JP6581441B2 - Substrate storage container - Google Patents

Description

本発明は、基板収納容器に関する。   The present invention relates to a substrate storage container.

基板を収納する容器として、例えば特許文献１に開示された半導体ウエハ（基板）を収納する基板収納容器がある。
特許文献１に開示された基板収納容器は、容器本体の両側壁と底壁にそれぞれ間隔を開けて保持溝を形成し、両側壁と底壁の３箇所の保持溝に基板を支持させて収納し、容器本体の開口部を蓋体で覆って密閉するようにしている。 As a container for storing a substrate, for example, there is a substrate storage container for storing a semiconductor wafer (substrate) disclosed in Patent Document 1.
The substrate storage container disclosed in Patent Document 1 forms a holding groove with a space between the side wall and the bottom wall of the container body, and supports the substrate in three holding grooves on the side wall and the bottom wall. In addition, the opening of the container body is covered and sealed with a lid.

特開２００９−１１１０５７号公報JP 2009-111057 A

ところが、特許文献１の基板収納容器では、基板を円滑に収納するために、基板と保持溝との間に隙間が必要であり、基板と保持溝との隙間によって輸送中の振動・衝撃等で基板が動いてしまう。
このため、基板と保持溝とが擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分による基板への汚染等の問題がある。 However, in the substrate storage container of Patent Document 1, a gap is required between the substrate and the holding groove in order to smoothly store the substrate. Due to the gap between the substrate and the holding groove, vibration or impact during transportation is caused. The board moves.
For this reason, there are problems such as rubbing between the substrate and the holding groove, damage due to scratches or cracks, dust generation, or contamination of the substrate due to chemical components.

本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、収納した基板の動きを押えることができる基板収納容器を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a substrate storage container capable of suppressing the movement of the stored substrate.

上記目的を達成するため、本発明にかかる基板収納容器は、
一端に開口部を有し、内部に間隔を開けて基板が収納される容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記基板の両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝と、前記開口部と対向する底板部に前記基板が装着され１枚の前記基板に対して少なくとも中央部の押さえ溝、及び前記中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝と、を有し、
中央部の前記押さえ溝の表裏のいずれか一方の面と、中央部を挟む両側の前記押さえ溝の表裏のいずれか他方の面とで前記基板の面に交差する方向に位置をずらして前記基板を前記一方の面および前記他方の面の少なくとも３箇所で固定可能に構成されている、
ことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a substrate storage container according to the present invention includes:
A substrate storage container comprising an opening at one end, a container main body in which a substrate is stored with a gap inside, and a lid that closes the opening,
The container body includes a guide groove that slides on both side edges of the substrate to guide storage and removal, and a bottom plate that faces the opening, and the substrate is mounted at least in the center with respect to the single substrate. Holding grooves on both sides sandwiching the central portion, and holding grooves on both sides sandwiching the central portion,
The substrate is shifted in a direction intersecting the surface of the substrate between either one of the front and back surfaces of the pressing groove in the central portion and the other surface of the pressing grooves on both sides sandwiching the central portion. Is configured to be fixable in at least three places on the one surface and the other surface ,
It is characterized by that.

前記中央部の押さえ溝と、前記中央部を挟む両側の押さえ溝は、前記基板をガイドする略Ｖ字状のガイド面と、前記ガイド面につながり前記基板を支持する装着溝と、からなる略Ｙ字状に構成されている、
ことが好ましい。 The pressing groove at the center and the pressing grooves on both sides sandwiching the center are substantially V-shaped guide surfaces that guide the substrate, and a mounting groove that is connected to the guide surface and supports the substrate. Configured in a Y shape,
It is preferable.

前記基板収納容器は、前記容器本体と、前記蓋体とが中央部で開閉される同一形状で構成されている、
ことが好ましい。 The substrate storage container is configured in the same shape in which the container main body and the lid body are opened and closed at a central portion.
It is preferable.

前記容器本体と前記蓋体とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材が設けられていると共に、前記ガイド部材は、前記容器本体と前記蓋体との閉鎖状態を保持するロック機構が設けられている、
ことが好ましい。 The container body and the lid body are provided with a guide member that guides each other to an open / close position, and the guide member is provided with a lock mechanism that holds the container body and the lid body in a closed state. ing,
It is preferable.

本発明の基板収納容器によれば、収納した基板の動きを押えることができる。   According to the substrate storage container of the present invention, the movement of the stored substrate can be suppressed.

