JP6566414B2 - 基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル - Google Patents
基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル Download PDFInfo
- Publication number
- JP6566414B2 JP6566414B2 JP2015039025A JP2015039025A JP6566414B2 JP 6566414 B2 JP6566414 B2 JP 6566414B2 JP 2015039025 A JP2015039025 A JP 2015039025A JP 2015039025 A JP2015039025 A JP 2015039025A JP 6566414 B2 JP6566414 B2 JP 6566414B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- inert gas
- liquid film
- fluid
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 778
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 192
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 155
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 414
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 302
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 100
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 91
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 70
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 57
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 claims description 45
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 claims description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 189
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 62
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 42
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 36
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 33
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 33
- 239000002585 base Substances 0.000 description 26
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 24
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 20
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 20
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 19
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 18
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 17
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 10
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 208000012788 shakes Diseases 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 3
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N azane;hydrogen peroxide Chemical compound [NH4+].[O-]O SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- CABDFQZZWFMZOD-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrochloride Chemical compound Cl.OO CABDFQZZWFMZOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000010129 solution processing Methods 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
そこで、この発明の目的は、基板上の液膜を良好に排除することができる基板処理方法および基板処理装置、ならびにそのために利用可能な流体ノズルを提供することである。
前記液膜排除工程は、前記上面被覆工程と同時に開始してもよく、前記上面被覆工程よりも前に開始してもよく、前記上面被覆工程よりも後に開始してもよい。また、前記液膜排除工程の少なくとも一部(好ましくは全部)の期間は、前記上面被覆工程と並行して行われることが好ましい。それにより、周囲から飛来する液滴やミスト等が基板の上面に付着することを抑制または防止した状態で、基板の上面の液膜を排除できる。
この発明の一実施形態では、前記液膜排除工程が、前記基板の中心に向かって前記上面に対して垂直に不活性ガスを直線状に吐出する垂直ガス吐出工程を含む。
この方法により、不活性ガス流量が漸次的に増加することにより、液膜に形成された穴をスムーズに広げることができ、液膜を基板の周縁に向けて押し出すことができる。それにより、基板の上面の液膜を効率的に排除できる。また、不活性ガス流量を漸次増加させる場合には液膜に最初に穴を形成する際の流量が小さくてもこの穴をスムーズに広げることができる。液膜に最初に穴を形成する際の流量を小さくした場合には、液膜に最初に穴を形成する際の液跳ねを防止または抑制することができる。
この方法により、基板の上面に対して外向き斜めの方向に不活性ガスが放射状に吐出されることによって、基板の上面の液膜を一層効率的に排除できる。すなわち、外向き斜めの方向の不活性ガス流は、吐出直後から基板の外側に向かうベクトルを有しているので、液膜を強力に外方へと押し出すことができる。
この構成によれば、液膜に形成された穴の周縁が前記吐出目標位置に達すると、そのタイミングで当該吐出目標位置に向けて、外向き斜め方向に不活性ガス流が吐出される。この斜めの不活性ガス流は、穴の周縁を広げて、液膜を基板の外方へと押し出す。それにより、基板上に液膜が残留することを抑制または防止しながら、液膜を効率的に排除できる。
