１２に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。
耐熱性フィルム（Ａ）が、非熱可塑性ポリイミドフィルムであることを特徴とする、請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。
前記保護材料剥離部、または前記保護材料剥離部および保護フィルム剥離部は、それぞれ、一対の剥離ロールを介して、保護材料（Ｇ）または保護材料（Ｇ）および保護フィルム（Ｆ）を片面金属張積層板（Ｅ）から剥離するようになっており、剥離される保護材料（Ｇ）側または剥離される保護フィルム（Ｆ）側の剥離ロールの半径ｒａと、反対側の片面金属張積層板（Ｅ）側の剥離ロールの半径ｒｂとの半径比ｒａ／ｒｂが、１未満であることを特徴とする、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の片面金属張積層板（Ｅ）の製造装置。