本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかり、容器本体と蓋体とを外した状態の斜視図である。It is a perspective view of the state which applied to one embodiment of the substrate storage container of the present invention, and removed the container main part and the lid. 本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかり、容器本体と蓋体とを閉じた状態の斜視図である。It is a perspective view of the state which closed the container main body and the cover body concerning one Embodiment of the board | substrate storage container of this invention. 本発明の基板収納容器の一実施の形態の蓋体にかかる容器本体の斜視図である。It is a perspective view of the container main body concerning the cover body of one Embodiment of the substrate storage container of this invention. 本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる容器本体の部分拡大斜視図である。It is a partial expansion perspective view of the container main body concerning one embodiment of the substrate storage container of the present invention.

以下、本発明の基板収納容器の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
本発明の基板収納容器１は、一端に開口部１１を有し、内部に間隔を開けて基板Ｗが収納される容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、基板Ｗの両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝１２と、開口部１１と対向する底板部に基板Ｗが装着され１枚の基板Ｗに対して少なくとも中央部の押さえ溝１３、及び前記中央部の両側で押さえる押さえ溝１４，１４と、を有し、中央部の押さえ溝１３と両側の押さえ溝１４，１４とで基板Ｗの面に交差する方向に位置をずらして基板Ｗを固定可能に構成される。
これにより、基板Ｗを、中央部の押さえ溝１３と、その両側の押さえ溝１４，１４とに装着すると、中央部の押さえ溝１３と、その両側の押さえ溝１４，１４とが基板Ｗの面に交差する方向にずらしてあるので、基板Ｗの表面と裏面とが少なくとも３箇所で接して押えられ、基板Ｗの動きが防止される。 Hereinafter, an embodiment of a substrate storage container of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
A substrate storage container 1 according to the present invention includes an opening 11 at one end, a container main body 10 in which a substrate W is stored with a space inside, and a lid 20 that closes the opening 11. 1, the container body 10 has a substrate groove W mounted on a bottom plate portion facing the opening 11 and a guide groove 12 that guides storage / removal of both side edges of the substrate W. W has at least a central pressing groove 13 and pressing grooves 14 and 14 pressed on both sides of the central portion. The central pressing groove 13 and the pressing grooves 14 and 14 on both sides of the substrate W The substrate W can be fixed by shifting the position in the direction intersecting the plane.
As a result, when the substrate W is mounted in the central pressing groove 13 and the pressing grooves 14 and 14 on both sides thereof, the central pressing groove 13 and the pressing grooves 14 and 14 on both sides thereof are the surfaces of the substrate W. Since the front and back surfaces of the substrate W are pressed in contact with each other at least at three locations, the movement of the substrate W is prevented.

本実施の形態では、容器本体１０の一端の開口部１１が上方に向けて開口し、開口部１１と対向する底板部が容器本体１０の底板部１５となり、底板部１５に形成した押さえ溝１３，１４，１４で、垂直な基板Ｗを、間隔を開けて収納する場合を例に説明する。なお、基板収納容器１に基板Ｗを、間隔を開けて容器本体１０に収納し、蓋体２０を被せた収納完了後は、基板Ｗがどのような状態（基板Ｗの向きが、例えば垂直や水平等）で、基板収納容器１の搬送などが行われても良いものである。   In the present embodiment, the opening 11 at one end of the container body 10 opens upward, and the bottom plate portion facing the opening 11 becomes the bottom plate portion 15 of the container body 10, and the holding groove 13 formed in the bottom plate portion 15. 14 and 14, the case where the vertical substrates W are stored at intervals is described as an example. Note that the substrate W is stored in the substrate storage container 1 in the container main body 10 with an interval, and after the storage with the lid 20 covered, the state of the substrate W (the orientation of the substrate W is vertical or The substrate storage container 1 may be transported at a horizontal position or the like.