穴は、垂直ガス吐出工程によることなく形成されてもよい。たとえば、基板を加熱することによって、液膜に穴が形成されてもよい。
この方法によれば、不活性ガス流量が漸次的に増加することにより、液膜に形成された穴をスムーズに広げることができ、液膜を基板の周縁に向けて押し出すことができる。それにより、基板の上面の液膜を効率的に排除できる。
この方法により、外向き斜めの不活性ガス流の吐出目標位置が基板の周縁に向かって移動するので、不活性ガス流の運動量を液膜に効率的に伝えることができ、それによって、液膜を効率的に基板外に排除できる。
この方法によれば、傾斜流吐出口を上昇させることによって、吐出目標位置を変更でき、それによって、基板上の液膜を効率的に基板外に排除できる。とくに、傾斜流吐出口から不活性ガスを吐出しながら当該傾斜流吐出口を上昇させれば、不活性ガスの傾斜流によって、基板の上面を外方に向けて走査できる。それにより、基板上の液膜を効率的に排除できる。
この発明一実施形態では、前記斜めガス吐出工程が、前記基板の中心と前記基板の上面の周縁との間の第1吐出目標位置に向けて、前記基板の上面に対して外向き斜め方向に第1傾斜流吐出口から不活性ガスを放射状に吐出する工程と、前記第1吐出目標位置と前記周縁との間の第2吐出目標位置に向けて、前記基板の上面に対して外向き斜め方向に第2傾斜流吐出口から不活性ガスを吐出する工程とを含む。
たとえば、第1傾斜流吐出口からの不活性ガス流によって液膜の穴が広げられて第2吐出目標位置にその穴の周縁が達したタイミングで、第2傾斜流吐出口からの不活性ガス吐出を開始してもよい。それにより、液残りを抑制または防止しながら基板上の液膜を排除できる。第2傾斜流吐出口からの不活性ガスの吐出開始後は、第1傾斜流吐出口からの不活性ガスの吐出を停止してもよい。この場合、第1傾斜流吐出口から第2傾斜流吐出口への切り換えによって、吐出目標位置が基板の外周に向かって移動することになる。また、第2傾斜流吐出口からの不活性ガスの吐出開始後も、第1傾斜流吐出口からの不活性ガス吐出を継続してもよい。この場合、第1および第2傾斜流吐出口から同時に吐出される不活性ガスによって、基板上の液膜を強力に外方へと押し出すことができる。
この発明の一実施形態では、前記基板処理方法が前記液膜の中央に形成される穴の周縁の位置を検出する周縁位置検出工程をさらに含み、前記液膜排除工程が、前記周縁位置検出工程による検出結果に応じて不活性ガスの吐出を制御する工程を含む。
たとえば、液膜の穴の周縁が外向き斜めの不活性ガス流の吐出目標位置に達したことを検出して、吐出目標位置に向けた外向き斜め方向への不活性ガスの吐出を開始することができる。また、穴の周縁の位置に応じて、外向き斜めの不活性ガス流の吐出目標位置を変更したり、不活性ガスの流量を増加させたりすることができる。また、液膜の穴が前記第1吐出目標位置に達したことを検出して第1傾斜流吐出口からの不活性ガス吐出を開始し、液膜の穴の周縁が前記第2吐出目標位置に達したことを検出して第2傾斜流吐出口からの不活性ガスの吐出を開始することができる。
この発明の一実施形態では、前記液膜形成工程の開始に先立って前記上面被覆工程が開始される。
この発明は、基板の主面に対向して配置される流体ノズルであって、前記基板の主面に垂直に配置される中心軸線に沿って、前記基板の主面に垂直な直線状に流体を吐出する線状流吐出口と、前記中心軸線に垂直な平面に沿って、前記中心軸線の周囲に放射状に流体を吐出することにより、前記基板の主面に平行で、かつ前記基板の主面を覆う平行気流を形成する平行流吐出口と、前記中心軸線に対して傾斜した円錐面に沿って、前記中心軸線の周囲に放射状に流体を吐出することにより、前記基板の主面に対して斜めに入射する円錐状プロファイルの傾斜気流を形成する傾斜流吐出口と、第1流体入口と、前記第1流体入口と前記線状流吐出口とを連通させる第1流体路と、第2流体入口と、前記第2流体入口と前記平行流吐出口とを連通させ、前記第1流体路とは非連通の(独立した)第2流体路と、第3流体入口と、前記第3流体入口と前記傾斜流吐出口とを連通させ、前記第1流体路および前記第2流体路のいずれとも非連通の(いずれからも独立した)第3流体路とを含む、流体ノズルを提供する。
この発明は、基板を水平に保持する基板保持ユニットと、前述のような特徴を有する流体ノズルと、前記基板保持ユニットに保持される基板に対向するように、前記流体ノズルを保持するノズル保持ユニットと、前記第1流体入口に結合された第1不活性ガス供給管と、前記第2流体入口に結合された第2不活性ガス供給管と、前記第3流体入口に結合された第3不活性ガス供給管と、前記第1不活性ガス供給管の流路を開閉する第1不活性ガスバルブと、前記第2不活性ガス供給管の流路を開閉する第2不活性ガスバルブと、前記第3不活性ガス供給管の流路を開閉する第3不活性ガスバルブと、前記第1不活性ガスバルブ、前記第2不活性ガスバルブおよび前記第3不活性ガスバルブを制御する制御ユニットとを含む、基板処理装置を提供する。
この発明の一実施形態では、前記流体ノズルが請求項11に記載の流体ノズルであり、前記基板処理装置が、前記第4流体入口に結合された第4不活性ガス供給管と、前記第4不活性ガス供給管の流路を開閉する第4不活性ガスバルブとをさらに含み、前記制御ユニットが、前記第4不活性ガスバルブをさらに制御する。
この発明の一実施形態では、前記流体ノズルが請求項12に記載の流体ノズルであり、前記基板処理装置が、前記第5流体入口に結合された処理液供給管と、前記処理液供給管の流路を開閉する処理液バルブとをさらに含み、前記制御ユニットが、前記処理液バルブをさらに制御する。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、前記第1不活性ガス供給管を流れる不活性ガスの流量を調整する第1流量調整ユニットをさらに含み、前記制御ユニットが、前記第1流量調整ユニットをさらに制御する。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、前記第3不活性ガス供給管を流れる不活性ガスの流量を調整する第2流量調整ユニットをさらに含み、前記制御ユニットが、前記第2流量調整ユニットをさらに制御する。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、前記基板保持ユニットと前記流体ノズルとの前記中心軸線に沿う方向の距離を調整する距離調整ユニットをさらに含み、前記制御ユニットが前記距離調整ユニットをさらに制御する。
この構成により、少なくとも傾斜流吐出口からの不活性ガスの吐出の開始および終了を液膜の位置に応じて制御できる。たとえば、液膜の穴が基板の内方から外方に向かって広がり、その周縁が傾斜流吐出口からの吐出目標位置に達したタイミングで、第3不活性ガスバルブを開くことができる。それにより、液膜を穴の内側から外側に向けて押しやることができるので、基板上の液膜を効率的に基板外に排除できる。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の内部のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。基板処理装置1は、シリコンウエハなどの基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。この実施形態では、基板Wは、円板状の基板である。基板処理装置1は、処理液で基板Wを処理する複数の処理ユニット2と、処理ユニット2で処理される複数枚の基板Wを収容するキャリヤCが載置されるロードポートLPと、ロードポートLPと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する搬送ロボットIRおよびCRと、基板処理装置1を制御する制御ユニット3とを含む。搬送ロボットIRは、キャリヤCと搬送ロボットCRとの間で基板Wを搬送する。搬送ロボットCRは、搬送ロボットIRと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する。複数の処理ユニット2は、たとえば、同様の構成を有している。
