JP6573122B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 44
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 92
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 89
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 21
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るレーザーダイシング装置10の概略を示した構成図である。同図に示すように、レーザーダイシング装置10は、ワークWを移動させるステージ12、加工光学部20と観察光学部30とが一体に設けられた光学ユニット40、光学ユニットとワークWとの間の距離を変更する駆動部50、及び制御部60を備える。
前述のように、加工用レーザー光L1及び観察用レーザー光L2は、対物レンズ44を介してワークWに入射する。ここで、対物レンズ44は、加工用レーザー光L1に対して最適化されているため、観察用レーザー光L2の波長では色収差が発生する。色収差を有する状態でオートフォーカス動作を行うと、測定精度が悪化してしまう。
第2の実施形態に係るレーザーダイシング装置10は、ワークWの表面の色を自動的に認識し、最適なカラーチャンネルの画像を自動計算し、画像処理に利用する。
第3の実施形態に係るレーザーダイシング装置10は、緑(基準となる色の一例)を基準としたときの赤及び青(基準となる色以外の色の一例)の色収差によるオフセットをあらかじめ取得しておき、このオフセットデータを用いて合焦位置を補正する。
Claims (7)
- ワークを保持する保持部と、
対物レンズと、前記対物レンズを介して前記ワークを照射する第1の光源と、前記対物レンズを介して前記ワークからの反射光を受光する撮像素子と、を有し、前記撮像素子から基準となる色の画像信号と前記基準となる色以外の色の画像信号とを含む複数の色の画像信号を取得する観察光学部と、
前記ワークの表面の色に応じて前記複数の色のうち少なくとも1つの色を選択する選択部と、
前記ワークに対する前記対物レンズの相対位置を、前記選択された色の画像信号のコントラストが最大となる合焦位置に設定するオートフォーカス部と、
前記観察光学部における前記基準となる色の合焦位置と前記基準となる色以外の色の合焦位置との差分を色毎に記憶する記憶部と、
前記オートフォーカス部によって設定された合焦位置を、前記記憶部に記憶された差分であって、前記選択された色の差分に基づいて補正する補正部と、
前記補正された合焦位置の情報に基づいて前記ワークを加工する加工部と、
を備えたダイシング装置。 - 前記ワークの表面の色を使用者が入力する入力部を備えた請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記観察光学部が取得した複数の色の画像信号に基づいて前記ワークの表面の色を識別する識別部を備えた請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記識別部は前記ワークの表面の色相角を識別する請求項3に記載のダイシング装置。
- 前記複数の色は、赤、緑、及び青の3色であり、前記基準となる色は緑である請求項1から4のいずれか1項に記載のダイシング装置。
- 前記加工部は、前記観察光学部と一体に設けられ、前記対物レンズを介して前記ワークにレーザー光を照射して前記ワークを加工する第2の光源を備え、
前記合焦位置において前記ワークにレーザー光を照射すると前記レーザー光が前記ワークの内部に集光される請求項1から5のいずれか1項に記載のダイシング装置。 - ワークを保持部に保持する保持工程と、
対物レンズを介して前記ワークを照射し、前記対物レンズを介して前記ワークからの反射光を受光し、基準となる色の画像信号と前記基準となる色以外の色の画像信号とを含む複数の色の画像信号を観察光学部により取得する観察工程と、
前記ワークの表面の色に応じて前記複数の色のうち少なくとも1つの色を選択する選択工程と、
前記ワークに対する前記対物レンズの相対位置を、前記選択された色の画像信号のコントラストが最大となる合焦位置に設定するオートフォーカス工程と、
前記観察光学部における前記基準となる色の合焦位置と前記基準となる色以外の色の合焦位置との差分を色毎に記憶部に記憶する記憶工程と、
前記オートフォーカス工程によって設定された合焦位置を、前記記憶された差分であって、前記選択された色の差分に基づいて補正する補正工程と、
前記補正された合焦位置の情報に基づいて前記ワークを加工する加工工程と、
を備えたダイシング方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016034317A JP6573122B2 (ja) | 2016-02-25 | 2016-02-25 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
JP2019149882A JP6987097B2 (ja) | 2016-02-25 | 2019-08-19 | 制御装置及び制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016034317A JP6573122B2 (ja) | 2016-02-25 | 2016-02-25 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019149882A Division JP6987097B2 (ja) | 2016-02-25 | 2019-08-19 | 制御装置及び制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017152564A JP2017152564A (ja) | 2017-08-31 |
JP6573122B2 true JP6573122B2 (ja) | 2019-09-11 |
Family
ID=59739062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016034317A Active JP6573122B2 (ja) | 2016-02-25 | 2016-02-25 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6573122B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7403942B2 (ja) * | 2018-05-07 | 2023-12-25 | 一般財団法人電力中央研究所 | 燃焼場の観察方法、観察装置、及び観察プログラム |
CN111438437B (zh) * | 2019-01-16 | 2021-06-22 | 深圳市创客工场科技有限公司 | 激光加工控制方法及装置、激光加工设备、可读存储介质 |
JP6818950B1 (ja) * | 2020-02-21 | 2021-01-27 | 三菱電機株式会社 | 加工エネルギーの制御方法およびレーザ加工装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01246516A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-02 | Sony Corp | 焦点位置検出装置 |
JP4703983B2 (ja) * | 2003-07-18 | 2011-06-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | 切断方法 |
JP2006071829A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像読取装置及び合焦制御方法 |
JP5318544B2 (ja) * | 2008-12-01 | 2013-10-16 | 株式会社ディスコ | レーザ加工装置 |
JP6265640B2 (ja) * | 2013-07-18 | 2018-01-24 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、撮像装置、画像処理方法及びプログラム |
-
2016
- 2016-02-25 JP JP2016034317A patent/JP6573122B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017152564A (ja) | 2017-08-31 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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