本実施の形態では、基板収納容器１は、図１に示すように、容器本体１０と、容器本体１０に被せる蓋体２０とが、同一形状とされ、図２に示すように、上下方向中央の開口部１１同士を嵌合するように容器本体１０に蓋体２０を被せることで、密閉することができるようにしてある。
なお、以下の説明では、容器本体１０について説明し、上下が反転している蓋体２０についての説明は、省略する。
容器本体１０は、図１（ｂ）に示すように、中空円筒体の円筒面を中心で２つ割りにした略半円筒状とされ、開口部１１が矩形とされて上方に開口している。
容器本体１０は、平面状の底板部１５と、底板部１５の両端に連続して立ち上がる曲面と上端部の垂直面との左右壁部１６と、底板部１５と左右壁部１６の両側を塞ぐ底部が水平な直線状で両側に円弧状と垂直な直線状とで略半円形状の前後壁部１７と、を備えて構成されている。
これにより、基板収納容器１は、容器本体１０の開口部１１に蓋体２０を被せた状態では、図２に示すように、上下・左右が平面で、これらの間が曲面で構成された略正方形の４隅を円弧とした横断面の外形となっている。
容器本体１０には、前後壁部１７と平行に基板Ｗが、間隔を開けて収納される。基板Ｗの面と交差する方向、例えば直交する方向が左右壁部１６と平行な方向となる。
左右壁部１６は、左壁部１６と右壁部１６の間隔（幅）が、収納する基板Ｗの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに合わせてあり、基板Ｗの直径よりわずかに（例えば、直径より１〜２ｍｍ程度）大きくしてある。前後壁部１７の間隔は、収納する基板Ｗの枚数に応じて設定してあり、例えば図示例では、１３枚の基板Ｗを収納できるようにしてある。
左右壁部１６の内側には、左右に対向して基板Ｗをガイドするガイド溝１２が前後に所定の間隔で一体に形成されている。ガイド溝１２は、左右に対向するガイド溝１２で基板Ｗの両側縁部をガイドできる深さ（左右壁部ｌ６からのガイド板１２ａの突出し量）のガイド板１２ａとされ、図示例のように、基板Ｗにダイシングフレームを備え得る場合には、ダイシングフレーム部分をガイドするように設定し、ダイシングフレームを備えない場合には、基板Ｗの両側縁部をガイドするように設定される。
ガイド溝１２の前後の間隔は、図３に示すように、ガイド板１２ａを所定の間隔、例えば基板Ｗの収納および取り出しが円滑にできる間隔で設けられ、隣接するガイド板１２ａ，１２ａの間がガイド溝１２を構成する。 In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the substrate storage container 1 has a container body 10 and a lid 20 that covers the container body 10 having the same shape, and as shown in FIG. The container body 10 is covered with a lid 20 so as to fit the openings 11 of each other so as to be sealed.
In the following description, the container main body 10 will be described, and the description of the lid 20 that is upside down will be omitted.
As shown in FIG. 1B, the container body 10 has a substantially semi-cylindrical shape with the cylindrical surface of the hollow cylindrical body divided into two, with the opening 11 being rectangular and opening upward. .
The container body 10 closes the flat bottom plate portion 15, the left and right wall portions 16 of the curved surface rising continuously at both ends of the bottom plate portion 15 and the vertical surface of the upper end portion, and both sides of the bottom plate portion 15 and the left and right wall portions 16. The front and rear wall portions 17 are configured so that the bottom portion is a horizontal straight line, and an arc shape and a vertical straight line shape on both sides are substantially semicircular.
Thereby, in the state which covered the cover 20 on the opening part 11 of the container main body 10, the board | substrate storage container 1 is an abbreviation which was comprised by the curved surface between these, as shown in FIG. The outer shape of the cross section is an arc with four corners of the square.
In the container main body 10, the substrates W are accommodated in parallel with the front and rear wall portions 17 at intervals. A direction intersecting the surface of the substrate W, for example, a direction orthogonal thereto is a direction parallel to the left and right wall portions 16.
In the left and right wall portions 16, the distance (width) between the left wall portion 16 and the right wall portion 16 matches the size (diameter) of the substrate W to be stored, for example, 5 inches, 6 inches, 8 inches, 12 inches, etc. It is slightly larger than the diameter of the substrate W (for example, about 1 to 2 mm from the diameter). The interval between the front and rear wall portions 17 is set according to the number of substrates W to be stored. For example, in the illustrated example, 13 substrates W can be stored.
Inside the left and right wall portions 16, guide grooves 12 that guide the substrate W facing the left and right are integrally formed at a predetermined interval in the front-rear direction. The guide groove 12 is a guide plate 12a having a depth (the amount of protrusion of the guide plate 12a from the left and right wall portions l6) that can guide both side edges of the substrate W with the guide grooves 12 opposed to the left and right, as shown in the illustrated example. When the substrate W can be provided with a dicing frame, the substrate W is set to guide the dicing frame portion. When the substrate W is not provided with a dicing frame, the substrate W is set to guide both side edges.
As shown in FIG. 3, the guide groove 12 is provided with a predetermined distance between the guide plates 12 a, for example, at a distance that allows the substrate W to be stored and taken out smoothly. A guide groove 12 is formed.