第2移動ノズル12は、この実施形態では、酸、アルカリ等の薬液を供給する薬液ノズルとしての機能を有している。より具体的には、第2移動ノズル12は、液体と気体とを混合して吐出することができる二流体ノズルの形態を有していてもよい。二流体ノズルは、気体の供給を停止して液体を吐出すればストレートノズルとして使用できる。第2移動ノズル12には、薬液供給管41および不活性ガス供給管42が結合されている。薬液供給管41には、その流路を開閉する薬液バルブ43が介装されている。不活性ガス供給管42には、その流路を開閉する不活性ガスバルブ44が介装されている。薬液供給管41には、薬液供給源から、酸、アルカリ等の薬液が供給されている。不活性ガス供給管42には、不活性ガス供給源から、窒素ガス(N2)等の不活性ガスが供給されている。
DIWノズル10は、この実施形態では、基板Wの上面の回転中心に向けてDIWを吐出するように配置された固定ノズルである。DIWノズル10には、DIW供給源から、DIW供給管46を介して、DIWが供給される。DIW供給管46には、その流路を開閉するためのDIWバルブ47が介装されている。DIWノズル10は固定ノズルである必要はなく、少なくとも水平方向に移動する移動ノズルであってもよい。
ヒータユニット6は、円板状のホットプレートの形態を有しており、プレート本体60と、支持ピン61と、ヒータ62とを含む。プレート本体60は、平面視において、基板Wの外形とほぼ同形同大で、回転軸線A1を中心とする円形に構成されている。より正確には、プレート本体60は、基板Wの直径よりも僅かに小さい直径の円形の平面形状を有している。たとえば、基板Wの直径が300mmであり、プレート本体60の直径(とくに加熱面6aの直径)がそれよりも6mmだけ小さい294mmであってもよい。この場合、プレート本体60の半径は基板Wの半径よりも3mm小さい。
チャックピン20は、鉛直方向に延びたシャフト部53と、シャフト部53の上端に設けられたベース部50と、シャフト部53の下端に設けられた回動支持部54とを含む。ベース部50は、把持部51と、支持部52とを含む。回動支持部54は、鉛直方向に沿うチャック回動軸線55まわりに回動可能にスピンベース21に結合されている。シャフト部53は、チャック回動軸線55から離れた位置にオフセットされて、回動支持部54に結合されている。より具体的には、シャフト部53はチャック回動軸線55よりも、回転軸線A1から離れた位置に配置されている。したがって、チャックピン20がチャック回動軸線55まわりに回動されると、ベース部50は、その全体が基板Wの周端面に沿って移動しながら、チャック回動軸線55まわりに回動する。回動支持部54は、スピンベース21の内部に設けられたリンク機構26(図2参照)に結合されている。このリンク機構26からの駆動力によって、回動支持部54は、チャック回動軸線55まわりに所定角度範囲で往復回動する。
図6Aは、第1移動ノズル11の構成例を説明するための縦断面図(図6BのVIA-VIA断面図)である。また、図6Bはその平面図であり、図6Cはその側面図であり、図6Dはその底面図である。図6Cには、図6Bの矢印VICの方向に見た構成を一部切り欠いて表してある。
内構成部材91は、ほぼ円柱状に構成されており、下端部に外向きのフランジ部95を有している。フランジ部95は、中心軸線70に対して外向き斜め下方に傾斜した円錐面状の上面95aを有している。また、フランジ部95は、中心軸線70と垂直な(すなわち基板Wの上面と平行な)底面95bを有している。フランジ部95の内側において、内構成部材91の下端面には、基板Wの上面から離れる方向に窪んだ凹所96が形成されている。凹所96は、中心軸線70のまわりに回転対称なほぼ円錐台形状に形成されている。
外構成部材93の天面部108には、一対の流体入口101が配置されている。一対の流体入口101は、平面視において、中心軸線70を挟んで対向する位置に配置されている。一対の流体入口101には、一対の不活性ガス供給管36Cが、管継手106を介して結合されている。これにより、筒状の流体路100には、中心軸線70を中心として180度の角度間隔を空けた2箇所から不活性ガスが導入される。
外構成部材93の側面には、流体入口121が配置されている。流体入口121には、管継手115を介して、不活性ガス供給管36Bが結合されている。これにより、不活性ガス供給管36Bからの不活性ガスを、流体入口121を介して、流体路120に導入できる。
制御ユニット3は、第1ノズル移動ユニット15を制御して、第1移動ノズル11を基板Wの上方の有機溶剤リンス位置に移動させる。有機溶剤リンス位置は、第1移動ノズル11に備えられた中心吐出口71(有機溶剤ノズル:図6C参照)から吐出される有機溶剤(たとえばIPA)が基板Wの上面の回転中心に着液する位置であってもよい。
その後、制御ユニット3は、第1ノズル移動ユニット15を制御して第1移動ノズル11を退避させ、さらに、電動モータ23を制御してスピンチャック5の回転を停止させる。また、制御ユニット3は、昇降ユニット7を制御して、ヒータユニット6を下位置に制御する。さらに、制御ユニット3は、チャックピン駆動ユニット25を制御して、チャックピン20を開位置に制御する。これにより、基板Wは、チャックピン20の把持部51に把持された状態から、支持部52に載置された状態となる。その後、搬送ロボットCRが、処理ユニット2に進入して、スピンチャック5から処理済みの基板Wをすくい取って、処理ユニット2外へと搬出する(S6)。その基板Wは、搬送ロボットCRから搬送ロボットIRへと渡され、搬送ロボットIRによって、キャリヤCに収納される。
有機溶剤処理は、有機溶剤リンスステップT1と、有機溶剤パドルステップT2と、持ち上げパドルステップT3と、保温ステップT4と、穴開けステップT5と、穴広げステップT6と、外周液落としステップT7とを含み、これらが順に実行される。
基板Wの回転は、この例では、有機溶剤リンス処理速度から段階的に減速される(減速工程、漸次減速工程、段階的減速工程)。より具体的には、基板Wの回転速度は、300rpmから、50rpmに減速されて所定時間(たとえば10秒)維持され、その後、10rpmに減速されて所定時間(たとえば10秒)維持され、その後、0rpm(停止)に減速されて所定時間(たとえば10秒)維持される。一方、第1移動ノズル11は、回転軸線A1上に保持され、引き続き、基板Wの上面の回転中心に向けて中心吐出口71から有機溶剤を吐出し、かつ平行流吐出口82から不活性ガスを吐出して平行気流86を形成する。中心吐出口71からの有機溶剤の吐出は、有機溶剤パドルステップT2の全期間において継続される。すなわち、基板Wが停止しても、有機溶剤の吐出が継続される。このように、基板Wの回転の減速から停止に至る全期間において有機溶剤の供給が継続されることにより、基板Wの上面の至るところで処理液が失われることがない。また、基板Wの回転が停止した後も有機溶剤の供給が継続されることにより、基板Wの上面に厚い液膜150を形成できる。
ヒータユニット6が離隔位置から上位置まで上昇させられて、所定時間(たとえば10秒間)保持される。ヒータユニット6が上位置まで上昇させられる過程で、チャックピン20の支持部52から加熱面6aに基板Wが渡され、加熱面6a(より具体的には支持ピン61。図2参照)によって基板Wが支持される(ヒータユニット接近工程、ヒータユニット接触工程)。第1移動ノズル11(中心吐出口71)からの有機溶剤の吐出は、持ち上げパドルステップT3の途中まで継続される。したがって、ヒータユニット6の加熱面6aが基板Wの下面に接触し、加熱面6aからの熱伝導による基板Wの急加熱が開始され、基板Wに与えられる熱量が増加(熱量増加工程)するときには、有機溶剤の供給は継続している。それにより、基板Wの急激な昇温に伴う有機溶剤の蒸発によって有機溶剤の液膜150に不特定の位置で穴があくことを回避している。有機溶剤の供給は、ヒータユニット6の加熱面6aが基板Wの下面に接触した後(熱量増加工程の後)、所定時間の経過の後に停止される(供給停止工程)。すなわち、制御ユニット3は、有機溶剤バルブ37を閉じて、中心吐出口71からの有機溶剤の吐出を停止させる。
有機溶剤の供給が停止された後、所定時間が経過するまで、ヒータユニット6は上位置に保持される。基板Wに供給された有機溶剤は、中心に供給される新たな有機溶剤によって外周側へと押しやられ、その過程で、ヒータユニット6によって加熱された基板Wの上面からの熱で加熱されて昇温していく。有機溶剤の供給を継続している期間には、基板Wの中央領域の有機溶剤の温度は比較的低い。そこで、有機溶剤の供給を停止した後、所定の短時間だけヒータユニット6の接触状態を保持することによって、基板Wの中央領域における有機溶剤を昇温できる。それにより、基板Wの上面に支持された有機溶剤の液膜150の温度を均一化できる。
保温ステップT4は、基板Wの過熱を回避しつつ、気相層および有機溶剤液膜150を維持するために基板Wを保温するステップである。具体的には、図10Dに示すように、ヒータユニット6は上位置から若干下に下降させられる。それにより、基板Wは、ヒータユニット6からチャックピン20の支持部52に渡され、加熱面6aは、基板Wの下面から所定の微小距離だけ間隔を空けた非接触状態で基板Wの下面に対向する。これにより、基板Wの加熱は加熱面6aからの輻射熱による加熱に切り換わり、基板Wに与えられる熱量が減少する(熱量減少工程)。これによって、基板Wが過熱することを回避し、蒸発によって有機溶剤液膜150に亀裂(とくに基板Wの外周領域での亀裂)が生じることを回避している。
より具体的には、穴開けされて液膜150がなくなった中央領域では、液膜150が存在しているその周囲の領域に比較して、基板Wの温度が速やかに上昇する。それによって、穴151の周縁において基板W内に大きな温度勾配が生じる。すなわち、穴151の周縁の内側が高温で、その外側が低温になる。この温度勾配によって、図10Fに示すように、気相層上に支持されている有機溶剤液膜150が低温側、すなわち、外方に向かって移動を始め、それによって、有機溶剤液膜150の中央の穴151が拡大していく。
不活性ガスの吹き付けによって基板Wの回転中心に穴151を形成した後に、長い時間を空けてヒータユニット6を基板Wに接触させると、その間に、穴151の拡大が停止する。このとき、液膜150の内周縁は、内方に向かったり外方に向かったりする平衡状態となる。このとき、基板Wの表面に形成されたパターン内に有機溶剤の液面が入り込み、表面張力によるパターン倒壊の原因となるおそれがある。そこで、この実施形態では、不活性ガスによる穴開けとほぼ同時にヒータユニット6を基板Wの下面に接触させて、基板Wに与える熱量を瞬時に増加させている。
傾斜流吐出口83からの不活性ガスの吐出は、液膜150の穴151の周縁が前記吐出目標位置171に達するタイミングで開始されることが好ましい。すなわち、制御ユニット3は、液膜150の穴151の周縁が吐出目標位置171に達するタイミングに整合するように調整されたタイミングで、不活性ガスバルブ38Cを開く。
持ち上げパドルステップT3では、基板Wが加熱され、有機溶剤の沸点(IPAの場合は82.4℃)よりも所定温度(たとえば、10〜50℃)だけ高い温度となる。それにより、基板Wの表面に接している有機溶剤が蒸発し、有機溶剤の気体が発生して、図12Bに示すように、気相層152が形成される。気相層152は、パターン161の内部を満たし、さらに、パターン161の外側に至り、構造体162の上面162Aよりも上方に有機溶剤液膜150との界面155を形成している。この界面155上に有機溶剤液膜150が支持されている。この状態では、有機溶剤の液面がパターン161に接していないので、有機溶剤液膜150の表面張力に起因するパターン倒壊が起こらない。
静止状態の基板Wの上面全域を覆う有機溶剤液膜150が形成された状態から、ヒータユニット6を基板Wに接触させて基板Wの加熱を継続すると、液相の有機溶剤の蒸発が進み、やがて、基板W上のいずれかの位置で液相層がなくなる。穴開けステップT5を省いた場合には、図13Aに示すように、基板W上の不特定の複数の位置で液相層がなくなって複数の穴157が形成される。液相層が無くなった位置では基板Wの温度が上昇するので、図13Bに示すように、温度差によって、複数の穴157がそれぞれ広がっていく。ところが、このように不特定の複数位置から乾燥が始まると、図13Cに示すように、基板W上の複数の位置に、複数の分離した液膜150が分散して残留する。この残留した液膜150は、パーティクルやパターン倒壊の原因となる。
また、平行流吐出口82からは、有機溶剤の吐出開始前から不活性ガスが吐出され、それによって、基板Wの上面を覆う平行気流86が形成される。これにより、跳ね返った液や雰囲気中のミストが基板Wの表面に付着することを回避しながら、有機溶剤の液膜150の形成およびその排除を行うことができる。これにより、高品質な基板処理を実現できる。
この変形例では、外周液落としステップT7において、参照符号181で示すように、傾斜流吐出口83から吐出される不活性ガスの流量が漸次的に(図14の例では段階的に)増加する(斜めガス流量増加工程)。より具体的には、制御ユニット3は、流量可変バルブ39Cの開度を漸次的に増加させることによって、傾斜流吐出口83から吐出される不活性ガスの流量を増大させる。流量の増大に応じて、流速も増加する。流量の漸次的増加は、段階的増加であってもよいし、連続的増加であってもよい。図14には、段階的に流量を増加させる例を示す。
図15は、傾斜流吐出口83から不活性ガスを吐出している期間における第1移動ノズルの上下方向位置を変動させる変形例を示すタイムチャートであり、図14と同様の図示がされている。
また、図15の変形例では、第1移動ノズル11の上昇に合わせて、参照符号183で示すように、傾斜流吐出口83から吐出される不活性ガスの流量が漸次的に増加させられている。すなわち、制御ユニット3は、流量可変バルブ39Cを制御して、傾斜流吐出口83に供給される不活性ガスの流量を漸次的に増加させる。これにより、第1移動ノズル11の上昇によって傾斜流吐出口83から吐出目標位置171までの距離が長くなると、それを補うように、傾斜流吐出口83からの吐出流量を増加させることができる。それによって、液膜をより確実に基板W外へと排除できる。
図16は、この発明の第2の実施形態を説明するための概念図であり、第1移動ノズル11の別の構成例を示す。この実施形態では、第1移動ノズル11は、傾斜流吐出口83とは別の傾斜流吐出口84を有している。より具体的には、平行流吐出口82の下方に第1傾斜流吐出口83が配置され、さらに、平行流吐出口82と第1傾斜流吐出口83との間に第2傾斜流吐出口84が配置されている。第1傾斜流吐出口83および第2傾斜流吐出口84は、基板Wの上面において、基板Wの中心と周縁との間の中間位置に設定された第1および第2吐出目標位置171,172に向けて不活性ガスを放射状に吐出する。
この実施形態では、参照符号185で示すように、穴広げステップT6の途中から第1傾斜流吐出口83からの不活性ガス吐出が開始され、その吐出は、スピンドライステップT8の終了まで継続される。一方、外周液落としステップT7では、参照符号186で示すように、第2傾斜流吐出口84からの不活性ガス吐出が開始され、その吐出は、スピンドライステップT8の終了まで継続される。このような不活性ガスの吐出は、制御ユニット3が不活性ガスバルブ38C,38Dを制御することによって達成される。