底板部１５には、図３及び図４に示すように、ガイド溝１２でガイドされて収納される基板Ｗを押えて固定するための中央部の押さえ溝１３と、中央部の押さえ溝１３の両側の押さえ溝１４とが上方に突き出すように底板部１５（容器本体１０）と一体に形成されている。
中央部の押さえ溝１３は、例えば２列の押さえ溝１３で構成され、各押さえ溝１３ａがガイド溝１２の前後方向の間隔に合わせて収納すべき基板Ｗの枚数分だけ形成してある。各押さえ溝１３ａは、略Ｖ字状のガイド面１３ｂと、ガイド面１３ｂにつながる底部の矩形の装着溝１３ｃとからなる略Ｙ字状の溝形状に形成してある。これにより、基板Ｗを収納する場合には、略Ｖ字状のガイド面１３ｂに基板Ｗが当たってガイドされ、装着溝１３ｃに装着されることになる。中央部の２列の押さえ溝１３の装着溝１３ｃは、前後方向の同一位置、前後壁部１７と平行に形成してある。
両側の押さえ溝１４は、中央部の２列の押さえ溝１３の両側に、それぞれ１列ずつ配置されて底板部１５（容器本体１０）と一体に形成されている。
両側の押さえ溝１４の各押さえ溝１４ａは、中央部の押さえ溝１３と同一形状とされ、ガイド面１４ｂがＶ字状に形成され、ガイド面１４ｂにつながる装着溝１４ｃによって略Ｙ字状に形成されている。各押さえ溝１４ａは、収納すべき基板Ｗの枚数に応じた個数が１列に形成されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the bottom plate portion 15 includes a central pressing groove 13 for pressing and fixing the substrate W guided and stored by the guide groove 12, and a central pressing groove 13. It is formed integrally with the bottom plate portion 15 (container body 10) so that the pressing grooves 14 on both sides protrude upward.
The central pressing grooves 13 are formed by, for example, two rows of pressing grooves 13, and each pressing groove 13 a is formed by the number of substrates W to be accommodated in accordance with the interval in the front-rear direction of the guide grooves 12. Each pressing groove 13a is formed in a substantially Y-shaped groove shape including a substantially V-shaped guide surface 13b and a rectangular mounting groove 13c at the bottom connected to the guide surface 13b. As a result, when the substrate W is stored, the substrate W comes into contact with the substantially V-shaped guide surface 13b and is guided to be mounted in the mounting groove 13c. The mounting grooves 13 c of the two rows of pressing grooves 13 in the central part are formed at the same position in the front-rear direction and in parallel with the front-rear wall part 17.
The pressing grooves 14 on both sides are arranged in one row on both sides of the two pressing grooves 13 in the center and are formed integrally with the bottom plate portion 15 (container body 10).
Each pressing groove 14a of the pressing grooves 14 on both sides has the same shape as the pressing groove 13 in the central portion, a guide surface 14b is formed in a V shape, and is formed in a substantially Y shape by a mounting groove 14c connected to the guide surface 14b. Has been. Each pressing groove 14a is formed in a line corresponding to the number of substrates W to be stored.

両側の押さえ溝１４の各押さえ溝１４ａと、中央部の２列の押さえ溝１３の各押さえ溝１３ａとは、一直線上ではなく、中央部の押さえ溝１３に対して、両側の押さえ溝１４がずらしてある。例えば、図４中に矢印で示すように、中央部の押さえ溝１３を前方側（紙面奥側）に、両側の押さえ溝１４をそれぞれ方向側（紙面手前側）に、基板Ｗの厚みに合わせてずらしてある。
これにより、基板Ｗは、２箇所の中央部の押さえ溝１３に紙面手前側の表面が装着溝１３ｃに接触し、両側の押さえ溝１４に紙面奥側の表面が接触し、基板Ｗの表面と裏面とが４箇所で装着溝１３ｃ，１４ｃに接して押えられ、基板Ｗの動きが完全に防止される。
また、基板収納容器１では、蓋体２０が容器本体１０と同一形状としてあるので、収納された基板Ｗは、上下各４箇所、合計８箇所で装着溝１３ｃ，１４ｃに接して押えられることになる。
なお、中央部の押さえ溝１３を２列とし、両側の押さえ溝１４を１列ずつとしたが、それぞれの押さえ溝１３，１４は、少なくとも１列あれば良く、さらに複数列とするようにしても良い。 The pressing grooves 14a of the pressing grooves 14 on both sides and the pressing grooves 13a of the two rows of pressing grooves 13 in the central portion are not in a straight line, but the pressing grooves 14 on both sides of the pressing grooves 13 on the central portion are not in a straight line. It is shifted. For example, as shown by the arrows in FIG. 4, the center pressing groove 13 is on the front side (the back side of the drawing), and the pressing grooves 14 on both sides are on the direction side (the front side of the drawing) to match the thickness of the substrate W. It ’s staggered.
As a result, the substrate W comes into contact with the pressing groove 13 at the center of the two locations, the surface on the front side of the paper comes into contact with the mounting groove 13c, and the surface at the back of the paper comes into contact with the pressing grooves 14 on both sides. The back surface is pressed against the mounting grooves 13c and 14c at four locations, and the movement of the substrate W is completely prevented.
Further, in the substrate storage container 1, since the lid 20 has the same shape as the container body 10, the stored substrate W is pressed in contact with the mounting grooves 13c and 14c at a total of 8 locations in the upper and lower positions. Become.
The pressing groove 13 at the center is formed in two rows and the pressing grooves 14 on both sides are formed in one row. However, the pressing grooves 13 and 14 may be in at least one row, and more than one row. Also good.