なお、この実施形態において、制御ユニット3は、流量可変バルブ39Cを制御することにより、第1傾斜流吐出口83から吐出される不活性ガスの流量を漸次的(段階的または連続的)に増加させてもよい。同様に、制御ユニット3は、流量可変バルブ39Dを制御することにより、第2傾斜流吐出口84から吐出される不活性ガスの流量を漸次的(段階的または連続的)に増加させてもよい。
図18は、この発明の第3の実施形態に係る基板処理装置の制御に関連する構成を説明するためのブロック図である。図18において、前述の図16に示された各部の対応部分には同一参照符号を付して示す。
図19は、穴開けステップT5の後に撮像ユニット140が出力する画像データを用いて制御ユニット3が実行する処理を説明するためのフローチャートである。制御ユニット3は、撮像ユニット140が出力する画像を処理し(ステップS11)、その処理結果を用いて、基板W上の液膜の位置を特定する(ステップS12)。さらに、制御ユニット3は、基板W上の液膜に形成された穴の周縁の位置を特定する(ステップS13。周縁位置検出工程)。
この実施形態では、基板W上の液膜の位置を検出し、その検出された結果に基づいて、傾斜流吐出口83,84からの不活性ガスの吐出が制御されている。それにより、傾斜気流87,88を最適なタイミングで形成できるから、液膜を一層効率的に基板W外に排除できる。
以上、この発明の一実施形態について説明してきたが、この発明は、さらに他の形態で実施することもできる。この発明の範囲に含まれるいくつかの形態を以下に例示的に列挙する。
5.前述の実施形態では、線状流吐出口81から不活性ガスを直線状に吐出する穴開けステップT5の前に、ヒータユニット6の加熱面6aを基板Wの下面から離間させる保温ステップT4が設けられている。この保温ステップT4を省いて、持ち上げパドルステップT3によって基板Wを昇温した後、この持ち上げパドルステップT3に続いて穴開けステップT5を実行してもよい。
9.図18には、撮像ユニット140を用いて液膜に形成された穴の周縁の位置を特定する構成を示した。しかし、撮像ユニット140を用いずに、たとえば、超音波センサ等の適切なセンサを用いて基板W上の液膜の位置を直接的に検出する構成を採用してもよい。
11.処理対象の基板は、円形である必要はなく、矩形の基板であってもよい。
12.第1実施形態などに示した方法において使用可能な有機溶剤は、IPAのほかにも、メタノール、エタノール、アセトン、HEF(ハイドルフルオロエーテル)を例示できる。これらは、いずれも水(DIW)よりも表面張力が小さい有機溶剤である。この発明は、有機溶剤以外の処理液にも適用可能である。たとえば、水などのリンス液を基板外に排除するためにこの発明を適用してもよい。リンス液としては、水のほかにも、炭酸水、電界イオン水、オゾン水、希釈濃度(たとえば、10〜100ppm程度)の塩酸水、還元水(水素水)などを例示できる。
15.有機溶剤パドルステップT2において基板Wの回転を減速するときに、第1移動ノズル11から吐出される有機溶剤の流量を増加させてもよい(増流量減速工程)。この場合に、基板Wの回転の減速はステップ的に行われてもよいし、前述の実施形態のように、漸次的に行われてもよい。有機溶剤の供給流量を増加させることによって、基板Wの上面の外周領域における液切れが生じ難くなるので、基板Wの回転を速やかに減速して停止させることができる。これにより、短時間で基板Wの回転を停止できるので、生産性を向上できる。
17.前述の実施形態では、気相層152を形成するときに、ヒータユニット6を基板Wの下面に接触させている。しかし、ヒータユニット6からの輻射熱によって気相層152を形成できるのであれば、ヒータユニット6を基板Wの下面から離隔させたままで、気相層152の形成のための基板加熱を行ってもよい。ただし、ヒータユニット6の加熱面6aを基板Wに接触させる方が、雰囲気温度の変化等の外乱の影響を抑制できるので、加熱の面内均一性を高めることができる。また、基板Wに対しては、有機溶剤の蒸発によって奪われる気化熱を補って気相層152を形成および保持できる熱量を与える必要がある。したがって、加熱面6aを基板Wに接触させることにより、基板Wを効率的、安定的かつ速やかに加熱できる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
A1.水平に保持された基板の上面に処理液を供給して前記基板の上面全域を覆う処理液の液膜を形成する液膜形成工程と、
前記基板を加熱して前記基板の上面に接する処理液を蒸発させ、前記基板の上面と前記処理液との間に気相層を形成し、前記気相層上に前記液膜を保持する気相層形成工程と、
前記気相層が形成された後、前記基板上の前記液膜に第1流量で気体を吹き付けて処理液を部分的に排除することによって前記液膜に穴を開ける穴開け工程と、
前記基板を加熱することにより、前記穴を前記基板の外周に向かって広げ、前記気相層上で液膜を移動させることにより、前記液膜を構成する処理液を基板外に排除する加熱排除工程と、
前記穴開け工程の後、前記基板の表面における前記穴内の領域に、前記第1流量よりも大きい第2流量で気体を吹き付け、前記穴を基板の外周に向かって広げ、前記気相層上で液膜を移動させることにより、前記液膜を構成する処理液を前記基板外に排除する気体排除工程と
を含む、基板処理方法。
A3.加熱排除工程の後、前記基板を鉛直方向に沿う回転軸線まわりに外周振り落とし速度で回転することにより、前記基板の外周部の処理液を前記基板外に振り落とす回転振り落とし工程をさらに含む、A2に記載の基板処理方法。
A4.前記回転振り落とし工程の後、前記基板を前記回転軸線まわりに、前記外周振り落とし速度よりも高速な乾燥速度で回転させる高速回転乾燥工程をさらに含む、A3に記載の基板処理方法。
前記基板を鉛直方向に沿う回転軸線まわりに液供給速度で回転する液供給速度回転工程と、
前記液供給速度回転工程中に前記基板の上面への処理液の供給を開始して、前記基板の上面全域を覆う前記液膜を形成する処理液供給工程と、
前記処理液供給工程の実行中に、前記液膜が前記基板の上面全域を覆う状態を保持しながら、前記基板の回転を前記液供給速度から停止まで減速する減速工程と、
前記減速工程の後に、前記処理液の前記基板の上面への供給を停止する供給停止工程と
を含む、A1〜A4のいずれか一項に記載の基板処理方法。
A7.前記漸次減速工程が、前記基板の回転速度を段階的に減速する段階的減速工程を含む、A6に記載の基板処理方法。
A8.前記漸次減速工程が、前記基板の回転速度を連続的に減少させる連続的減速工程を含む、A6に記載の基板処理方法。
A10.前記処理液供給工程が、前記処理液としての有機溶剤を供給する有機溶剤供給工程であり、
前記有機溶剤供給工程の前に、前記基板の上面に前記有機溶剤とは別の処理液を供給する工程をさらに含み、
前記減速工程が、前記基板上の全ての前記別の処理液を前記有機溶剤が置換した後に開始される、A5〜A9のいずれか一項に記載の基板処理方法。
前記液膜形成工程が、前記基板の上面に処理液を供給する処理液供給工程と、前記熱量増加工程の開始よりも後に前記処理液の供給を停止する供給停止工程とを含む、A1〜A10のいずれか一項に記載の基板処理方法。
前記熱量増加工程が、前記基板に与える熱量を前記基板予熱工程よりも増加させる工程である、A11に記載の基板処理方法。
A13.前記基板予熱工程が、ヒータユニットを前記基板の下面から所定距離だけ離れた離隔位置に配置して、前記ヒータユニットからの輻射熱で前記基板を加熱する工程を含み、
前記熱量増加工程が、前記基板予熱工程における前記離隔位置よりも前記ヒータユニットを前記基板の下面に接近させる工程を含む、A12に記載の基板処理方法。
A15.前記穴開け工程が、処理液の前記基板の上面への供給を停止した後に実行される、A1〜A14のいずれか一項に記載の基板処理方法。
A16.前記気相層形成工程が、前記基板に与える熱量を増加させる熱量増加工程と、前記熱量増加工程の後に、前記基板に与える熱量を減少させる熱量減少工程と、を含み、
前記加熱排除工程が、前記熱量減少工程の後に、前記基板に与える熱量を再び増加させる再熱量増加工程を含み、
前記熱量減少工程によって前記基板に与える熱量が減少させられた状態で、前記穴開け工程が開始される、A1〜A15のいずれか一項に記載の基板処理方法。
A18.前記穴開け工程が、室温よりも高温の気体を吹き付ける工程を含む、A1〜A17のいずれか一項に記載の基板処理方法。
A19.前記処理液が有機溶剤である、A1〜A18のいずれか一項に記載の基板処理方法。
前記基板保持手段に保持されている基板の上面に処理液を供給することにより、基板の上面全域を覆う処理液の液膜を形成する処理液供給手段(35)と、
前記基板保持手段に保持されている基板を、基板の上面全域が処理液の液膜で覆われている状態で、処理液の沸点以上の温度で加熱することにより、処理液を蒸発させて、処理液の液膜と基板の上面との間に気相層を形成する加熱手段(6)と、
基板上の処理液に気体を吹き付ける気体吹き付け手段(36A)と、
基板上に前記気相層によって支持されている処理液の液膜に前記気体吹き付け手段から第1流量で気体を吹き付けて、当該液膜に穴を開ける穴開け工程と、前記加熱手段によって基板を加熱することにより前記穴を基板の外周に向かって広げ、前記気相層上で液膜を移動させて処理液を基板外に排除する加熱排除工程と、前記穴内の領域に前記気体吹き付け手段から前記第1流量よりも大きい第2流量で気体を吹き付けて前記穴を基板の外周に向かって広げることにより処理液を基板外に排除する気体排除工程とを実行する制御手段(3)とを含む、基板処理装置。なお、括弧内の数字は、前述の実施形態における対応構成要素の参照符号を表す。以下同じ。
前記制御手段は、前記加熱排除工程よりも後に、前記基板回転手段によって基板を外周振り落とし速度で回転することにより、基板の外周部の処理液を基板外に振り落とす回転振り落とし工程をさらに実行する、A20に記載の基板処理装置。
前記基板を加熱して基板の上面に接する処理液を蒸発させ、前記基板の上面と前記処理液との間に気相層を形成し、前記気相層上に前記液膜を保持する気相層形成工程と、
前記気相層が形成された後、前記基板を静止状態に保持して、前記基板の外周へと前記液膜を移動させる液膜移動工程と、
前記液膜移動工程の後に、前記基板を鉛直な回転軸線まわりに振り落とし回転速度で回転して、前記基板の外周部に残る液膜を遠心力によって振り落とす回転振り落とし工程と、
前記回転振り落とし工程の後に、前記基板を前記回転軸線まわりに、前記振り落とし回転速度よりも高速な乾燥回転速度で回転させて基板を乾燥させる乾燥工程と
を含む基板処理方法。
前記基板保持手段に保持された基板を鉛直方向に沿う回転軸線まわりに回転させる基板回転手段(23)と、
前記基板保持手段に保持されている基板の上面に処理液を供給することにより、基板の上面全域を覆う処理液の液膜を形成する処理液供給手段(35)と、
前記基板保持手段に保持されている基板を、基板の上面全域が処理液の液膜で覆われている状態で、処理液の沸点以上の温度で加熱することにより、処理液を蒸発させて、処理液の液膜と基板の上面との間に気相層を形成する加熱手段(6)と、
前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記処理液供給手段および前記加熱手段を制御して、B1に記載の基板処理方法を実行する制御手段(3)とを含む、基板処理装置。
2 :処理ユニット
3 :制御ユニット
5 :スピンチャック
6 :ヒータユニット
7 :昇降ユニット
10 :DIWノズル
11 :第1移動ノズル
12 :第2移動ノズル
13 :チャンバ
15 :第1ノズル移動ユニット
16 :第2ノズル移動ユニット
20 :チャックピン
21 :スピンベース
22 :回転軸
23 :電動モータ
35 :有機溶剤供給管
36A :第1不活性ガス供給管
36B :第2不活性ガス供給管
36C :第3不活性ガス供給管
36D :第4不活性ガス供給管
37 :有機溶剤バルブ
38A :第1不活性ガスバルブ
38B :第2不活性ガスバルブ
38C :第3不活性ガスバルブ
38D :第4不活性ガスバルブ
39A :マスフローコントローラ
39B :流量可変バルブ
39C :流量可変バルブ
39D :流量可変バルブ
41 :薬液供給管
43 :薬液バルブ
46 :DIW供給管
47 :DIWバルブ
62 :ヒータ
70 :中心軸線
71 :中心吐出口
72 :薬液吐出口
81 :線状吐出口
82 :平行流吐出口
83 :傾斜流吐出口(第1傾斜流吐出口)
84 :傾斜流吐出口(第2傾斜流吐出口)
85 :線状気流
86 :平行気流
87 :傾斜気流(第1傾斜気流)
88 :傾斜気流(第2傾斜気流)
100 :流体路
101 :流体入口
120 :流体路
121 :流体入口
130 :流体路
140 :撮像ユニット
150 :有機溶剤液膜
151 :穴
152 :気相層
171 :第1吐出目標位置
172 :第2吐出目標位置
A1 :回転軸線
C :キャリヤ
CR :搬送ロボット
IR :搬送ロボット
LP :ロードポート
T1 :有機溶剤リンスステップ
T2 :有機溶剤パドルステップ
T3 :持ち上げパドルステップ
T4 :保温ステップ
T5 :ステップ
T6 :ステップ
T7 :外周液落としステップ
T8 :スピンドライステップ
W :基板
Claims (20)
- 基板保持ユニットによって基板を水平姿勢で保持する基板保持工程と、
前記基板保持ユニットによって保持されている前記基板の上面に処理液を供給して液膜を形成する液膜形成工程と、
前記基板保持ユニットに保持された基板の上方において前記基板の中心から周縁に向かって前記基板の上面と平行にかつ放射状に不活性ガスを吐出することにより、前記基板の上面と平行に流れ、前記基板の上面を覆う不活性ガス流を形成する上面被覆工程と、
前記上面被覆工程と並行して行われ、前記基板の上面に向かって不活性ガスを吐出することにより、前記液膜形成工程によって形成された前記液膜を前記基板の上面から排除する液膜排除工程とを含み、
前記液膜排除工程が、前記基板の中心に向かって前記上面に対して垂直に不活性ガスを直線状に吐出する垂直ガス吐出工程と、前記基板上面の中心と周縁との間の中間位置を吐出目標位置として、前記基板の上面に対して外向き斜めの方向に不活性ガスを放射状に吐出する斜めガス吐出工程とを含む、基板処理方法。 - 前記垂直ガス吐出工程が、前記基板の中心に向かって前記上面に対して垂直に吐出される不活性ガスの流量を漸次的に増加させる垂直ガス流量増加工程を含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記斜めガス吐出工程が、前記液膜の中央に形成された穴の周縁が前記吐出目標位置に達するタイミングで開始される、請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 前記斜めガス吐出工程が、前記吐出目標位置に向かって斜めに吐出される不活性ガスの流量を漸次的に増加させる斜めガス流量増加工程を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記斜めガス吐出工程が、前記吐出目標位置を漸次的に前記基板の上面の周縁に向かって移動させる吐出目標位置移動工程を含む、請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記吐出目標位置移動工程が、基板の上面に対して外向き斜めの方向に不活性ガスを吐出する傾斜流吐出口を、前記基板の上面に対して上昇させる工程を含む、請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記斜めガス吐出工程が、前記基板の中心と前記基板の上面の周縁との間の第1吐出目標位置に向けて、前記基板の上面に対して外向き斜め方向に第1傾斜流吐出口から不活性ガスを放射状に吐出する工程と、前記第1吐出目標位置と前記周縁との間の第2吐出目標位置に向けて、前記基板の上面に対して外向き斜め方向に第2傾斜流吐出口から不活性ガスを吐出する工程とを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記液膜の中央に形成される穴の周縁の位置を検出する周縁位置検出工程をさらに含み、