容器本体１０の開口部１１には、蓋体２０を被せて嵌合することでシールできるように、シール用凸部１１ａと、シール用凹部１１ｂとが形成してある。
シール用凸部１１ａは、矩形の開口部１１の前後壁部１７の角部から中央までの対角位置（矩形の開口部１１の対角線の交点を中心とした対角位置）と、左右壁部１６の一方に形成されている。矩形の開口部１１のシール用凸部１１ａ以外の前後壁部１７の角部から中央部までの対角位置と、左右壁部１６の他方にシール用凹部１１ｂが形成されている。
これにより、容器本体１０の開口部１１に、蓋体２０を上下及び左右に反転させて開口部１１同士を合わせるようにし、シール用凸部１１ａをシール用凹部１１ｂに挿し込むように嵌合することで、密封状態にすることができるようにしてある。
なお、シール用凹部１１ｂには、必要に応じてシール用のゴムパッキン等が装着される。 The opening 11 of the container body 10 is formed with a sealing convex portion 11a and a sealing concave portion 11b so that the cover body 20 can be covered and fitted to be sealed.
The convex portion 11a for sealing includes diagonal positions from the corners to the center of the front and rear wall portions 17 of the rectangular opening 11 (diagonal positions centering on the intersection of the diagonal lines of the rectangular opening 11) and the left and right wall portions. 16 is formed on one side. Sealing recesses 11b are formed at the diagonal positions from the corners to the center of the front and rear wall portions 17 other than the sealing projections 11a of the rectangular opening 11 and at the other of the left and right wall portions 16.
As a result, the lid 20 is turned upside down and left and right so that the openings 11 are aligned with the opening 11 of the container body 10, and the sealing projection 11a is fitted into the sealing recess 11b. Therefore, it can be in a sealed state.
The sealing recess 11b is fitted with a sealing rubber packing or the like as necessary.

容器本体１０には、蓋体２０との開閉位置をガイドするガイド部材１８が設けられる。ガイド部材１８は、図１に示すように、開口部１１の対角位置に突き出すように設けられるガイドプレート１８ａで構成され、上端部が外側に曲げられている。ガイドプレート１８ａは、容器本体１０に収納された基板Ｗと蓋体２０のガイド溝１２のガイド板１２ａが接触する直前には、開口部１１同士の位置を見極めることができる突き出し量としてある。
これにより、容器本体１０に収納された基板Ｗを蓋体２０の対応するガイド溝１２に導くことができ、蓋体２０の位置を再調整する必要がなく、一度の操作で所定の位置に被せることができる。 The container body 10 is provided with a guide member 18 that guides an opening / closing position with the lid body 20. As shown in FIG. 1, the guide member 18 includes a guide plate 18 a provided so as to protrude to a diagonal position of the opening 11, and an upper end portion thereof is bent outward. The guide plate 18a has an amount of protrusion that allows the positions of the openings 11 to be determined immediately before the substrate W housed in the container body 10 and the guide plate 12a of the guide groove 12 of the lid 20 come into contact with each other.
As a result, the substrate W stored in the container body 10 can be guided to the corresponding guide groove 12 of the lid 20, and it is not necessary to readjust the position of the lid 20 and cover the predetermined position by one operation. be able to.