前記液膜排除工程が、前記周縁位置検出工程による検出結果に応じて不活性ガスの吐出を制御する工程を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記液膜形成工程の開始に先立って前記上面被覆工程が開始される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 基板の主面に対向して配置される流体ノズルであって、
前記基板の主面に垂直に配置される中心軸線に沿って、前記基板の主面に垂直な直線状に流体を吐出する線状流吐出口と、
前記中心軸線に垂直な平面に沿って、前記中心軸線の周囲に放射状に流体を吐出することにより、前記基板の主面に平行で、かつ前記基板の主面を覆う平行気流を形成する平行流吐出口と、
前記中心軸線に対して傾斜した円錐面に沿って、前記中心軸線の周囲に放射状に流体を吐出することにより、前記基板の主面に対して斜めに入射する円錐状プロファイルの傾斜気流を形成する傾斜流吐出口と、
第1流体入口と、
前記第1流体入口と前記線状流吐出口とを連通させる第1流体路と、
第2流体入口と、
前記第2流体入口と前記平行流吐出口とを連通させ、前記第1流体路とは非連通の第2流体路と、
第3流体入口と、
前記第3流体入口と前記傾斜流吐出口とを連通させ、前記第1流体路および前記第2流体路のいずれとも非連通の第3流体路と
を含む、流体ノズル。 - 前記傾斜流吐出口が、基板の主面に対して異なる位置で流体を斜めに入射させる第1傾斜流吐出口および第2傾斜流吐出口を含み、
前記第3流体路が、前記第3流体入口と前記第1傾斜流吐出口とを連通させており、
第4流体入口と、
前記第4流体入口と前記第2傾斜流吐出口とを連通させ、前記第1流体路、前記第2流体路および前記第3流体路のいずれとも非連通の第4流体路とをさらに含む、請求項10に記載の流体ノズル。 - 前記中心軸線の近傍で基板の主面に向けて流体を吐出する中心吐出口と、
第5流体入口と、
前記第5流体入口と前記中心吐出口とを連通させ、前記第1流体路、前記第2流体路および前記第3流体路のいずれとも非連通の第5流体路と
をさらに含む、請求項10または11に記載の流体ノズル。 - 基板を水平に保持する基板保持ユニットと、
請求項10〜12のいずれか一項に記載の流体ノズルと、
前記基板保持ユニットに保持される基板に対向するように、前記流体ノズルを保持するノズル保持ユニットと、
前記第1流体入口に結合された第1不活性ガス供給管と、
前記第2流体入口に結合された第2不活性ガス供給管と、
前記第3流体入口に結合された第3不活性ガス供給管と、
前記第1不活性ガス供給管の流路を開閉する第1不活性ガスバルブと、
前記第2不活性ガス供給管の流路を開閉する第2不活性ガスバルブと、
前記第3不活性ガス供給管の流路を開閉する第3不活性ガスバルブと、
前記第1不活性ガスバルブ、前記第2不活性ガスバルブおよび前記第3不活性ガスバルブを制御する制御ユニットと
を含む、基板処理装置。 - 前記流体ノズルが請求項11に記載の流体ノズルであり、
前記第4流体入口に結合された第4不活性ガス供給管と、
前記第4不活性ガス供給管の流路を開閉する第4不活性ガスバルブとをさらに含み、
前記制御ユニットが、前記第4不活性ガスバルブをさらに制御する、請求項13に記載の基板処理装置。 - 前記流体ノズルが請求項12に記載の流体ノズルであり、
前記第5流体入口に結合された処理液供給管と、
前記処理液供給管の流路を開閉する処理液バルブとをさらに含み、
前記制御ユニットが、前記処理液バルブをさらに制御する、請求項13または14に記載の基板処理装置。 - 前記第1不活性ガス供給管を流れる不活性ガスの流量を調整する第1流量調整ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットが、前記第1流量調整ユニットをさらに制御する、請求項13〜15のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記第3不活性ガス供給管を流れる不活性ガスの流量を調整する第2流量調整ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットが、前記第2流量調整ユニットをさらに制御する、請求項13〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板保持ユニットと前記流体ノズルとの前記中心軸線に沿う方向の距離を調整する距離調整ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットが前記距離調整ユニットをさらに制御する、請求項13〜17のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板保持ユニットに保持された基板の上面の液膜の位置を検出する液膜位置検出ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットが、前記液膜位置検出ユニットの検出結果に応じて、少なくとも前記第3不活性ガスバルブを制御する、請求項13〜18のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記制御ユニットが、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法を実行するようにプログラムされている、請求項13〜19のいずれか一項に記載の基板処理装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015039025A JP6566414B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル |
CN201610045888.XA CN105826219B (zh) | 2015-01-23 | 2016-01-22 | 基板处理方法、基板处理装置和流体喷嘴 |
US15/004,361 US10249487B2 (en) | 2015-01-23 | 2016-01-22 | Substrate processing method |
KR1020160008113A KR101877112B1 (ko) | 2015-01-23 | 2016-01-22 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 그리고 유체 노즐 |
TW105102055A TWI667686B (zh) | 2015-01-23 | 2016-01-22 | 基板處理方法及基板處理裝置暨流體噴嘴 |
KR1020180036124A KR102010697B1 (ko) | 2015-01-23 | 2018-03-28 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 그리고 유체 노즐 |