容器本体１０には、蓋体２０を嵌合した状態で保持するロック機構１９が設けられる。ロック機構１９は、ガイド部材１８に形成したロック孔１９ａと、容器本体１０の前後壁部１７の対角位置に形成した係止突起１９ｂとで構成されている。
ロック孔１９ａは、図１に示すように、矩形の貫通孔をガイドプレート１８ａに形成して構成される。係止突起１９ｂは、開口部１１側が傾斜面とされて下端部が水平面とされた直角三角形状に形成されて構成される。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、ガイド部材１８の上端部の外側に曲げられた部分が係止突起１９ｂの傾斜面に沿って下降し、容器本体１０に蓋体２０が嵌合される状態まで下降すると、ガイド部材１８のロック孔１９ａが係止突起１９ｂの傾斜面を乗り越えて下端の水平面に係止され、ロック状態となる。
ロックの解除は、ガイド部材１８の上端部の外側に曲げられた端部をさらに外側に押し戻すようにして係止突起１９ｂから引き上げるようにして行う。 The container body 10 is provided with a lock mechanism 19 that holds the lid 20 in a fitted state. The lock mechanism 19 includes a lock hole 19 a formed in the guide member 18 and a locking projection 19 b formed at a diagonal position of the front and rear wall portion 17 of the container body 10.
As shown in FIG. 1, the lock hole 19a is formed by forming a rectangular through hole in the guide plate 18a. The locking projection 19b is formed and formed in a right triangle shape in which the opening 11 side is an inclined surface and the lower end is a horizontal plane.
As a result, when the container body 10 is covered with the lid 20, the portion bent outward from the upper end of the guide member 18 descends along the inclined surface of the locking projection 19 b, and the container body 10 is covered with the lid 20. When the guide member 18 is lowered to the fitted state, the lock hole 19a of the guide member 18 gets over the inclined surface of the latching protrusion 19b and is latched to the horizontal surface at the lower end, thereby being locked.
The lock is released by pulling up the end of the guide member 18 that is bent outward from the upper end of the guide member 18 so that the end is pushed back outward.

なお、容器本体１０は、図１及び図２に示すように、左右壁部１６、前後壁部１７等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されている。   In addition, as shown in FIGS. 1 and 2, the container main body 10 is provided with a concavo-convex portion and a member on the right and left wall portions 16 and the front and rear wall portions 17 as needed for reinforcement and handling in other processes. Ribs and the like are formed.

基板収納容器１では、容器本体１０及び蓋体２０は、合成樹脂を用いた射出成形によって成形することができる。合成樹脂としては、ポリプロピレン系樹脂、ＡＢＳ系樹脂などの汎用プラスチック、ポリカーボネート系樹脂などのエンジニアリングプラスチックなどを挙げることができる。また、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては、導電性フィラーを添加したプラスチックやポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末や繊維等が挙げられる。あるいは、導電性プラスチックに代えて、成形後に樹脂表面に導電処理を施すようにしても良い。   In the substrate storage container 1, the container body 10 and the lid 20 can be formed by injection molding using a synthetic resin. Examples of the synthetic resin include general-purpose plastics such as polypropylene resins and ABS resins, and engineering plastics such as polycarbonate resins. Moreover, it is preferable to form with a conductive plastic. Examples of the conductive plastic include a plastic added with a conductive filler and a polymer alloy-treated plastic. Examples of the conductive filler include carbon black, graphite carbon, graphite, carbon fiber, metal powder, metal fiber, metal oxide powder, metal-coated inorganic fine powder, organic fine powder and fiber. Alternatively, instead of conductive plastic, the resin surface may be subjected to conductive treatment after molding.

このように構成した基板収納容器１によれば、一端に開口部１１を有し、内部に間隔を開けて基板Ｗが収納される容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、基板Ｗの両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝１２と、開口部１１と対向する底板部に基板Ｗが装着され１枚の基板Ｗに対して少なくとも中央部の押さえ溝１３、及び中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝１４と、を有し、中央部の押さえ溝１３の表裏のいずれか一方の面と、中央部を挟む両側の押さえ溝１４の表裏のいずれか他方の面とで基板Ｗの面に交差する方向に位置をずらして基板Ｗを一方の面および他方の面の少なくとも３箇所で固定可能に構成されているので、収納される基板Ｗは、少なくとも中央部の押さえ溝１３と、両側の押さえ溝１４とで基板Ｗの表裏の３箇所に接触して押えることができ、確実に基板Ｗの動きを押えることができる。 According to the substrate storage container 1 configured as described above, the container body 10 that has the opening 11 at one end and stores the substrate W with an interval inside, and the lid 20 that closes the opening 11 are provided. In the substrate storage container 1, the container body 10 has a substrate W mounted on a guide groove 12 that slides on both side edges of the substrate W to guide storage / removal, and a bottom plate that faces the opening 11. A pressing groove 13 at least in the central portion and a pressing groove 14 pressed on both sides sandwiching the central portion with respect to one substrate W, and either one of the front and back surfaces of the pressing groove 13 in the central portion, The substrate W can be fixed at at least three locations on one surface and the other surface by shifting the position in the direction intersecting the surface of the substrate W with either one of the front and back surfaces of the holding grooves 14 on both sides sandwiching the portion. Therefore, there are few substrates W to be stored. Can also hold grooves 13 of the central portion, it is possible to press in both sides of the pressing groove 14 in contact with three places on the front and back of the substrate W, suppress the movement of reliably substrate W.

基板収納容器１によれば、中央部の押さえ溝１３と、中央部を挟む両側の押え溝１４は、基板Ｗをガイドする略Ｖ字状のガイド面１３ｂ、１４ｂと、ガイド面１３ｂ、１４ｂにつながり基板Ｗを支持する装着溝１３ｃ、１４ｃと、からなる略Ｙ字状に構成されているので、装着溝１３ｃ、１４ｃによって収納された基板Ｗがガイド面１３ｂ、１４ｂに沿って移動することがなく容器本体１０だけで確実に基板Ｗを押えることができる。   According to the substrate storage container 1, the holding groove 13 at the center and the holding grooves 14 on both sides sandwiching the center are formed on the substantially V-shaped guide surfaces 13b and 14b and the guide surfaces 13b and 14b for guiding the substrate W. Since the mounting grooves 13c and 14c for supporting the connection substrate W are configured in a substantially Y shape, the substrate W accommodated by the mounting grooves 13c and 14c can move along the guide surfaces 13b and 14b. In addition, the substrate W can be reliably pressed only by the container body 10.

基板収納容器１によれば、基板収納容器１は、容器本体１０と、蓋体２０とが中央部で開閉される同一形状で構成されているので、一つの金型で容器本体１０と蓋体２０とを成形することができ、生産効率を向上することができる。
基板Ｗを収納する場合に、１対の容器本体１０と蓋体２０のいずれか１方に収納しても他方を蓋体として密封することができ、基板Ｗの収納を容易に行うことができる。 According to the substrate storage container 1, the substrate storage container 1 is configured in the same shape in which the container main body 10 and the lid body 20 are opened and closed at the center, so the container main body 10 and the lid body can be formed with a single mold. 20 and the production efficiency can be improved.
When the substrate W is stored, even if the substrate W is stored in one of the pair of container main body 10 and the lid 20, the other can be sealed as a lid, and the substrate W can be easily stored. .

基板収納容器１によれば、容器本体１０と蓋体２０とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材１８が設けられていると共に、ガイド部材１８は、容器本体１０と蓋体２０との閉鎖状態を保持するロック機構１９が設けられているので、中央で分割された容器本体１０と蓋体２０であってもガイド部材１８によって開閉位置を見極めることができ、基板Ｗを損傷することなく、開閉することができる。また、ガイド部材１８を開閉位置に位置させることで容器本体１０と蓋体２０との閉鎖状態を保持することができる。   According to the substrate storage container 1, the container body 10 and the lid body 20 are provided with the guide member 18 that guides each other to the open / close position, and the guide member 18 is closed between the container body 10 and the lid body 20. Since the lock mechanism 19 that holds the state is provided, the opening / closing position can be determined by the guide member 18 even if the container body 10 and the lid 20 are divided at the center, and the substrate W is not damaged. Can be opened and closed. Moreover, the closed state of the container main body 10 and the lid body 20 can be maintained by positioning the guide member 18 at the open / close position.

いずれの基板収納容器１でも、こうして容器本体１０に基板Ｗを収納し、蓋体２０を被せた後は、収納した基板Ｗは、中央部の押さえ溝１３及び両側の押さえ溝１４で基板Ｗの表裏が少なくとも３箇所で押えられているので、基板収納容器１を任意の方向にして搬送しても、基板Ｗは移動せず、基板Ｗと容器本体１０や蓋体２０と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分による基板Ｗへの汚染等の問題を防止することができる。   In any substrate storage container 1, after the substrate W is stored in the container body 10 and covered with the lid body 20, the stored substrate W is held in the center by the pressing groove 13 and the pressing grooves 14 on both sides. Since the front and back are pressed at at least three places, even if the substrate storage container 1 is transported in an arbitrary direction, the substrate W does not move, and the substrate W, the container body 10 and the lid 20 are rubbed, scratched or cracked. It is possible to prevent problems such as breakage due to, dust generation, or contamination of the substrate W due to chemical components.

なお、上記実施の形態では、容器本体１０と蓋体２０とを同一形状に構成したが、同一形状に限定するものではなく、それぞれを異なる形状とし、少なくとも、容器本体に中央部の押さえ溝とその両側の押さえ溝をずらして形成することで、基板Ｗを確実に押えて収納することができようにすればよく、例えば中央部の押さえ溝を可動式にしてもよい。
また、ガイド部材やロック機構は、上記実施の形態に限定するものではなく、蓋体を容器本体にガイドできれば良く、また、蓋体を密閉状態に保持できればどのような構成であっても良い。例えば、容器本体１０や蓋体２０における左右壁部１６の内部、或いは前後壁部１７の内部に適宜ガイド部を設け、容器本体１０に蓋体２０が被せ易くしてもよい。
さらに、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。 In the above embodiment, the container body 10 and the lid body 20 are configured in the same shape, but are not limited to the same shape, and each has a different shape. By forming the pressing grooves on both sides in a shifted manner, the substrate W can be reliably pressed and stored. For example, the pressing groove in the center may be movable.
Further, the guide member and the locking mechanism are not limited to the above-described embodiment, and any configuration may be employed as long as the lid can be guided to the container body and the lid can be held in a sealed state. For example, guide portions may be appropriately provided in the left and right wall portions 16 or the front and rear wall portions 17 of the container body 10 and the lid body 20 so that the container body 10 can be easily covered with the lid body 20.
Further, the present invention is not limited to the above embodiment.

１ 基板収納容器
１０ 容器本体
１１ 開口部
１１ａ シール用凸部
１１ｂ シール用凹部
１２ ガイド溝
１２ａ ガイド板
１３ 中央部の押さえ溝
１３ａ 各押さえ溝
１３ｂ ガイド面
１３ｃ 装着溝
１４ 両側の押さえ溝
１４ａ 各押さえ溝
１４ｂ ガイド面
１４ｃ 装着溝
１５ 底板部
１６ 左右壁部
１７ 前後壁部
１８ ガイド部材
１８ａ ガイドプレート
１９ ロック機構
１９ａ ロック孔
１９ｂ 係止突起
２０ 蓋体
Ｗ 基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate storage container 10 Container body 11 Opening part 11a Sealing convex part 11b Sealing concave part 12 Guide groove 12a Guide plate 13 Center pressing groove 13a Each pressing groove 13b Guide surface 13c Mounting groove 14 Both pressing grooves 14a Each pressing groove 14b Guide surface 14c Mounting groove 15 Bottom plate portion 16 Left and right wall portions 17 Front and rear wall portions 18 Guide member 18a Guide plate 19 Lock mechanism 19a Lock hole 19b Locking protrusion 20 Lid W substrate

Claims (4)

一端に開口部を有し、内部に間隔を開けて基板が収納される容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記基板の両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝と、前記開口部と対向する底板部に前記基板が装着され１枚の前記基板に対して少なくとも中央部の押さえ溝、及び前記中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝と、を有し、
中央部の前記押さえ溝の表裏のいずれか一方の面と、中央部を挟む両側の前記押さえ溝の表裏のいずれか他方の面とで前記基板の面に交差する方向に位置をずらして前記基板を前記一方の面および前記他方の面の少なくとも３箇所で固定可能に構成されている、
ことを特徴とする基板収納容器。 A substrate storage container comprising an opening at one end, a container main body in which a substrate is stored with a gap inside, and a lid that closes the opening,
The container body includes a guide groove that slides on both side edges of the substrate to guide storage and removal, and a bottom plate that faces the opening, and the substrate is mounted at least in the center with respect to the single substrate. Holding grooves on both sides sandwiching the central portion, and holding grooves on both sides sandwiching the central portion,
The substrate is shifted in a direction intersecting the surface of the substrate between either one of the front and back surfaces of the pressing groove in the central portion and the other surface of the pressing grooves on both sides sandwiching the central portion. Is configured to be fixable in at least three places on the one surface and the other surface ,
A substrate storage container. 前記中央部の前記押さえ溝と、前記中央部を挟む両側の押さえ溝は、前記基板をガイドする略Ｖ字状のガイド面と、前記ガイド面につながり前記基板を支持する装着溝と、からなる略Ｙ字状に構成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。 The pressing groove in the central portion and the pressing grooves on both sides sandwiching the central portion include a substantially V-shaped guide surface that guides the substrate, and a mounting groove that connects to the guide surface and supports the substrate. It is configured in a substantially Y shape,
The substrate storage container according to claim 1. 前記基板収納容器は、前記容器本体と、前記蓋体とが中央部で開閉される同一形状で構成されている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納容器。 The substrate storage container is configured in the same shape in which the container main body and the lid body are opened and closed at a central portion.
The substrate storage container according to claim 1, wherein the substrate storage container is a substrate storage container. 前記容器本体と前記蓋体とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材が設けられていると共に、
前記ガイド部材は、前記容器本体と前記蓋体との閉鎖状態を保持するロック機構が設けられている、
ことを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。 The container body and the lid are provided with guide members that guide each other to the open / close position,
The guide member is provided with a lock mechanism for maintaining a closed state of the container body and the lid.
The substrate storage container according to claim 3.

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