KR1020180077005A KR102044633B1 (ko) | 2015-01-23 | 2018-07-03 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 그리고 유체 노즐 |
US16/273,400 US10964526B2 (en) | 2015-01-23 | 2019-02-12 | Substrate processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015039025A JP6566414B2 (ja) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016162847A JP2016162847A (ja) | 2016-09-05 |
JP6566414B2 true JP6566414B2 (ja) | 2019-08-28 |
Family
ID=56845436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015039025A Active JP6566414B2 (ja) | 2015-01-23 | 2015-02-27 | 基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6566414B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6881922B2 (ja) | 2016-09-12 | 2021-06-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP6945314B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2021-10-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6967922B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2021-11-17 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP6921725B2 (ja) | 2017-12-04 | 2021-08-18 | 株式会社Screenホールディングス | 判定方法および基板処理装置 |
JP7008489B2 (ja) * | 2017-12-05 | 2022-01-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7209494B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2023-01-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、処理液および基板処理方法 |
JP7265874B2 (ja) | 2019-01-28 | 2023-04-27 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7285692B2 (ja) * | 2019-05-17 | 2023-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 乾燥装置、基板処理システム、および乾燥方法 |
JP7465164B2 (ja) | 2020-07-08 | 2024-04-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4333866B2 (ja) * | 2002-09-26 | 2009-09-16 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP4988510B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2012-08-01 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP5426141B2 (ja) * | 2008-10-29 | 2014-02-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP5391014B2 (ja) * | 2009-09-28 | 2014-01-15 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2013201334A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6317547B2 (ja) * | 2012-08-28 | 2018-04-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
JP2014110404A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2015
- 2015-02-27 JP JP2015039025A patent/JP6566414B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016162847A (ja) | 2016-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102044633B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 그리고 유체 노즐 | |
JP6566414B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル | |
JP6461621B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
TWI645453B (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
JP6945314B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2017117954A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
TW201736006A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP7064339B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6668448B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
WO2017029861A1 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
TWI667076B (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
JP6960489B2 (ja) | 基板処理方法 | |
JP7064302B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190509 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6566414 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |